震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型有關(guān)一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，特別是指借由一濾波裝置，減緩液體震動(dòng)的一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]公知技術(shù)中有關(guān)管路內(nèi)部流動(dòng)的液體(如涂布液)，會(huì)隨著供料泵的推動(dòng)壓力，或是管路震動(dòng)等因素，使液體在供料管路或是狹縫噴嘴中帶有震動(dòng)，進(jìn)而影響液體輸出的穩(wěn)定性。
[0003]如中國專利第CN201310392465.1號專利案“降低管路振動(dòng)的動(dòng)力吸振器及設(shè)計(jì)方法”，是使用管外結(jié)合彈簧片借以緩沖管路的震波，屬于吸振技術(shù)領(lǐng)域，其中，動(dòng)力吸振器包括通過第一螺栓、第一螺母連接在一起的一對管道夾持件，一對管道夾持件外部均布安裝N個(gè)彈簧片；彈簧片末端安裝有附加質(zhì)量塊，以便降低各種管路系統(tǒng)振動(dòng)。
[0004]再如中國臺灣專利第1386254號“噴涂裝置及具有此噴涂裝置的液晶涂布機(jī)”專利案，包含:主框架；提供于主框架上的平臺；可移動(dòng)地連接主框架的涂布頭單元支撐框；移動(dòng)涂布頭單元支撐框的第一驅(qū)動(dòng)單元；提供于涂布頭單元支撐框的第二驅(qū)動(dòng)單元；以及噴涂裝置，其連接涂布頭單元支撐框，可由第二驅(qū)動(dòng)單元移動(dòng)，其中，噴涂裝置包含:支撐組件，可移動(dòng)地連接涂布頭單元支撐框；圓筒組件，具有流入口及流出口于其外表面，可拆卸地連接支撐組件；以及噴涂單元，噴涂自流出口排出的液晶于母基板。當(dāng)施加電場時(shí)，壓電裝置產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力，借此震動(dòng)連接管。
[0005]據(jù)上所述，公知技術(shù)中管路的吸震是采用管外吸震的裝置，借以減低管路的震動(dòng)，但對于管內(nèi)液體的震動(dòng)，則無具體改善的功效。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，可緩沖因供料泵或其它機(jī)械所產(chǎn)生的液體震動(dòng)，進(jìn)而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
[0007]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種震波緩沖裝置，其安裝于一用以傳輸液體的涂布系統(tǒng)，涂布系統(tǒng)具有一供料泵與一噴嘴，震波緩沖裝置包括:一腔體；用以提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)的一濾波裝置，該濾波裝置容置于腔體內(nèi)，該濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙；一輸入管，其一端連結(jié)供料泵，另一端連接該腔體，其中液體流經(jīng)輸入管時(shí)帶有一第一震波；及一輸出管，其一端連結(jié)噴嘴，另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸出管時(shí)帶有一第二震波，第二震波的振幅小于第一震波的振幅。
[0008]該濾波裝置為金屬網(wǎng)狀多孔體、碳纖多孔體、樹脂多孔體、塑料多孔體或陶瓷多孔體。
[0009]該腔體的內(nèi)徑大于該輸入管以及該輸出管的內(nèi)徑。
[0010]本實(shí)用新型還提供一種涂布系統(tǒng)，其具有一供料泵、一噴嘴與一震波緩沖裝置，其中震波緩沖裝置包括:一腔體；用以提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)的一濾波裝置，該濾波裝置容置于腔體內(nèi)，濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙；一輸入管，其一端連結(jié)供料泵，另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸入管時(shí)帶有一第一震波；及一輸出管，其一端連結(jié)噴嘴，另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸出管時(shí)帶有一第二震波，第二震波的振幅小于第一震波的振幅。
[0011]該涂布系統(tǒng)為涂布機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)、剝膜機(jī)或清洗機(jī)。
[0012]本實(shí)用新型的震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，可緩沖因供料泵或其它機(jī)械所產(chǎn)生的液體震動(dòng)，進(jìn)而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型震波緩沖裝置的示意圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型中輸入管內(nèi)第一震波及部分放大的示意圖；
