帶縱向和環(huán)形密封件的真空泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種多級(jí)真空泵，包括：第一半殼定子部件(102)和第二半殼定子部件(104)，限定多個(gè)泵送腔室(6)至(116)并且用于沿著相應(yīng)縱向延伸面(118)、(20)組裝在一起；第一端部定子部件(122)和第二端部定子部件(124)，用于在第一半殼定子部件與第二半殼定子部件的相應(yīng)縱向端面(126)、(128)處組裝；縱向密封件(12)，用于當(dāng)在縱向延伸面處組裝在一起時(shí)在第一半殼定子部件與第二半殼定子部件(10)之間進(jìn)行密封；以及，環(huán)形密封件(146)，用于當(dāng)組裝時(shí)在所述第一端部定子部件和第二端部定子部件與第一和第二半殼定子部件之間進(jìn)行密封；其中所述縱向密封件具有端部(24)，端部(24)鄰接抵靠著環(huán)形密封件用于在環(huán)形密封件之間進(jìn)行密封并且第一半殼定子部件和第二半殼定子部件具有用于當(dāng)端部壓縮于第一半殼定子部件與第二半殼定子部件之間時(shí)抵抗端部(1)遠(yuǎn)離環(huán)形密封件移動(dòng)的構(gòu)造(26)。
【專利說明】帶縱向和環(huán)形密封件的真空泵
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空泵，特別地多級(jí)真空泵和這樣的泵的定子。
【背景技術(shù)】
[0002]可由例如羅茨或爪式泵這樣的正排量泵形成真空泵，其具有一個(gè)或多個(gè)串聯(lián)的泵送級(jí)。需要多級(jí)泵，因?yàn)榕c串聯(lián)的多個(gè)單級(jí)泵相比它們涉及更少的制造成本和組裝時(shí)間。
[0003]多級(jí)羅茨或爪式泵可被制造和組裝為呈蛤殼形式。如圖1中所示，這樣的泵的定子100包括第一半殼定子部件102和第二半殼定子部件104，第一半殼定子部件102和第二半殼定子部件104 —起限定多個(gè)泵送腔室106、108、110、112、114、116。半殼中的每一個(gè)具有第一縱向延伸面和第二縱向延伸面，當(dāng)半殼裝配在一起時(shí)，第一縱向延伸面和第二縱向延伸面與另一半殼的相應(yīng)縱向延伸面彼此接合。在圖中僅可以看到半殼102的兩個(gè)縱向延伸面118、120。在組裝期間，在由箭頭R所示的大體上徑向上使兩個(gè)半殼組裝在一起。
[0004]定子100還包括第一端部定子部件122和第二端部定子部件124。當(dāng)半殼已被裝配在一起時(shí)，第一端部部件和第二端部部件在由箭頭L所示的大體上軸向或縱向上被裝配到聯(lián)結(jié)的半殼的相應(yīng)端面126、128上。端部部件的內(nèi)面130、132與半殼的相應(yīng)端面126、128相互接合。
[0005]泵送腔室106至116中的每一個(gè)被形成于半殼的橫向壁134之間。在圖1中可看出僅半殼102的橫向壁。當(dāng)半殼組裝時(shí)，橫向壁在一個(gè)泵送腔室與一種相鄰泵送腔室之間、或者在端部泵送腔室106、116與端部定子部件之間提供軸向分隔/分離。本示例示出了用于羅茨泵或爪式泵的典型定子布置，其具有兩個(gè)縱向延伸軸桿(未圖示)，當(dāng)半殼裝配在一起時(shí)這兩個(gè)縱向延伸軸桿位于在橫向壁134中所形成的孔口 136中。在組裝之前，轉(zhuǎn)子(未圖示)被裝配到軸桿上從而使得兩個(gè)轉(zhuǎn)子位于每一個(gè)泵送腔室中。盡管在此簡(jiǎn)化圖中未示出，端部部件各自具有兩個(gè)孔口，軸桿穿過孔口延伸。由端部部件中的軸承來支承著軸桿，并且由馬達(dá)和齒輪機(jī)構(gòu)來驅(qū)動(dòng)所述軸桿。
