專利名稱：空氣凈化裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種空氣浄化裝置，尤指ー種于ー筒體內部分隔出數(shù)個凈化室，且于各凈化室填充有凈化材，而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、各凈化室及該出氣ロ的氣流通道，以利用單ー結構體將待凈化氣體進行連續(xù)性凈化程序的設計。
背景技術：
半導體晶圓制造廠及TFT-IXD面板或太陽能光電制造業(yè)制程中，在濕蝕刻制程會使用到無機酸(硝酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸)及有機酸(如醋酸)等酸液，而在干蝕刻制程或洗凈程序會使用到大量的氟化合物(如PFC :NF3、SF6, CF4, C2F6)，經凈化設備分解處理后衍生無機酸(硝酸、氫氟酸)；其中，有機酸及無機酸的比例配置不盡相同，主要的蝕刻作用由無機酸進行，加入有機酸(如醋酸)主要是使無機酸更穩(wěn)定，提高蝕刻的良率，然而卻造成大量的毒性氣體、臭氣、白煙、NO2黃煙或厭惡性異味排放。
再者，懸浮微粒(Suspended particulate)泛指在氣流中懸浮的固態(tài)或液態(tài)粒子，在提及一般空氣質量時多以此為評估項目，在測量時則以高量采樣器作水平向過濾采氣測定。而懸浮微粒因不同粒徑的顆粒進入人體呼吸系統(tǒng)的能力差異極大，且一般醫(yī)學界認為10微米以下的顆粒方可進入人體呼吸道，其中又以2. 5微米以下的顆粒對呼吸系統(tǒng)的危害最為強烈。目前一般環(huán)保單位對于空氣懸浮微粒的污染程度多改用「粒徑小于等于10微米的懸浮微粒(Particulate matter ^ 10 μ m,簡稱PM10)」，在公衛(wèi)界則多采用「粒徑小于等于2. 5微米的懸浮微粒(Particulate matter ^ 2. 5 μ m,簡稱ΡΜ2· 5)」以評估污染對健康的影響。此2. 5微米以下的微粒因此又被稱為「可呼吸性懸浮粒子(Respirable suspendedparticleノ」。然而，以傳統(tǒng)冷凝法及吸收法目前最常采用的浄化設備(諸如以抽風與簡易濾網(wǎng)或一般吸附或水洗洗滌處理)，并無法完全去除上述存在于空氣中的懸浮微粒及酸性氣體(硝酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸、氨、NO2 ;尤其是氫氟酸、NO2)等難處理的分子污染物，而且該等懸浮粒子若為人體吸入將引發(fā)身體健康的安危；同時該等酸性氣體于低濃度下即會產生惡臭，并易于排放管道產生次微米微粒的白煙或/及黃煙現(xiàn)象，極易影響廠房周圍生活環(huán)境而引發(fā)民眾抗議，同時也影響到廠房周圍其它高科技廠高階制程的產品良率。再者，尚有運用觸媒濾材來凈化處理空氣中含硫化合物、硝酸及醋酸等物質氣體的方法，該觸媒濾材凈化氣體的優(yōu)點為含硫化合物、硝酸及醋酸等物質氣體的脫除效率高、反應溫度低、能源消耗低、避免生成二次污染物等，是ー種環(huán)境友好的催化浄化技木。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的主要技術問題在于，克服現(xiàn)有技術存在的上述缺陷，而提供一種空氣浄化裝置，其具有設備體積小的功效，且具有利用線上再生而提升凈化效率的功效。本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案是—種空氣浄化裝置，是于ー筒體內部分隔出數(shù)個凈化室，且于各該凈化室填充有凈化材，并于該筒體形成有進氣ロ與出氣ロ，而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、各該凈化室及該出氣ロ的氣流通道；借此，待凈化氣體由該進氣ロ導入，進而利用填充于不同浄化室的浄化材進行連續(xù)性的浄化，并由該出氣ロ將凈化后氣體導出。