[0015]圖3為本實(shí)用新型中輸入管內(nèi)第二震波及部分放大的示意圖；
[0016]圖4為本實(shí)用新型涂布系統(tǒng)的使用示意圖。
[0017]附圖標(biāo)記說明
[0018]10震波緩沖裝置
[0019]11 腔體
[0020]12輸出管
[0021]13輸入管
[0022]14濾波裝置
[0023]20供料泵
[0024]30涂布系統(tǒng)
[0025]40 噴嘴
[0026]31 液體
[0027]51第一震波
[0028]52 第二震波。
【具體實(shí)施方式】
[0029]請參考圖1，本實(shí)用新型提供一種震波緩沖裝置10，適用于一用以傳輸液體31的涂布系統(tǒng)30 (見圖4)。涂布系統(tǒng)30用以在一基材(如玻璃基板或軟性基板)均勻涂布液體31或噴出液體31。涂布系統(tǒng)30具有一供料泵與一噴嘴，液體31可為一化學(xué)藥液。
[0030]震波緩沖裝置10包括一腔體11、一濾波裝置14、一輸入管13及一輸出管12。
[0031]濾波裝置14容置于腔體11內(nèi)，且濾波裝置14內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，濾波裝置14用以提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)。
[0032]輸入管13的一端連結(jié)該供料泵20 (見圖4)，且另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸入管13時(shí)帶有一第一震波51 (見圖2)。
[0033]輸出管12的一端連結(jié)噴嘴40 (見圖4)，另一端連接腔體。液體流經(jīng)該輸出管12時(shí)帶有一第二震波52 (見圖3)。第二震波52小于第一震波51。
[0034]請參考圖2，是輸入管13內(nèi)第一震波51的不意圖與第一震波51的部分放大不意圖。如圖所示，液體在流經(jīng)輸入管13時(shí)帶有一第一震波51。其中，第一震波51可為脈沖式的突波震動(dòng)，或任意形式的震動(dòng)。此外，第一震波51的振幅約為±0.6kpa(上述振幅值僅為一實(shí)施例的示意，實(shí)際上可為其它振幅值)。
[0035]請?jiān)賲⒖紙D3，是輸出管12內(nèi)第二震波52的示意圖與第二震波52的部分放大示意圖。如圖所示，液體在流經(jīng)輸出管12時(shí)帶有一第二震波52。其中，第二震波52可為脈沖式的突波震動(dòng)，或任意形式的震動(dòng)。于實(shí)施例中，第二震波52的振幅約為±0.1kpa(上述振幅值僅為本實(shí)施例的示意，實(shí)際上可為小于第一震波51振幅的其它振幅值)。
[0036]由于濾波裝置14內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，故可提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)或破壞震波以達(dá)到緩沖震波的效果。因此，第二震波52的振幅小于第一震波51的振幅。借此，液體經(jīng)噴嘴吐出時(shí)，不僅液體的震動(dòng)被減緩、噴嘴的供液穩(wěn)定度增加，更能提升在基材表面的液體均勻度。
[0037]請參考圖1，腔體11的內(nèi)徑大于輸入管13以及輸出管12的內(nèi)徑。由輸入管13的液體31進(jìn)入內(nèi)徑較大的腔體11時(shí)，液體31的液壓降低，然后液體31流至輸出管12。
[0038]濾波裝置14可為一金屬網(wǎng)狀多孔體、一碳纖多孔體、一樹脂多孔體、一塑料多孔體或一陶瓷多孔體。實(shí)際上，濾波裝置14可以是聚丙烯(Polypropylene, PP)或聚四氟乙稀(Polytetraf luoroethene, PTFE)的濾棉結(jié)構(gòu)所形成的多孔體，或是一種納米碳纖維組成海綿狀的多孔體，或是一種纖維狀組織所相互交織而成的多孔體。
[0039]請參閱圖4，為本實(shí)用新型涂布系統(tǒng)30的示意圖(本實(shí)施例中，涂布系統(tǒng)30包含復(fù)數(shù)輸入管13與復(fù)數(shù)輸出管12 ;本實(shí)用新型中的“一”代表一種，而非數(shù)量“一”的限制)。本實(shí)用新型的涂布系統(tǒng)30包括:一供料泵20、一噴嘴40與一震波緩沖裝置10。其中震波緩沖裝置10包括:
[0040]一腔體 11;
[0041]一濾波裝置14，容置于腔體11內(nèi)，該濾波裝置14內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，濾波裝置14用以提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)或破壞震波；
[0042]一輸入管13，其一端連結(jié)供料泵20，另一端連接該腔體11，其中液體流經(jīng)輸入管13時(shí)帶有一第一震波51 (圖中未示)；及
