一種硅片切割液粗液回收系統(tǒng)的制作方法
【專利說明】一種硅片切割液粗液回收系統(tǒng)
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明主要涉及硅片切割液回收利用裝置。
【背景技術(shù)】
[0003]在硅片切割生產(chǎn)過程中，作為金屬絲切割的負(fù)責(zé)耗材，硅片切割液并不可少，且價(jià)格較貴，使用量大。因此針對(duì)切割液的回收再利用以及使用維護(hù)的改進(jìn)，能有效降低硅片加工的生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明目的:針對(duì)上述現(xiàn)有存在的問題和不足，本發(fā)明的目的是提供了一種硅片切割液粗液回收系統(tǒng)。
[0005]技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種硅片切割液粗液回收系統(tǒng)，包括切割液收集槽、切割液初選機(jī)構(gòu)和溢流回收槽，所述切割液初選機(jī)構(gòu)設(shè)在溢流回收槽的進(jìn)口處，同時(shí)與切割液收集槽連通；所述溢流回收槽包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口 ；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口 ；所述溢流隔板包括兩塊豎直設(shè)置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及兩側(cè)與槽體密封連接，且其高度低于槽體高度；而靠近溢流槽的隔板兩側(cè)與槽體密封連接，底部與溢流槽之間留有空隙。
[0006]作為優(yōu)選，所述初選裝置為截面是矩形的長條形，包括下殼體、上殼體和設(shè)在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設(shè)有粗液出口，所述上殼體設(shè)有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設(shè)有切割液進(jìn)口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設(shè)有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。
[0007]作為優(yōu)選，所述溢流槽還設(shè)有二級(jí)過濾機(jī)構(gòu)，所述二級(jí)過濾機(jī)構(gòu)包括網(wǎng)架和設(shè)在該網(wǎng)架上微孔濾膜。
[0008]作為優(yōu)選，所述微孔濾膜為中空纖維膜或陶瓷膜，孔徑為0.2?2.0um。
[0009]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明能在切割的同時(shí)對(duì)切割液進(jìn)行過濾篩選維護(hù)，延長切割液的使用壽命；并能對(duì)接近報(bào)廢的切割液進(jìn)行初篩，有理由后續(xù)的聚乙二醇的回收。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明所述硅片切割液粗液回收系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明所述初選裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為本發(fā)明所述初選裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]其中，切割液收集槽1、槽體2、沉降槽3、溢流槽4、溢流隔板5、切割液出口 6、上殼體7、下殼體8、轉(zhuǎn)軸9、粗液出口 10、橡膠滾輪11、雜質(zhì)顆粒出口 12、舌頭13、微孔濾膜14、網(wǎng)架15、切割液收集槽16。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。
[0013]一種硅片切割液粗液回收系統(tǒng)，包括切割液收集槽、切割液初選機(jī)構(gòu)和溢流回收槽，所述切割液初選機(jī)構(gòu)設(shè)在溢流回收槽的進(jìn)口處，同時(shí)與切割液收集槽連通；所述溢流回收槽包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口 ；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口 ；所述溢流隔板包括兩塊豎直設(shè)置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及兩側(cè)與槽體密封連接，且其高度低于槽體高度；而靠近溢流槽的隔板兩側(cè)與槽體密封連接，底部與溢流槽之間留有空隙。