其一，該筒體內部橫貫設置一多孔板，并于該多孔板上方頂天設置ー縱隔板，遂于該縱隔板兩側分隔出第一浄化室與第二浄化室，而于該多孔板底側分隔出連通該第一浄化室底側與該第二浄化室底側的通道室，并令該進氣ロ的形成位置對應于該第一浄化室頂偵牝該出氣ロ的形成位置對應于該第二浄化室頂側，進而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、該第一凈化室頂側、該第一凈化室底側、該通道室、該第二凈化室底側、該第二凈化室頂側及該出氣ロ的氣流通道。其ニ,該筒體內部橫貫設置一上多孔板與一下多孔板，并于該上多孔板與該下多孔板設置ー縱隔板，遂于該縱隔板兩側分隔出第一上、下浄化室、第二上、下浄化室與分流、合流室，另分隔出連通該第一上浄化室頂側與該第二上浄化室頂側的上通道室與連通該第一下浄化室底側與該第二下浄化室底側的下通道室，并令該進氣ロ的形成位置對應于該分流室，該出氣ロ的形成位置對應于該合流室，進而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、該分流室、該第一上凈化室底側/該第一下凈化室頂側、該第一上凈化室頂側/該第一下凈化室 底側、該上信道室/該下信道室、該第二上浄化室頂側/該第二下浄化室底側、該第二上凈化室底側/該第二下浄化室頂側、該合流室及該出氣ロ的氣流通道。其三，該筒體內部以橫向設置的第一多孔板與頂天設置的第一縱隔板分隔出第一浄化室，另以橫向設置的第二多孔板與立地設置的第二縱隔板分隔出第二浄化室，而于該第一縱隔板與該第二縱隔板之間分隔出連通該第一浄化室底側與該第二浄化室頂側的通道室，并令該進氣ロ的形成位置對應于該第一浄化室頂側，該出氣ロ的形成位置對應于該第二浄化室底側，進而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、該第一浄化室頂側、該第一浄化室底側、該通道室、該第二浄化室頂側、該第二浄化室底側及該出氣ロ的氣流通道。此外，該筒體為圓形。又，各浄化室各自填充或級配填充有不同浄化屬性的多孔性浄化材。另，填充于該第一浄化室、該第一上浄化室或該第一下浄化室的多孔性浄化材為活性碳、活性氧化鋁、陶瓷或沸石，填充于該第二浄化室、該第二上浄化室或該第二下浄化室的多孔性浄化材為經改質的活性碳、活性氧化鋁、納米碳管、多孔性樹脂或沸石。再者，進ー步于各浄化室各自設置有再生液噴灑器，并于該筒體底部設置有再生液的排泄ロ。另者，進一步相對各再生液噴灑器連結有再生液循環(huán)單元，各再生液循環(huán)單元各將ー循環(huán)管的吸取端設置于該筒體底部，各循環(huán)管的排放端則與各再生液噴灑器連結，且于各循環(huán)管設置有循環(huán)泵，并將再生液容器借供給管連結至各循環(huán)管的低壓段，另于該筒體底部設置有再生液縱隔板。又一，各浄化室的多孔性浄化材填充高度可彈性應用，較佳為30 60公分。本發(fā)明的有益效果是，其具有設備體積小的功效，且具有利用線上再生而提升凈化效率的功效。


下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進ー步說明。圖I是本發(fā)明第一實施例的結構示意圖。圖2是本發(fā)明第二實施例的結構示意圖。
圖3是本發(fā)明第三實施例的結構示意圖。圖中標號說明10、20、30 筒體11、31第一凈化室21a第一上凈化室21b第一下凈化室12、32第二凈化室22a第二上凈化室22b第二下凈化室 13、33 通道室23a上通道室23b下通道室14、24 縱隔板34a第一縱隔板34b第二縱隔板15、25、35 進氣ロI6、26、36 出氣ロ17多孔板27a上多孔板27b下多孔板37a第一多孔板37b第二多孔板28分流室29合流室123 排泄 ロ124再生液縱隔板40a、40b多孔性凈化材50a、50b再生液噴灑器60a、60b再生液循環(huán)單元6la、6Ib 循環(huán)管62a、62b 循環(huán)泵63a、63b再生液容器64a、64b 供給管