[0006]多級(jí)真空泵在泵送腔室內(nèi)以小于大氣和可能低至10_3mbar的壓力操作。因此，在大氣與泵內(nèi)側(cè)之間將具有壓差。因此在定子部件之間的接頭處必須防止周圍氣體泄露到泵內(nèi)，定子部件之間的接頭形成于半殼的縱向延伸表面118、120之間和半殼的端面126、128與端部部件的內(nèi)面130、132之間。粘合劑通常用于在半殼之間與在半殼與端部部件之間的密封，但粘合劑特別地易于被腐蝕性泵送氣體損壞、并且始終一致地涂覆/應(yīng)用是較難的并且耗時(shí)的。其也可妨礙拆卸和維護(hù)。
[0007]已知的替代密封布置被公開于US2002155014中，其提供單件式密封構(gòu)件，包括兩個(gè)縱向部和兩個(gè)環(huán)形部。但密封構(gòu)件一般在裝配就位方面是復(fù)雜的，并且制造起來較為昂
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【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明提供一種用于密封蛤殼式泵的改進(jìn)的密封布置。[0009]本發(fā)明提供一種真空泵，包括:第一半殼定子部件和第二半殼定子部件，限定至少一個(gè)泵送腔室并且用于沿著相應(yīng)縱向延伸面組裝在一起；第一端部定子部件和第二端部定子部件，用于在第一半殼定子部件與第二半殼定子部件的相應(yīng)縱向端面處組裝；縱向密封件，用于當(dāng)在縱向延伸面處組裝在一起時(shí)在第一半殼定子部件與第二半殼定子部件之間進(jìn)行密封；以及，環(huán)形密封件，用于當(dāng)組裝時(shí)在第一端部定子部件與第二端部定子部件以及第一和第二半殼定子部件之間進(jìn)行密封；其中縱向密封件具有端部，端部鄰接抵靠著環(huán)形密封件用于在環(huán)形密封件之間進(jìn)行密封并且第一半殼定子部件和第二半殼定子部件具有的構(gòu)造用于當(dāng)端部被壓縮于第一半殼定子部件與第二半殼定子部件之間時(shí)抵抗端部遠(yuǎn)離環(huán)形密封件移動(dòng)。
[0010]在附屬權(quán)利要求中限定了本發(fā)明的其它優(yōu)選和/或可選特征。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]為了使本發(fā)明可更好理解，現(xiàn)將參考附圖，更詳細(xì)地描述本發(fā)明的某些實(shí)施例，在附圖中:
圖1總體上示出了蛤殼式定子的部件；
圖2示出了僅出于解釋說明目的而提供的用于半殼定子部件和兩個(gè)定子端部部件的理論上可能但不合需要的密封布置；
圖3示出了具有圖2的密封布置的半殼；
圖4示出了具有圖2的密封布置的端部部件；
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例用于多級(jí)真空泵的半殼定子部件和兩個(gè)定子端部部件的密封布置；
圖6更詳細(xì)地示出了圖5所示的布置的一部分；
圖7更詳細(xì)地示出了圖5所示的布置的一種修改的部分；
圖8示出了當(dāng)在組裝期間受壓縮時(shí)的圖7的密封布置；
圖9更詳細(xì)地示出了圖5所示的布置的另一修改的部分；
圖10示出了根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的密封布置；
圖11示出了根據(jù)了另一密封布置的半殼和端部定子部件；
圖12示出了用于定位于圖11所示的通道中的縱向密封件；
圖13示出了在最終組裝和壓縮之前，位于圖11所示的半殼定子部件中的適當(dāng)位置的縱向密封件，以及示出了一種環(huán)形密封件；以及
圖14示出了在最終組裝和在壓縮后在使用中的圖11中的密封件。
【具體實(shí)施方式】
[0012]根據(jù)本發(fā)明的背景，US2002155014討論了密封一種蛤殼式定子的問題，特別地，其表明泄露線存在于提供周圍徑向密封的縱向襯墊與在端部處提供軸向密封的O形環(huán)之間，這導(dǎo)致令人不滿意的密封。因此，該專利提出了如上文所討論的單件式密封構(gòu)件。
