通過(guò)中央?yún)^(qū)239的外圍區(qū)彼此連接。
[0026]圖2b示出背板230和薄膜220的一部分的橫截面視圖的實(shí)施例。背板230包括防粘凸塊234和細(xì)長(zhǎng)的突起236(例如，加勁脊、加勁線、加勁路線或加勁軌道)。背板230包括介電層231。介電層231可以包括介電材料，諸如氮化硅、氮氧化硅、氧化硅或聚合物。介電層231可以被施加拉伸應(yīng)力。背板230被穿孔以減小阻尼效應(yīng)(未示出)。
[0027]背板230還包括導(dǎo)電層233。導(dǎo)電層233可以包括摻雜或未摻雜的多晶娃層。導(dǎo)電層233可以包括另一摻雜或未摻雜的半導(dǎo)電層。
[0028]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)電層233可以包括金屬層。金屬層可以包括金屬材料，諸如純金屬、合金和/或化合物。應(yīng)當(dāng)理解，任何純金屬可以包括痕量雜質(zhì)。金屬材料可以包括從由以下組成的組中選擇的周期表元素中的一個(gè)或多個(gè):Al(鋁)、Cu(銅)和Au(金)。可以使用的可能金屬材料的示例包括但不限于純鋁、鋁合金、鋁化合物、純銅、銅合金、銅化合物、純金、金合金以及金化合物。
[0029]可替代地，導(dǎo)電層233可以包括另外的導(dǎo)電材料。
[0030]導(dǎo)電層233可以設(shè)置在介電層231上。可替代地，介電層231可以設(shè)置在導(dǎo)電層233上。
[0031]在一個(gè)實(shí)施例中，背板230包括夾層結(jié)構(gòu)，例如，介電層231、導(dǎo)電層233以及介電層231的堆疊，或者導(dǎo)電層233、介電層231以及導(dǎo)電層233的堆疊?？商娲兀嘲?30包括包含多個(gè)導(dǎo)電層233和多個(gè)介電層231的堆疊。
[0032]在某些實(shí)施例中，背板的導(dǎo)電層233具有約100nm至約2000nm的厚度dC，并且介電層231具有約10nm至約200nm的厚度dD。導(dǎo)電層233的厚度dC是介電層231的厚度dD的大約10倍。在具體實(shí)施例中，導(dǎo)電層233的厚度dC為約1500nm，并且介電層231的厚度dD為約140nm。背板230的頂表面230a對(duì)于防粘凸塊234和細(xì)長(zhǎng)的突起236基本上是平面的。例如，細(xì)長(zhǎng)的突起236可以包括T形狀?？梢赃x擇細(xì)長(zhǎng)的突起236的寬度wR使得背板230的頂表面230a基本上是平面的。
[0033]可以選擇細(xì)長(zhǎng)的突起236的寬度wR使得寬度wR小于或等于背板230的厚度的兩倍。背板230的厚度可以是導(dǎo)電層233(例如，厚度dC)和介電層231(例如，厚度dD)的組合厚度。細(xì)長(zhǎng)的突起236可以是諸如加勁脊的脊。
[0034]細(xì)長(zhǎng)的突起236的高度hR可以與導(dǎo)電層233和介電層231dC和dD的組合厚度相同。高度hR可以為約0.5μπι至約1.5μπι并且取決于下面的犧牲層中定義的預(yù)制結(jié)構(gòu)。細(xì)長(zhǎng)的突起236和防粘凸塊234設(shè)置在背板230的面向薄膜220的側(cè)。
[0035]在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，例如如圖2b中所示的，背板230的背側(cè)231a在細(xì)長(zhǎng)的突起236處可以基本上是平的。在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，在背板230的背側(cè)231a中在細(xì)長(zhǎng)的突起236處可以基本上沒(méi)有凹部。
[0036]在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，背板230的背側(cè)231a在防粘凸塊234處可以基本上是平的。在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，在背板230的背側(cè)231a中在防粘凸塊234處可以基本上沒(méi)有凹部。在所示出的實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)的突起236可以包括T形狀。
[0037]圖2c示出了背板230和薄膜220的一部分的進(jìn)一步實(shí)施例的橫截面視圖。圖2c示出了與圖2b中相類似的背板230，但是其具有附加的細(xì)長(zhǎng)的突起235。細(xì)長(zhǎng)的突起235可以是波紋線。在所示出的實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)的突起235比細(xì)長(zhǎng)的突起236和防粘凸塊234更寬。在所示出的實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)的突起235包括在背板230的背側(cè)表面230a中的凹部RES。表面230a的背側(cè)中的凹部RES包括可以包括U形狀。類似地，細(xì)長(zhǎng)的突起235可以包括U形狀。在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)的突起235的寬度《Co可以比背板的厚度(例如，導(dǎo)電層233和介電層231 dC和dD的組合厚度)的兩倍大。
