涂敷裝置以及涂敷方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種涂敷裝置以及涂敷方法，所述涂敷裝置以及涂敷方法在構(gòu)成通過連結(jié)部來連結(jié)噴嘴與固化機(jī)構(gòu)的涂膜形成單元的情況下，能夠適當(dāng)確保噴嘴的行進(jìn)速度(涂敷處理速度)而進(jìn)行適當(dāng)?shù)耐糠筇幚?，同時(shí)能夠適當(dāng)進(jìn)行固化處理開始時(shí)刻的調(diào)整，另外也能夠適當(dāng)進(jìn)行固化處理速度(固化處理時(shí)間)的調(diào)整。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有利用從噴嘴噴出的涂液對(duì)載置于工作臺(tái)(平臺(tái))的基板進(jìn)行涂敷的基板的涂敷裝置(例如稱為工作臺(tái)涂敷機(jī)(日本注冊(cè)商標(biāo))等)，其中的噴嘴被升降自如地支承在沿著噴嘴用行進(jìn)導(dǎo)軌行進(jìn)的噴嘴用支承柱上。作為在這種涂敷裝置中具備用于使涂敷于基板的涂液固化的固化機(jī)構(gòu)的涂敷裝置，已知有專利文獻(xiàn)1?3。
[0003]專利文獻(xiàn)1的“圖案形成方法以及圖案形成裝置”從噴出噴嘴前端的噴出口朝向基板噴出涂敷液，并且對(duì)剛剛涂敷于基板上的涂敷液從第一照射光源照射波長(zhǎng)365nm的UV光。由此使涂敷液的表面固化。接著，從第二照射光源對(duì)剛才受到UV光照射的涂敷液照射更長(zhǎng)波長(zhǎng)(例如為385nm或395nm)的UV光。由于長(zhǎng)波長(zhǎng)的光進(jìn)一步浸透至涂敷液的內(nèi)部，因此促進(jìn)內(nèi)部的固化。照射光源經(jīng)由頭部的基底與注射器泵而與噴出噴嘴相連結(jié)。
[0004]專利文獻(xiàn)2的“狹縫涂裝式涂敷裝置”具備保持基板的保持工作臺(tái)和涂敷頭，所述涂敷頭與所述基板的被所述保持工作臺(tái)保持的保持面相反一側(cè)的涂敷面相對(duì)置且設(shè)有供液體流出的狹縫狀的噴嘴開口，通過使所述基板與所述涂敷頭在所述涂敷面的面方向上相對(duì)移動(dòng)而向所述基板的所述涂敷面涂敷液體，所述狹縫涂裝式涂敷裝置設(shè)有加熱機(jī)構(gòu)，一邊利用所述涂敷頭向所述基板涂敷液體，一邊利用加熱機(jī)構(gòu)對(duì)剛剛涂敷于該基板上的液體進(jìn)行加熱。
[0005]專利文獻(xiàn)3涉及一種“薄膜形成裝置以及薄膜形成方法”，其中的薄膜形成裝置具備:對(duì)涂敷對(duì)象物進(jìn)行吸附保持的吸附工作臺(tái)；從噴墨式噴嘴向吸附保持于吸附工作臺(tái)的涂敷對(duì)象物的表面噴出涂敷材料并且進(jìn)行薄膜形成的多個(gè)涂敷頭；以及使涂敷頭在涂敷對(duì)象物的上方位置處移動(dòng)的門架，在門架上還具備對(duì)涂敷對(duì)象物的表面進(jìn)行加熱的熱源裝置。熱源裝置經(jīng)由門架與涂敷頭連結(jié)起來。
[0006]在上述所有專利文獻(xiàn)中，皆將使涂液固化、或加熱液體或涂敷對(duì)象物的表面的照射光源、加熱機(jī)構(gòu)、熱源裝置以及排出噴嘴等隔著規(guī)定間隔連結(jié)固定。
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2012-143691號(hào)公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-218969號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)3:日本特開2013-000656號(hào)公報(bào)
[0010]與上述專利文獻(xiàn)相同，如圖8所示，當(dāng)由噴出涂液e進(jìn)行涂敷處理的噴嘴f、照射UV光i等而對(duì)涂液e進(jìn)行固化處理的固化機(jī)構(gòu)g、以及將這些固化機(jī)構(gòu)g與噴嘴f隔著恒定的間隔(圖中，間隔LX:不變)連結(jié)固定的連結(jié)部h構(gòu)成為了在載置于工作臺(tái)a上的基板b處形成涂膜c而行進(jìn)移動(dòng)的涂膜形成單元d時(shí)，第一，無法對(duì)固化機(jī)構(gòu)g與噴嘴f的間隔LX進(jìn)行變更調(diào)整。
[0011]當(dāng)間隔LX恒定不變時(shí)，來自噴嘴f的涂液噴出時(shí)刻與固化機(jī)構(gòu)g到達(dá)至在該時(shí)刻噴出的涂液e的位置而開始固化處理的固化處理開始時(shí)刻的時(shí)間間隔是根據(jù)涂膜形成單元d的行進(jìn)速度VX(噴嘴f以及固化機(jī)構(gòu)g的移動(dòng)速度也相同)而決定的恒定的時(shí)間(間隔LX/行進(jìn)速度VX)。
