真空排氣機(jī)構(gòu)、復(fù)合式真空泵以及旋轉(zhuǎn)體部件的制作方法
【專利摘要】真空泵具有西格班式分子泵部，在該西格班式分子泵部?jī)?nèi)的外周（外側(cè)）的折返流路中，具有用于增大流導(dǎo)率的構(gòu)造，所述西格班式分子泵中，在配設(shè)的固定圓板和配設(shè)的旋轉(zhuǎn)圓板中的至少某一個(gè)上，刻設(shè)（配設(shè)）有螺旋狀槽，該螺旋狀槽具有峰部和谷部。借助形成于旋轉(zhuǎn)圓板上的連通部（槽部、狹縫），或者設(shè)置于固定圓板上的斜板與旋轉(zhuǎn)圓板上形成的連通部，前述增大流導(dǎo)率的構(gòu)造形成于真空泵的內(nèi)部。“連通部”、“槽部”、“狹縫”呈現(xiàn)“凹陷”狀的形態(tài)，在旋轉(zhuǎn)圓板（或者固定圓板）中，從外徑部朝向內(nèi)徑方向（在真空泵中是朝向設(shè)置有軸的一側(cè)）刻設(shè)槽，由此形成凹陷部。
【專利說明】真空排氣機(jī)構(gòu)、復(fù)合式真空泵以及旋轉(zhuǎn)體部件
[0001 ] 技術(shù)區(qū)域
本發(fā)明涉及真空排氣機(jī)構(gòu)、復(fù)合式真空栗以及旋轉(zhuǎn)體部件。具體是涉及，在被設(shè)置的真空栗中有效地將具有排氣作用的管路與管路相連接的真空排氣機(jī)構(gòu)、復(fù)合式真空栗以及旋轉(zhuǎn)體部件。
【背景技術(shù)】
[0002]本發(fā)明所涉及的真空栗具有形成外包裝體的外殼，前述外包裝體具有吸氣口與排氣口，在前述外殼的內(nèi)部，收納有使該真空栗發(fā)揮排氣功能的構(gòu)造物。該使真空栗發(fā)揮排氣功能的構(gòu)造物大體上由旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)和固定部(定子部)構(gòu)成，前述旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)旋轉(zhuǎn)自如地被軸支承，前述固定部(定子部)相對(duì)于外殼固定。
[0003]此外，設(shè)置有用于使旋轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸借助該馬達(dá)的作用進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，在轉(zhuǎn)子翼(旋轉(zhuǎn)圓板)與定子翼(固定圓板)的相互作用下，氣體由吸氣口被吸入，由排氣口被排出。真空栗中，具有西格班式結(jié)構(gòu)的西格班式分子栗包含旋轉(zhuǎn)圓板(旋轉(zhuǎn)圓盤)與固定圓板，前述固定圓板被設(shè)置為與該旋轉(zhuǎn)圓板在軸向方向上隔著縫隙(間隙)，在該旋轉(zhuǎn)圓板或者固定圓板中的至少某一個(gè)的縫隙對(duì)置表面上，刻設(shè)有螺旋狀槽(也被稱作螺旋槽或者旋渦狀槽)流路。并且，西格班式分子栗是如下所述的真空栗:借助旋轉(zhuǎn)圓板，向擴(kuò)散到螺旋狀槽流路內(nèi)的氣體分子施加旋轉(zhuǎn)圓板切線方向(即旋轉(zhuǎn)圓板的旋轉(zhuǎn)方向的切線方向)的動(dòng)量，由此，通過螺旋狀槽，賦予從吸氣口方向朝向排氣口方向更占優(yōu)勢(shì)的方向性，進(jìn)行排氣。為了將這樣的西格班式分子栗或者具有西格班式分子栗部的真空栗在工業(yè)中應(yīng)用，如果旋轉(zhuǎn)圓板與固定圓板的層是單層的，則壓縮比不足，因此進(jìn)行了多層化。在這里，由于西格班式分子栗是徑向流栗要素，所以為了進(jìn)行多層化，需要以下結(jié)構(gòu):從吸氣口朝向排氣口(B卩，真空栗的軸線方向)，在旋轉(zhuǎn)圓板與固定圓板的外周端部和內(nèi)周端部將流路折返而排氣，比如，從外周部向內(nèi)周部排氣之后，再由內(nèi)周部向外周部排氣，然后再由外周部向內(nèi)周部排氣。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開昭60-204997號(hào)。
[0005]專利文獻(xiàn)2:日本實(shí)用新案登錄公報(bào)第2501275號(hào)。
[0006]專利文獻(xiàn)I中記載了如下技術(shù):在真空栗中，在栗箱體內(nèi)，具有渦輪分子栗部、螺旋槽栗部和離心式栗部。在專利文獻(xiàn)2中記載了下述技術(shù):在西格班式分子栗中，在各旋轉(zhuǎn)圓板以及靜止圓板的對(duì)置面上，設(shè)置有方向不同的螺旋狀槽。
[0007]在上述現(xiàn)有技術(shù)的方案中，氣體分子(氣體)的流動(dòng)如下所述。
[0008]在上游西格班式分子栗部中，被移送到內(nèi)徑部的氣體分子被排出到形成于旋轉(zhuǎn)圓筒和固定圓板之間的空間中。接下來，上述氣體分子被在該空間處開口的下游西格班式分子栗的內(nèi)徑部吸引，然后被移送到該下游西格班式分子栗部的外徑部。在多層化的情況下，上述氣體流動(dòng)在每層被重復(fù)。
[0009]但是，由于上述空間(S卩，旋轉(zhuǎn)圓筒與固定圓板之間形成的空間)不具有排氣功能，在上游西格班式分子栗部施加給氣體分子的朝向排氣方向的動(dòng)量會(huì)在到達(dá)該空間時(shí)喪失。
[0010]圖7是說明以往的西格班式分子栗1000的圖，是表示了以往的西格班式分子栗1000的概略結(jié)構(gòu)例的圖。箭頭表示氣體分子的流動(dòng)。此外，在下文中，將I個(gè)(I層)固定圓板5000的吸氣口 4側(cè)稱為西格班式分子栗上游區(qū)域，將排氣口 6側(cè)稱為西格班式分子栗下游區(qū)域，進(jìn)行說明。
