本發(fā)明屬于廢氣處理，尤其涉及一種反應(yīng)腔及工藝廢氣處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、電加熱式工藝廢氣處理系統(tǒng)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理，其工作原理為通過電阻式加熱棒對(duì)反應(yīng)腔的廢氣進(jìn)行加熱反應(yīng)分解。

2、但是，受到加熱棒的結(jié)構(gòu)和材質(zhì)限制，此種工藝廢氣處理設(shè)備的加熱溫度及加熱速度受限，大大影響工藝廢氣的處理效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于以上分析，本發(fā)明旨在提供一種反應(yīng)腔及工藝廢氣處理系統(tǒng)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中電加熱式工藝廢氣處理系統(tǒng)加熱溫度較低、加熱速度較慢導(dǎo)致工藝廢氣的處理效率低的問題。

2、本發(fā)明的目的主要是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

3、本發(fā)明提供了一種反應(yīng)腔，包括腔體以及設(shè)于腔體內(nèi)的至少一個(gè)電磁渦流加熱管和至少一個(gè)冷卻風(fēng)通道，電磁渦流加熱管包括廢氣管以及纏繞于廢氣管外壁的導(dǎo)電線圈。

4、進(jìn)一步地，腔體包括內(nèi)腔以及套設(shè)于內(nèi)腔外的冷卻夾層，廢氣管位于內(nèi)腔中，冷卻風(fēng)通道與內(nèi)腔的底壁具有縫隙，內(nèi)腔上開設(shè)夾層進(jìn)氣孔，內(nèi)腔通過夾層進(jìn)氣孔與冷卻夾層連通，冷卻夾層上開設(shè)夾層出氣孔。

5、進(jìn)一步地，內(nèi)腔底壁開設(shè)廢氣出氣孔，廢氣管與廢氣出氣孔連通。

6、進(jìn)一步地，夾層進(jìn)氣孔位于內(nèi)層的頂端，夾層出氣孔位于冷卻夾層的底端。

7、進(jìn)一步地，上述反應(yīng)腔還包括設(shè)于冷卻風(fēng)通道內(nèi)的旋流片。

8、進(jìn)一步地，上述反應(yīng)腔還包括設(shè)于廢氣管內(nèi)壁的擾流件。

9、進(jìn)一步地，擾流件包括沿工藝廢氣流動(dòng)方向依次連接的縮徑段和擴(kuò)徑段。

10、進(jìn)一步地，上述反應(yīng)腔還包括設(shè)于冷卻風(fēng)通道上的流量調(diào)節(jié)閥、設(shè)于廢氣管外壁的溫度傳感器以及分別與流量調(diào)節(jié)閥和溫度傳感器連接的控制器；

11、溫度傳感器實(shí)時(shí)采集反應(yīng)腔內(nèi)的溫度數(shù)據(jù)并傳送至控制器，控制器接收溫度數(shù)據(jù)并判斷溫度數(shù)據(jù)是否處于反應(yīng)腔所需的溫度閾值范圍內(nèi)，若超過溫度閾值范圍，則發(fā)送增大流量信號(hào)至流量調(diào)節(jié)閥，流量調(diào)節(jié)閥的開度增大，若低于溫度閾值范圍，則發(fā)送減小流量信號(hào)至流量調(diào)節(jié)閥，流量調(diào)節(jié)閥的開度減小。

12、進(jìn)一步地，上述反應(yīng)腔還包括設(shè)于廢氣管外壁的溫度傳感器、與導(dǎo)電線圈連接的加熱功率調(diào)節(jié)器以及分別與溫度傳感器和加熱功率調(diào)節(jié)器連接的控制器；

13、溫度傳感器實(shí)時(shí)采集反應(yīng)腔內(nèi)的溫度數(shù)據(jù)并傳送至控制器，控制器接收溫度數(shù)據(jù)并判斷溫度數(shù)據(jù)是否處于反應(yīng)腔所需的溫度閾值范圍內(nèi)，若超過溫度閾值范圍，則發(fā)送減小功率信號(hào)至加熱功率調(diào)節(jié)器，導(dǎo)電線圈的加熱功率減小，若低于溫度閾值范圍，則發(fā)送增大功率信號(hào)至加熱功率調(diào)節(jié)器，導(dǎo)電線圈的加熱功率增大。