[0012]涂膜形成單元d的行進(jìn)速度VX通?；谕糠筇幚矶O(shè)定。關(guān)于涂敷處理，例如根據(jù)涂液e的種類(粘度、材質(zhì)等)、膜厚等條件而具有優(yōu)選的涂敷處理速度(行進(jìn)速度VX)。另一方面，關(guān)于固化處理，與涂敷處理相同地，例如根據(jù)涂液e的種類、膜厚等條件而具有開始涂敷后的涂液e的固化處理的優(yōu)選的固化處理開始時(shí)機(jī)。
[0013]當(dāng)噴嘴f與固化機(jī)構(gòu)g通過連結(jié)部h來連結(jié)且它們的間隔LX恒定不變時(shí)，如上所述從涂液噴出時(shí)刻到固化處理開始時(shí)刻的時(shí)間間隔由行進(jìn)速度VX決定，因此，當(dāng)以優(yōu)先涂敷處理的行進(jìn)速度VX來進(jìn)行固化處理時(shí)，存在有固化處理開始時(shí)刻過早或過遲從而無法在恰當(dāng)?shù)墓袒幚黹_始時(shí)刻開始固化處理、進(jìn)而無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行固化處理這樣的問題。
[0014]與之相反，當(dāng)優(yōu)先固化處理而設(shè)定為與能夠適當(dāng)進(jìn)行固化處理的時(shí)間間隔相適的行進(jìn)速度VX時(shí)，需要根據(jù)基于固化處理的行進(jìn)速度VX而從噴嘴f噴出涂液e，從而存在有噴出量等的控制變得繁瑣、并且無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行涂敷處理這樣的問題。
[0015]第二，噴嘴f的移動(dòng)速度與固化機(jī)構(gòu)g的移動(dòng)速度成為相同速度VX，無法對(duì)涂敷處理速度與固化處理速度進(jìn)行變更調(diào)整。關(guān)于涂敷處理，如上所述地具有優(yōu)選的涂敷處理速度。另一方面，關(guān)于固化處理也同樣地根據(jù)涂液的種類、膜厚等而具有優(yōu)選的固化處理速度。
[0016]當(dāng)單位時(shí)間內(nèi)的固化處理能量恒定時(shí)，在固化處理速度較遲的情況下，固化處理時(shí)間變長(zhǎng)，從而對(duì)涂液e施加的固化處理能量變大，在固化處理速度較快的情況下，固化處理時(shí)間變短從而固化處理能量變小。
[0017]當(dāng)優(yōu)先涂敷處理而設(shè)定移動(dòng)速度(涂膜形成單元的行進(jìn)速度VX)時(shí)，由于固化機(jī)構(gòu)g只能以相同的速度移動(dòng)，因此無法適當(dāng)?shù)卮_保固化處理速度(固化處理時(shí)間)，存在有固化處理能量變得過多或不足而無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行固化處理這樣的問題。與之相反，當(dāng)優(yōu)先固化處理時(shí)，與第一情況同樣地存在有無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行涂敷處理這樣的問題。
[0018]綜上所述，在將固化機(jī)構(gòu)g與噴嘴f通過連結(jié)部h隔著恒定不變的間隔LX進(jìn)行連結(jié)固定的涂膜形成單元d中，存在難以形成膜厚、膜質(zhì)等均勻且品質(zhì)較高的涂膜這樣的課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0019]【發(fā)明要解決的課題】
[0020]本發(fā)明是鑒于上述以往的課題而作出的，其目的在于提供一種涂敷裝置以及涂敷方法，該涂敷裝置以及涂敷方法在構(gòu)成通過連結(jié)部連結(jié)噴嘴與固化機(jī)構(gòu)的涂膜形成單元的情況下，能夠適當(dāng)?shù)卮_保噴嘴的行進(jìn)速度(涂敷處理速度)而進(jìn)行適當(dāng)?shù)耐糠筇幚恚瑫r(shí)能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行固化處理開始時(shí)刻的調(diào)整，另外也能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行固化處理速度(固化處理時(shí)間)的調(diào)整。
[0021]【用于解決課題的方案】