[0013]現(xiàn)在更詳細(xì)地研究這個(gè)問題，圖2示出了半殼102的平面圖和穿過端部部件122、124所截取的截面圖。圖3示出了聯(lián)結(jié)的半殼102、104的一個(gè)端面126的視圖。圖4示出了端部部件124的內(nèi)面132的視圖。[0014]參考圖2至圖4，兩個(gè)縱向密封構(gòu)件138位于在第一半殼102和第二半殼104的縱向延伸面118、120和142、144中所形成的通道140中?？v向密封構(gòu)件138抵抗周圍空氣泄露到泵內(nèi)，如由半殼長(zhǎng)度上的箭頭Gl所示。
[0015]兩個(gè)大體上環(huán)形密封構(gòu)件146位于端部部件122、124的內(nèi)面130、132的相應(yīng)大體上環(huán)形通道148中。密封構(gòu)件146抵抗周圍氣體泄露到泵內(nèi)，如由在端部部件與半殼之間的接頭周圍的箭頭G2所示。因此，大體上防止了氣體通過在端部部件中的孔口 150或在聯(lián)結(jié)的半殼的端部中的孔口 134泄露。
[0016]這種密封布置的問題在于在縱向密封構(gòu)件138與環(huán)形密封構(gòu)件146之間設(shè)置不一致的密封件，如由圖2中的空間S所示。不一致的密封件允許氣體在兩個(gè)密封構(gòu)件138、146之間泄露?？v向密封構(gòu)件138被配置成當(dāng)半殼被組裝在一起以提供緊密配合時(shí)被壓縮于兩個(gè)半殼之間。但是，當(dāng)壓縮時(shí)，存在著密封構(gòu)件138在通道140中有某些移動(dòng)的傾向，由此能形成或者增加空間S?？v向密封構(gòu)件可被制造成具有比通道140的長(zhǎng)度更長(zhǎng)的長(zhǎng)度，但在此情況下，在半殼之間的壓縮可造成密封構(gòu)件扭結(jié)，導(dǎo)致泄漏。
[0017]現(xiàn)參考圖5所示的本發(fā)明的第一實(shí)施例，示出了蛤殼式多級(jí)真空泵的一部分，其大體上類似于關(guān)于圖1至圖4詳細(xì)地討論的蛤殼式泵，除了密封布置不同。因此，泵的總體布置將不在此處再加以描述并且相似的特征被給予相同的附圖標(biāo)記。
[0018]在圖5中，示出了穿過端部定子部件122、124和僅一個(gè)半殼16所截取的截面圖。定子10包括兩個(gè)縱向延伸的密封構(gòu)件12，縱向延伸的密封構(gòu)件12位于半殼定子部件16、18的相應(yīng)通道14中。通道14凹入于半殼16的縱向延伸面20、22內(nèi)。僅部件16在此圖中示出，但半殼18優(yōu)選地具有類似的布置。當(dāng)裝配在一起時(shí)，半殼壓縮著所述密封構(gòu)件12，造成略微膨脹從而使得在密封構(gòu)件與通道之間存在氣密配合。每對(duì)相互接合的縱向面可具有用于定位一種密封構(gòu)件12的通道，或者替代地僅一個(gè)這樣的面可具有通道，而其它面保持為大體上平坦的。
[0019]密封構(gòu)件12的縱向端部24被配置為用以與通道的相應(yīng)端部26協(xié)同工作以當(dāng)定子部件組裝并且密封構(gòu)件12受壓縮時(shí)抵抗密封件端部24遠(yuǎn)離環(huán)形密封構(gòu)件146移動(dòng)。以此方式，當(dāng)泵組裝并且操作時(shí)，端部24保持與環(huán)形密封構(gòu)件相接觸。在本示例中，與密封構(gòu)件的中部28相比則所述端部擴(kuò)大。與通道的中部30相比，通道的端部26同樣擴(kuò)大，并且被成形為與密封件端部24的形狀互補(bǔ)。更特定而言，并且如在圖6的放大圖中所示，端部24、26在兩個(gè)橫向維度(垂直于縱向軸線)向外呈錐形并且呈截頭圓錐的形式。當(dāng)然，存在著端部24、26的許多互補(bǔ)的配置，其抵抗縱向密封件遠(yuǎn)離環(huán)形密封件的移動(dòng)。例如，端部可為梯形，具有平面錐形側(cè)(即，僅在一個(gè)橫向維度上向外呈錐形)或者可為直線，具有相對(duì)于密封構(gòu)件和通道的縱向配置在大體上橫向延伸的側(cè)部。