具體實施例方式首先，請參閱圖I所示，本發(fā)明的第一實施例，是于ー橫置的圓形筒體10內部橫貫設置ー多孔板17，并于該多孔板17上方頂天設置一縱隔板14，遂于該縱隔板14兩側分隔出第一凈化室11與第二凈化室12，且于各該凈化室11、12填充有凈化材40a、40b，而于該多孔板17底側分隔出連通該第一凈化室11底側與該第二凈化室12底側的通道室13，并令一進氣ロ 15的形成位置對應于該第一凈化室11頂側，另令一出氣ロ 16的形成位置對應于該第二凈化室12頂側，進而于該筒體10內部形成有連通該進氣ロ 15、該第一凈化室11頂偵1K該第一凈化室11底側、該通道室13、該第二凈化室12底側、該第二凈化室12頂側及該出氣ロ 16的氣流通道。借此，待凈化氣體由該進氣ロ 15導入，進而利用填充于不同凈化室
11、12的凈化材40a、40b進行連續(xù)性的浄化，并由該出氣ロ16將凈化后氣體導出。接著，請參閱圖2所示，本發(fā)明的第二實施例，是于ー橫置的圓形筒 體20內部橫貫設置ー上多孔板27a與一下多孔板27b，并于該上多孔板27a與該下多孔板27b設置ー縱隔板24，遂于該縱隔板24兩側分隔出第一上、下凈化室21a、21b、第二上、下凈化室22a、22b與分流、合流室28、29，另分隔出連通該第一上浄化室21a頂側與該第二上浄化室22a頂側的上通道室23a與連通該第一下凈化室21b底側與該第二下凈化室22b底側的下通道室23b，且于各該凈化室21a、21b、22a、22b填充有凈化材40a、40b，并令ー進氣ロ 25的形成位置對應于該分流室28，另令ー出氣ロ 26的形成位置對應于該合流室29，進而于該筒體20內部形成有連通該進氣ロ 25、該分流室28、該第一上凈化室2Ia底側與該第一下凈化室21b頂側、該第一上浄化室21a頂側與該第一下浄化室21b底側、該上通道室23a與該下通道室23b、該第二上凈化室22a頂側與該第二下凈化室22b底側、該第二上凈化室22a底側與該第二下凈化室22b頂側、該合流室29及該出氣ロ 26的氣流通道。借此，待凈化氣體由該進氣ロ 25導入后于該分流室28分流，進而利用填充于不同凈化室21a、21b、22a、22b的凈化材40a、40b進行連續(xù)性的浄化，并于該合流室29予以合流后，再由該出氣ロ 26將凈化后氣體導出。然后，請參閱圖3所示，本發(fā)明的第三實施例，是于ー橫置的圓形筒體30內部以橫向設置的第一多孔板37a與頂天設置的第一縱隔板34a分隔出第一浄化室31，另以橫向設置的第二多孔板37b與立地設置的第二縱隔板34b分隔出第二浄化室32，且于各該凈化室31、32填充有凈化材40a、40b,而于該第一縱隔板34a與該第二縱隔板34b之間分隔出連通該第一浄化室31底側與該第二浄化室32頂側的通道室33，并令ー進氣ロ 35的形成位置對應于該第一凈化室31頂側，另令ー出氣ロ 36的形成位置對應于該第二凈化室32底側，進而于該筒體30內部形成有連通該進氣ロ 35、該第一凈化室31頂側、該第一凈化室31底偵れ該通道室33、該第二凈化室32頂側、該第二凈化室32底側及該出氣ロ 36的氣流通道。借此，待凈化氣體由該進氣ロ 35導入，進而利用填充于不同凈化室31、32的凈化材40a、40b進行連續(xù)性的浄化，并由該出氣ロ 36將凈化后氣體導出。此外,各凈化室(第一凈化室11、31或第一上、下凈化室2la、2Ib與該第二凈化室
12、32或第二上、下凈化室22a、22b)各自填充不同凈化屬性的多孔性凈化材40a、40b，或是將不同浄化屬性的多孔性凈化材40a、40b級配(分級配置)填充，以凈化不同的污染物，而其填充高度為20 90公分，更佳為30 60公分；其中，填充于該第一凈化室11、31或第一上、下凈化室2la、2Ib的多孔性凈化材40a可為活性碳、活性氧化鋁、陶瓷或沸石，而可用以凈化待凈化氣體中的懸浮微粒；又，填充于該第二浄化室12、32或第二上、下浄化室22a、22b的多孔性凈化材40b可為經改質的活性碳、活性氧化鋁、納米碳管、多孔性樹脂或沸石，而可用以凈化待凈化氣體中的酸性氣體。再者，進ー步于該第一浄化室11、31或第一上、下浄化室21a、21b設置有再生液噴灑器50a，而對填充于該第一凈化室11、31或第一上、下凈化室21a、21b的多孔性凈化材40a噴灑水(熱水更佳)，俾令該多孔性凈化材40a洗滌再生；另，進ー步于該第二浄化室