[0011]圖8是說明以往的西格班式分子栗1000中配設(shè)的固定圓板5000的圖，是從以往的西格班式分子栗1000的吸氣口 4(圖7)側(cè)觀察時(shí)，固定圓板5000的剖視圖。固定圓板5000內(nèi)的箭頭表示氣體分子的流動(dòng)，固定圓板5000外的箭頭表示旋轉(zhuǎn)圓板9000(圖7)的旋轉(zhuǎn)方向。
[0012]如上所述，在西格班式分子栗1000中，即使對(duì)氣體分子施加朝向排氣口6更占優(yōu)勢(shì)的動(dòng)量，因?yàn)樽鳛樵摎怏w分子的流路的外側(cè)折返流路b是沒有排氣功能的“連接”空間，所以導(dǎo)致施加的動(dòng)量會(huì)喪失。因此，存在下列課題:由于在該外側(cè)折返流路b中排氣功能中斷，被壓縮的空氣分子每次通過該外側(cè)折返流路b時(shí)都被釋放，其結(jié)果是，利用以往的西格班式分子栗1000難以取得良好的排氣效率。
[0013]如果減小外側(cè)折返流路b的流路截面積(也就是，旋轉(zhuǎn)圓板9000的外徑部分與間隔件60的內(nèi)徑部分所形成的縫隙變小)，會(huì)使氣體分子在流路b中滯留，外側(cè)折返流路b的流路壓力上升，前述外側(cè)折返流路b是西格班式分子栗下游區(qū)域的出口(由上層的固定圓板5000的下游區(qū)域朝向下層的固定圓板5000的上游區(qū)域的折返部)。其結(jié)果是，產(chǎn)生壓力損失，真空栗(西格班式分子栗1000)整體的排氣效率下降。
[0014]為了防止這種排氣效率下降的問題，以往，需要將外側(cè)折返流路b的流路截面積與管路寬度設(shè)定成，與西格班式分子栗部處的管路(旋轉(zhuǎn)圓板9000與固定圓板5000的(軸向方向的)各個(gè)對(duì)置部之間所形成的管路以及縫隙，是氣體分子通過的管狀流路)的截面積以及管路寬度相比，足夠大。
[0015]但是，如果要將外側(cè)折返流路b的流路尺寸設(shè)定得較大，則由于外殼2以及間隔件60的直徑尺寸變大而造成的栗尺寸大型化的問題會(huì)加重，材料費(fèi)用也會(huì)增加。
[0016]另外，如果縮小旋轉(zhuǎn)圓板9000和固定圓板5000的外徑，以保證外側(cè)折返流路b的流路截面積，則半徑方向的流路長(zhǎng)度變短，每一層的壓縮性能下降，因此有必要增加西格班式分子栗部的層數(shù)。
[0017]但是，如果增加層數(shù)，旋轉(zhuǎn)圓板9000和固定圓板5000的材料費(fèi)用、加工費(fèi)用就會(huì)增加。
[0018]更進(jìn)一步，因?yàn)楦咚傩D(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)圓板9000的質(zhì)量、慣性矩增加，支承它的磁性軸承裝置的容量也需要隨之增大，諸如此類，存在構(gòu)成真空栗的零件的成本增大的問題。
[0019]另外，還存在下述問題:如果為了將外側(cè)折返流路b的流路的尺寸設(shè)定得較大，而縮小外徑側(cè)的固定圓板5000的直徑，則西格班式分子栗部的半徑方向尺寸會(huì)減小，不能充分保證每I層的壓縮性能。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0020]因此，本發(fā)明的目的是提供一種真空排氣機(jī)構(gòu)、復(fù)合式真空栗、以及旋轉(zhuǎn)體部件，其在被配設(shè)的真空栗中將具有排氣功能的管路和管路有效地連接。
[0021]為了達(dá)到上述目的，根據(jù)技術(shù)方案I的本發(fā)明，提供一種真空排氣機(jī)構(gòu)，具備外包裝體、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)體部件、固定圓板狀部、間隔件部，其中前述外包裝體形成有吸氣口與排氣口，前述旋轉(zhuǎn)軸被前述外包裝體包含在內(nèi)，旋轉(zhuǎn)自如地被支承，前述旋轉(zhuǎn)體部件具有旋轉(zhuǎn)圓板狀部，該旋轉(zhuǎn)圓板狀部配設(shè)在前述旋轉(zhuǎn)軸上或者圓筒體的外周面上，前述圓筒體配設(shè)在前述旋轉(zhuǎn)軸上，前述固定圓板狀部與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部同心設(shè)置，且與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部隔著間隙在軸向上對(duì)置，前述間隔件部與前述固定圓板狀部分體形成或者與前述固定圓板狀部一體形成，并固定該固定圓板狀部，所述真空排氣機(jī)構(gòu)借助前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部與前述固定圓板狀部的相互作用，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送，其特征在于，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部或者前述固定圓板狀部中的至少一個(gè)，在前述軸向上的對(duì)置面的至少一部分上配設(shè)有具有谷部和峰部的螺旋狀槽，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部在外周部的至少一部分上配設(shè)有槽部，該槽部連通該旋轉(zhuǎn)圓板狀部的前述吸氣口側(cè)的面與前述排氣口側(cè)的面。
[0022]根據(jù)技術(shù)方案2的本發(fā)明，提供一種真空排氣機(jī)構(gòu)，在技術(shù)方案I中，其特征在于，前述槽部被設(shè)置為，相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的中心軸，具有向前述真空排氣機(jī)構(gòu)的排氣方向傾斜的傾斜角度。
