本實用新型涉及涂層技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種涂層設(shè)備的內(nèi)置引弧裝置。
背景技術(shù)：
涂層步驟是整個工藝的關(guān)鍵步驟，一旦引弧失敗將導(dǎo)致整個涂層工藝的失敗，嚴重的甚至將造成被涂層工件的報廢。目前的真空涂層設(shè)備采用的為外置引弧針引弧裝置，傳統(tǒng)的外置引弧裝置容易受到腔體內(nèi)金屬涂層的污染及粘附，導(dǎo)致引弧的可靠性大大降低，使整個涂層工藝的失敗率提高。另外，目前的引弧方式是采用真空波紋管動作的引弧方式，但是真空波紋管動作容易引起機械磨損，從而造成腔體真空泄露。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的目的在于提供一種涂層設(shè)備的內(nèi)置引弧裝置，可以避免真空腔室內(nèi)金屬涂層對引弧裝置的污染及粘附，也可以保障真空密封性，提高工作可靠性。
為實現(xiàn)上述技術(shù)目的，達到上述技術(shù)效果，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：一種涂層設(shè)備的內(nèi)置引弧裝置，包括靶材、罩體、引弧針和氣動裝置，該罩體設(shè)置于真空腔室內(nèi)，該靶材設(shè)置于罩體內(nèi)，靶材的右方設(shè)有磁鐵，所述罩體的左側(cè)設(shè)有滅弧圈，所述氣動裝置包括氣動裝置本體和搖擺氣缸，所述搖擺氣缸設(shè)置于氣動裝置本體內(nèi)，該氣動裝置本體的外側(cè)連接有壓縮空氣管，氣動裝置本體內(nèi)設(shè)有氣路，壓縮空氣管通過氣路與搖擺氣缸連接，該搖擺氣缸連接有連桿，連桿與引弧針連接，引弧針的針尖與靶材接觸，靶材與陰極電纜連接。
進一步的，所述真空腔室連接有冷卻水管。
本實用新型的有益效果是：本實用新型中的引弧針、靶材和磁鐵均內(nèi)置于罩體內(nèi)，來避免真空腔室內(nèi)金屬涂層對引弧裝置的污染及粘附，以此保障涂層工藝的順利運行，控制涂層工藝中由引弧裝置不可靠工作引起的引弧失敗，同時也提高了工作效率，且由于避免了金屬涂層的污染，從而大大降低了維護成本及維護時間。本實用新型中的搖擺氣缸可以帶動連桿左右移動，從而帶動引弧針擺動，從而實現(xiàn)引弧針的針尖與靶材之間的接觸與脫離，實現(xiàn)放電引弧，通過這種引弧方式替代傳統(tǒng)的真空波紋管動作的引弧方式，避免機械摩擦，保證真空密封性，提高工作可靠性。
附圖說明
圖1為本實用新型的一種涂層設(shè)備的內(nèi)置引弧裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優(yōu)點和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。
如圖1所示，一種涂層設(shè)備的內(nèi)置引弧裝置，包括靶材1、罩體2、引弧針3和氣動裝置，該罩體2設(shè)置于真空腔室12內(nèi)，該靶材1設(shè)置于罩體2內(nèi)，靶材1的右方設(shè)有磁鐵4，所述罩體2的左側(cè)設(shè)有滅弧圈5，所述氣動裝置包括氣動裝置本體6和搖擺氣缸7，所述搖擺氣缸7設(shè)置于氣動裝置本體6內(nèi)，該氣動裝置本體6的外側(cè)連接有壓縮空氣管8，氣動裝置本體6內(nèi)設(shè)有氣路，壓縮空氣管8通過氣路與搖擺氣缸7連接，該搖擺氣缸7連接有連桿9，連桿9與引弧針3連接，引弧針3的針尖與靶材1接觸，靶材1與陰極電纜10連接。
進一步說，所述真空腔室12連接有冷卻水管11，冷卻水管11可以實現(xiàn)對真空腔室的冷卻。
工作時，壓縮空氣通過壓縮空氣管8進入氣動裝置本體6，壓縮空氣通過氣動裝置本體6中的氣路進入搖擺氣缸7，搖擺氣缸7通過氣體的作用帶動連桿9左右移動，連桿9又帶動引弧針3擺動，使得引弧針3的針尖接觸或脫離靶材1。當引弧針3的針尖與靶材1接觸時，產(chǎn)生放電。
本實用新型具有以下優(yōu)點：本實用新型中的引弧針3、靶材1和磁鐵4均內(nèi)置于罩體2內(nèi)，來避免真空腔室內(nèi)金屬涂層對引弧裝置的污染及粘附，以此保障涂層工藝的順利運行，控制涂層工藝中由引弧裝置不可靠工作引起的引弧失敗，同時也提高了工作效率，且由于避免了金屬涂層的污染，從而大大降低了維護成本及維護時間。本實用新型中的搖擺氣缸7可以帶動連桿9左右移動，從而帶動引弧針3擺動，從而實現(xiàn)引弧針3的針尖與靶材1之間的接觸與脫離，實現(xiàn)放電引弧，通過這種引弧方式替代傳統(tǒng)的真空波紋管動作的引弧方式，避免機械摩擦，保證真空密封性，提高工作可靠性。
以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內(nèi)。