本發(fā)明涉及一種控制真空元件的出口通道處的溫度的方法，所述方法包括以下步驟：在與真空元件直接流體連通的入口通道上設(shè)置調(diào)壓閥以及相對(duì)于在真空元件內(nèi)的壓力值與設(shè)定壓力值之間的差來(lái)調(diào)整在入口通道與真空元件之間流動(dòng)的流體的體積。

背景技術(shù)：

現(xiàn)今使用泵的各種類型的設(shè)備引發(fā)了關(guān)于耐久性和維護(hù)過(guò)程的一系列問(wèn)題。無(wú)論真空泵連接到食品生產(chǎn)線、不同的機(jī)械或部件生產(chǎn)線或是在化工廠內(nèi)，無(wú)法避免的一個(gè)重大問(wèn)題是它們工作的環(huán)境產(chǎn)生諸如氣態(tài)蒸汽或不同液體的污染物。已知這種污染物對(duì)真空泵的組成元件具有高的腐蝕作用，如果這些污染物在多個(gè)工作循環(huán)中被保留在系統(tǒng)內(nèi)，它們對(duì)諸如轉(zhuǎn)子、殼體或管道結(jié)構(gòu)的部件造成顯著的損壞。

當(dāng)污染物存在于真空泵中時(shí)的另一顯著風(fēng)險(xiǎn)為，它們降低了密封油的質(zhì)量甚至將其溶解，從而影響了泵元件的效率。

已知的系統(tǒng)，如在gb2,500,610中由edwardsltd引入的已知系統(tǒng)，在系統(tǒng)感應(yīng)到廢處理氣體自處理腔室(所述處理腔室通過(guò)真空泵排空)排出時(shí)供應(yīng)被稱為吹掃氣體的一種惰性氣體。當(dāng)系統(tǒng)感應(yīng)到相對(duì)惰性的氣體正在經(jīng)過(guò)泵時(shí)，或當(dāng)泵進(jìn)入空轉(zhuǎn)運(yùn)行模式時(shí)，可減少或最小化吹掃氣體的體積。

這種系統(tǒng)維持吹掃氣體流過(guò)其中直到泵出口處的污染程度相對(duì)較小，這意味著一些污染物可能保留在系統(tǒng)內(nèi)。當(dāng)真空泵連接至產(chǎn)生高腐蝕污染物的工藝通道時(shí)，這可能變成缺點(diǎn)。

這種系統(tǒng)的另一缺點(diǎn)為如下事實(shí)，即，所述體積的吹掃氣體在真空泵操作期間應(yīng)用，這不僅將改變?cè)谡婵毡玫娜肟谕ǖ捞幍膲毫χ?，并因此改變?cè)谔幚砉芫€上的壓力值，而且這還可導(dǎo)致泵在更高容量下運(yùn)行很長(zhǎng)的時(shí)間間隔。

這種系統(tǒng)的另一限制是，它不會(huì)除去進(jìn)入系統(tǒng)中的水蒸汽。眾所周知，水蒸汽可能具有有害的腐蝕作用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

考慮到上文，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種真空泵，該真空泵增大真空元件的效率并降低由于進(jìn)入其中的不同氣體或不同液體的腐蝕蒸汽而造成的損壞的風(fēng)險(xiǎn)。

本發(fā)明的另一目的是將冷凝物自真空泵除去和以要求的質(zhì)量參數(shù)保持密封油。此外，本發(fā)明顯著地降低了冷凝物在操作期間出現(xiàn)在真空元件內(nèi)的風(fēng)險(xiǎn)。

本發(fā)明提供一種方法和一種系統(tǒng)，其減小真空泵被帶入工作參數(shù)內(nèi)的時(shí)間間隔并增大整個(gè)系統(tǒng)的效率。

本發(fā)明通過(guò)提供用于調(diào)節(jié)在真空元件的出口通道處的溫度的方法來(lái)解決上文確定的問(wèn)題中的至少一個(gè)問(wèn)題，所述方法包括在入口通道上設(shè)置調(diào)壓閥的步驟，該入口通道與真空元件直接流體連通，該閥通過(guò)相對(duì)于在該真空元件內(nèi)的壓力值與設(shè)定壓力值之間的差調(diào)整在工藝通道與真空元件之間流動(dòng)的流體的體積來(lái)調(diào)節(jié)在真空元件內(nèi)的壓力，其中所述方法還包括以下步驟：

-啟動(dòng)真空元件和通過(guò)將真空元件的入口通道連接至吹掃氣體源一預(yù)定時(shí)間間隔內(nèi)來(lái)啟動(dòng)預(yù)吹掃循環(huán)；

-后續(xù)將入口通道連接至工藝通道；以及

-將入口通道與工藝通道斷開連接和啟動(dòng)后吹掃循環(huán)，在所述后吹掃循環(huán)中，在入口通道處調(diào)節(jié)氣體的流動(dòng)，以在選定時(shí)間間隔內(nèi)維持真空元件內(nèi)的設(shè)定溫度。

根據(jù)本發(fā)明的方法的優(yōu)勢(shì)之一在于，通過(guò)應(yīng)用預(yù)吹掃循環(huán)，真空泵在被連接至工藝通道之前清除了諸如水蒸汽或溶解氣體的污染物。因此，顯著降低了由于這些污染物的腐蝕作用而造成損壞的風(fēng)險(xiǎn)。

因?yàn)樵陬A(yù)吹掃循環(huán)期間真空元件未連接至工藝通道，所以熱量由于氣體壓縮和在至少一個(gè)轉(zhuǎn)子之間產(chǎn)生的摩擦而產(chǎn)生，在該至少一個(gè)轉(zhuǎn)子和真空元件的殼體上發(fā)現(xiàn)密封油，使密封油達(dá)到較高的溫度，使得即使冷凝物或氣體進(jìn)入真空內(nèi)，密封油也不會(huì)被溶解或損害并且保持了真空泵的高效率和可靠性。