[0023]根據(jù)技術(shù)方案3的本發(fā)明，提供一種真空排氣機(jī)構(gòu)，在技術(shù)方案2中，其特征在于，在前述固定圓板狀部或者前述間隔件部的至少一個(gè)上，設(shè)置有斜板，該斜板與前述槽部的前述吸氣口側(cè)開口端或者前述排氣口側(cè)開口端中的至少某一個(gè)相對(duì)置，前述斜板被設(shè)置為，相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的中心軸，具有向前述槽部的前述傾斜角度的反方向傾斜的傾斜角度。
[0024]根據(jù)技術(shù)方案4的本發(fā)明，提供一種復(fù)合式真空栗，其特征在于，由西格班式排氣機(jī)構(gòu)部與螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)部復(fù)合構(gòu)成，前述西格班式真空排氣機(jī)構(gòu)部包括如技術(shù)方案
1、2或3所述的真空排氣機(jī)構(gòu)，前述螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)是真空排氣機(jī)構(gòu)，在固定部與圓筒體的外周面相對(duì)置的對(duì)置面上的至少一部分上，具有螺紋槽，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送，前述固定部設(shè)置在前述外包裝體的內(nèi)側(cè)，前述圓筒體設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸。
[0025]根據(jù)技術(shù)方案5的本發(fā)明，提供一種復(fù)合式真空栗，其特征在于，由西格班式排氣機(jī)構(gòu)部與禍輪分子栗機(jī)構(gòu)部復(fù)合構(gòu)成，前述西格班式真空排氣機(jī)構(gòu)部包括如技術(shù)方案1、2或3所述的真空排氣機(jī)構(gòu)，前述渦輪分子栗機(jī)構(gòu)部是真空排氣機(jī)構(gòu)，具備旋轉(zhuǎn)翼與固定翼，前述旋轉(zhuǎn)翼呈放射狀地設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸或者圓筒體的外周面，前述圓筒體配設(shè)于前述旋轉(zhuǎn)軸，前述固定翼與前述旋轉(zhuǎn)翼隔著既定間隔地配置，借助前述旋轉(zhuǎn)翼與前述固定翼的相互作用，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送。
[0026]根據(jù)技術(shù)方案6的本發(fā)明，提供一種復(fù)合式真空栗，其特征在于，由西格班式排氣機(jī)構(gòu)部、螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)部、渦輪分子栗機(jī)構(gòu)部復(fù)合構(gòu)成，前述西格班式真空排氣機(jī)構(gòu)部包括如技術(shù)方案1、2或3所述的真空排氣機(jī)構(gòu)，前述螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)在固定部與圓筒體的外周面相對(duì)置的對(duì)置面上的至少一部分上具有螺紋槽，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送，前述固定部設(shè)置在前述外包裝體的內(nèi)側(cè)，前述圓筒體設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸，前述渦輪分子栗機(jī)構(gòu)部是真空排氣機(jī)構(gòu)，具備旋轉(zhuǎn)翼與固定翼，前述旋轉(zhuǎn)翼呈放射狀地設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸或者圓筒體的外周面，前述圓筒體配設(shè)于前述旋轉(zhuǎn)軸，前述固定翼與前述旋轉(zhuǎn)翼隔著既定間隔地配置，借助前述旋轉(zhuǎn)翼與前述固定翼的相互作用，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送。
[0027]根據(jù)技術(shù)方案7的本發(fā)明，提供一種如技術(shù)方案1、2或3所述的旋轉(zhuǎn)體部件，具有前述旋轉(zhuǎn)軸與設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)圓板狀部，是真空栗中使用的旋轉(zhuǎn)體部件，前述旋轉(zhuǎn)體部件的特征在于，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部在外周部的至少一部分上設(shè)置有槽部，該槽部連通該旋轉(zhuǎn)圓板狀部的前述真空栗的吸氣口側(cè)的面和排氣口側(cè)的面。
[0028]根據(jù)技術(shù)方案8的本發(fā)明，提供一種旋轉(zhuǎn)體部件，在技術(shù)方案7中，其特征在于，前述旋轉(zhuǎn)板狀部在前述旋轉(zhuǎn)板狀部的前述真空栗的吸氣口側(cè)的面和排氣口側(cè)的面中的至少一個(gè)面的至少一部分上，配設(shè)有具有谷部和峰部的螺旋狀槽。
[0029]根據(jù)技術(shù)方案9的本發(fā)明，提供一種旋轉(zhuǎn)體部件，在技術(shù)方案7或8中，其特征在于，所述槽部配設(shè)成，相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的中心軸具有既定的角度。
