一種稱量配液裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種稱量配液裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性被廣泛應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)線。由于集成電路芯片的高規(guī)格要求，需要對所用的石英鐘罩進(jìn)行嚴(yán)格的清洗?，F(xiàn)有技術(shù)清洗設(shè)備中清洗液一般采用人工配制和手動加入，石英鐘罩的清洗液一般采用強(qiáng)酸和強(qiáng)堿按一定比例配制后使用，采用人工操作會對人體健康造成危害，且人工配制會有很多不可控制因素，人體的疲勞程度、觀察角度和人員責(zé)任心都會影響清洗液的配比是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種可實(shí)現(xiàn)自動配制補(bǔ)給清洗液的功能的稱量配液裝置；本實(shí)用新型的一種稱量配液裝置，包括至少兩個稱量桶，所述稱量桶上部通過進(jìn)液閥與未配制的清洗液相連，下部通過排液閥與清洗部相連，所述進(jìn)液閥與稱量桶之間還設(shè)有磁力泵；所述進(jìn)液閥、排液閥和磁力泵與電氣控制裝置相連。
[0004]優(yōu)選的，所述稱量桶上設(shè)有液位傳感器，所述液位傳感器通過感應(yīng)液位的高低控制進(jìn)液閥和排液閥的開合。
[0005]優(yōu)選的，所述稱量桶從上至下依次至少設(shè)置三個液位傳感器。
[0006]優(yōu)選的，所述稱量桶上端還設(shè)有排氣口。
[0007]優(yōu)選的，所述進(jìn)液閥包括氣動閥和手動閥，所述排液閥包括氣動閥。
[0008]優(yōu)選的，所述稱量桶還連接有調(diào)壓裝置。
[0009]優(yōu)選的，所述電氣控制裝置包括PLC可編程控制器。
[0010]本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的有益效果為:1、本實(shí)用新型采用自動配液補(bǔ)液裝置，可減少人為干預(yù)，對操作人員依賴少，減少人為犯錯因素，同時對操作人員人身安全起到了極大的保護(hù)作用，且配液精度高；2、本實(shí)用新型通過設(shè)置液位傳感器，每個稱量桶可設(shè)置不同液位，根據(jù)工作槽混合液的比例及工作槽內(nèi)所需混合液的量，按比例設(shè)置每種溶液在稱量桶中的高液位、中液位的量，初配液時通過程序控制稱量桶底部的自動閥門，依靠重力作用流向工作槽，當(dāng)稱量桶流到中間液位時，下部自動閥門關(guān)閉，配液完成，整個配液過程采用傳感器控制，精確方便；3、本實(shí)用新型采用計(jì)量桶配液代替計(jì)量泵，投入較少，性能穩(wěn)定，準(zhǔn)確性高，更加環(huán)保。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中稱量配液部的連接結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖中，1、稱量桶；2、液位傳感器；3、排氣口 ；4、手動閥；5、氣動閥；6、磁力泵；7、清洗部；8、清洗液回收槽；9、氣體自動閥。
【具體實(shí)施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步描述。
[0014]本實(shí)施例的一種稱量配液裝置，如圖1所示，包括至少兩個不同大小的稱量桶1，稱量桶的個數(shù)和大小根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，本實(shí)施例稱量桶個數(shù)優(yōu)選為5個，每個稱量桶所能容納的體積根據(jù)配液比例設(shè)定。稱量桶I上部通過進(jìn)液閥與未配制的清洗液相連，下部通過排液閥與清洗部7相連，清洗部7下方接入清洗液回收槽8 ;進(jìn)液閥與稱量桶I之間還設(shè)有磁力泵6，通過磁力泵6將儲液槽中的液體泵入稱量桶中；進(jìn)液閥、磁力泵和排液閥均與電氣控制裝置相連，通過電氣控制裝置控制各閥門的開關(guān)。進(jìn)液閥包括氣動閥5和手動閥4，排液閥包括氣動閥5。電氣控制裝置包括PLC可編程控制器。