因?yàn)槭姑芊庥瓦_(dá)到較高溫度，所以該真空泵對(duì)于在操作期間可能進(jìn)入的潛在有害污染物已做好準(zhǔn)備。

因?yàn)樵摲椒ㄗ裱@樣一連串的步驟，所以真空泵不僅清除潛在污染物和為操作做準(zhǔn)備，而且其還在入口通道與工藝通道斷開連接之后維持操作參數(shù)一選定時(shí)間間隔。

優(yōu)選地，該方法還包括步驟：在后吹掃循環(huán)期間調(diào)整真空元件的速度以便將在出口通道處測(cè)量的溫度維持在預(yù)定最大與最小值之間。

通過(guò)在選定時(shí)間間隔內(nèi)保持在真空元件的出口通道處測(cè)量的溫度，進(jìn)一步降低了真空泵內(nèi)形成冷凝物的風(fēng)險(xiǎn)。因此，通過(guò)根據(jù)穿過(guò)真空泵的流體的化學(xué)成分來(lái)調(diào)整選定溫度間隔，確保了將蒸汽保持氣態(tài)。

同時(shí)，使真空泵在其被連接至工藝通道之前處于額定工作速度和溫度，從而提高真空泵的效率。一旦真空泵連接至工藝通道，它就將馬上以高產(chǎn)率開始工作，從而消除了與系統(tǒng)初始化相關(guān)的任何延遲。

本發(fā)明進(jìn)一步涉及用于控制在真空元件的入口通道處的吹掃氣體源的控制器，所述控制器包括：

-調(diào)速器，其用于測(cè)量和調(diào)整真空元件的至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速；

-調(diào)壓閥，其被配置成安裝在與真空元件直接流體連通的入口通道上，該閥通過(guò)相對(duì)于所述真空元件內(nèi)的壓力值與設(shè)定壓力值之間的差調(diào)整在工藝通道與真空元件之間流動(dòng)的流體的體積來(lái)調(diào)節(jié)在真空元件內(nèi)的壓力；

其中控制器還包括：

-用于在啟動(dòng)真空元件之后將入口通道連接至吹掃氣體源一預(yù)定時(shí)間間隔的構(gòu)件；

-用于將工藝通道連接至真空元件的入口通道的構(gòu)件；以及

-用于在入口通道與工藝通道斷開連接之后將入口通道連接至吹掃氣體源并調(diào)整真空元件的速度一預(yù)定時(shí)間間隔的手段。

優(yōu)選地，控制器被配置成相對(duì)于在出口通道處測(cè)量的溫度來(lái)控制冷卻系統(tǒng)的啟動(dòng)/停止功能。

本發(fā)明進(jìn)一步涉及真空泵，所述真空泵包括：

-真空元件，其具有用于流體流的入口通道和出口通道；

-溫度傳感器，其被配置成安裝在真空元件的出口通道上；

-調(diào)壓閥，其設(shè)置在入口通道上，該入口通道與真空元件直接流體連通，該閥被配置成通過(guò)相對(duì)于該真空元件內(nèi)的壓力值與預(yù)設(shè)壓力值之間的差調(diào)整在工藝通道與真空元件之間流動(dòng)的流體的體積來(lái)調(diào)節(jié)在真空元件內(nèi)的壓力；

其中根據(jù)本發(fā)明的真空泵還包括如上所述的控制器，其被配置成通過(guò)數(shù)據(jù)通道接收來(lái)自該溫度傳感器的數(shù)據(jù)和在入口通道與工藝通道斷開連接之后調(diào)整真空元件的速度，以便將在出口通道處測(cè)量的溫度維持在預(yù)定最大與最小值之間。

通過(guò)選定維持預(yù)吹掃循環(huán)的時(shí)間間隔，真空泵在啟動(dòng)處理之前具備足夠的時(shí)間以用于完成準(zhǔn)備：真空泵不僅清除來(lái)自之前操作的潛在有害污染物，而且時(shí)間間隔將足以加熱真空元件的至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的密封油，從而消除在操作期間在真空泵內(nèi)出現(xiàn)冷凝物的風(fēng)險(xiǎn)。

根據(jù)本發(fā)明的真空泵優(yōu)選地還包括用于氣鎮(zhèn)泵的電磁閥，所述電磁閥安裝在與真空元件直接流體連通的通道上。

為了增加流體流和吹掃循環(huán)的效率，在該吹掃循環(huán)期間電磁閥可進(jìn)入打開狀態(tài)，從而更快除去污染物。因?yàn)榱黧w流增加，功耗也增大，這有助于減少密封油達(dá)到高溫的時(shí)間間隔。

這種行為允許根據(jù)本發(fā)明的真空泵可靠，因?yàn)闇p少了真空泵不在生產(chǎn)線上使用的時(shí)間間隔。因此不僅真空處理的質(zhì)量保持在非常高的標(biāo)準(zhǔn)，而且這種真空泵所用于的最終產(chǎn)品或過(guò)程的快速性和質(zhì)量也保持在非常高的標(biāo)準(zhǔn)。

本發(fā)明也涉及如上所述的控制器在真空泵中的用途，其用于通過(guò)在后吹掃和/或手動(dòng)吹掃循環(huán)期間調(diào)整真空元件的速度而將真空元件的出口通道處的溫度維持在選定值之間。

本發(fā)明也涉及具備根據(jù)本發(fā)明的調(diào)壓閥和/或控制器的真空泵。

附圖說(shuō)明

為了更好地示出本發(fā)明的特征，下面參考附圖通過(guò)沒有任何限制性質(zhì)的示例來(lái)描述根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)的優(yōu)選方法和配置，其中：

