本發(fā)明涉及芯片生產(chǎn)設備，更具體地說，是涉及一種芯片自動化檢測篩選分料裝置。

背景技術：

1、在芯片制作完成后，需要對芯片的外觀質量進行檢測，從而將不良品和良品分出。其中，現(xiàn)有的芯片檢測工藝主要包括兩個步驟，第一步驟是芯片的轉運，現(xiàn)有的轉運裝置在轉移效率、轉移裝置的適配性等方面還存在不足，以及轉移裝置會產(chǎn)生塵屑影響芯片外觀檢測，第二步驟是芯片的檢測，在芯片批量檢測方面以及檢測后批量挑選方面還存在不足。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術中的上述缺陷，提供一種可完成芯片的自動上料、自動換倉、芯片的上下料運輸、芯片的批量檢測篩選、不良品的搬運分料等一系列自動化作業(yè)的芯片自動化檢測篩選分料裝置。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，包括機架、用于通過升降切換不同的彈夾倉的彈夾倉升降機構、用于層疊放置有若干塊待檢載板的彈夾倉、用于帶動出倉推板機構和載板運輸機構在y軸方向上移動的y軸移動機構、用于將彈夾倉內的待檢載板推出的出倉推板機構、用于載板運輸?shù)妮d板運輸機構、用于帶動視覺檢測機構和不良品搬運機構在x軸方向和y軸方向移動的xz軸檢測移動機構、用于對待檢載板上的芯片進行視覺檢測的視覺檢測機構、用于將待檢載板上的不良芯片吸取搬運到不良品放置架上的不良品搬運機構、以及用于將存放不良芯片的不良品放置架，所述y軸移動機構安裝在機架上，所述出倉推板機構和載板運輸機構均安裝在y軸移動機構，所述出倉推板機構位于載板運輸機構的中部，所述彈夾倉升降機構位于載板運輸機構的進料端一邊，所述彈夾倉設有至少兩個并從上往下依次安裝在彈夾倉升降機構上，所述xz軸檢測移動機構位于載板運輸機構的后側，所述視覺檢測機構和不良品搬運機構均安裝在xz軸檢測移動機構上并位于載板運輸機構的上方，所述不良品放置架位于載板運輸機構的前側。

3、作為優(yōu)選的，所述載板運輸機構包括輸送側板、輸送滾輪、滾輪驅動電機、滾輪聯(lián)動軸、第一磁鐵輪、第二磁鐵輪、第三磁鐵輪和第四磁鐵輪，所述輸送側板設有兩塊并互相平行，所述輸送滾輪可轉動地安裝在兩塊輸送側板的內側面，所述滾輪驅動電機安裝在兩塊輸送側板的外側面，所述滾輪聯(lián)動軸可轉動地水平安裝在兩塊輸送側板的外側面，所述第一磁鐵輪安裝在滾輪驅動電機的輸出軸上，所述第二磁鐵輪和第三磁鐵輪分別安裝在滾輪聯(lián)動軸上，所述第四磁鐵輪安裝在輸送滾輪的輪軸上，所述第一磁鐵輪與第二磁鐵輪磁性配合，所述第三磁鐵輪與第四磁鐵輪磁性配合，所述滾輪驅動電機能夠通過第一磁鐵輪和第二磁鐵輪帶動滾輪聯(lián)動軸旋轉，所述滾輪聯(lián)動軸通過第三磁鐵輪和第四磁鐵輪帶動輸送滾輪旋轉。

4、作為優(yōu)選的，所述彈夾倉升降機構包括彈夾倉升降驅動模組和升降座，所述彈夾倉升降驅動模組與升降座傳動連接并帶動其上下移動，所述升降座上設有至少兩個從上往下依次排列的升降臺，所述彈夾倉安裝在每個升降臺上。

5、作為優(yōu)選的，所述y軸移動機構包括y軸線性模組和y軸移動板，所述y軸線性模組與y軸移動板傳動連接，所述出倉推板機構和載板運輸機構均安裝在y軸移動板上。

6、作為優(yōu)選的，所述出倉推板機構包括出倉推板線性模組、出倉推板升降氣缸和用于推動待檢載板的出倉推塊，所述出倉推板線性模組位于載板運輸機構的兩塊輸送側板之間，所述出倉推板升降氣缸安裝在出倉推板線性模組的傳動塊上，所述出倉推板線性模組能夠帶動出倉推板升降氣缸沿y軸方向來回移動，所述出倉推板升降氣缸與出倉推塊傳動連接并帶動其上下移動。

7、作為優(yōu)選的，所述xz軸檢測移動機構包括模組支架和xz軸線性驅動模組，所述xz軸線性驅動模組通過模組支架安裝在機架上。

8、作為優(yōu)選的，所述視覺檢測機構包括檢測支架、ccd相機和光源，所述檢測支架安裝在xz軸檢測移動機構的z軸上，所述ccd相機和光源均安裝在檢測支架上，所述ccd相機位于光源的上方。