[0030]根據(jù)技術(shù)方案10的本發(fā)明，提供一種一種旋轉(zhuǎn)體部件，被用在具有吸氣口和排氣口的真空栗中，具有旋轉(zhuǎn)圓板狀部，其特征在于，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部或者固定圓板狀部中的至少一個(gè)，在軸向的對(duì)置面的至少一部分上設(shè)置有具有谷部和峰部的螺旋狀槽，前述固定圓板狀部與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部之間隔著間隙在軸向上對(duì)置，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部在外周部的至少一部分上具有槽部，該槽部連通前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的前述吸氣口側(cè)的面與前述排氣口側(cè)的面。
[0031]根據(jù)技術(shù)方案11的本發(fā)明，提供一種用于技術(shù)方案I至3中任一項(xiàng)所述的真空排氣機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體部件。
[0032]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種真空排氣機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)體部件、以及復(fù)合式真空栗，前述真空排氣機(jī)構(gòu)以及旋轉(zhuǎn)體部件在被設(shè)置的真空栗中將有排氣作用的管路與管路有效地連接，前述復(fù)合式真空栗將有排氣作用的管路與管路有效地連接。
【附圖說明】
[0033]圖1是表示涉及本發(fā)明實(shí)施方式的西格班式分子栗的概略結(jié)構(gòu)例的圖。
[0034]圖2是用于說明涉及本發(fā)明實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)圓板的圖。
[0035]圖3是用于說明涉及本發(fā)明實(shí)施方式的槽部的放大圖。
[0036]圖4是表示涉及本發(fā)明實(shí)施方式的西格班式分子栗的概略結(jié)構(gòu)例的圖。
[0037]圖5是用于說明涉及本發(fā)明實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)圓板的圖。
[0038]圖6是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式的放大圖。
[0039]圖7是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的圖，是表示西格班式分子栗的概略結(jié)構(gòu)的圖。
[0040]圖8是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的圖，是從吸氣口側(cè)觀察時(shí)的固定圓板的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0041](I)實(shí)施方式的概要
本發(fā)明實(shí)施方式的真空栗具有西格班式分子栗部，前述西格班式分子栗部在被配設(shè)的固定圓板(固定圓板狀部)或者被配設(shè)的旋轉(zhuǎn)圓板(旋轉(zhuǎn)圓板狀部)的至少某一方上刻設(shè)有螺旋狀槽，前述螺旋狀槽具有峰部和谷部，在西格班式分子栗部?jī)?nèi)的外周(外側(cè))的折返流路中，具備用于增大流導(dǎo)率的構(gòu)造。
[0042]在本發(fā)明的實(shí)施方式中，借助形成于旋轉(zhuǎn)圓板的連通部(槽部、狹縫)，或者借助形成于斜板與旋轉(zhuǎn)圓板的連通部，在真空栗的內(nèi)部形成該用于增大流導(dǎo)率的構(gòu)造，前述斜板配設(shè)于固定圓板。
[0043]另外，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，“連通部”和“槽部”、“狹縫”是為了表達(dá)“凹陷”的狀態(tài)而使用。該凹陷狀的部分(凹陷部)，是刻設(shè)在旋轉(zhuǎn)圓板(或者固定圓板)上的槽，更詳細(xì)地說，是從旋轉(zhuǎn)圓板(或者固定圓板)的外徑部朝向內(nèi)徑方向(在真空栗中，朝向配設(shè)有軸的一偵D刻設(shè)的槽。另外，在本實(shí)施方式中，如上述那樣形成的凹陷狀部分，下文統(tǒng)一稱為“槽部”。
[0044](II)實(shí)施方式的具體內(nèi)容
下面，關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，參照?qǐng)D1至圖6進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，在本實(shí)施方式中，將西格班式分子栗作為真空栗的一例，進(jìn)行說明，將與旋轉(zhuǎn)圓板的直徑方向垂直的方向作為軸線方向。對(duì)具有折返排氣的真空排氣機(jī)構(gòu)的西格班式分子栗的結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說明，該折返排氣是指:首先，將西格班式分子栗上游區(qū)域的氣體由外徑側(cè)向內(nèi)徑側(cè)排氣，然后，將西格班式分子栗下游區(qū)域的氣體由內(nèi)徑側(cè)向外徑側(cè)排氣。
[0045](11-1)結(jié)構(gòu)
圖1是表示涉及本發(fā)明第I實(shí)施方式的西格班式分子栗I的概略結(jié)構(gòu)例的圖，表示西格班式分子栗I的軸線方向的剖視圖。另外，圖內(nèi)的箭頭表示氣體的流動(dòng)。此外，該圖中，為了解釋說明，在圖面的一部分上標(biāo)示有表明氣體流動(dòng)的箭頭。
[0046]形成西格班式分子栗I的外包裝體的外殼2，形狀大致呈圓筒狀，與被設(shè)置在外殼2的下部(排氣口 6側(cè))的基座3—起構(gòu)成了西格班式分子栗I的箱體。并且，在該箱體內(nèi)部，收納有氣體移送機(jī)構(gòu)，該氣體移送機(jī)構(gòu)是使西格班式分子栗I發(fā)揮排氣功能的構(gòu)造物。該氣體移送機(jī)構(gòu)大體上由旋轉(zhuǎn)部與固定部構(gòu)成，前述旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)自如地被支承(軸支承)，前述固定部相對(duì)于箱體固定。