圖1公開了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的真空泵；

圖2公開了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式調(diào)壓閥；以及

圖3公開了根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式的調(diào)壓閥。

具體實(shí)施方式

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的真空泵的示意圖，所述真空泵包括：真空元件1，所述真空元件具有用于流體流的入口通道2和出口通道3并且具備調(diào)壓閥4，所述調(diào)壓閥4被配置成安裝在與真空元件1直接流體連通的入口通道2上。該閥4被配置成通過(guò)相對(duì)于該真空元件1內(nèi)的壓力值與設(shè)定壓力值之間的差調(diào)整在工藝通道8與真空元件1之間流動(dòng)的流體的體積來(lái)調(diào)節(jié)在真空元件1內(nèi)的壓力。

根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選地包括步驟：通過(guò)將真空元件1的出口通道2連接至吹掃氣體源一段預(yù)選時(shí)間間隔，而在啟動(dòng)真空元件1之后啟動(dòng)預(yù)吹掃循環(huán)。

在該預(yù)選時(shí)間間隔之后，將入口通道2連接至工藝通道8并通過(guò)壓力控制器(未示出)調(diào)節(jié)真空泵的操作。因此，根據(jù)在工藝通道8的位置處的要求參數(shù)(例如，流體流、溫度和/或壓力)來(lái)調(diào)適電機(jī)的速度。

當(dāng)達(dá)到要求參數(shù)時(shí)，將入口通道2與工藝通道8斷開連接并將真空元件1優(yōu)選地連接至后吹掃循環(huán)，在此期間在入口通道2處調(diào)節(jié)氣體的流動(dòng)，以便將真空元件1內(nèi)的設(shè)定溫度維持一段選定時(shí)間間隔。

當(dāng)入口通道2與工藝通道8斷開連接時(shí)，可例如通過(guò)例如調(diào)節(jié)閥或閥系統(tǒng)(未示出)將入口通道連接至流體源(未示出)。這種連接可將真空元件1內(nèi)的所需溫度維持一段選定時(shí)間間隔。

優(yōu)選地，當(dāng)入口通道2與工藝通道8斷開連接時(shí)，調(diào)壓閥4進(jìn)入關(guān)閉狀態(tài)。

在根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中，在后吹掃循環(huán)期間調(diào)整真空元件1的速度使得將在出口通道3處測(cè)量的溫度維持在預(yù)定最大和最小值之間。

在根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中，真空泵還包括設(shè)置在真空元件1的出口通道3上的溫度傳感器6。根據(jù)本發(fā)明的真空泵通過(guò)工藝通道8能夠進(jìn)一步連接至外部工藝(未示出)。

優(yōu)選地，基于通過(guò)溫度傳感器6的測(cè)量來(lái)調(diào)整真空元件1的速度。

優(yōu)選地，當(dāng)在真空元件1的出口通道3處的溫度上升到最大選定溫度tmax以上時(shí)減小真空元件1的速度，和/或如果在真空元件1的出口通道3處的溫度低于最小選定溫度tmin，則增大真空元件1的速度。

優(yōu)選地，如果在出口通道3處測(cè)量的溫度小于100℃、優(yōu)選地小于98℃，則增大真空元件1的速度，更優(yōu)選地如果在真空元件1的出口通道3處測(cè)量的溫度達(dá)到例如大約97.5℃的值，則增大真空元件1的速度。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，根據(jù)環(huán)境條件選擇增大真空元件1的速度的溫度。因此，溫度也可低于97.5℃，或低于95℃，或甚至低于60℃。

另一方面，當(dāng)在出口通道3處測(cè)量的溫度上升到100℃以上，更優(yōu)選高于101℃時(shí)減小真空元件1的速度，最優(yōu)選地，如果在出口通道3處測(cè)量的溫度達(dá)到例如大約102.5℃的值，則減小真空元件1的速度。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，根據(jù)環(huán)境條件選擇減小真空元件1的速度的溫度。因此，溫度也可大于102.5℃，例如大于105℃。

優(yōu)選地，入口通道2包括允許流體在真空元件1與工藝通道8之間流動(dòng)的管。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，真空泵可從包括以下各者的組中選擇：?jiǎn)锡X真空泵、雙齒真空泵、爪式真空泵、渦旋式真空泵、渦輪真空泵、螺桿真空泵、旋轉(zhuǎn)葉片真空泵等。真空泵的所提到類型中的每種均可以是無(wú)油式或噴油式。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，真空元件1包括包封在腔室內(nèi)的至少一個(gè)轉(zhuǎn)子。為便于說(shuō)明，真空元件1的至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速以下稱為真空元件1的速度。

根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選地包括步驟：通過(guò)將入口通道2連接至吹掃氣體流以及保持流體活動(dòng)一段預(yù)定時(shí)間間隔而在啟動(dòng)所述真空元件1之后使真空元件1經(jīng)歷預(yù)吹掃循環(huán)。

以這種方式，除去假設(shè)存在于管道系統(tǒng)或真空元件1內(nèi)的污染物。

在啟動(dòng)真空元件1之前，存在于轉(zhuǎn)子與保存各轉(zhuǎn)子的腔室之間的密封油處于較高粘性狀態(tài)。當(dāng)轉(zhuǎn)子開始旋轉(zhuǎn)時(shí)，摩擦發(fā)生在轉(zhuǎn)子、密封油與腔室之間，從而產(chǎn)生幫助密封油達(dá)到高溫并變得粘性較低的熱量。此外，由于氣體的壓縮，因此會(huì)產(chǎn)生更多的熱量。

在預(yù)定時(shí)間間隔之后，真空元件1進(jìn)入額定工作溫度和壓力，其污染物被清除病情密封油處于較高的溫度。因此，在預(yù)吹掃循環(huán)期間，真空元件準(zhǔn)備好連接至工藝通道8。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，當(dāng)真空元件1經(jīng)歷預(yù)吹掃循環(huán)時(shí)，系統(tǒng)將在較高速度下運(yùn)行一段預(yù)定時(shí)間間隔以便達(dá)到預(yù)設(shè)溫度。