12、32或第二上、下凈化室22a、22b設置有再生液噴灑器50b，而對填充于該第二凈化室12、32或第二上、下凈化室22a、22b的多孔性凈化材40b噴灑水或堿溶液(如KOH、NaOH、KMnO4或CuSO4或其任ー組合)，令該多孔性凈化材40b改質再生。然而，由于該筒體10、20或30為圓形且底部設置有排泄ロ 123，該筒體10、20或30底部可供所噴灑的再生液蓄積且方便由排泄ロ 123排泄。另者，進ー步相對各再生液噴灑器50a、50b連結有再生液循環(huán)單元60a、60b，各再生液循環(huán)單元60a、60b各將ー循環(huán)管61a、61b的吸取端設置于該筒體10、20或30底部，各該循環(huán)管61a、61b的排放端則與各該再生液噴灑器50a、50b連結,且于各該循環(huán)管61a、61b設置有循環(huán)泵62a、62b，并將再生液容器63a、63b借供給管64a、64b連結至各該循環(huán)管61a、61b的低壓段，另于該筒體10、20或30底部設置有再生液縱隔板124?；谌缡堑臉嫵?，本發(fā)明是于ー筒體10、20或30內部分隔出數(shù)個凈化室(第一凈化室11、31或第一上、下凈化室21a、21b與該第二凈化室12、32或第二上、下凈化室22a、22b)，且于各凈化室填充有凈化材40a、40b，并于該筒體10、20或30形成有進氣ロ 15、25或 35與出氣ロ 16、26或36，而于該筒體10、20或30內部形成有連通該進氣ロ 15、25或35、各凈化室(第一凈化室11、31或第一上、下凈化室21a、21b與該第二凈化室12、32或第二上、下凈化室22a、22b)及該出氣ロ 16、26或36的氣流通道；借此，待凈化氣體由該進氣ロ 15、25或35導入，進而利用填充于不同浄化室的凈化材40a、40b進行連續(xù)性的浄化，并由該出氣ロ 16、26或36將凈化后氣體導出。是故，本發(fā)明利用單ー結構體將待凈化氣體連續(xù)進行連續(xù)性的浄化程序(現(xiàn)有方式則必須將兩結構體串連方可連續(xù)進行兩次的浄化程序)；是以，具有設備體積小的功效；又，該再生液噴灑器50a、50b與該再生液循環(huán)單元60a、60b的設置，遂可令該多孔性凈化材40a、40b于線上直接再生(不必停機取出再生)，則具有利用線上再生而提升凈化效率的功效；然而，前述的第三實施例，因其通過各凈化室31、32的氣流流向與再生液的噴灑方向相同(皆向下)，而得以較低的壓損進行線上再生(噴灑再生液)的過程。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案的范圍內。綜上所述，本發(fā)明在結構設計、使用實用性及成本效益上，完全符合產業(yè)發(fā)展所需，且所掲示的結構亦是具有前所未有的創(chuàng)新構造，具有新穎性、創(chuàng)造性、實用性，符合有關發(fā)明專利要件的規(guī)定，故依法提起申請。
權利要求
1.一種空氣浄化裝置，其特征在于，于ー筒體內部分隔出數(shù)個凈化室，且于各浄化室填充有凈化材，并于該筒體形成有進氣ロ與出氣ロ，而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、各浄化室及該出氣ロ的氣流通道；借此，待凈化氣體由該進氣ロ導入，進而利用填充于不同凈化室的浄化材進行連續(xù)性的浄化，并由該出氣ロ將浄化后氣體導出。
