一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽的制作方法
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明主要涉及硅片切割液回收利用裝置。
【背景技術】
[0002]在硅片切割生產(chǎn)過程中，作為金屬絲切割的負責耗材，硅片切割液并不可少，且價格較貴，使用量大。因此針對切割液的回收再利用以及使用維護的改進，能有效降低硅片加工的生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:針對上述現(xiàn)有存在的問題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，能有效對切割液進行實時在線維護，以及對接近報廢切割液進行聚乙二醇的回收再利用。
[0004]技術方案:為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術方案:一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設有切割液出口 ；所述初選裝置為截面是矩形的長條形，包括下殼體、上殼體和設在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設有粗液出口，所述上殼體設有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設有切割液進口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。
[0005]作為優(yōu)選，所述溢流槽內(nèi)液面上方空間連接有抽真空設備。
[0006]有益效果:與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明結構簡單，能對切割液進行初次篩選，過濾較大顆粒，為后續(xù)切割液的回收提供支持，實現(xiàn)了切割液的在線實時維護。
【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明所述回收槽的結構示意圖；
圖2為本發(fā)明所述初選裝置的結構示意圖；
圖3為本發(fā)明所述初選裝置的截面結構示意圖。
[0008]其中，槽體1、沉降槽2、溢流槽3、切割液進口 4、溢流隔板5、切割液出口 6、上殼體7、下殼體8、轉(zhuǎn)軸9、粗液出口 10、橡膠滾輪11、雜質(zhì)顆粒出口 12、舌頭13。
【具體實施方式】
[0009]下面結合具體實施例，進一步闡明本發(fā)明，應理解這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領域技術人員對本發(fā)明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。
[0010]如圖1所示，一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設有切割液出口 ；所述初選裝置為截面是矩形的長條形，包括下殼體、上殼體和設在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設有粗液出口，所述上殼體設有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設有切割液進口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。作為優(yōu)選，所述溢流槽內(nèi)液面上方空間連接有抽真空設備。
[0011]切割液經(jīng)過收集盤收集后從切割液進口進入初選裝置中，在轉(zhuǎn)軸的帶動下，含顆粒懸浮物的漿液由轉(zhuǎn)軸的上方經(jīng)過搭接的舌頭從雜質(zhì)顆粒出口排出，而較清潔的切割液則直接從底部的粗液出口流入沉降槽中，并經(jīng)過沉降切割液中的懸浮沉降顆粒，然后隨著液面上升從第一溢流隔板的頂部留下后進入兩塊隔板之間的間隙，并從第二溢流隔板的底部進入溢流槽，依次再經(jīng)過第三溢流隔板并從其頂部流入溢流槽中，隨后在負壓狀態(tài)下經(jīng)過微孔濾膜進行二級過濾，最后送至后續(xù)處理槽中進行物料補充和回收。
【主權項】
1.一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，其特征在于:包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設有切割液出口 ；所述初選裝置為截面是矩形的長條形，包括下殼體、上殼體和設在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設有粗液出口，所述上殼體設有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設有切割液進口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。2.根據(jù)權利要求1所述篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，其特征在于:所述溢流槽內(nèi)液面上方空間連接有抽真空設備。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種篩選溢流的硅片切割液初選回收槽，包括槽體和初選裝置，所述初選裝置設在槽體的入口處，所述槽體內(nèi)由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，溢流槽的底部設有切割液出口；所述初選裝置為截面是矩形的長條形，包括下殼體、上殼體和設在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設有粗液出口，所述上殼體設有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設有切割液進口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。本發(fā)明能有效對切割液進行實時在線維護，以及對接近報廢切割液進行聚乙二醇的回收再利用。
【IPC分類】B01D36/00, C10M175/00
【公開號】CN105363273
【申請?zhí)枴緾N201510791850
【發(fā)明人】朱琳
【申請人】揚州市志高建筑防水材料有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年11月17日