根據(jù)每一過(guò)程的要求，例如可以在1分鐘與20分鐘之間選擇所述預(yù)定時(shí)間間隔。

可在60-100℃之間選擇該預(yù)設(shè)溫度，例如，預(yù)設(shè)溫度可以是80℃。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，所述方法還包括步驟：在將入口通道2連接至工藝通道8之前，將真空元件1的速度減小至預(yù)定工作速度。因?yàn)椋陬A(yù)吹掃循環(huán)期間，真空元件1在高速下工作，以及因?yàn)樵诖蠖鄶?shù)情況中，在剛要將真空元件1連接至工藝通道8時(shí)，在工藝通道8內(nèi)的壓力值高于在真空元件1內(nèi)的壓力值，此步驟確保驅(qū)動(dòng)真空元件1的電機(jī)不過(guò)載或不經(jīng)歷可能影響其行為并減少其壽命的高振蕩。

在將真空元件1連接至工藝通道8之后，真空元件1進(jìn)入所謂調(diào)制狀態(tài)并且真空泵的操作由壓力控制器調(diào)節(jié)。在這種狀態(tài)中，通過(guò)開/關(guān)冷卻系統(tǒng)(未示出)將在真空元件1的位置處的溫度維持在最小值與最大值之間。因此，如果真空元件1的溫度增大到最大值以上，冷卻系統(tǒng)被致動(dòng)并將開始影響真空元件1的溫度。當(dāng)真空元件1的溫度達(dá)到最小值時(shí)，冷卻系統(tǒng)停止。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，一旦入口通道2處達(dá)到所需壓力值，調(diào)壓閥4就進(jìn)入關(guān)閉狀態(tài)并且將沒有流體從外部工藝流到真空元件1中。在此階段，入口通道2與工藝通道8斷開連接并優(yōu)選地連接至吹掃氣體流，這稱為后吹掃循環(huán)。

在后吹掃循環(huán)期間，來(lái)自安裝在出口通道3上的溫度傳感器6的數(shù)據(jù)用于調(diào)整轉(zhuǎn)子的速度，以便將出口通道3處的溫度維持在最小值與最大值之間，以及相應(yīng)地維持額定運(yùn)行參數(shù)。

因此，在操作期間可能已進(jìn)入系統(tǒng)中的污染物(例如水或不同氣體)被去除。

通過(guò)將真空元件1內(nèi)的設(shè)定溫度維持一段選定時(shí)間間隔，真空元件1保持處于額定工作參數(shù)中使得如果需要其可以立即地連接至外部工藝。其結(jié)果是，系統(tǒng)的可靠性和響應(yīng)性提高。

優(yōu)選地，在后吹掃循環(huán)期間，真空元件1內(nèi)的速度和溫度維持在額定參數(shù)內(nèi)，使得如果壓力值在工藝通道8上上升并且真空元件1必須被連接至外部工藝，則真空元件1將立即地以高產(chǎn)率影響工藝通道8上的壓力，從而除去不想要的等待時(shí)間間隔和增大真空元件1的效率。

優(yōu)選地，在后吹掃期間，將真空元件1內(nèi)的溫度維持在60-100℃之間，更優(yōu)選地將該溫度維持在大約100℃。因此，當(dāng)系統(tǒng)在真空元件1的出口通道3處測(cè)量到105℃、更優(yōu)選地大約103℃的溫度時(shí)，其將減小真空元件1的速度。

另一方面，當(dāng)系統(tǒng)在真空元件1的出口通道3處測(cè)量到95℃、更優(yōu)選為大約98℃的溫度時(shí)，其將增大真空元件1的速度。

因?yàn)橄到y(tǒng)將真空元件1的出口通道3處的這種溫度維持一段預(yù)定時(shí)間間隔，所以根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)應(yīng)用能效方法以除去可能已進(jìn)入真空元件1中的水蒸汽。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，當(dāng)在工藝通道8內(nèi)的壓力值高于400毫巴時(shí)，調(diào)節(jié)閥4將入口通道2的壓力水平維持在大約400毫巴的相對(duì)恒定值。

優(yōu)選地，當(dāng)工藝通道8內(nèi)的壓力值高于400毫巴時(shí)，調(diào)壓閥4處于關(guān)閉狀態(tài)。

當(dāng)工藝通道8內(nèi)的壓力值達(dá)到400毫巴或更低的值時(shí)，優(yōu)選地打開調(diào)壓閥4，并且在工藝通道8內(nèi)的壓力值將具有與真空元件1內(nèi)大致相同的值。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，可根據(jù)真空泵所連接的工藝來(lái)更改400毫巴的數(shù)值。例如，這種數(shù)值可以是包括在但不限于200-800毫巴區(qū)間內(nèi)的任意選定數(shù)值。

優(yōu)選地，一旦調(diào)壓閥4進(jìn)入打開狀態(tài)，作為驅(qū)動(dòng)真空泵的電機(jī)的一部分的變頻驅(qū)動(dòng)單元(未示出)將調(diào)整真空元件1內(nèi)的壓力值并且因此調(diào)整工藝通道8內(nèi)的壓力值。

為增大效率，所述方法還包括步驟：在預(yù)吹掃循環(huán)和/或后吹掃循環(huán)期間將調(diào)壓閥4維持在關(guān)閉狀態(tài)使得沒有流體會(huì)從真空元件1泄漏出至工藝通道8。

優(yōu)選地，調(diào)壓閥4(圖2或圖3)包括外殼v5，所述外殼v5界定由壁v8分開的第一腔室v6和第二腔室v7。第一腔室v6包括可動(dòng)元件v9，所述可動(dòng)元件限定彼此流動(dòng)密封的第一空腔v6a和第二空腔v6b。第一空腔v6a包括連接至第一流體源的入口通道v10和用于在可動(dòng)元件v9上施加力的構(gòu)件。

