專利名稱::等離子體顯示面板和形成等離子體顯示面板的障肋的方法等離子體顯示面板和形成等離子體顯示面板的障肋的方法4支術(shù)領(lǐng)域各實施例涉及一種等離子體顯示面板(PDP)和形成PDP障肋的方法。技術(shù)背景通常,等離子體顯示面板(PDP)是使用由氣體放電產(chǎn)生的紫外線來激發(fā)熒光材料來顯示預定圖像的顯示裝置。PDP作為下一代薄板顯示器由于其高分辨率和潛在的大屏幕尺寸而受到關(guān)注。PDP可根據(jù)所使用的驅(qū)動方法分為例如直流(DC)PDP、交流(AC)PDP、混合型PDP。直流PDP和交流PDP可以根據(jù)其放電結(jié)構(gòu)進一步分為例如對向》文電式PDP或表面》丈電式PDP。最近,交流PDP已經(jīng)得到普及。在傳統(tǒng)的PDP中,障肋可通過噴沙形成。但是,在大規(guī)模生產(chǎn)中,噴沙可以造成障肋中大量的開口缺陷。因此,可以在PDP的形成中采用蝕刻法作為4吏障肋減少開口缺陷的方法。該蝕刻法可以通過在將形成》文電單元之處噴灑蝕刻溶液而將障肋圖樣化。在PDP中,可以通過其中分別含有紅、綠和藍熒光層的紅、綠和藍》丈電單元來顯示彩色圖像。不過,紅、綠和藍的熒光材料可在不同程度上有助于顯示亮度,增大發(fā)光效率,和/或提高色溫。傳統(tǒng)的涉及均一障肋結(jié)構(gòu)的PDP技術(shù)還未解決在不同熒光層之間的特性和性能差異這一相關(guān)問題。
發(fā)明內(nèi)容因此,各實施例涉及一種等離子體顯示面板(PDP)和形成PDP障肋的方法,該面板和方法基本克服了由于現(xiàn)有技術(shù)的局限性和缺陷而造成的一個或多個問題。因此,本發(fā)明的實施例的一個特征在于,提供一種PDP和制造該PDP障肋的方法,該方法減少了障肋的開口缺陷。因此,實施例的另一特征在于,^是供了一種PDP和制造該PDP的障肋的方法,該PDP包括》文電單元中的不同的》丈電空間。因此,實施例的另一特征在于,提供了一種PDP和制造該PDP的障肋的方法,該PDP具有對于不同放電空間的不同厚度的障肋。因此,實施例的另一特征在于,提供了一種PDP和制造該PDP的障肋的方法,該PDP在不同的放電空間中具有不同的熒光材料。因此,實施例的又一特征在于,提供了一種亮度增強的PDP。因此,實施例的又一特征在于,提供了一種發(fā)光效率增大的PDP。因此,本發(fā)明的實施例的又一特征在于,提供了一種提高色溫的PDP。上文中提及的以及其它的特征及優(yōu)點中的至少一個可通過提供一種形成PDP障肋的方法來實現(xiàn),該方法包括在襯底上提供障肋層;并選擇性地去除障肋層的若干部分,以形成限定多個第一和第二放電單元的障肋結(jié)構(gòu),該障肋結(jié)構(gòu)中的至少一個障肋具有沿其中軸線不對稱的水平橫截面,該第一和第二放電單元具有不同的內(nèi)表面面積。提供障肋層這一步驟可包括在村底上形成第一障肋層和第二障肋層,該第一和第二障肋層在襯底上鄰接,且具有不同的蝕刻速度。選擇性地去除這一步驟可包括提供一個蝕刻掩模,以暴露出第一障肋層的預定區(qū)域和第二障肋層的預定區(qū)域,并使用蝕刻掩模來蝕刻所述第一和第二障肋層暴露出的預定區(qū)域。第一障肋層可具有針對蝕刻溶液的第一蝕刻速度,第二障肋層可具有針對所述蝕刻溶液的第二蝕刻速度,第二蝕刻速度可慢于第一蝕刻速度。形成第一障肋層和第二障肋層這一步驟可包括在村底上將形成第一放電單元之處提供第一障肋層并在襯底上將形成第二放電單元之處提供第二障肋層。形成第一障肋層這一步驟可進一步包括在第一障肋層上提供第三障肋層。所述第一和第二放電單元可提供以不同的熒光材料。所述不同的熒光材料可產(chǎn)生不同的顏色。第一放電單元在數(shù)量上可以是第二放電單元的兩倍,并且所述至少一個障肋可位于其中一個第一放電單元和其中一個第二放電單元之間。所述至少一個障肋可限定具有不同寬度的鄰接的放電單元。第一放電單元的內(nèi)表面面積可大于第二放電單元的內(nèi)表面面積。選擇性地去除這一步驟可包括在障肋層上提供第一蝕刻掩模,以暴露出該障肋層上將形成第一放電單元的第一預定區(qū)域,使用具有針對該障肋層的第一蝕刻速度的第一蝕刻溶液來蝕刻所暴露出的障肋層,在障肋層上提供第二蝕刻掩模,以暴露出該障肋層上將形成第二放電單元的第二預定區(qū)域,使用具有針對該障肋層的不同于第一蝕刻速度的第二蝕刻速度的第二蝕刻溶液來蝕刻所暴露出的障肋層。第二蝕刻速度可以慢于第一蝕刻速度。上述和其他特征及優(yōu)點中的至少一個實現(xiàn)方式如下提供一種PDP,其包括后襯底、與后襯底隔開預定距離的前襯底、在前襯底和后襯底之間的障肋結(jié)構(gòu),該障肋結(jié)構(gòu)限定多個第一和第二放電單元,該障肋結(jié)構(gòu)中的至少一個障肋具有沿其中軸線不對稱的水平橫截面,所述第一和第二放電單元具有不同的內(nèi)表面面積。