[0020]縱向密封件12的長(zhǎng)度可比半殼16、18的通道14長(zhǎng)度略微更短，并且需要略微拉伸以便裝配就位。在端部24之間生成了在密封件中部28中的少量張力。張力幫助確保端部24略微抵靠通道的端部26而承座從而使得遠(yuǎn)離環(huán)形密封件的移動(dòng)在初始?jí)嚎s時(shí)立即受到抵抗。
[0021]在圖7和圖8所示的另一布置中，密封件端部32被配置成使得當(dāng)定子被組裝并且密封構(gòu)件被壓縮時(shí)，縱向密封構(gòu)件朝向環(huán)形密封構(gòu)件膨脹。這種膨脹在密封構(gòu)件之間增加了密封力并且優(yōu)選地如圖8所示，當(dāng)端部抵靠環(huán)形密封件變形時(shí)，也使得密封表面延伸，密封表面抵抗氣體泄露到泵內(nèi)。
[0022]更詳細(xì)地，縱向密封構(gòu)件32包括中部28，中部28大體上為圓柱形，如先前所描述的那樣。密封構(gòu)件的端部34具有端部配置，其朝向環(huán)形密封構(gòu)件146在環(huán)形密封件的任一側(cè)上在更大程度上延伸、并且被配置成用以安放成從半殼的端面隆起(proud of)。如圖7所示，端部配置大體上為彎曲的。當(dāng)不壓縮時(shí)，端部突起35優(yōu)選地在縱向方向與環(huán)形密封件146重疊，從而使得在壓縮期間需要更少的膨脹以便在兩個(gè)密封件之間形成良好的密封。在此布置中，端部部件36包括大體上環(huán)形通道38用于接納所述環(huán)形密封件。此外，在縱向密封件的區(qū)域中，凹部40形成于端部部件的表面30中。如圖8所示，當(dāng)密封件被壓縮時(shí)，半殼的通道42的端部抵抗著端部34遠(yuǎn)離環(huán)形密封件移動(dòng)，并且導(dǎo)致端部朝向環(huán)形密封件膨脹，如由箭頭所示。在此示例中設(shè)置凹部40允許端部34繞環(huán)形密封構(gòu)件的截面膨脹。因此，增加了在密封件之間的密封力并且密封表面44延伸，呈現(xiàn)弓形界面。盡管在圖7和圖8中并未具體地示出，并且取決于縱向密封件和環(huán)形密封件的材料性質(zhì)，環(huán)形密封件也可由于縱向密封件在組裝期間朝向它移動(dòng)而變形。
[0023]在圖9所示的替代布置中，縱向密封構(gòu)件46可具有端部48，端部48被配置成類似于箭上的羽毛，具有向內(nèi)呈錐形的端部表面50，兩個(gè)大體上平行的直側(cè)52和朝向中部28呈錐形的表面54。半殼的通道的端部53被配置成與端部48的形狀互補(bǔ)并且抵抗其遠(yuǎn)離環(huán)形密封件的移動(dòng)。端部48當(dāng)被壓縮到端部34時(shí)以類似的方式起作用，如上文關(guān)于圖7和圖8所描述的那樣，從而使得在密封件46與146之間的密封力增加并且延長(zhǎng)了泄露路徑。
[0024]在圖10所示的另一布置中，縱向密封構(gòu)件47可具有端部49，端部49大體上為梯形，且具有從大體上平坦中部51向外呈錐形的上表面和下表面(如在圖中定向)和并不呈錐形的側(cè)表面。在縱向密封表面中的通道53具有端部55，端部55的形狀與密封構(gòu)件47的端部49互補(bǔ)。在修改中，密封構(gòu)件57具有大體上圓形凹槽59用于接納環(huán)形密封構(gòu)件和用于在構(gòu)件之間延伸該密封表面。
[0025]在圖11至圖14中示出了本發(fā)明的另一實(shí)施例。圖11以放大圖示出了無縱向或環(huán)形密封構(gòu)件的端部部件56和半殼58的部分。半殼的縱向延伸面60具有在其表面內(nèi)以埋頭孔方式鉆出的縱向凹部、或通道62，用于定位所述縱向延伸的密封構(gòu)件(在圖12中示出)。從凹部大體上正交直立的是壁64，其具有與面60齊平的上表面。在另一布置中，壁可延伸到對(duì)立半殼的凹部?jī)?nèi)。在半殼的端面66中以埋頭孔方式鉆出大體上環(huán)形通道68用于接納一種環(huán)形密封構(gòu)件(在圖13中示出)。圖11僅示出了環(huán)形通道68的截面，環(huán)形通道68大體上垂直于凹部62并且形成于凹部62中。形成了一種凹入肩部69以用于與縱向密封構(gòu)件的定位肩部協(xié)同工作，如在下文中更詳細(xì)地描述的那樣。