優(yōu)選地，所述壁v8作為第二腔室v7與第一腔室v6的第二空腔v6b之間的隔離部。

外殼v5可例如包括蓋v5a。在這種情況中但不是必須地，入口通道v10居中地設(shè)置蓋v5a上在與第二空腔v6b相對(duì)。

第二腔室v7與流體源的工藝通道8直接連通并且該第二腔室中還包括閥體v11，閥體v11具有近端v11b和延伸到第一腔室v6的第一空腔v6a中的遠(yuǎn)端v11，該閥體v11能夠在初始關(guān)閉狀態(tài)與第二打開狀態(tài)之間運(yùn)動(dòng)，在初始關(guān)閉狀態(tài)中，近端v11b被推靠在密封法蘭v12上，在第二打開狀態(tài)中，流體在處理信道8與真空元件1的入口通道2之間流動(dòng)。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，外殼v5可由一個(gè)整體部件或幾個(gè)單獨(dú)部件構(gòu)成。

閥體v11以阻止第二腔室v7與第一腔室v6的第二空腔v6b之間的流體流的方式可滑動(dòng)地安裝在壁v8中。

優(yōu)選地，密封法蘭v11形成朝向真空元件1的入口通道2的開口。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，閥體v11安裝在引導(dǎo)部v13內(nèi)，在此情況下，在管形元件的形狀中，包括安裝在引導(dǎo)部v13的位置處的密封件v14和襯套v15以消除遇到第一腔室v6的第二空腔v6b與第二腔室v7之間的任何殘余流體流的風(fēng)險(xiǎn)。

優(yōu)選地，閥體v11包括延伸穿過(guò)所述閥體v11的流體通道v16，其允許流體在第一空腔v6a與真空元件1的入口通道2之間流動(dòng)。因此，在第一空腔v6a內(nèi)的壓力將與在真空元件1的入口通道2處的流體的壓力值具有相同的值。

可動(dòng)元件v9可例如為隔膜、活塞或金屬板的形式。

優(yōu)選地，用于在可動(dòng)元件v9上施加力的該構(gòu)件可以是以下形式：彈簧、活塞或金屬板，例如鋼板，對(duì)于所述鋼板，在可動(dòng)元件v9上施加力是材料屬性所固有的。在可動(dòng)元件v9上產(chǎn)生的力可以是壓縮力的或拉伸力。

優(yōu)選地，用于在可動(dòng)元件v9上施加力的構(gòu)件包括位于第一空腔v6a中并推壓在該可動(dòng)元件v9上的彈簧v17。

彈簧v17可例如居中地位于第一腔室v6的所述空腔v6a內(nèi)并推壓在可動(dòng)元件v9上的居中定位的表面上。

優(yōu)選地，外殼v5包括圍繞入口通道v10的軸套v18，所述軸套用于定位該彈簧v17和將其保持在穩(wěn)定的居中位置。入口通道v10可相對(duì)于該軸套v18同心地定位。

在根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，入口通道v10可以定位在蓋v5a的橫向側(cè)上。

優(yōu)選地，彈簧v17在初始關(guān)閉狀態(tài)中產(chǎn)生低于3000n(牛頓)的力f1，更優(yōu)選地彈簧v17產(chǎn)生低于2000n的力fl，甚至更優(yōu)選地，彈簧v17產(chǎn)生1000n或更少的力f1。

在一優(yōu)選實(shí)施方式中，彈簧v17在初始關(guān)閉狀態(tài)中產(chǎn)生在500至2000n范圍內(nèi)的力f1。

優(yōu)選地，在此示例中，推靠在密封法蘭v12上的近端v11b為具有圓化邊緣的截頭圓錐體的形狀，其具有在面向第二腔室v7的一端處具有最大直徑的基部及在面向真空元件1的入口通道2的一端處具有最小直徑的基部。

優(yōu)選地，近端v11b在面向真空元件1的入口通道2的一端處具有中空的空腔v19。

入口閥4優(yōu)選地包括用于引導(dǎo)可動(dòng)元件v9的兩個(gè)引導(dǎo)元件v20和v21：第一引導(dǎo)元件v20位于第一腔室v6的第二空腔v6b中并位于可動(dòng)元件v9和將第一腔室v6與第二腔室v7分開的壁v8之間,第二引導(dǎo)元件v21位于第一腔室v6的第一空腔v6a中并位于可動(dòng)元件v9與彈簧v17之間。

可動(dòng)元件v9可以是活塞或金屬板的形式。優(yōu)選地，可動(dòng)元件v9為固定在第一腔室v6的外殼v5中的隔膜。

在根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，第一引導(dǎo)元件v20為具有中空槽的圓柱形塊的形式，所述中空槽形成在面向壁v8的一側(cè)上以用于在其中接收引導(dǎo)部v13。

在根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，第一引導(dǎo)元件v20為盤狀，盤中具有用于接收閥體v11的孔。

第二引導(dǎo)元件v21可以是盤狀，彈簧vl7在一側(cè)抵靠擱置在盤上，并且所述盤中具有用于接收閥體vl1的孔。

優(yōu)選地，引導(dǎo)元件v21包括朝向蓋v5a延伸的周緣。

優(yōu)選地，第一腔室v6的第二空腔v6b還包括入口通道v22，所述入口通道將該第二空腔v6b流體連接至處于壓力p1的第一流體源。

為便于設(shè)計(jì)，第一流體優(yōu)選為空氣并且p1優(yōu)選地為大氣壓力。

為了控制流過(guò)第一腔室v6的第一空腔v6a的入口通道v10并且流過(guò)閥體v11流向真空元件1的入口通道2的流體的體積，第一腔室v6的第一空腔v6a的入口通道v10還包括用于使該第一空腔v6a與處于壓力pl的流體流密封的構(gòu)件。

優(yōu)選地但不限于此，用于使該第一空腔v6a與流體流密封的該構(gòu)件為閥9。

在根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式中，當(dāng)真空元件1經(jīng)歷吹掃循環(huán)時(shí)，調(diào)壓閥4維持在關(guān)閉狀態(tài)。一旦真空元件1連接至外部工藝，調(diào)壓閥4將控制在工藝通道8與如將進(jìn)一步說(shuō)明的真空元件1之間流動(dòng)的流體的體積。