9、作為優(yōu)選的，所述不良品搬運機構包括吸盤支架和不良品吸盤，所述不良品吸盤通過吸盤支架安裝在xz軸檢測移動機構的z軸上。

10、作為優(yōu)選的，所述機架的底部設有能夠升降調節(jié)的支撐腳。

11、與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果在于：

12、1、本發(fā)明的結構設計合理，設有機架、彈夾倉升降機構、彈夾倉、y軸移動機構、出倉推板機構、載板運輸機構、xz軸檢測移動機構、視覺檢測機構、不良品搬運機構和不良品放置架，可完成芯片的自動上料、自動換倉、芯片的上下料運輸、芯片的批量檢測篩選、不良品的搬運分料等一系列自動化作業(yè)，自動化程度高，運行穩(wěn)定可靠，大大提高了生產(chǎn)效率，并且設備的體積小，降低了設備的使用成本。

13、2、本發(fā)明的載板運輸機構采用磁性傳動方式替代了傳統(tǒng)的齒輪傳動方式，其可實現(xiàn)無接觸式傳動，避免傳動時產(chǎn)生塵屑，不會影響芯片的清潔度。

技術特征：

1.一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：包括機架、用于通過升降切換不同的彈夾倉的彈夾倉升降機構、用于層疊放置有若干塊待檢載板的彈夾倉、用于帶動出倉推板機構和載板運輸機構在y軸方向上移動的y軸移動機構、用于將彈夾倉內的待檢載板推出的出倉推板機構、用于載板運輸?shù)妮d板運輸機構、用于帶動視覺檢測機構和不良品搬運機構在x軸方向和y軸方向移動的xz軸檢測移動機構、用于對待檢載板上的芯片進行視覺檢測的視覺檢測機構、用于將待檢載板上的不良芯片吸取搬運到不良品放置架上的不良品搬運機構、以及用于將存放不良芯片的不良品放置架，所述y軸移動機構安裝在機架上，所述出倉推板機構和載板運輸機構均安裝在y軸移動機構，所述出倉推板機構位于載板運輸機構的中部，所述彈夾倉升降機構位于載板運輸機構的進料端一邊，所述彈夾倉設有至少兩個并從上往下依次安裝在彈夾倉升降機構上，所述xz軸檢測移動機構位于載板運輸機構的后側，所述視覺檢測機構和不良品搬運機構均安裝在xz軸檢測移動機構上并位于載板運輸機構的上方，所述不良品放置架位于載板運輸機構的前側；

2.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：所述彈夾倉升降機構包括彈夾倉升降驅動模組和升降座，所述彈夾倉升降驅動模組與升降座傳動連接并帶動其上下移動，所述升降座上設有至少兩個從上往下依次排列的升降臺，所述彈夾倉安裝在每個升降臺上。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：所述y軸移動機構包括y軸線性模組和y軸移動板，所述y軸線性模組與y軸移動板傳動連接，所述出倉推板機構和載板運輸機構均安裝在y軸移動板上。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：所述出倉推板機構包括出倉推板線性模組、出倉推板升降氣缸和用于推動待檢載板的出倉推塊，所述出倉推板線性模組位于載板運輸機構的兩塊輸送側板之間，所述出倉推板升降氣缸安裝在出倉推板線性模組的傳動塊上，所述出倉推板線性模組能夠帶動出倉推板升降氣缸沿y軸方向來回移動，所述出倉推板升降氣缸與出倉推塊傳動連接并帶動其上下移動。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：所述xz軸檢測移動機構包括模組支架和xz軸線性驅動模組，所述xz軸線性驅動模組通過模組支架安裝在機架上。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：所述視覺檢測機構包括檢測支架、ccd相機和光源，所述檢測支架安裝在xz軸檢測移動機構的z軸上，所述ccd相機和光源均安裝在檢測支架上，所述ccd相機位于光源的上方。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：所述不良品搬運機構包括吸盤支架和不良品吸盤，所述不良品吸盤通過吸盤支架安裝在xz軸檢測移動機構的z軸上。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，其特征在于：所述機架的底部設有能夠升降調節(jié)的支撐腳。

技術總結
本發(fā)明公開了一種芯片自動化檢測篩選分料裝置，包括機架、彈夾倉升降機構、至少兩個彈夾倉、Y軸移動機構、出倉推板機構、載板運輸機構、XZ軸檢測移動機構、視覺檢測機構、不良品搬運機構和不良品放置架，可完成芯片的自動上料、自動換倉、芯片的上下料運輸、芯片的批量檢測篩選、不良品的搬運分料等一系列自動化作業(yè)，自動化程度高，運行穩(wěn)定可靠，大大提高了生產(chǎn)效率，并且設備的體積小，降低了設備的使用成本。此外，本發(fā)明的載板運輸機構采用磁性傳動方式替代了傳統(tǒng)的齒輪傳動方式，其可實現(xiàn)無接觸式傳動，避免傳動時產(chǎn)生塵屑，不會影響芯片的清潔度。

技術研發(fā)人員：張華,莫武強,馮文燦
受保護的技術使用者：東莞廣達智能科技有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/9/9