所述至少一個障肋可包括村底上的第一材料和襯底上的第二材料,第二材料鄰接第一材料,第一材料的第一側(cè)壁與第二材料的第二側(cè)壁具有不同斜率。所述至少一個障肋可進一步包括在第一材料上的第三材料,所述第二材料鄰接第三材料。所述第二和第三材料可以相同。該第三材料的第三側(cè)壁有與所述第一側(cè)壁可具有不同斜率。所述至少一個障肋可由單一材料制成。所述PDP可包括在第一放電單元內(nèi)的第一熒光材料,和在第二放電單元內(nèi)的第二熒光材料,該第二熒光材料不同于所述第一熒光材料。所述第一和第二熒光材料可產(chǎn)生不同的顏色。該PDP的第一放電單元在數(shù)量上可以是第二放電單元的兩倍,且所述至少一個障肋可位于其中一個第一放電單元和其中一個第二放電單元之間。通過參照附圖來詳細描述本發(fā)明的示例性實施例,本發(fā)明的上述和其他特征及優(yōu)點對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)而言將變得愈加明顯,在附圖中圖1-4示出了根據(jù)實施例的一種制造等離子體顯示面板障肋的方法中的分階段透視圖;圖5A-6B示出了圖4中示出的障肋分別沿線5A-5A'、5B-5B'、6A-6A'、6B-6B'截取的截面圖;圖7-10示出了根據(jù)實施例的一種制造障肋的方法中的分階段透視圖;圖11A-12B示出了圖10中示出的障肋分別沿線11A-11A'、11B-11B'、12A-12A'、12B-12B'截取的截面圖;圖13-17示出了根據(jù)實施例的一種制造障肋的方法的分階段透視圖;圖18示出了根據(jù)實施例的一種等離子體顯示面板的分解透視圖;圖19-21示出了圖18中示出的等離子體顯示面板分別沿線19-19'、20-20'、21-21'截取的截面圖;圖22示出了根據(jù)實施例的一種等離子體顯示面板的分解透視圖;和圖23-25示出了圖22中示出的等離子體顯示面板分別沿線23-23'、24-24'、25-25'截取的截面圖。具體實施方式在2006年9月20日提交于韓國知識產(chǎn)權(quán)局的、標題為"等離子顯示面板和形成等離子顯示面板障肋的方法(PlasmaDisplayPanelandMethodofFormingBarrierRibsofthePlasmaDisplayPanel)"的韓國專利申i青No.10-2006-0091107號以其全部內(nèi)容通過引用并入于此。下文中將參照附圖更為詳盡地描述本發(fā)明,附圖中圖示了本發(fā)明的各示例性實施例。不過,本發(fā)明可以體現(xiàn)為不同的形式且不應(yīng)解釋為僅限于在此闡述的實施例。更確切地,這里提供的實施例使本公開全面而詳盡,并使附圖中為進行清晰圖示,可對各層和區(qū)域的尺寸進行放大。還可以理解的是,當層或元件被稱為在另一層或襯底"上,,時,該層或元件可以直接處于另一層或襯底上,或者也可以在其間存在中間層。進一步,可以理解的是,當層被稱為在另一層"下"時,該層可以直接處于下方,也可以在其間存在一個或多個中間層。此外,也可以理解的是,當層被稱為在兩個層"之間"時,在所述兩個層之間可以只有一層,也可以存在一個或多個中間層。貫穿全文,相同的附圖標記指代相同的元件。圖1-4示出了根據(jù)本發(fā)明實施例的一種制造等離子顯示面板(PDP)障肋的方法中的各階段的透視圖。圖5A-6B示出了圖4所示障肋的截面圖。參照圖1,尋址電極122可處于后襯底121上,下介電層125可^隻蓋尋址電極122。后襯底121可包括第一障肋層200和第二障肋層220。更具體地,第一障肋層200可處于后襯底121的預定區(qū)域上,在鄰近該預定區(qū)域處形成有綠或藍放電單元。綠放電單元主要用于增大PDP的亮度和發(fā)光效率,而藍放電單元主要用于提高色溫。第二障肋層220可處于后村底121上的另一預定區(qū)域上,在鄰近該另一預定區(qū)域處形成有紅放電單元。第一障肋層200可包括約71.01%的粉末,該粉末包含約37.4%ZnO、13.5%BaO、23.70/0B2O3、8.4%P205、1.0%Li2O、1.0%Na2O、5.0%Al2O3、和10.0%ZnO(或ZrO、或SnO),采用約2.01%C10H18O和0.81%丁基卡必醇醋酸酯作為溶劑。其余的量可由添加劑提供。第二障肋層220可包括約71.91%的粉末,該粉末包含約30~50%ZnO、20-35%BaO、20-40%B203、5-20%P2O5、l-5%Li20、l-10%Mn2O3,、l-5%Cr203、3.0%Al2O3、和4.0%ZnO(或ZrO、或SnO),采用約2.01%的C1()H180和0.81%的丁基卡必醇醋酸酯作為溶劑。其余的量可由添加劑提供。所述添加劑可為陶瓷粉末、熱塑性樹脂或可塑劑。所述陶資粉末用于保持形狀,并且所使用的陶瓷粉末可組合從由氧化鋁、氧化鋯、鋯石、氧化鈦、堇青石、多鋁紅柱石、硅石、硅鋅礦、氧化錫和氧化鋅組成的組中選出的一種或兩種或更多種材^K熱塑性樹脂用于在干燥后增大膜強度并提供彈性,且可例如為聚曱基丙烯酸丁酯(PBMA)、聚乙烯基丁縮醛、聚曱基丙烯酸甲酯、聚曱基丙烯酸乙酯或乙基纖維素??