如果在真空元件1的入口通道2處的壓力p元件小于最小設(shè)定值，則閥體v11抵抗由彈簧v17產(chǎn)生的力在第一腔室v6的方向上滑動(dòng)地移動(dòng)，從而使閥體v11的近端v11b從密封法蘭v12提升并且允許流體在工藝通道8與真空元件1的入口通道2之間流動(dòng)。

當(dāng)在真空元件1的入口通道2處的壓力值達(dá)到足夠高的值時(shí)，使得在第一腔室v6的第一空腔v6a與第二空腔v6b之間的壓力差足夠低以允許閥體v11的近端v11b朝向密封法蘭v12移動(dòng)并減少流體流。如果在真空元件1的入口通道2內(nèi)的壓力仍然過(guò)高，則移動(dòng)閥體v11的近端v11b直到其被推靠在所述密封法蘭v12上，從而完全地停止工藝通道8與真空元件1的入口通道2之間的流體流。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，壓力值根據(jù)真空泵所連接的應(yīng)用調(diào)整，在所述壓力值下，閥體v11的近端v11b從密封法蘭v12升高和/或被推靠在密封法蘭v12上。

優(yōu)選地，當(dāng)p元件高于最小設(shè)定值時(shí)，近端v11b被壓靠在密封法蘭v12上并且流體流流過(guò)流體通道v16。當(dāng)p元件等于或低于最小設(shè)定值時(shí)，閥9關(guān)閉并且沒有流體流過(guò)流體通道v16，調(diào)壓閥4進(jìn)入調(diào)制狀態(tài)。壓力p元件和工藝通道8內(nèi)的壓力值在此種狀態(tài)中受變速驅(qū)動(dòng)單元或換流器、真空泵的驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的部件影響。

優(yōu)選地，該驅(qū)動(dòng)構(gòu)件可以是燃機(jī)或電動(dòng)機(jī)、例如水輪機(jī)或汽輪機(jī)的透平等。

驅(qū)動(dòng)構(gòu)件可直接地被驅(qū)動(dòng)或可由如聯(lián)接器或齒輪箱的中間傳動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)。

因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的真空泵使用如上所述的調(diào)壓閥4，所以可在吹掃循環(huán)期間維持整個(gè)閥體v8中的流體的穩(wěn)流，從而增大流過(guò)整個(gè)真空元件1的流體的體積并增大這種吹掃循環(huán)的可靠性。因此可減少為執(zhí)行吹掃循環(huán)而分配的時(shí)間間隔。

優(yōu)選地，但不是必要的，調(diào)壓閥4是如在專利申請(qǐng)be2015/5072中描述的類型的調(diào)壓閥，所述專利申請(qǐng)以引入的方式全部并入本文。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，也可使用具有不同結(jié)構(gòu)的其他類型的閥。

在將真空元件1連接至外部工藝之后，調(diào)壓閥4將維持壓力在相對(duì)恒定值，并根據(jù)本發(fā)明的控制器調(diào)整在真空元件1內(nèi)的所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的速度以便將在真空元件1的出口通道3處測(cè)量的溫度維持在最小值與最大值之間。

因此，如果將在真空元件1內(nèi)的溫度維持在足夠高的值，則消除了在真空元件1內(nèi)形成冷凝物的風(fēng)險(xiǎn)。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，當(dāng)將真空元件1連接至外部工藝時(shí)，閥9進(jìn)入關(guān)閉狀態(tài)，以便真空元件1以最大產(chǎn)率影響在外部工藝位置處的壓力。

如果，在為預(yù)吹掃循環(huán)設(shè)定預(yù)定時(shí)間間隔之后，密封油的溫度未達(dá)到確保在操作期間沒有冷凝物形成在真空元件1內(nèi)的值，則系統(tǒng)可產(chǎn)生用于通知用戶關(guān)于這種風(fēng)險(xiǎn)的告警信號(hào)。

優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的方法還包括步驟：提供用于氣鎮(zhèn)的電磁閥5，所述電磁閥5安裝在與真空元件1直接流體連通的通道上。

優(yōu)選地，電磁閥控制氣體流，所述氣體流用于自真空泵移除氣體雜質(zhì)。該氣體可從包括以下各者的組中選出：環(huán)境空氣、氮?dú)?、氦氣、氙氣、其他氣體或其任何組合。

優(yōu)選地，該電磁閥5在吹掃循環(huán)期間打開以確保污染物的更有效排出。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，所述方法還包括手動(dòng)啟動(dòng)吹掃循環(huán)的步驟。

在手動(dòng)吹掃循環(huán)期間，調(diào)壓閥4優(yōu)選地進(jìn)入關(guān)閉狀態(tài)。

可以在根據(jù)本發(fā)明的真空泵的用戶要求的任何時(shí)間遵循手動(dòng)啟動(dòng)吹掃循環(huán)的步驟。優(yōu)選地，一旦真空元件1不必連接至工藝通道8一段最小時(shí)長(zhǎng)，則真空元件1可連接至手動(dòng)啟動(dòng)的吹掃循環(huán)并清除真空元件1中的任何流體，從而使真空泵進(jìn)入所謂干燥狀態(tài)。

優(yōu)選地，根據(jù)泵所連接的工藝，可由用戶選擇吹掃循環(huán)的持續(xù)時(shí)間，預(yù)吹掃、后吹掃或手動(dòng)啟動(dòng)的吹掃循環(huán)。

優(yōu)選地，但不限于此，以與用于后吹掃循環(huán)的方式相同的方式，選擇手動(dòng)吹掃循環(huán)的持續(xù)時(shí)間和維持在真空元件1的出口通道3處的溫度。此外，以與在后吹掃循環(huán)期間相同的方式調(diào)節(jié)真空元件1的速度。