[0015]如圖1所示，稱量桶I上設(shè)有液位傳感器2，液位傳感器2通過感應(yīng)液位的高低控制進(jìn)液閥和排液閥的開合。稱量桶從上至下依次至少設(shè)置三個液位傳感器。稱量桶上端還設(shè)有排氣口 3，方便稱量桶進(jìn)液和排液。稱量桶還連接有調(diào)壓裝置，調(diào)壓裝置為氣體自動閥9。
[0016]本裝置使用稱量桶進(jìn)行初配液、補(bǔ)液，配液補(bǔ)液量精確，誤差較小，對工藝制程影響很小，市場反應(yīng)度較好。以半導(dǎo)體清洗常用的SCl溶液為例，SCl溶液構(gòu)成為:純水、氨水、雙氧水；初配液根據(jù)三種溶液的比例設(shè)置不同容積的三個稱量桶；工作過程中，伴隨著清洗過程的進(jìn)行，氨水和雙氧水都會有消耗，這樣要想穩(wěn)定不同時間、不同批次的清洗，就要通過電氣控制部控制稱量配液部補(bǔ)給清洗液。本實(shí)施例稱量桶的實(shí)現(xiàn)原理:稱量桶是根據(jù)液位差來實(shí)現(xiàn)的。每個稱量桶設(shè)置有高中低三個液位，根據(jù)工作槽混合液的比例及工作槽內(nèi)所需混合液的量，按比例設(shè)置每種溶液在稱量桶中高液位、中液位的量，初配液時通過程序控制稱量桶底部的自動閥門，依靠重力作用流向工作槽，當(dāng)稱量桶流到中間液位時，下部自動閥門關(guān)閉，配液完成。根據(jù)程序控制，稱量桶上端閥門會自動打開，補(bǔ)充溶液到高液位，以備下次初配液使用。補(bǔ)液動作原理與初配液原理相同，整個補(bǔ)充過程是根據(jù)工藝制程經(jīng)驗(yàn)定時定量補(bǔ)充。
[0017]在以上的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是以上描述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，因此本實(shí)用新型不受上面公開的具體實(shí)施的限制。同時任何熟悉本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本實(shí)用新型技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種稱量配液裝置，其特征在于，包括至少兩個稱量桶，所述稱量桶上部通過進(jìn)液閥與未配制的清洗液相連，下部通過排液閥與清洗部相連，所述進(jìn)液閥與稱量桶之間還設(shè)有磁力泵；所述進(jìn)液閥、排液閥和磁力泵與電氣控制裝置相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種稱量配液裝置，其特征在于，所述稱量桶上設(shè)有液位傳感器，所述液位傳感器通過感應(yīng)液位的高低控制進(jìn)液閥和排液閥的開合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種稱量配液裝置，其特征在于，所述稱量桶從上至下依次至少設(shè)置三個液位傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種稱量配液裝置，其特征在于，所述稱量桶上端還設(shè)有排氣□ O
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種稱量配液裝置，其特征在于，所述進(jìn)液閥包括氣動閥和手動閥，所述排液閥包括氣動閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種稱量配液裝置，其特征在于，所述稱量桶還連接有調(diào)壓裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種稱量配液裝置，其特征在于，所述電氣控制裝置包括PLC可編程控制器。
【專利摘要】本實(shí)用新型的一種稱量配液裝置，包括至少兩個稱量桶，所述稱量桶上部通過進(jìn)液閥與未配制的清洗液相連，下部通過排液閥與清洗部相連，所述進(jìn)液閥與稱量桶之間還設(shè)有磁力泵；所述進(jìn)液閥、排液閥和磁力泵與電氣控制裝置相連。本實(shí)用新型采用自動配液補(bǔ)液裝置，可減少人為干預(yù)，對操作人員依賴少，減少人為犯錯因素，同時對操作人員人身安全起到了極大的保護(hù)作用，且配液精度高。
【IPC分類】B01F15-04, B01F15-02
【公開號】CN204502985
【申請?zhí)枴緾N201520128134
【發(fā)明人】裴文龍
【申請人】菏澤力芯電子科技有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年3月5日