[0026]縱向密封構(gòu)件70在圖12中示出并且形狀為與凹部62的形狀互補(bǔ)。密封件70包括兩個(gè)細(xì)長(zhǎng)部72，這兩個(gè)細(xì)長(zhǎng)部72裝配于凹部62中并且在橫向間隔開用于緊密地鄰近著直立壁64而裝配。密封件的橫向延伸部74在細(xì)長(zhǎng)部之間延伸并且被配置成與壁的端部76緊密地相鄰。爪形構(gòu)造從橫向延伸部74延伸，具有兩個(gè)突起78和大體上半圓形的凹部80，半圓形的凹部80的大小和形狀類似于環(huán)形通道68的截面。端部定子部件56具有大體上平面的內(nèi)面82用于當(dāng)環(huán)形密封構(gòu)件位于環(huán)形通道68中時(shí)壓縮所述環(huán)形密封構(gòu)件。定位肩部71在橫向向外延伸以用于與通道62的凹入肩部69協(xié)同工作。
[0027]圖13示出了裝配于定子半殼中適當(dāng)位置但在完全組裝和壓縮之前的環(huán)形密封構(gòu)件146和縱向密封構(gòu)件70。將看出，在這種條件下，密封構(gòu)件的定位肩部71安放成抵靠著通道的相應(yīng)凹入肩部69而齊平。以此方式，密封構(gòu)件能容易地裝配于通道中其正確的位置。在壓縮之前，間隙73存在于壁的端表面76與密封構(gòu)件的橫向部74之間。間隙73的大小可被控制在設(shè)計(jì)公差內(nèi)以在最終組裝和壓縮期間增加或減小由縱向密封構(gòu)件施加到環(huán)形密封構(gòu)件的力。
[0028]如圖14所示，在最終壓縮后，縱向密封構(gòu)件70和環(huán)形密封構(gòu)件146分別在(一方面)在半殼58與(另一方面)端部部件56之間受壓縮，并且縱向密封構(gòu)件的橫向部74膨脹到間隙73內(nèi)并且鄰接抵靠著壁76。橫向部也朝向環(huán)形密封構(gòu)件膨脹并且爪78在橫向朝向環(huán)形密封構(gòu)件膨脹，如由箭頭所示。優(yōu)選地，密封件在某種程度上變形以提供緊密配合和良好的密封。雖然密封件抵靠彼此變形，形成了抵抗著到定子內(nèi)的泄漏的大體上半圓形的密封表面。
[0029]在上文所描述的實(shí)施例中，縱向密封構(gòu)件可呈襯墊形式，其具有大體上平坦的配置，其中，其在兩個(gè)維度具有更大的伸展并且在第三維度具有更小的伸展。襯墊可由相對(duì)較硬的材料諸如金屬而形成。在此情況下，重要的是控制在襯墊與環(huán)形密封構(gòu)件之間的密封力從而使得當(dāng)它們被壓縮在一起時(shí)襯墊并不損壞環(huán)形密封構(gòu)件。
【權(quán)利要求】
1.一種多級(jí)真空泵，包括: 第一半殼定子部件和第二半殼定子部件，限定多個(gè)泵送腔室并且用于沿著相應(yīng)縱向延伸面組裝在一起； 第一端部定子部件和第二端部定子部件，用于在所述第一半殼定子部件與第二半殼定子部件的相應(yīng)縱向端面處組裝； 縱向密封件，用于當(dāng)在所述縱向延伸面處組裝在一起時(shí)在所述第一半殼定子部件與第二半殼定子部件之間進(jìn)行密封；以及 環(huán)形密封件，用于當(dāng)組裝時(shí)在所述第一和第二端部定子部件與第一和第二半殼定子部件之間進(jìn)行密封； 其中所述縱向密封件具有鄰接抵靠著所述環(huán)形密封件的端部以用于在所述環(huán)形密封件之間進(jìn)行密封，并且所述第一半殼定子部件和第二半殼定子部件具有用于當(dāng)所述端部壓縮于第一半殼定子部件與第二半殼定子部件之間時(shí)抵抗所述端部遠(yuǎn)離所述環(huán)形密封件移動(dòng)的構(gòu)造。