伤軇┯糜诳刂聘稍锼俣炔榻?jīng)干燥的膜提供彈性,并且可為鄰苯二曱酸丁千酯、鄰苯二曱酸二辛酯、鄰苯二曱酸二癸酯、鄰苯二曱酸二異辛酯、鄰苯二曱酸二丁酯。上述附圖所涉及的百分比為重量百分比。可例如通過將可包含第一障肋層200和第二障肋層220的膜從迭片巻攏狀態(tài)層疊化,從而在后村底121上設(shè)置第一障肋層200和第二障肋層220??商鎿Q地,第一障肋層200形成方式可如下將構(gòu)建第一障肋層200的糊狀合成物涂覆到后襯底121的預定區(qū)域上,并烘烤該糊狀合成物。第二障肋層220形成方式可如下將構(gòu)建第二障肋層220的糊狀合成物涂覆在后襯底121的預定區(qū)域上,并烘烤該糊狀合成物。但是,根據(jù)本發(fā)明的形成第一障肋層200和第二障肋層220的方法并不限于上述方法,而可以通過使用多種不同方法實現(xiàn)。參照圖2,蝕刻掩模層500可處于其上已經(jīng)形成第一障肋層200和第二障肋層220的后襯底121上。在第一障肋層200和第二障肋層220上已經(jīng)形成用于形成蝕刻掩模的層之后,在該層上可形成光刻層(未示出)??赏ㄟ^使用光掩模對該光刻層曝光和顯影來形成光刻圖案層。然后,可通過使用光刻圖案來蝕刻用于形成蝕刻掩模的層,來形成蝕刻掩模層500??商鎿Q地,可以無需形成蝕刻掩模層,而將光刻圖案層直接用作蝕刻掩模層500。圖2示出了具有矩陣形狀的蝕刻掩模層500,但本發(fā)明并不限于此。也就是說,蝕刻掩模層500可以根據(jù)障肋形狀(例如雙障肋形狀或帶條紋的肋狀)而具有不同的形狀。所形成的蝕刻掩模層500可以暴露出第一障肋層200和第二障肋層220中將形成放電單元的預定區(qū)域,并保護第一障肋層200和第二障肋層220中將形成障肋的其余區(qū)域。參照圖3,可以例如蝕刻地去除第一障肋層200和第二障肋層220,以便使用蝕刻掩模層500暴露出位于第一障肋層200a和第二障肋層220a下方的下介電層125??梢允褂没瘜W蝕刻方法,將蝕刻溶液均勻噴灑在連接到后襯底121的部分上。蝕刻溶液例如可為HN03。所述化學蝕刻方法例如可為各向同性蝕刻方法。因此,蝕刻溶液可以沿所有方向侵蝕第一障肋層200a和第二障肋層220a。相應(yīng)地,由化學蝕刻方法形成的第一障肋層200a和第二障肋層220a可具有彎曲側(cè)壁。第一障肋層200a可具有針對特定蝕刻溶液的第一蝕刻速度。第二障肋層220a可具有針對上述蝕刻溶液的第二蝕刻速度,第二蝕刻速度可以慢于第一蝕刻速度。相應(yīng)地,在相同的蝕刻時段內(nèi),第一障肋層200a比第二障肋層220a受到更多蝕刻。參照圖4,可以從圖3的結(jié)果產(chǎn)物中去除蝕刻掩模層500,從而顯露出具有矩陣型形狀的障肋130。障肋130可包括多個水平障肋130a和多個豎直障肋130b。圖5A和圖5B示出了水平障肋130a相應(yīng)地沿圖4中的線5A-5A'和5B-5B'截取的截面圖。參照圖5A,可限定紅放電單元180a的第一水平障肋130a可以通過下部寬度為Wi的第二障肋層220a形成。參照圖5B,可限定綠;故電單元180b和藍放電單元180c的第二水平障肋130&2可以通過下部寬度為W2的第一障肋層200a形成,寬度W2可窄于W^因此,與紅;故電單元180a相比,綠放電單元180b和藍放電單元180c可具有更大的》文電空間,從而具有更寬的面積來設(shè)置熒光材料。圖6A和6B示出了豎直障肋130b分別沿圖4中的線6A-6A'和6B-6B'截取的截面圖。參照圖6A,第一豎直障肋130t^可包括第一障肋層200a和第二障肋層220a。對于在第一豎直障肋130bi的中軸線C兩側(cè)的預定蝕刻溶液而言,第一障肋層200a可具有第一蝕刻速度,第二障肋層220a可具有第二蝕刻速度,第二蝕刻速度可慢于第一蝕刻速度。第一障肋層200a可類似于第二障肋層220a。由于上文所述的不同的蝕刻速度,第一障肋層200a可具有與第二障肋層220a不同的曲率。因此,第一豎直障肋130bi可相對于其中軸線C不對稱。參照圖6B,第二豎直障肋130b2可包括第一障肋層200a,并且可相對于第二豎直障肋130b2的中軸線C對稱形成。第一豎直障肋130bi可限定紅放電單元180a和綠放電單元180b之間的邊界。第一豎直障肋130b!可在朝向紅放電單元180a的方向上更寬。第二豎直障肋130b2可限定綠放電單元180b和藍》文電單元180c之間的邊界。相應(yīng)地,與紅放電單元180a相比,綠放電單元180b和藍放電單元180c可具有相對較大的放電空間,因此可具有更大的能夠設(shè)置熒光材料的面積。圖7-IO示出了根據(jù)實施例的一種制造障肋的方法的各階段透視圖,圖11A-12B示出了圖10中示出的障肋的截面圖。參照圖7,第一障肋層205、第二障肋層220和第三障肋層210可處于后襯底121上,后襯底121可包含尋址電極122和下介電層125。