[0047]在外殼2的端部，形成有吸氣口 4，該吸氣口 4用于向該西格班式分子栗I導(dǎo)入氣體。另外，在外殼2的吸氣口 4側(cè)的端面上，形成有向外周側(cè)突出的凸緣部5。另外，基座3中形成有排氣口 6，該排氣口 6用于將氣體從西格班式分子栗I排出。
[0048]旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)由下述部分構(gòu)成:作為旋轉(zhuǎn)軸的軸7、被設(shè)置于軸7的轉(zhuǎn)子8、被設(shè)置于轉(zhuǎn)子8上的多枚旋轉(zhuǎn)圓板9、以及旋轉(zhuǎn)圓筒(旋轉(zhuǎn)體圓筒部)10等。另外，由軸7以及轉(zhuǎn)子8構(gòu)成轉(zhuǎn)子部。
[0049]各旋轉(zhuǎn)圓板9由呈圓板形狀的圓板部件構(gòu)成，該圓板部件相對(duì)于軸7的軸線垂直地呈放射狀伸展。另外，旋轉(zhuǎn)圓筒10由圓筒形狀的圓筒部件構(gòu)成，該圓筒部件與轉(zhuǎn)子8的旋轉(zhuǎn)軸線同心。
[0050]在軸7的軸線方向的中間位置上，設(shè)置有用于使軸7高速旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)部20。更進(jìn)一步，相對(duì)于軸7的馬達(dá)部20，在吸氣口 4側(cè)以及排氣口 6側(cè)，安裝有徑向磁性軸承裝置30、31，該徑向磁性軸承裝置30、31用于將軸7在徑向方向上以非接觸方式支承(軸支承)，在軸7的下端，設(shè)置有軸向磁性軸承裝置40，該軸向磁性軸承裝置40將軸7在軸線方向(軸向方向)上以非接觸的方式支承(軸支承)。
[0051 ]在箱體的內(nèi)周側(cè)，形成有固定部(定子部)ο該固定部由設(shè)置于吸氣口 4側(cè)的多枚帶螺旋狀槽的固定圓板50等構(gòu)成，該帶螺旋狀槽的固定圓板50上刻設(shè)有由峰部和谷部構(gòu)成的螺旋狀槽。
[0052]另外，在本實(shí)施方式中，采用在固定圓板上刻設(shè)螺旋狀槽的結(jié)構(gòu)(帶螺旋狀槽的固定圓板50)，但并不限于上述情況，只要滿足下列要求即可:在上述旋轉(zhuǎn)圓板9或者固定圓板中的至少某一個(gè)的縫隙對(duì)置表面上，刻設(shè)螺旋狀槽流路。各帶螺旋狀槽的固定圓板50由圓板形狀的圓板部件構(gòu)成，該圓板部件相對(duì)于軸7的軸線垂直地呈放射狀伸展。
[0053]各層的帶螺旋狀槽的固定圓板50，借助圓筒形狀的間隔件60(定子部)，被相互隔開且被固定。圖1的箭頭方向表示氣體的流動(dòng)。
[0054]在西格班式分子栗I中，旋轉(zhuǎn)圓板9與帶螺旋狀槽的固定圓板50被相互交錯(cuò)地配置，在軸線方向上形成了多層，但是為了滿足真空栗所要求的排氣性能，可以根據(jù)需要，設(shè)置任意數(shù)量的轉(zhuǎn)子部件以及定子部件。
[0055]借助如上所述構(gòu)成的西格班式分子栗I，進(jìn)行真空室(未被圖示)內(nèi)的真空排氣處理，前述真空室被配設(shè)于西格班式分子栗I中。
[0056]并且，上述涉及本發(fā)明的各實(shí)施方式的西格班式分子栗I，如圖1所示，具有槽部900。
[0057](I1-2-1)第I實(shí)施方式
涉及本發(fā)明第I實(shí)施方式的西格班式分子栗I的西格班式分子栗部，作為一例，設(shè)計(jì)成以下結(jié)構(gòu):固定部(定子部)上形成有螺旋狀槽，而旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)上沒有形成螺旋狀槽。
[0058]在本發(fā)明的第I實(shí)施方式中，在作為旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)的旋轉(zhuǎn)圓板9的外徑部，設(shè)置有槽部900。
[0059]圖2是用于說明涉及本發(fā)明第I實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)圓板9的圖。如圖2所示，本發(fā)明的第I實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)圓板9的外徑設(shè)計(jì)成，與帶螺旋狀槽的固定圓板50的刻設(shè)有螺旋狀槽的面的外徑幾乎相同。
[0060]圖2(a)是從吸氣口4側(cè)觀察圖1的A-A’方向的情況下的旋轉(zhuǎn)圓板9的剖視圖，該圖中也繪制有設(shè)置于該轉(zhuǎn)圓板9的下層的帶螺旋狀槽的固定圓板50的一部分。
[0061]并且，在圖2(a)中，被刻設(shè)于帶螺旋狀槽的固定圓板50的螺旋狀槽用虛線表示。另夕卜，圖中的實(shí)線箭頭表示旋轉(zhuǎn)圓板9的旋轉(zhuǎn)方向，虛線箭頭表示流路內(nèi)的氣體分子(氣體)的流動(dòng)。
[0062]圖2(b)是圖2(a)的B方向的向視圖，圖2(b)表示了帶螺旋狀槽的固定圓板50和形成有槽部900的旋轉(zhuǎn)圓板9，該旋轉(zhuǎn)圓板9以下述形態(tài)示出:被夾在該帶螺旋狀槽的固定圓板50的上游偵彳(吸氣口4側(cè))的面和下游側(cè)(排氣口6側(cè))的面之間。另外，圖中的實(shí)線箭頭表示氣體分子的流動(dòng)。
[0063]圖2(c)是說明槽部901的圖，前述槽部901是使槽部900具有傾斜角度的構(gòu)造，詳細(xì)情況作為本第I實(shí)施方式的變形例在后面介紹。
[0064]圖3是為了說明涉及本發(fā)明第I實(shí)施方式的槽部900的圖，是西格班式排氣機(jī)構(gòu)(西格班式分子栗部)的局部放大圖。