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多級(jí)真空泵，其中，所述半殼定子部件的彼此接合的縱向延伸面在它們之間形成用于定位所述縱向密封件的相應(yīng)縱向通道，且其中由所述通道的擴(kuò)大端部形成所述構(gòu)造，所述構(gòu)造配置成用于接納所述縱向密封件的擴(kuò)大端部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多級(jí)真空泵，其中，所述縱向密封件和所述通道的所述擴(kuò)大端部從其中部 在橫向向外呈錐形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多級(jí)真空泵，其中，所述縱向密封件和所述通道的所述擴(kuò)大端部從其中部在至少兩個(gè)正交橫向維度上向外呈錐形。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，其中，當(dāng)位于所述通道中時(shí)，所述縱向密封件的所述端部延伸成從所述半殼部件的相應(yīng)端面隆起以用于鄰接抵靠著所述環(huán)形密封件。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，其中，所述縱向密封件的所述端部配置成使得當(dāng)在組裝期間受壓縮時(shí)，它們抵靠所述環(huán)形密封件變形以在它們之間延伸所述密封表面。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，其中，所述縱向密封件的所述端部包括縱向突起，所述縱向突起之間具有凹部，所述凹部的形狀與所述環(huán)形密封件的截面互補(bǔ)從而使得當(dāng)組裝時(shí)所述環(huán)形密封件位于所述凹部中并且所述密封表面在所述密封件之間延伸。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，所述半殼定子部件的端面當(dāng)組裝在一起時(shí)形成用于定位所述環(huán)形密封件的環(huán)形通道，并且所述環(huán)形通道延伸穿過所述縱向通道的端部。
9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，其中，所述縱向通道凹入于所述半殼的所述縱向延伸面內(nèi)、并且所述縱向壁從所述凹部直立并且與所述縱向延伸面大體上齊平，其中所述縱向密封件裝配于所述壁周圍從而使得當(dāng)壓縮時(shí)所述壁防止所述縱向密封件遠(yuǎn)離所述環(huán)形密封件變形。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，其中，所述縱向密封件和所述第一半殼定子部件和第二半殼定子部件的構(gòu)造抵抗所述縱向密封件的密封表面遠(yuǎn)離相應(yīng)環(huán)形密封件移動(dòng)。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，其中，當(dāng)定位于所述第一半殼定子部件和第二半殼定子部件中時(shí)并且在壓縮之前，在所述縱向密封件的構(gòu)造與所述第一半殼部件和第二半殼部件的構(gòu)造之間存在著間隙，在壓縮期間所述縱向密封件能膨脹到所述間隙內(nèi)。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的多級(jí)真空泵，其中，所述縱向密封件為襯墊，所述襯墊在兩個(gè)維度具 有更大伸展并且在第三維度具有更小伸展。
【文檔編號(hào)】F01C19/10GK103443400SQ201280014037
【公開日】2013年12月11日 申請(qǐng)日期:2012年1月17日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月22日
【發(fā)明者】N.特納, S.道德斯韋爾, S.凱拉薩姆, A.E.K.霍爾布魯克 申請(qǐng)人:愛德華茲有限公司