更具體地,多重障肋層260可包括第一障肋層205和第三障肋層210。多重障肋層260可位于后襯底121上的將形成綠;改電單元180b和藍》文電單元180c之處。與前述實施例相同,第二障肋層220可為單一層,在后襯底121上所處的位置對應(yīng)于將形成紅;改電單元180a之處。第一障肋層205和第三障肋層210可分別由上文參照前述實施例的第一障肋層200和第二障肋層220所闡述的相同材料制成。進一步,如圖7所示,第二和第三障肋層可形成連續(xù)層,但本發(fā)明并不限于此。在本示例性實施例中,多重障肋層260為雙層,但本發(fā)明并不限于此。如參照圖1所述,可以例如通過使用層壓法或通過涂覆并烘烤糊狀合成物或漿料,來形成多重障肋層260和第二障肋層220。參照圖8,可以在多重障肋層260和第二障肋層220上形成蝕刻掩模層500。如參照圖2所述,可形成蝕刻掩模層500,以暴露出多重障肋層260和第二障肋層220上將形成放電單元的部分。光刻層(未示出)可以經(jīng)曝光和顯影來限定放電單元的位置。參照圖9,通過使用蝕刻掩模層500來蝕刻多重障肋層260和第二障肋層220,可形成放電單元180a、180b和180c。該蝕刻方法例如可為化學蝕刻方法。蝕刻溶液可以以第一蝕刻速度通過第一障肋層205滲透多重障肋層260,而第二障肋層220和第三障肋層210可以以第二速度進行蝕刻,該第二速度可慢于第一蝕刻速度。相應(yīng)地,在多重障肋層260a的側(cè)壁上可形成兩種曲面。因此,多重障肋層260a的側(cè)壁可具有特定的線性度,即,可以比單獨的第二障肋層220a斜率更小。可以使用相同的掩模和蝕刻溶液在多重障肋層260a上同時進行蝕刻過程。第一障肋層205a和第三障肋層210a可彼此鄰接并可具有不同的蝕刻速度。第一障肋層205a和第三障肋層210a可同時暴露出。第一障肋層205a和第三障肋層210a均不用作蝕刻停止膜,但蝕刻過程可以以不同蝕刻速度進行。因此,在第一障肋層205a和第三障肋層210a之間的邊界可相對平滑。多重障肋層260a在側(cè)壁上可具有至少兩種曲面。因此,多重障肋層260a的側(cè)壁表面可以大于第二障肋層220a的側(cè)壁表面。當去除蝕刻掩才莫層500時,障肋135可如圖10所示。障肋135可為矩陣形狀,并相應(yīng)地可包括多個水平障肋135a和多個豎直障肋135b。水平障肋135a可包括第一水平障肋135a,和第二水平障肋135a2,豎直障肋135b可包括第一豎直障肋135b^和第二豎直障肋135b2。圖IIA示出了第一水平障肋135a「沿圖10中的線11A-11A,截取的截面圖。第一水平障肋135ai可形成于具有相對慢的第二蝕刻速度的第二障肋層220a上。第一水平障肋135a!可以相對于第一水平障肋1351^的中軸線C對稱,并可以具有相對寬的下部寬度Wp即,該第一水平障肋135at與圖5A中示出的第一水平障肋130aj目同。圖11B示出了第二水平障肋135a2沿圖10中的線11B-11B,截取的截面圖。第二水平障肋135a2可包括第一障肋層205a和形成在第一障肋層205a上的第三障肋層210a。第一障肋層205a可具有相對高的第一蝕刻速度,因此多重障肋層260a的下部寬度W3窄于寬度Wi。由較寬的第一水平障肋135aJ艮定的紅放電單元180a可小于由較窄的第二水平障肋135&2限定的綠放電單元180b或藍放電單元180c。圖12A示出了第一豎直障肋135b「沿圖10中的線12A-12A,截取的截面圖。第一豎直障肋135th可關(guān)于中軸線C不對稱。在本示例性實施例中,第一豎直障肋135b!可以在朝向紅放電單元180a的方向上進一步延伸,因此紅放電單元180a的放電空間可以相對小。圖12B示出了第二豎直障肋135br沿圖10中的線12B-12B,截取的截面圖。第二豎直障肋135b2可包括多重障肋層260a,并可關(guān)于中軸線C對稱。圖13-17示出了根據(jù)實施例的一種制造障肋的方法的分階段透視圖。參照圖13,障肋層240可形成在后襯底121上,在后襯底121上可形成尋址電極122和下介電層125。如上文針對圖l的描述,可以通過使用層壓法或通過涂覆并烘烤糊狀合成物或漿料來形成障肋層240,但本發(fā)明并不限于此。參照圖14,在障肋層240上可形成第一蝕刻掩模層520。第一蝕刻掩模層520可暴露出障肋層240上將形成綠放電單元180b和藍放電單元180c的預定區(qū)域。第一蝕刻掩模層520可通過曝光和顯影過程形成圖案。參照圖15,可以使用第一蝕刻掩模層520作為蝕刻遮光板而通過在圖14的結(jié)果產(chǎn)物上噴灑第一蝕刻溶液來實現(xiàn)蝕刻過程。第一蝕刻溶液可具有關(guān)于障肋層240的第一蝕刻速度。因此,由上述蝕刻過程形成的障肋層240a可具有下部寬度相對窄的瓶頸形狀。綠放電單元180b和藍放電單元180c可由這種障肋層240a限定。參照圖16,可在障肋層240a上去除第一蝕刻掩模層520并形成第二蝕刻掩模層560,以暴露出障肋層240a上將形成紅放電單元的預定區(qū)域。