2.根據(jù)權利要求I所述的空氣浄化裝置，其特征在于，所述筒體內部橫貫設置一多孔板，并于該多孔板上方頂天設置ー縱隔板，遂于該縱隔板兩側分隔出第一浄化室與第二凈化室，而于該多孔板底側分隔出連通該第一凈化室底側與該第二凈化室底側的通道室，并令該進氣ロ的形成位置對應于該第一浄化室頂側，該出氣ロ的形成位置對應于該第二浄化室頂側，進而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、該第一浄化室頂側、該第一浄化室底側、該通道室、該第二浄化室底側、該第二浄化室頂側及該出氣ロ的氣流通道。
3.根據(jù)權利要求I所述的空氣浄化裝置，其特征在于，所述筒體內部橫貫設置一上多孔板與一下多孔板，并于該上多孔板與該下多孔板設置ー縱隔板，遂于該縱隔板兩側分隔 出第一上、下浄化室、第二上、下浄化室與分流、合流室，另分隔出連通該第一上浄化室頂側與該第二上凈化室頂側的上通道室與連通該第一下凈化室底側與該第二下凈化室底側的下通道室，并令該進氣ロ的形成位置對應于該分流室，該出氣ロ的形成位置對應于該合流室，進而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、該分流室、該第一上浄化室底側/該第一下凈化室頂側、該第一上浄化室頂側/該第一下浄化室底側、該上信道室/該下信道室、該第二上凈化室頂側/該第二下凈化室底側、該第二上凈化室底側/該第二下凈化室頂側、該合流室及該出氣ロ的氣流通道。
4.根據(jù)權利要求I所述的空氣浄化裝置，其特征在于，所述筒體內部以橫向設置的第一多孔板與頂天設置的第一縱隔板分隔出第一浄化室，另以橫向設置的第二多孔板與立地設置的第二縱隔板分隔出第二浄化室，而于該第一縱隔板與該第二縱隔板之間分隔出連通該第一浄化室底側與該第二浄化室頂側的通道室，并令該進氣ロ的形成位置對應于該第一浄化室頂側，該出氣ロ的形成位置對應于該第二浄化室底側，進而于該筒體內部形成有連通該進氣ロ、該第一浄化室頂側、該第一浄化室底側、該通道室、該第二浄化室頂側、該第二凈化室底側及該出氣ロ的氣流通道。
5.根據(jù)權利要求2、3或4所述的空氣浄化裝置，其特征在于，所述筒體為圓形。
6.根據(jù)權利要求5所述的空氣浄化裝置，其特征在于，所述各凈化室各自填充或級配填充有不同浄化屬性的多孔性浄化材。
7.根據(jù)權利要求6所述的空氣浄化裝置，其特征在于，所述填充于該第一浄化室、該第一上浄化室或該第一下浄化室的多孔性浄化材為活性碳、活性氧化鋁、陶瓷或沸石，填充于該第二浄化室、該第二上浄化室或該第二下浄化室的多孔性浄化材為經改質的活性碳、活性氧化鋁、納米碳管、多孔性樹脂或沸石。
8.根據(jù)權利要求7所述的空氣浄化裝置，其特征在干，進ー步于各凈化室各自設置有再生液噴灑器，并于該筒體底部設置有再生液的排泄ロ。
9.根據(jù)權利要求8所述的空氣浄化裝置，其特征在干，進ー步相對各再生液噴灑器連結有再生液循環(huán)單元，各再生液循環(huán)單元各將ー循環(huán)管的吸取端設置于該筒體底部，各循環(huán)管的排放端則與各再生液噴灑器連結，且于各循環(huán)管設置有循環(huán)泵，并將再生液容器借供給管連結至各循環(huán)管的低壓段，另于該筒體底部設置有再生液縱隔板。
10.根據(jù)權利要求9所述的空氣浄化裝置，其特征在于，所述各凈化室的多孔性凈化材填充高度為30 60公分。
全文摘要
一種空氣凈化裝置，于一筒體內部分隔出數(shù)個凈化室，且于各該凈化室填充有凈化材，并于該筒體形成有進氣口與出氣口，而于該筒體內部形成有連通該進氣口、各凈化室及出氣口的氣流通道；借此，待凈化氣體由該進氣口導入，進而利用填充于不同凈化室的凈化材進行連續(xù)性的凈化，并由該出氣口將凈化后氣體導出；筒體內部橫貫設置一多孔板，并于多孔板上方頂天設置一縱隔板，遂于縱隔板兩側分隔出第一凈化室與第二凈化室，而于多孔板底側分隔出連通該第一凈化室底側與第二凈化室底側的通道室。本發(fā)明具有設備體積小的功效，且具有利用線上再生而提升凈化效率的功效。
文檔編號B01D53/04GK102814087SQ20111021943
公開日2012年12月12日 申請日期2011年8月2日 優(yōu)先權日2011年6月8日
發(fā)明者張豐堂, 簡弘民 申請人:杰智環(huán)境科技股份有限公司