[0065]涉及本發(fā)明第I實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)圓板9如圖2(a)、圖2(b)以及圖3(a)所示，在旋轉(zhuǎn)圓板9的外周部(外徑部)上形成有槽部900。更詳細(xì)地說，為了連通西格班式分子栗I的氣體移送機(jī)構(gòu)(西格班式分子栗部)的流路的上游側(cè)和下游側(cè)，在旋轉(zhuǎn)圓板9的外徑部上刻設(shè)槽部900，該槽900在軸向方向上連通旋轉(zhuǎn)圓板9的西格班式分子栗上游區(qū)域的面(即吸氣口側(cè)的面)與西格班式分子栗下游區(qū)域的面(即排氣口側(cè)的面)。
[0066]借助具有形成有槽部900的旋轉(zhuǎn)圓板9的結(jié)構(gòu)，形成以下結(jié)構(gòu):即使將間隔件60與旋轉(zhuǎn)圓板9所形成的外側(cè)折返流路a(圖1)的尺寸縮小，也能保證開口面積，使得西格班式分子栗的流路從上游側(cè)至下游側(cè)不會(huì)堵塞。
[0067]更為詳細(xì)地說，氣體分子能夠通過形成有槽部900的空間，將其作為外側(cè)折返流路a的一部分(S卩，作為折返流路而追加的流路)。
[0068]另一方面，旋轉(zhuǎn)圓板9的外周部中沒有形成槽部900的面與帶螺旋狀槽的固定圓板50相互作用，由此引起排氣作用。
[0069]S卩，在從西格班式分子栗I的上游區(qū)域出口朝向下游區(qū)域出口的折返流路中，相比于沒有形成槽部900的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒘髀访娣e擴(kuò)大槽部900的截面積的大小。并且，與增加的截面積相應(yīng)地，能夠減小外側(cè)折返流路a的截面積。
[0070]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施方式中，能夠縮小間隔件60以及外殼2的外徑，可以縮小部件的尺寸從而降低成本并且能夠?qū)崿F(xiàn)西格班式分子栗的小型化。
[0071]另外，優(yōu)選地，根據(jù)下述比率適宜地設(shè)定槽部900的寬度和間距、開口率等，該比率是指作為外側(cè)折返流路a必要的截面積與引起排氣作用所必要的旋轉(zhuǎn)圓板9上沒有形成槽部900的部分之間的比率。
[0072]另外，如果壓力升高，抵抗西格班式分子栗I的排氣作用而逆流的氣體分子會(huì)增加，因此，設(shè)置于排氣口 6側(cè)的槽部900需要如下設(shè)定:相比設(shè)置于吸氣口 4側(cè)的槽部900，縮小槽部900的圓周方向的寬度，減小進(jìn)深(半徑方向)，并且縮小間距，進(jìn)而減小開口率。
[0073]在本發(fā)明的第I實(shí)施方式中，為了減小旋轉(zhuǎn)圓板9賦予氣體分子動(dòng)量的牽引效果降低的可能性，以及，降低從下游部向上游部的逆流發(fā)生的可能性，優(yōu)選地不要設(shè)置為下述結(jié)構(gòu):將槽部900向內(nèi)側(cè)(即，旋轉(zhuǎn)圓板9的內(nèi)徑側(cè))過深地設(shè)置(切入深度過深)，或者相對(duì)于旋轉(zhuǎn)圓板9的圓周，將槽部900的開口率設(shè)定得過高。
[0074]涉及本發(fā)明第I實(shí)施方式的槽部900的寬度以及進(jìn)深(半徑方向)，雖然優(yōu)選為，根據(jù)設(shè)置槽部900的部位的壓力條件以及主要的排氣種類的特性，進(jìn)行適宜的設(shè)置，但是至少為了確保牽引效果，如圖3所示，槽部900的進(jìn)深優(yōu)選地設(shè)置為:相對(duì)于刻設(shè)在帶螺旋狀槽的固定圓板50的螺旋狀槽部的半徑方向尺寸寬度，槽部900的進(jìn)深大小為30%以下，更優(yōu)選為10%以下。
[0075]另外，如圖3(b)所示，本發(fā)明的第I實(shí)施方式中，槽部900可以延伸至沒有螺旋狀槽的部分。
[0076](I1-2-1I)第I實(shí)施方式的變形例上述第I實(shí)施方式可以如下所述變形。
[0077]圖2(c)是圖2(a)的B方向的向視圖，實(shí)線箭頭表示氣體分子的流動(dòng)。
[0078]涉及本發(fā)明第I實(shí)施方式的變形例的構(gòu)造中，如圖2(c)所示，在旋轉(zhuǎn)圓板9的外周部上設(shè)置有槽部901，該槽部901連通西格班式分子栗I的氣體移送機(jī)構(gòu)(西格班式分子栗部)的流路的上游側(cè)與下游側(cè)，更進(jìn)一步，前述槽部901具有傾斜角度，該傾斜是向該旋轉(zhuǎn)圓板9的旋轉(zhuǎn)方向朝排氣口 6側(cè)傾斜的角度(S卩，與西格班式分子栗I的軸線方向形成既定的角度)。即，本變形例中，槽部具有傾斜角度(即，旋轉(zhuǎn)圓板9的外徑部上，軸向傾斜地設(shè)置槽部)這一點(diǎn)，是與第I實(shí)施方式的不同之處。
[0079]在本發(fā)明第一實(shí)施方式的變形例中，將形成于旋轉(zhuǎn)圓板9的槽部(槽部900)，設(shè)置成具有斜面的槽部901，由此，能夠?qū)θ肷涞皆撔泵嫔系臍怏w分子施加向排氣方向(下游的方向)更占優(yōu)勢(shì)的動(dòng)量，使該氣體分子反射、擴(kuò)散。
[0080]結(jié)果是，西格班式分子栗I，能夠更有效率地發(fā)揮排氣功能。
[0081]如上所述，借助第I實(shí)施方式以及變形例的結(jié)構(gòu)，能使以往不具備排氣功能的、作為連接管路而設(shè)置的外側(cè)折返流路發(fā)揮排氣功能，因此，進(jìn)一步提升了西格班式分子栗I的栗性能。
[0082](I1-3-1)第2實(shí)施方式
圖4是表示涉及本發(fā)明第2實(shí)施方式的西格班式分子栗100的概略結(jié)構(gòu)例的圖，表示了西格班式分子栗100的軸線方向的剖視圖。