14、本發(fā)明還提供了一種工藝廢氣處理系統(tǒng)，包括沿廢氣流動(dòng)方向順次連接的反應(yīng)腔、水箱以及噴淋塔，反應(yīng)腔為上述反應(yīng)腔。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明至少可實(shí)現(xiàn)如下有益效果之一：

16、a)本發(fā)明提供的反應(yīng)腔，利用電磁渦流加熱管對(duì)工藝廢氣產(chǎn)生設(shè)備排出的廢氣進(jìn)行加熱反應(yīng)分解，電磁渦流加熱基于電磁感應(yīng)原理，利用交變磁場作用下的渦流損耗來產(chǎn)生熱量，能夠?qū)崿F(xiàn)快速升溫至較高溫度，大大提高工藝廢氣處理系統(tǒng)的加熱溫度、加熱速度和工藝廢氣的處理效率。

17、b)本發(fā)明提供的反應(yīng)腔，通過冷卻風(fēng)通道的設(shè)置，能夠?qū)?dǎo)電線圈和腔體進(jìn)行快速冷卻和散熱，防止導(dǎo)電線圈溫度過高造成損壞，避免過熱，減少反應(yīng)腔的冷卻時(shí)間，延長腔體的使用壽命，提高維護(hù)保養(yǎng)效率。

18、本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述，并且，部分的從說明書中變得顯而易見，或者通過實(shí)施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過在所寫的說明書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)和獲得。

技術(shù)特征：

1.一種反應(yīng)腔，其特征在于，包括腔體以及設(shè)于腔體內(nèi)的至少一個(gè)電磁渦流加熱管和至少一個(gè)冷卻風(fēng)通道，所述電磁渦流加熱管包括廢氣管以及纏繞于廢氣管外壁的導(dǎo)電線圈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔，其特征在于，所述腔體包括內(nèi)腔以及套設(shè)于內(nèi)腔外的冷卻夾層，所述廢氣管位于內(nèi)腔中，所述冷卻風(fēng)通道與內(nèi)腔的底壁具有縫隙，所述內(nèi)腔上開設(shè)夾層進(jìn)氣孔，所述內(nèi)腔通過夾層進(jìn)氣孔與冷卻夾層連通，所述冷卻夾層上開設(shè)夾層出氣孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔，其特征在于，所述內(nèi)腔底壁開設(shè)廢氣出氣孔，所述廢氣管與廢氣出氣孔連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的反應(yīng)腔，其特征在于，所述夾層進(jìn)氣孔位于內(nèi)層的頂端，所述夾層出氣孔位于冷卻夾層的底端。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔，其特征在于，還包括設(shè)于冷卻風(fēng)通道內(nèi)的旋流片。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔，其特征在于，還包括設(shè)于廢氣管內(nèi)壁的擾流件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反應(yīng)腔，其特征在于，所述擾流件包括沿工藝廢氣流動(dòng)方向依次連接的縮徑段和擴(kuò)徑段。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔，其特征在于，還包括設(shè)于冷卻風(fēng)通道上的流量調(diào)節(jié)閥、設(shè)于廢氣管外壁的溫度傳感器以及分別與流量調(diào)節(jié)閥和溫度傳感器連接的控制器；

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔，其特征在于，還包括設(shè)于廢氣管外壁的溫度傳感器、與導(dǎo)電線圈連接的加熱功率調(diào)節(jié)器以及分別與溫度傳感器和加熱功率調(diào)節(jié)器連接的控制器；

10.一種工藝廢氣處理系統(tǒng)，其特征在于，包括沿廢氣流動(dòng)方向順次連接的反應(yīng)腔、水箱以及噴淋塔，所述反應(yīng)腔為權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的反應(yīng)腔。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種反應(yīng)腔及工藝廢氣處理系統(tǒng)，屬于廢氣處理技術(shù)領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有技術(shù)中電加熱式工藝廢氣處理系統(tǒng)加熱溫度較低、加熱速度較慢導(dǎo)致工藝廢氣的處理效率低的問題。本發(fā)明的反應(yīng)腔，包括腔體以及設(shè)于腔體內(nèi)的至少一個(gè)電磁渦流加熱管和至少一個(gè)冷卻風(fēng)通道，電磁渦流加熱管包括廢氣管以及纏繞于廢氣管外壁的導(dǎo)電線圈。本發(fā)明可用于工藝廢氣處理。

技術(shù)研發(fā)人員：丁宇,王福清,陳佳明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海協(xié)微環(huán)境科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/11/14