[0038]細(xì)長(zhǎng)的突起235、236可以在沿著(例如，平行于)細(xì)長(zhǎng)方向的方向提供背板230的增加的剛度。由此，它們可以使背板230在平行于細(xì)長(zhǎng)方向的方向上更硬。在圖2c中示出的實(shí)施例中，針對(duì)細(xì)長(zhǎng)的突起235和細(xì)長(zhǎng)的突起236中的每一個(gè)的細(xì)長(zhǎng)方向垂直于頁(yè)面。在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，可以使細(xì)長(zhǎng)方向在作為背板230上的徑向的方向行進(jìn)。這例如在圖2a中示出，錨定橋238上的細(xì)長(zhǎng)的突起236在一方向行進(jìn)(S卩，細(xì)長(zhǎng)是在一方向上)，該方向?yàn)楸嘲迳系膹较颉?br>[0039]細(xì)長(zhǎng)的突起235可以使背板230在垂直于細(xì)長(zhǎng)方向的方向更柔韌。在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)方向可以平行于背板230的周界(例如，其可以包括圓形、正方形或星形配置)行進(jìn)。細(xì)長(zhǎng)的突起236可以被配置為將背板230從襯底以及從襯底/本體噪聲(body noise)/振動(dòng)解耦合。
[0040]圖3a示出了MEMS結(jié)構(gòu)300的實(shí)施例的頂視圖。背板330和薄膜(未示出)沿著它們的周界機(jī)械地連接到襯底310。薄膜和背板330可以包括圓形狀、正方形狀的形式或星形狀的形式?？商娲?，薄膜和背板330可以包括任何幾何的合適形式。
[0041 ]薄膜和背板330可以經(jīng)由錨定區(qū)連接到襯底310。襯底310還可以包括有源部件，諸如晶體管、二極管、電容器、放大器、濾波器或其他電氣器件。襯底310可以包括集成電路(IC) IEMS結(jié)構(gòu)300可以是單獨(dú)器件或者可以與IC 一起集成到單個(gè)芯片中。
[0042]薄膜和背板330包括導(dǎo)電材料。導(dǎo)電材料可以包括多晶硅材料，諸如摻雜的(或未摻雜的)多晶硅。導(dǎo)電材料可以包括金屬材料。薄膜和背板可以包括材料的組合。薄膜和背板可以包括導(dǎo)電層與介電層的組合，介電層諸如氮化硅、氮氧化硅、氧化物(例如，氧化硅)或聚合層。介電層可以是拉伸應(yīng)力層。背板330可以被穿孔以減小當(dāng)在操作中時(shí)的阻尼效應(yīng)。
[0043]背板330包括沿著背板330的周界336的切口(cutout)320。切口 320形成將背板330連接到襯底310的錨定橋340。切口 320與錨定橋340交替。切口 320可以包括拋物線或拋物線狀的形式?？商娲?，切口 320可以包括橢圓、橢圓狀、圓形或圓形狀的形式。
[0044]圖3b示出了錨定橋340的詳細(xì)視圖。細(xì)長(zhǎng)的突起352僅設(shè)置在錨定橋340上。每錨定橋340有四個(gè)細(xì)長(zhǎng)的突起352?？商娲?，每錨定橋340有其他數(shù)量的細(xì)長(zhǎng)的突起352。此外，細(xì)長(zhǎng)的突起352包括小于錨定橋340的長(zhǎng)度IA的一半的長(zhǎng)度IR?？商娲?，細(xì)長(zhǎng)的突起352的長(zhǎng)度IR可以與錨定橋340的長(zhǎng)度IA—樣大或者甚至更長(zhǎng)。在其他實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)的突起352覆蓋邊緣區(qū)315和在薄膜與背板330下方的開(kāi)口。細(xì)長(zhǎng)的突起352可以是加勁脊、加勁線、加勁路線、加勁軌道或波紋線。
[0045]圖3c示出了設(shè)置在背板330的錨定橋340和中央?yún)^(qū)335的外圍區(qū)337上的細(xì)長(zhǎng)的突起352。每錨定橋340有四個(gè)細(xì)長(zhǎng)的突起352，并且有兩個(gè)細(xì)長(zhǎng)的突起353來(lái)將錨定橋340與兩個(gè)相鄰的錨定橋340相連接?？商娲兀垮^定橋340有其他數(shù)量的細(xì)長(zhǎng)的突起352、353。此夕卜，細(xì)長(zhǎng)的突起352包括長(zhǎng)度IR，其具有小于錨定橋340的長(zhǎng)度IA的一半的長(zhǎng)度?？商娲兀?xì)長(zhǎng)的突起352的長(zhǎng)度IR可以與錨定橋340的長(zhǎng)度IA—樣大或者甚至更長(zhǎng)。在其他實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)的突起352覆蓋邊緣區(qū)315和在薄膜與背板330下方的開(kāi)口。細(xì)長(zhǎng)的突起352沿著連接相鄰錨定橋340的切口 320的周界設(shè)置。
[0046]背板330還包括防粘凸塊339和防阻尼開(kāi)口 338。防粘凸塊339可以包括具有突起部分的圓形、矩形或正方形區(qū)。該突起部分可以是中間尖端或中間點(diǎn)。細(xì)長(zhǎng)的突起352可以是加勁脊、加勁線、加勁路線、加勁軌道或波紋線。細(xì)長(zhǎng)的突起352和防粘凸塊339