所形成的第二蝕刻掩模層560可以覆蓋綠放電單元180b和藍放電單元180c,從而就不能進一步蝕刻綠放電單元180b和藍放電單元180c。參照圖17,第二蝕刻溶液被噴灑到障肋層240a上,以便根據(jù)第二蝕刻掩模層560蝕刻該障肋層。第二蝕刻溶液可具有在障肋層240a上執(zhí)行的蝕刻過程所對應(yīng)的第二蝕刻速度,第二蝕刻速度可慢于第一蝕刻速度。因此,障肋層240a的下部寬度可寬于由參照圖16所描述的蝕刻過程形成的障肋層240a的下部寬度。可以去除第二蝕刻掩模層560從而完成所述障肋的制造。本實施例中形成的障肋與圖4-6B中描述的障肋形狀相同,不過本實施例的這些障肋由單一材料制成。圖18示出了根據(jù)實施例的等離子體顯示面板(PDP)的分解透視圖。圖19和圖21示出了圖18中示出的PDP的截面圖。參照圖18,PDPIOO可包括彼此相對而組合的前面板150和后面板160。前面板150可包括前襯底111,維持電極對131、132,上介電層114和鈍化層115。后面板160可包括后襯底121,尋址電極122,下介電層125,障肋130和熒光層126a、126b和126c。前襯底111和后襯底121可彼此相隔預定距離并彼此相對,以限定可發(fā)生等離子體放電的》文電空間。前襯底111和后襯底121可例如為具有高可見光透射率或者被著色以提高亮室對比度的玻璃。障肋130可位于前村底lll和后襯底121之間,更具體地,障肋130可以形成在下介電層125上。障肋130可以限定多個》文電單元180a、180b和180c的放電空間,并可以避免放電單元180a、180b和180c之間出現(xiàn)光串擾和電串擾。參照圖18,障肋130可包括可以沿著與尋址電4及122相同的方向(y方向)延伸的水平障肋130a和可以互連水平障肋130a的豎直障肋130b。水平障肋130a可包括第一水平障肋130ai和第二水平障肋130a2,豎直障肋130b可包括第一豎直障肋130bi和第二豎直障肋130b2。圖19示出了PDP100沿圖18中的在Y方向上的線19-19'截取的截面圖。參照圖19,第一豎直障肋130b!可包括彼此鄰接的第一障肋層200a和第二障肋層220a。第二障肋層220a的蝕刻速度慢于第一障肋層200a的蝕刻速度。因此,鄰近紅;改電單元180a的第二障肋層220a的下部寬度可寬于臨近藍》文電單元180c或綠放電單元180b的第一障肋層200a的下部寬度。相應(yīng)地,紅放電單元180a的放電空間可小于其他i文電單元的放電空間。因此,可以減小紅熒光材料的設(shè)置面積。第二豎直障肋130b2可由第一障肋層200a形成,并且可具有對稱的薄瓶頸形狀。圖20和21示出了PDP100分別沿圖18中在X方向上的線20-20'和21-21'截取的截面圖。參照圖20和21,第一水平障肋130ai可由第二障肋層220a形成,第二水平障肋130a2可由第一障肋層200a形成。第一水平障肋130ai可具有相對慢的蝕刻速度,第二水平障肋130a2可具有相對快的蝕刻速度。因此,第一水平障肋130a!的下部寬度Wi可寬于第二水平障肋130a2的下部寬度W2。第一水平障肋130ai和第二水平障肋130a2彼此對照而呈現(xiàn)不對稱;但是,第一水平障肋130a!和第二水平障肋130a2中的每個均關(guān)于其自身的中軸線對稱。在圖18中,障肋130可以將放電單元180a、180b和180c限定為具有矩形狀水平橫截面的矩陣,但本發(fā)明并不限于此。也就是說,障肋130可以將力文電單元180a,180b和180c限定為各種不同的封閉形狀,舉例而言,諸如三角形或五邊形的多邊形,圓形或橢圓形,或者限定為例如條狀的各種不同的開》丈形狀。此外,障肋130可以將》文電單元180a,180b和180c限定為三角形形狀的排列。再次參照圖18,維持電極對131、132可在面對后襯底121的前襯底111上。維持電極對131、132可在前襯底111上彼此平行。每個維持電極對131、132可包括可用作維持電極的X電極131和可用作掃描電極的Y電極132。X電極131和Y電極132可分別包括透明電極131a和132a以及總線電極131b和132b。透明電極131a和132a的形成材料可為諸如氧化銦錫(ITO)的導電且透明的材料,這類材料不會阻擋熒光層126a、126b和126c產(chǎn)生的可見光。但是,這種導體可具有高電阻。當只使用透明電極形成放電電極時,由于沿該電極的電壓降較大,而使能量消耗增大且響應(yīng)時間增長。為了避免上述問題,可以由具有高傳導率的金屬制成窄總線電極131b和132b,并將窄總線電極131b和132b置于透明電極131a和132a上。例如可以通過例如光電蝕刻法或者光刻法形成透明電4及131a和132a以及總線電才及131b和132b?,F(xiàn)在將描述X電極131和Y電極132的形狀和排列??偩€電極131b和132b彼此相隔預定距離,可在單位放電單元180內(nèi)彼此平行,并可延伸穿過》文電單元180。