[0014]作為優(yōu)選，所述初選裝置為截面是矩形的長條形，包括下殼體、上殼體和設(shè)在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設(shè)有粗液出口，所述上殼體設(shè)有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設(shè)有切割液進(jìn)口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設(shè)有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。作為優(yōu)選，所述溢流槽還設(shè)有二級(jí)過濾機(jī)構(gòu)，所述二級(jí)過濾機(jī)構(gòu)包括網(wǎng)架和設(shè)在該網(wǎng)架上微孔濾膜。作為優(yōu)選，所述微孔濾膜為中空纖維膜或陶瓷膜，孔徑為0.2?2.0um ο
[0015]切割液經(jīng)過收集盤收集后從切割液進(jìn)口進(jìn)入初選裝置中，在轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下，含顆粒懸浮物的漿液由轉(zhuǎn)軸的上方經(jīng)過搭接的舌頭從雜質(zhì)顆粒出口排出，而較清潔的切割液則直接從底部的粗液出口流入沉降槽中，并經(jīng)過沉降切割液中的懸浮沉降顆粒，然后隨著液面上升從第一溢流隔板的頂部留下后進(jìn)入兩塊隔板之間的間隙，并從第二溢流隔板的底部進(jìn)入溢流槽，依次再經(jīng)過第三溢流隔板并從其頂部流入溢流槽中，隨后在負(fù)壓狀態(tài)下經(jīng)過微孔濾膜進(jìn)行二級(jí)過濾，最后送至后續(xù)處理槽中進(jìn)行物料補(bǔ)充和回收。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片切割液粗液回收系統(tǒng)，其特征在于:包括切割液收集槽、切割液初選機(jī)構(gòu)和溢流回收槽，所述切割液初選機(jī)構(gòu)設(shè)在溢流回收槽的進(jìn)口處，同時(shí)與切割液收集槽連通；所述溢流回收槽包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口 ；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口 ；所述溢流隔板包括兩塊豎直設(shè)置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及兩側(cè)與槽體密封連接，且其高度低于槽體高度；而靠近溢流槽的隔板兩側(cè)與槽體密封連接，底部與溢流槽之間留有空隙。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片切割液粗液回收系統(tǒng)，其特征在于:所述初選裝置為截面是矩形的長條形，包括下殼體、上殼體和設(shè)在中間上下殼體中間的轉(zhuǎn)軸，所述下殼體的底部設(shè)有粗液出口，所述上殼體設(shè)有與轉(zhuǎn)軸平行相切的塑膠滾輪，上殼體還設(shè)有切割液進(jìn)口和雜質(zhì)顆粒出口，且該雜質(zhì)顆粒出口的前端設(shè)有與轉(zhuǎn)軸搭接的舌頭。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片切割液粗液回收系統(tǒng)，其特征在于:所述溢流槽還設(shè)有二級(jí)過濾機(jī)構(gòu)，所述二級(jí)過濾機(jī)構(gòu)包括網(wǎng)架和設(shè)在該網(wǎng)架上微孔濾膜。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述硅片切割液粗液回收系統(tǒng)，其特征在于:所述微孔濾膜為中空纖維膜或陶瓷膜，孔徑為0.2?2.0um。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種硅片切割液粗液回收系統(tǒng)，包括切割液收集槽、切割液初選機(jī)構(gòu)和溢流回收槽，所述切割液初選機(jī)構(gòu)設(shè)在溢流回收槽的進(jìn)口處，同時(shí)與切割液收集槽連通；所述溢流回收槽包括槽體，所述槽體內(nèi)設(shè)有溢流隔板將槽體分割成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的側(cè)壁的上部設(shè)有切割液進(jìn)口；所述沉降槽內(nèi)還水平的設(shè)有網(wǎng)架，該網(wǎng)架上鋪設(shè)有微孔濾膜，所述溢流槽的底部設(shè)有切割液出口；所述溢流隔板包括兩塊豎直設(shè)置的隔板，靠近沉降槽的隔板底部及兩側(cè)與槽體密封連接，且其高度低于槽體高度。本發(fā)明能在切割的同時(shí)對(duì)切割液進(jìn)行過濾篩選維護(hù)，延長切割液的使用壽命；并能對(duì)接近報(bào)廢的切割液進(jìn)行初篩，有理由后續(xù)的聚乙二醇的回收。
【IPC分類】B01D50/00, B28D7/00
【公開號(hào)】CN105363308
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510791627
【發(fā)明人】朱琳
【申請(qǐng)人】揚(yáng)州市志高建筑防水材料有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2015年11月17日