優(yōu)選地，在預(yù)吹掃循環(huán)期間，系統(tǒng)將以最大速率運(yùn)行直到達(dá)到所要的溫度，并且在后吹掃循環(huán)期間，系統(tǒng)通過(guò)改變速度優(yōu)選地維持真空元件1內(nèi)的設(shè)定溫度。

本發(fā)明還涉及用于控制在真空元件1的入口通道2處的吹掃氣體源的控制器。

優(yōu)選地，控制器包括：調(diào)速器，其用于測(cè)量和調(diào)整真空元件1的至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速；和調(diào)壓閥4，其被配置成安裝在與真空元件1直接流體連通的入口通道2上，該閥4通過(guò)相對(duì)于該真空元件1內(nèi)的壓力值與設(shè)定壓力值之間的壓力差調(diào)整在工藝通道8與真空元件1之間流動(dòng)的流體的體積，來(lái)調(diào)節(jié)在真空元件1內(nèi)的壓力。根據(jù)本發(fā)明的控制器還包括：用于在啟動(dòng)真空元件1之后將入口通道2連接至吹掃氣體源一段預(yù)定時(shí)間間隔的構(gòu)件；用于將工藝通道8連接至真空元件1的入口通道3的構(gòu)件；和用于在入口通道2與工藝通道8斷開連接之后將入口通道2連接至吹掃氣體源并且調(diào)整真空元件1的速度一段預(yù)定時(shí)間間隔的手段。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，控制器為能夠更改真空泵的至少一個(gè)部件的狀態(tài)的電子模塊，并且優(yōu)選地具有用戶界面。用戶界面可包括：至少一命令按鈕、開關(guān)、觸屏或其組合。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，當(dāng)指定控制器(未示出)以特定方式(例如但不限于：增大或減小真空元件1的至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的速度，或使電磁閥5進(jìn)入打開狀態(tài)，或?qū)⑷肟谕ǖ?連接至吹掃氣體流)影響部件的狀態(tài)時(shí)，控制器則產(chǎn)生信號(hào)，例如改變?cè)摬考臓顟B(tài)的電信號(hào)。

優(yōu)選地，用于將入口通道2連接至吹掃氣體源的所述構(gòu)件包括用于產(chǎn)生電信號(hào)的構(gòu)件，所述電信號(hào)打開在吹掃氣體源與入口通道2之間的通道。電信號(hào)可例如打開安裝在該通道上的閥或可致動(dòng)引導(dǎo)流體通過(guò)該通道的行程的開關(guān)，等等。當(dāng)討論用于將工藝通道8連接至真空元件1的入口通道2的構(gòu)件時(shí)，這同樣適用。

優(yōu)選地，將入口通道2連接至吹掃氣體源的所述構(gòu)件包括閥9。優(yōu)選地，該閥9是還包括過(guò)濾器的電磁閥，該吹掃氣體優(yōu)選地為環(huán)境空氣。

優(yōu)選地，該閥9通過(guò)噴嘴(未示出)連接至吹掃氣體源。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，閥9的噴嘴具有比在調(diào)壓閥4的遠(yuǎn)端v11的位置處的噴嘴大得多的直徑。因此，當(dāng)打開閥9時(shí)，流體流保持從閥9通過(guò)調(diào)壓閥4進(jìn)入真空元件1的入口通道2中。

優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的控制器還包括溫度傳感器6，所述溫度傳感器被配置成安裝在真空元件1的出口通道3上。溫度傳感器6通過(guò)數(shù)據(jù)通道連接至控制器并且將測(cè)量數(shù)據(jù)發(fā)送至該控制器。

在本發(fā)明的上下文中，應(yīng)理解，該數(shù)據(jù)通道可以是有線的或無(wú)線的數(shù)據(jù)通道。

在本發(fā)明的上下文中，用于調(diào)整真空元件1的速度的所述手段可例如是數(shù)據(jù)通道上的由控制器產(chǎn)生的信號(hào)(所述數(shù)據(jù)通道形成在調(diào)速器與該控制器之間)，或可以是受由該控制器產(chǎn)生的信號(hào)影響的兩個(gè)狀態(tài)開關(guān)或電位計(jì)。在另一示例中，該控制器可包括在驅(qū)動(dòng)真空泵的電機(jī)的電子模塊內(nèi)，用于調(diào)整真空元件1的速度的所述手段可以是發(fā)送至調(diào)速器的電信號(hào)。

用于測(cè)量和調(diào)整真空元件1的至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速的調(diào)速器優(yōu)選地通過(guò)數(shù)據(jù)通道連接至該控制器。

控制器可以是真空泵的一部分或可以是通過(guò)數(shù)據(jù)通道與真空泵連接的外部元件。

如果控制器不是真空泵的一部分，則溫度傳感器6和調(diào)速器可建立具有中央通信元件的數(shù)據(jù)通道，所述中央通信元件安裝在真空泵的位置處，或者可建立直接與溫度傳感器6和調(diào)速器一起的數(shù)據(jù)通道。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，通過(guò)如果在真空元件1的出口通道3處的溫度大于最大選定溫度tmax則減小真空元件1的速度和/或如果在真空元件1的出口通道3處的溫度小于最小選定溫度tmin則增大真空元件1的速度，控制器在后吹掃或手動(dòng)吹掃循環(huán)期間在選定間隔內(nèi)維持出口通道3處測(cè)量的溫度。

優(yōu)選地，如果在出口通道3處測(cè)量的溫度小于100℃，優(yōu)選地小于98℃，則控制器增大真空元件1的速度，更優(yōu)選地如果在真空元件1的出口通道3處測(cè)量的溫度達(dá)到大約97.5℃的值，則控制器增大真空元件1的速度。

另一方面，如果在出口通道3測(cè)量的溫度高于100℃，更優(yōu)選高于101℃，則控制器減小真空元件1的速度，最優(yōu)選地，如果在出口通道3測(cè)量的溫度達(dá)到大約102.5℃的值，則控制器減小真空元件1的速度。