如上所述,透明電才及131a和132a可以分別電連4姿到總線電極131b和132b。但是,矩形形狀的透明電極131a和132a可以在每個單位放電單元180內(nèi)不連續(xù),由此透明電極131a和132a的一端可分別連4妻到總線電極131b和132b,并且透明電極131a和132a的另一端可分別面朝力文電單元180a、180b和180c的中心部分。上介電層114可以遮蔽維持電極對131、132,并可形成在前襯底111上。上介電層114不僅可以防止相鄰的X電極131和Y電極132之間的電連接,還可以防止X和Y電極131和132由于與帶電粒子和電子直接撞擊而受損。上介電層114可以由多種材料形成,例如PbO、B203或Si02。PDP100可以進一步包括上介電層114上的鈍化層115。鈍化層115可以防止上介電層114由于放電期間與帶電粒子和電子撞擊而受損??梢岳缤ㄟ^對二次電子發(fā)射系數(shù)較高且可見光反射率較高的材料進行濺射(sputtering)或電子束沉積,來形成鈍化層115。尋址電4及122可形成于面向前襯底111的后襯底121上。尋址電才及122可延伸穿過單位放電單元并與X電極131和Y電極132交叉。尋址電極122可產(chǎn)生尋址放電,該尋址放電幫助X電極131和Y電極132之間進行維持放電。更具體地,尋址電極122可減小產(chǎn)生維持放電的電壓。該尋址放電可以產(chǎn)生在Y電極132和尋址電極122之間。下介電層125可遮蔽尋址電極122,并可形成在后襯底121和障肋130之間。下介電層125可由諸如PbO、8203或Si02的絕緣材料形成,從而可以防止尋址電極122由于與帶電粒子和電子撞擊而受損,并可以促進充電。紅、綠和藍熒光層126a、126b和126c可處于在下介電層125上所形成的障肋130的兩側(cè)表面上,并可處于下介電層125上沒有形成障肋130的整個表面上。熒光層126a、126b和126c可包括接收真空紫外(VUV)光并對此估丈出響應(yīng)而產(chǎn)生可見光的成分。紅》丈電單元180a可包括例如Y(V,P)04:Eu的熒光層126a,綠放電單元180b可包括例如Zn2Si04:Mn或YB03:Tb的熒光層126b,藍;^文電單元180c可包括例如BAM:Eu的熒光層126c。諸如氖氣和/或氙氣的放電氣體混合物可以充滿放電單元180a、180b和180c。然后可以在前襯底111和后襯底121的邊緣上使用諸如燒結(jié)玻璃的密封件(未示出)將前襯底111和后襯底121彼此連接,并可將放電氣體混合物密封在內(nèi)部?,F(xiàn)在將描述圖18中所示PDP100的操作過程。可發(fā)生在PDP100中的等離子體放電可以粗略地分為尋址放電和維持放電。通過將尋址放電電壓施加在尋址電極122和Y電極132之間,在尋址電極122和Y電極132之間可產(chǎn)生尋址放電。尋址放電的結(jié)果是,可以選出要產(chǎn)生維持放電的單位放電單元180。然后,當所選出的單位放電單元180的X電極131和Y電極132之間施加維持脈沖電壓時,在單位放電單元180中可產(chǎn)生維持放電。在維持放電期間,由于上介電層114產(chǎn)生的電子可供應(yīng)給單位放電單元180,且二次電子可以由鈍化層115產(chǎn)生,所以可以進一步主動產(chǎn)生維持》文電。放電氣體可在維持放電期間被激發(fā),并可隨著放電氣體能級的下降而發(fā)出VUV光。該VUV光可激發(fā)單位放電單元180中的熒光材料126。隨著該熒光材料的能級下降,可以從該熒光材料發(fā)出可見光。該可見光可發(fā)出而穿過前襯底111,從而可以顯示圖像。圖22示出了根據(jù)實施例的PDP120的分解透視圖。圖23_25示出了圖22中示出的等離子體顯示面板分別沿線23-23';24-24';和25-25'截取的截面圖。圖22中圖示的PDP120可類似于圖18中的PDP100,相應(yīng)地,其中的元件和操作方法基本上與參照圖18-21所述的相同。因此在下文中,將詳細描述圖22中所示PDP120和圖18中所示PDPIOO之間的區(qū)別。參照圖22,后面板170可包括尋址電極122和下介電層125。障肋135障肋135可以包括多個水平障肋135a和多個豎直障肋135b。每個水平障肋135a可包括可以由單一障肋層形成的第一水平障肋135a!和可以由多重障肋層形成的第二障肋135a2。每個豎直障肋135b可包括第一豎直障肋1351^和第二豎直障肋135b2,第一豎直障肋135bi關(guān)于第一豎直障肋135N的中軸線不對稱。圖23示出了圖22中示出的等離子體顯示面板120沿在Y方向上的線23-23'截取的截面圖。參照圖23,第一豎直障肋135bi可具有包括多重障肋層260a的不對稱結(jié)構(gòu)。多重障肋層260a可包括蝕刻速度相對較快的第一障肋層205a和形成在第一障肋層205a上的第三障肋層210a。