[0022]本發(fā)明所涉及的涂敷裝置使噴出涂液的噴嘴與使涂液固化的固化機(jī)構(gòu)經(jīng)由連結(jié)部連結(jié)而成的涂膜形成單元沿基板的長(zhǎng)度方向行進(jìn)移動(dòng)，在利用該噴嘴對(duì)基板進(jìn)行涂敷處理之后，利用該固化機(jī)構(gòu)對(duì)涂敷于基板的涂液進(jìn)行固化處理，所述涂敷裝置的特征在于，在所述連結(jié)部具備對(duì)所述噴嘴與所述固化機(jī)構(gòu)的水平方向間隔進(jìn)行調(diào)整的調(diào)整機(jī)構(gòu)。
[0023]所述涂敷裝置的特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)具備用于使所述固化機(jī)構(gòu)相對(duì)于所述噴嘴進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0024]所述涂敷裝置的特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)是使所述固化機(jī)構(gòu)能夠沿著基板的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0025]所述涂敷裝置的特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)是使所述固化機(jī)構(gòu)能夠沿著基板面回旋的回旋機(jī)構(gòu)。
[0026]所述涂敷裝置的特征在于，所述固化機(jī)構(gòu)在基板的寬度方向上排列多個(gè)，所述連結(jié)部為了將這些固化機(jī)構(gòu)獨(dú)立地與所述噴嘴連結(jié)而設(shè)有多個(gè)。
[0027]本發(fā)明所涉及的涂敷方法的特征在于，該涂敷方法使用具備上述調(diào)整機(jī)構(gòu)的涂敷裝置，在利用所述調(diào)整機(jī)構(gòu)設(shè)定所述噴嘴與所述固化機(jī)構(gòu)的水平方向間隔之后，使所述涂膜形成單元行進(jìn)移動(dòng)，進(jìn)行利用該噴嘴的涂敷處理與利用該固化機(jī)構(gòu)的固化處理。
[0028]本發(fā)明所涉及的涂敷方法的特征在于，該涂敷方法使用具備具有上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的調(diào)整機(jī)構(gòu)的涂敷裝置，在使所述涂膜形成單元行進(jìn)移動(dòng)而進(jìn)行利用所述噴嘴的涂敷處理時(shí),一邊通過所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述固化機(jī)構(gòu)相對(duì)于該噴嘴相對(duì)移動(dòng),一邊進(jìn)行固化處理。
[0029]【發(fā)明效果】
[0030]在本發(fā)明所涉及的涂敷裝置以及涂敷方法中，在構(gòu)成通過連結(jié)部連結(jié)噴嘴與固化機(jī)構(gòu)而成的涂膜形成單元的情況下，能夠適當(dāng)?shù)卮_保噴嘴的行進(jìn)速度(涂敷處理速度)而進(jìn)行適當(dāng)?shù)耐糠筇幚?，同時(shí)能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行固化處理開始時(shí)刻的調(diào)整，另外也能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行固化處理速度(固化處理時(shí)間)的調(diào)整。
【附圖說明】
[0031]圖1是表示本發(fā)明的涂敷裝置的第一實(shí)施方式的立體圖。
[0032]圖2是圖1所示的涂敷裝置的俯視圖。
[0033]圖3是表示利用圖1所示的涂敷裝置在基板上形成涂膜的狀態(tài)的側(cè)視圖。
[0034]圖4是說明本發(fā)明的涂敷方法的優(yōu)選實(shí)施方式的概略說明圖。
[0035]圖5是表示第一實(shí)施方式的變形例的涂敷裝置的俯視圖。
[0036]圖6是表示本發(fā)明的涂敷裝置的第二實(shí)施方式的俯視圖。
[0037]圖7是圖6中的A方向向視局部放大圖。
[0038]圖8是說明【背景技術(shù)】的說明圖。
[0039]符號(hào)說明
[0040]1涂敷裝置
[0041]2 基板
[0042]2a涂敷始端
[0043]2b涂敷終端
[0044]3工作臺(tái)
[0045]4 基臺(tái)
[0046]5行進(jìn)導(dǎo)軌
[0047]6涂膜形成單元
[0048]7行進(jìn)體
[0049]7a 柱部
[0050]7b 梁部
[0051]7c前進(jìn)行進(jìn)方向前表面
[0052]7d升降用狹縫
[0053]7e前進(jìn)行進(jìn)方向后表面
[0054]8 噴嘴