[0083]另外，與圖1相同的結(jié)構(gòu)使用相同的附圖標(biāo)記，此處省略說明。
[0084]如圖4所示，涉及本發(fā)明第2實(shí)施方式的西格班式分子栗100中，形成有槽部901和斜板70，前述槽部901和斜板70與西格班式分子栗100的軸線方向成既定的角度。
[0085]圖5是說明涉及本發(fā)明第2實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)圓板9的圖。
[0086]圖5(a)是將圖4中A-A’方向從吸氣口4側(cè)觀察的情況下的旋轉(zhuǎn)圓板9的剖視圖，在該圖中，還繪制有設(shè)置于該旋轉(zhuǎn)圓板9下層的帶螺旋狀槽的固定圓板50的一部分。并且，該帶螺旋狀槽的固定圓板50上刻設(shè)的螺旋狀槽用虛線表示。另外，該圖內(nèi)，實(shí)線箭頭表示旋轉(zhuǎn)圓板9的旋轉(zhuǎn)方向，虛線箭頭表示流路內(nèi)的氣體分子(氣體)的流動(dòng)。
[0087]圖5(b)是圖5(a)中B方向的向視圖，實(shí)線箭頭表示氣體分子的流動(dòng)方向，虛線表示帶螺旋狀槽的固定圓板50。
[0088]圖6(a)是說明本發(fā)明的第2實(shí)施方式的放大圖。
[0089]涉及本發(fā)明的第2實(shí)施方式的西格班式分子栗100的西格班式分子栗部，作為一例，形成如下述結(jié)構(gòu):在固定部(定子部)形成螺旋狀槽，在旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)沒有形成螺旋狀槽。
[0090]在涉及本發(fā)明的第2實(shí)施方式的西格班式分子栗100中，如圖5(b)以及圖6(a)所示，在沒有形成螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板9的外徑部上，設(shè)置有槽部901，該槽部901與西格班式分子栗100的軸線方向成既定的角度。并且更進(jìn)一步地，在形成有螺旋狀槽的帶螺旋狀槽的固定圓板50中，在帶螺旋狀槽的固定圓板50的沒有形成螺旋狀槽的外徑端部50a上，設(shè)置有斜板70，該斜板70具有與上述槽部901的傾斜方向相反(相對(duì)于西格班式分子栗100的軸線方向)的既定的角度。
[0091]更為詳細(xì)地說，涉及本發(fā)明第2實(shí)施方式的斜板70是從間隔件60側(cè)向旋轉(zhuǎn)圓筒10側(cè)突出的薄板狀的部件，該斜板70被固定于帶螺旋狀槽的固定圓板50上，使得其在由配設(shè)于旋轉(zhuǎn)圓板9的槽部901形成的流路的上下(吸氣口 4側(cè)與排氣口 6側(cè))，與該旋轉(zhuǎn)圓板9隔著間隙地設(shè)置(即，相對(duì)于槽部901，在西格班式分子栗的軸向上隔著既定間隙地被設(shè)置)。
[0092]另外，在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，采取了將斜板70設(shè)置在上游(吸氣口4)側(cè)與下游(排氣口6)側(cè)之間的結(jié)構(gòu)，但是也可以是將斜板70設(shè)置于上游側(cè)或者下游側(cè)中的某一側(cè)的結(jié)構(gòu)。
[0093]總之，本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，流通過氣體移送機(jī)構(gòu)(西格班式分子栗部)區(qū)域的氣體分子，借助槽部901內(nèi)部的空間(間隙)與斜板70的相互作用，被賦予朝向排氣方向占優(yōu)勢(shì)的動(dòng)量，同時(shí)，通過在外徑側(cè)折返時(shí)的流路(外側(cè)折返流路a)，前述槽部901形成于旋轉(zhuǎn)圓板9，前述斜板70被配置為具有與前述槽部901的傾斜角度在軸向上相反的傾斜角度。
[0094]借助上述結(jié)構(gòu)，在涉及本發(fā)明第2實(shí)施方式的西格班式分子栗100中，在外側(cè)折返流路a(與圖1在相同位置。西格班式分子栗I的軸線方向的流路)中，借助西格班式分子栗10的氣體移送機(jī)構(gòu)，對(duì)已由槽部901賦予了在排氣方向上占優(yōu)勢(shì)的動(dòng)量的氣體分子，能夠進(jìn)一步通過斜板70使氣體分子向在排氣方向上占優(yōu)勢(shì)的方向反射、擴(kuò)散。
[0095]如上所述，在本發(fā)明的第2實(shí)施方式中，由于槽部901和斜板70能夠帶來相互增強(qiáng)的效果，能夠更積極地防止動(dòng)量的散失，因此，即使在外側(cè)折返流路a(與圖1相同位置)中，也能夠不中斷地連續(xù)地進(jìn)行排氣作用。
[0096](I1-3-1I)第2實(shí)施方式的變形例
前述第2實(shí)施方式中，采用了下述結(jié)構(gòu):在作為固定部(定子部)的固定圓板上形成有螺旋狀的槽，但是也可以采用在旋轉(zhuǎn)部(轉(zhuǎn)子部)上形成螺旋狀槽的結(jié)構(gòu)。如圖6(b)所示，在涉及本發(fā)明第2實(shí)施方式的變形例的西格班式分子栗100中，在形成有螺旋狀槽的帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板90上，設(shè)置有與西格班式分子栗100的軸線方向成既定角度的槽部902。并且更進(jìn)一步地，在沒有形成螺旋狀槽的固定圓板51的外徑端部51a上，設(shè)置有斜板71，該斜板71具有與上述槽部902的傾斜角度方向相反(相對(duì)于西格班式分子栗100的軸線方向)的既定角度。