多重障肋層260a和第二障肋層220a可形成在第一障肋135th的關(guān)于其中軸線的相鄰兩側(cè)上。多重障肋層260a的下部可由第一障肋層205a形成,該障肋層具有相對快的蝕刻速度,也就是說,快于第二障肋層220a或和第三障肋層210a。因此,多重障肋層260a下部的蝕刻可以執(zhí)行得相對較快。因此,多重障肋層260a可具有比鄰接的第二障肋層220a更線性的結(jié)構(gòu)。因此,由多重障肋層260a限定的綠》丈電單元180b和藍》文電單元180c的力文電空間可以相對大。因此,在這些放電空間中的面積相對較寬。綠熒光材料可具有高發(fā)光效率。因此,綠放電單元180b的放電空間的增加和綠熒光材料的更寬的熒光粉涂覆面積可提高PDP120的亮度。藍熒光材料可提高色溫。因此,藍放電單元180c的放電空間的增加和藍熒光材料的更寬的熒光粉涂覆面積可以提高PDP120的色溫。單一障肋層250a可以包括蝕刻速度相對慢的第二障肋層220a。因此,蝕刻溶液滲透進入單一障肋層250下部的可能性較低,這樣就不能順利完成單一障肋層250下部的蝕刻。因此,該單一障肋層可具有朝向紅放電單元180a的寬下部寬度。相應(yīng)地,相對地減小紅放電單元180a的放電空間,進而也減小了可用來涂覆紅焚光材料的有效面積。圖24和25示出了圖22中示出的等離子體顯示面板120沿X方向上的線24-24'和25-25'截取的截面圖。參照圖24和25,第一水平障肋135a!可以包括蝕刻速度相對慢的第二障肋層220a。因此,下部寬度Wi可相對較寬,且第二障肋層220a可呈瓶狀。由于第二水平障肋135a2可由多重障肋層260a形成,因此第二水平障肋135a2的下部寬度W3窄于下部寬度W!。第二水平障肋135a2可具有在其側(cè)表面可形成至少兩個曲面的結(jié)構(gòu)。比凈支實例觀察并記錄圖22中所示的PDP120的亮度、發(fā)光效率和色溫。將PDP120與傳統(tǒng)的PDP進行比較,其放電空間相同,也就是說,不考慮在此提供的熒光材料,結(jié)果在表l中示出。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>如表l中所示,比起傳統(tǒng)的PDP,根據(jù)實施例的PDP120顯示,亮度提高約15.5%,發(fā)光效率提高約9.34%,而色溫提高約13.5%。通過使用蝕刻來形成PDP的障肋,可以減小障肋的開口缺陷(openingfailure)。進一步,根據(jù)實施例,例如通過從多個障肋層蝕刻障肋和/或采用分階段多重蝕刻,所述障肋結(jié)構(gòu)的至少一個障肋可關(guān)于其中軸線不對稱。因此,這些障肋的厚度和/或可提供熒光材料的表面面積對于每個放電單元或每種放電單元類型而言均不同。在才艮據(jù)實施例的PDP中,障肋的厚度和/或表面面積可針對每個》文電單元進行控制,這就允許不同的放電單元中具有不同量的熒光材料。因此,那些有助于增加亮度和發(fā)光效率或提高色溫的熒光材料所對應(yīng)的放電單元可以較大,可以允許其中設(shè)置更多的熒光材料,從而增大PDP的亮度和發(fā)光效率并提高PDP的色溫。在此已經(jīng)公開了本發(fā)明的各示例性實施例,盡管在此采用了特定術(shù)語,然而所采用的這些術(shù)語應(yīng)被理解成僅僅旨在進行概括和描述,而非意在限制。舉例而言,雖然在上述實施例中只描述了兩種不同的放電單元結(jié)構(gòu),但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是,該制造障肋的方法可以被控制而實現(xiàn)三種或更多種不同的》史電單元結(jié)構(gòu)。相應(yīng)地,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是,在不偏離所附權(quán)利要求中闡述的本發(fā)明的精神和范圍的情況下,可以在形式和細節(jié)上進行多種改造。權(quán)利要求1.一種形成等離子體顯示面板的障肋的方法,包括在襯底上提供障肋層;和選擇性地去除所述障肋層的若干部分,以形成限定多個第一和第二放電單元的障肋結(jié)構(gòu),該障肋結(jié)構(gòu)中的至少一個障肋具有沿其中軸線不對稱的水平橫截面,所述第一和第二放電單元具有不同的內(nèi)表面面積。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中提供所述障肋層這一步驟包括在所述襯底上形成第一障肋層和第二障肋層,所述第一和第二障肋層在所述襯底上鄰接并具有不同的蝕刻速度;并且選擇性地去除這一步驟包括提供蝕刻掩模以暴露出所述第一障肋層的預定區(qū)域和所述第二障肋層的預定區(qū)域,并且使用所述蝕刻掩模來蝕刻所述第一和第二障肋層的暴露出的預定區(qū)域。