[0043]一輸出管12，其一端連結(jié)噴嘴40，另一端連接腔體11，其中液體流經(jīng)輸出管12時(shí)帶有一第二震波52 (圖中未不)，其中第二震波52小于第一震波51。
[0044]涂布系統(tǒng)30可為一涂布機(jī)(coater)、顯影機(jī)(developer)、蝕刻機(jī)(etcher)、剝膜機(jī)(stripper)、清洗機(jī)(cleaner)。
[0045]綜上所述，借由本實(shí)用新型的震波緩沖裝置或涂布系統(tǒng)，基材進(jìn)行化學(xué)工藝(如涂布工藝、顯影工藝、蝕刻工藝、清洗工藝或剝膜工藝)時(shí)，可緩沖因供料泵或其它機(jī)械所產(chǎn)生的液體震動(dòng)，進(jìn)而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
[0046]以上所述，僅記載本實(shí)用新型為呈現(xiàn)解決問題所采用的技術(shù)手段的較佳實(shí)施方式或?qū)嵤├眩⒎怯脕硐薅ū緦?shí)用新型專利實(shí)施的范圍。即凡是與本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍文義相符，或依本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍所做的均等變化與修飾，均為本實(shí)用新型專利范圍所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種震波緩沖裝置，其安裝于一用以傳輸液體的涂布系統(tǒng)，其特征在于，該涂布系統(tǒng)具有一供料泵與一噴嘴，該震波緩沖裝置包括: 一腔體； 用以提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)的一濾波裝置，該濾波裝置容置于該腔體內(nèi)，該濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙； 一輸入管，其一端連結(jié)該供料泵，另一端連接該腔體，其中該液體流經(jīng)該輸入管時(shí)帶有一第一震波；及 一輸出管，其一端連結(jié)該噴嘴，另一端連接該腔體，該液體流經(jīng)該輸出管時(shí)帶有一第二震波，其中該第二震波的振幅小于該第一震波的振幅。
2.如權(quán)利要求1所述的震波緩沖裝置，其特征在于，該濾波裝置為金屬網(wǎng)狀多孔體、碳纖多孔體、樹脂多孔體、塑料多孔體或陶瓷多孔體。
3.如權(quán)利要求1所述的震波緩沖裝置，其特征在于，該腔體的內(nèi)徑大于該輸入管以及該輸出管的內(nèi)徑。
4.一種涂布系統(tǒng)，其特征在于，其包括:一供料泵、一噴嘴與一震波緩沖裝置；其中震波緩沖裝置，包括: 一腔體； 用以提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)的一濾波裝置，該濾波裝置容置于該腔體內(nèi)，該濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙； 一輸入管，其一端連結(jié)該供料泵，另一端連接該腔體，其中液體流經(jīng)該輸入管時(shí)帶有一第一震波；以及一輸出管，其一端連結(jié)該噴嘴，另一端連接該腔體，其中液體流經(jīng)該輸出管時(shí)帶有一第二震波，其中該第二震波的振幅小于該第一震波的振幅。
5.如權(quán)利要求4所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，該涂布系統(tǒng)為涂布機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)、剝膜機(jī)或清洗機(jī)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，震波緩沖裝置適用于一用以傳輸液體的涂布系統(tǒng)。其中，涂布系統(tǒng)具有一供料泵與一噴嘴。震波緩沖裝置包括：輸入管、腔體、輸出管、以及濾波裝置；濾波裝置容置于腔體內(nèi)，濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，用以提供液體流通并吸收液體的震動(dòng)；輸入管一端連結(jié)供料泵，另一端連接腔體，液體于流經(jīng)輸入管時(shí)帶有一第一震波；輸出管一端連結(jié)噴嘴，另一端連接腔體，液體于流經(jīng)輸出管時(shí)帶有一第二震波，第二震波小于該第一震波。本實(shí)用新型可緩沖因供料泵或其它機(jī)械所產(chǎn)生的液體震動(dòng)，進(jìn)而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
【IPC分類】F16L55-027, B05B13-00, B05C11-10, F16L55-04
【公開號】CN204448454
【申請?zhí)枴緾N201520011602
【發(fā)明人】徐啟敏, 張志安
【申請人】亞智科技股份有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年1月8日