因此，在上述指示的溫度值下并且假設(shè)大氣排放條件(例如，大氣壓力、溫度和相對(duì)濕度)為經(jīng)常遇到的值，水蒸汽保持氣態(tài)，并且真空元件1內(nèi)不能冷凝物。

本發(fā)明還涉及真空泵，其包括：真空元件1，其具有用于流體流的入口通道2和出口通道3；溫度傳感器6，其被配置成安裝在真空元件1的出口通道3上；和調(diào)壓閥4，其設(shè)置在入口通道2上，該入口通道2與真空元件1直接流體連通，該閥4被配置成通過(guò)相對(duì)于該真空元件1內(nèi)的壓力值與預(yù)設(shè)壓力值之間的差調(diào)整在工藝通道8與真空元件1之間流動(dòng)的流體的體積來(lái)調(diào)節(jié)在真空元件1內(nèi)的壓力。真空泵還優(yōu)選地包括如上所述的控制器，所述控制器被配置成通過(guò)數(shù)據(jù)通道接收來(lái)自該溫度傳感器6的數(shù)據(jù)和在入口通道2與工藝通道8斷開連接之后調(diào)整真空元件1的速度，以便將在出口通道3處測(cè)量的溫度維持在預(yù)定最大與最小值之間。

優(yōu)選地，真空泵通過(guò)工藝通道8進(jìn)一步可連接至外部工藝(未示出)。

為在吹掃循環(huán)期間更高效地凈化系統(tǒng)，真空泵還包括用于氣鎮(zhèn)的電磁閥5，所述電磁閥5安裝在與真空元件1直接流體連通的通道上。

優(yōu)選地，如果真空元件l的出口通道3處的溫度上升到最大選定溫度tmax以上，則控制器增大真空元件l的速度，和/或如果在真空元件l的出口通道3處的溫度小于最小選定溫度tmin，則減小真空元件l的速度。

優(yōu)選地，tmin小于100℃，更優(yōu)選地tmin小于98℃并且最優(yōu)選地tmin為大約97.5℃，和/或tmax大于100℃，更優(yōu)選地，tmax大于101℃并且最優(yōu)選地tmax為大約102.5℃。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，在真空元件1與外部工藝斷開連接之后，啟動(dòng)后吹掃循環(huán)。這種循環(huán)不僅凈化真空泵而且還將其維持在工作溫度一段選定時(shí)間間隔。因此，如果真空泵必須在選定時(shí)間間隔內(nèi)使用，則至外部工藝的直接連接將是可能的而沒有在真空泵內(nèi)留有污染物的風(fēng)險(xiǎn)。

優(yōu)選地，在后吹掃循環(huán)期間，將在真空元件1內(nèi)的溫度維持在60-100℃之間，更優(yōu)選地將所述溫度維持在大約100℃。因此，當(dāng)系統(tǒng)在真空元件1的出口通道3處測(cè)量105℃、更優(yōu)選為大約103℃的溫度時(shí)，其將減小真空元件1的速度。

另一方面，當(dāng)系統(tǒng)在真空元件1的出口通道3處測(cè)量到95℃、更優(yōu)選為大約98℃的溫度時(shí)，其將增大真空元件1的速度。

如果需要，控制器能夠產(chǎn)生用于啟動(dòng)吹掃循環(huán)以凈化真空泵的信號(hào)。

優(yōu)選地，控制器還包括用于手動(dòng)啟動(dòng)吹掃循環(huán)的構(gòu)件。

因此，用戶可通過(guò)致動(dòng)在控制器位置處的按鈕或開關(guān)來(lái)手動(dòng)啟動(dòng)吹掃循環(huán)。

在根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施方式中，真空泵還包括入口過(guò)濾器7，所述入口過(guò)濾器除去來(lái)自工藝通道8的固體雜質(zhì)。

優(yōu)選地，當(dāng)將真空元件1連接至后吹掃循環(huán)或手動(dòng)吹掃循環(huán)時(shí)，控制器增大或減小轉(zhuǎn)子的速度以便在選定間隔內(nèi)維持在出口通道3處測(cè)量的溫度。控制器能夠減小轉(zhuǎn)子的速度直到完全停止真空元件1，以及還增大該轉(zhuǎn)子的速度直到達(dá)到最大允許值。此外，一旦真空元件1進(jìn)入完全停止?fàn)顟B(tài)，控制器也能夠重新啟動(dòng)它。

控制器控制冷卻系統(tǒng)(未示出)的動(dòng)作以用于真空元件1的溫度控制。因此，如果真空元件1的溫度快速地增大，則控制器對(duì)冷卻系統(tǒng)產(chǎn)生信號(hào)，所述冷卻系統(tǒng)將開始影響真空元件1的溫度。

優(yōu)選地，用于氣鎮(zhèn)的電磁閥5設(shè)置在與真空元件1直接流體連通的通道上。優(yōu)選地，控制器使電磁閥5在吹掃循環(huán)期間處于打開狀態(tài)，以增大凈化過(guò)程的效率。

本發(fā)明還涉及根據(jù)本發(fā)明的控制器在真空泵中的用途，其用于通過(guò)在后吹掃和/或手動(dòng)吹掃循環(huán)期間調(diào)整真空元件1的速度而將真空元件1的出口通道3處的溫度維持在選定值之間。

本發(fā)明還涉及具備根據(jù)本發(fā)明的調(diào)壓閥4和控制器的真空泵。

圖1包括未在本說(shuō)明書中提及的其他組成元件。包括這些元件以用于真空泵的良好運(yùn)行，并且其不應(yīng)認(rèn)為是限制性特征。

本發(fā)明絕不限于作為示例所描述和在附圖中所圖示的實(shí)施方式，但是這種方法可在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下以各種變型實(shí)現(xiàn)。