3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中所述第一障肋層具有針對蝕刻溶液的第一蝕刻速度,所述第二障肋層具有針對所述蝕刻溶液的第二蝕刻速度,所述第二蝕刻速度慢于所述第一蝕刻速度。4、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中形成所述第一障肋層和第二障肋層這一步驟包括在所述襯底上將形成所述第一放電單元之處提供所述第一障肋層;并且在所述襯底上將形成所述第二放電單元之處提供所述第二障肋層。5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其中形成第一障肋層這一步驟進一步包括在所述第一障肋層上提供第三障肋層。6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一和第二放電單元^皮提供以不同的熒光材料。7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其中所述不同的熒光材料產(chǎn)生不同顏色。8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一放電單元在數(shù)量上為所述第二放電單元的兩倍,且所述至少一個障肋位于其中一個所述第一放電單元和其中一個所述第二放電單元之間。9、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述至少一個障肋限定鄰接的具有不同寬度的放電單元。10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一放電單元的內(nèi)表面面積大于所述第二放電單元的內(nèi)表面面積。11、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中選擇性地去除這一步驟包括在所述障肋層上提供第一蝕刻掩模,以暴露出所述障肋層上的將形成第一放電單元的第一預定區(qū)域;使用具有針對所述障肋層的第一蝕刻速度的第一蝕刻溶液來蝕刻所暴露出的障肋層;在所述障肋層上提供第二蝕刻掩模,以暴露出該障肋層上將形成第二放電單元的第二預定區(qū)域;使用具有針對所述障肋層的第二蝕刻速度的第二蝕刻溶液來蝕刻所暴露出的障肋層,其中該第二蝕刻速度不同于所述第一蝕刻速度。12、根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中所述第二蝕刻速度慢于所述第一蝕刻速度。13、一種等離子體顯示面板,包括:后襯底;與所述后襯底隔開預定距離的前襯底;和在所述前襯底和后襯底之間的障肋結(jié)構(gòu),該障肋結(jié)構(gòu)限定多個第一和第二放電單元,該障肋結(jié)構(gòu)中的至少一個障肋具有沿其中軸線不對稱的水平橫截面,所述第一和第二放電單元具有不同的內(nèi)表面面積。14、根據(jù)權(quán)利要求13中所述的等離子體顯示面板,其中所述至少一個障肋包括在所述襯底上的第一材料和在所述襯底上的第二材料,所述第二材料鄰接所述第一材料,所述第一材料的第一側(cè)壁與所述第二材料的第二側(cè)壁具有不同斜率。15、根據(jù)權(quán)利要求14所述的等離子體顯示面板,其中所述至少一個障肋進一步包括在所述第一材料上的第三材料,所述第二材料鄰接所述第三材料。16、根據(jù)權(quán)利要求15所述的等離子體顯示面板,其中所述第二和第三材料相同。17、根據(jù)權(quán)利要求15所述的等離子體顯示面板,其中所述第三材料的第三側(cè)壁與所述第一側(cè)壁具有不同斜率。18、根據(jù)權(quán)利要求13所述的等離子體顯示面板,其中所述至少一個障肋由單一材料制成。19、根據(jù)權(quán)利要求13所述的等離子體顯示面板,進一步包括在所述第一放電單元中的第一熒光材料;和在所述第二放電單元中的第二熒光材料,所述第二熒光材料不同于所述第一熒光材料。20、根據(jù)權(quán)利要求19所述的等離子體顯示面板,其中所述第一和第二熒光材料產(chǎn)生不同的顏色。21、根據(jù)權(quán)利要求13所述的等離子體顯示面板,其中所述第一放電單元在數(shù)量上為所述第二放電單元的兩倍,且所述至少一個障肋位于其中一個所述第一放電單元和其中一個所述第二放電單元之間。全文摘要本發(fā)明提供一種形成等離子體顯示面板障肋的方法,包括在襯底上提供障肋層并選擇性地去除障肋層的若干部分,從而形成限定多個第一和第二放電單元的障肋結(jié)構(gòu),該障肋結(jié)構(gòu)中的至少一個障肋具有沿其中軸線不對稱的水平橫截面,所述第一和第二放電單元具有不同的內(nèi)表面面積。文檔編號H01J11/12GK101150031SQ20071015192公開日2008年3月26日申請日期2007年9月20日優(yōu)先權(quán)日2006年9月20日發(fā)明者宋正錫申請人:三星Sdi株式會社