[0097]斜板71與前述第2實(shí)施方式相同，是薄板狀的部件，被固定于固定圓板51上，使得該斜板71在帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板90的槽部902形成的流路的上下(吸氣口 4側(cè)與排氣口 6側(cè))，與帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板90隔著間隙地被設(shè)置(S卩，相對(duì)于槽部902，在西格班式分子栗100的軸向上，隔著既定間隙地被設(shè)置)。
[0098]另外，在本發(fā)明第2實(shí)施方式的變形例中，如圖6(b)所示，采用了如下述結(jié)構(gòu):將斜板71設(shè)置在上游(吸氣口 4)側(cè)的間隔件60與槽部902(帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板90 )之間，以及槽部902 (帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板90 )與下游(排氣口 6)側(cè)的間隔件60之間，但是也可以采用將斜板71設(shè)在上游側(cè)或者下游側(cè)中的某一側(cè)的結(jié)構(gòu)。
[0099]在本發(fā)明的第2實(shí)施方式的變形例中，氣體分子在槽部902內(nèi)的空間和斜板71的相互作用下，被附加以在排氣方向上占優(yōu)勢(shì)的動(dòng)量，同時(shí)，通過在外徑側(cè)折返的流路(外側(cè)折返流路a)，該槽部902形成于帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板90上，該斜板71具有與槽部902所具有的傾斜角度在軸向上相反的傾斜角度。借助上述相互作用產(chǎn)生的增強(qiáng)效果，可以更積極地防止動(dòng)量散失，在該外側(cè)折返流路a中也可以不間斷地連續(xù)地進(jìn)行排氣作用。
[0100]如上所述，借助第2實(shí)施方式以及變形例的結(jié)構(gòu)，使以往作為沒有排氣作用的連接管路設(shè)置的外側(cè)折返流路發(fā)揮排氣作用，因此，西格班式分子栗100的栗性能得到進(jìn)一步提升。
[0101]涉及本發(fā)明的各實(shí)施方式以及各變形例的槽部900(901、902)在西格班式分子栗(I，100)中也可以應(yīng)用于以下圓板(如果是旋轉(zhuǎn)部，則為旋轉(zhuǎn)圓板9和帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板90，此外，如果是固定部，貝Ij為固定圓板51和帶螺旋狀槽的固定圓板50 )，該圓板配設(shè)在最上游的折返流路中或最下游的折返流路中，最上游的折返流路是指在其上側(cè)不存在僅由西格班式排氣機(jī)構(gòu)組成的分子栗部的栗要素的折返流路，最下游的折返流路是指在其下側(cè)不存在西格班式分子栗部的栗要素的折返流路，涉及本發(fā)明的各實(shí)施方式以及各變形例的槽部900(901、902)還可以關(guān)于與該任意一個(gè)圓板上形成的槽部相對(duì)應(yīng)的斜板70(71)應(yīng)用于最上游以及最下游。
[0102]本發(fā)明的各實(shí)施方式的各變形例中說明的槽部的傾斜角度(既定的角度)，如果將與西格班式分子栗(1，100)的軸線相垂直的方向作為水平基準(zhǔn)，則優(yōu)選朝向下方以5度至85度(俯角)構(gòu)成。
[0103]另外，各個(gè)實(shí)施方式可以分別組合。
[0104]此外，前述的本發(fā)明的各實(shí)施方式，并不限于西格班式分子栗。也可以應(yīng)用于下述的復(fù)合式渦輪分子栗(真空栗):具有西格班式分子栗部與渦輪分子栗部的復(fù)合式渦輪分子栗，具有西格班式分子栗部與螺紋槽式栗部的復(fù)合式渦輪分子栗，或者具有西格班式分子栗部、渦輪分子栗部和螺紋槽式栗部的復(fù)合式渦輪分子栗。
[0105]在具有渦輪分子栗部的復(fù)合式真空栗的情況下，雖然沒有圖示，但還具備旋轉(zhuǎn)部，該旋轉(zhuǎn)部由旋轉(zhuǎn)軸以及固定于該旋轉(zhuǎn)軸上的旋轉(zhuǎn)體構(gòu)成，在旋轉(zhuǎn)體上，配設(shè)有多層的呈放射狀設(shè)置的轉(zhuǎn)子翼(動(dòng)翼)。此外，具有固定部，該固定部具有多層的與轉(zhuǎn)子翼相互交錯(cuò)設(shè)置的定子翼(靜翼)。
[0106]在具有螺紋槽式栗部的復(fù)合式真空栗的情況下，雖沒有圖示，但具有氣體移送機(jī)構(gòu)，該氣體移送機(jī)構(gòu)還具備螺紋槽間隔件，該螺紋槽間隔件在與旋轉(zhuǎn)圓筒對(duì)置的對(duì)置面上形成有螺旋狀槽，隔著既定的空隙面對(duì)旋轉(zhuǎn)圓筒的外周面，當(dāng)旋轉(zhuǎn)圓筒高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體就會(huì)伴隨著旋轉(zhuǎn)圓筒的旋轉(zhuǎn)，在被螺紋槽(螺旋槽)引導(dǎo)的同時(shí)被向排氣口側(cè)送出。另外，為了減小氣體向吸氣口側(cè)逆流的力量，上述空隙越小越好。
[0107]在具有渦輪分子栗部和螺紋槽式栗部的復(fù)合式真空栗的情況下，雖然沒有圖示，但具備氣體移送機(jī)構(gòu)，該氣體移送機(jī)構(gòu)還具備前述渦輪分子栗部與前述螺紋槽式栗部，使氣體在渦輪分子栗部(第I氣體移送機(jī)構(gòu))處被壓縮后，在螺紋槽式栗部(第2氣體移送機(jī)構(gòu))處被進(jìn)一步壓縮。
[0108]借助上述結(jié)構(gòu)，涉及本發(fā)明各實(shí)施方式的西格班式分子栗(1、100)具有下述效果。
[0109](I)能夠?qū)⑿纬捎谕鈴絺?cè)的、氣體分子折返時(shí)的流路(外側(cè)折返流路)處的損失降到最小，因此，可以構(gòu)成效率良好的西格班式分子栗。
[0110](2)借助槽部(900、901、902)與斜板(70、71)，可以給排氣作用帶來相互增強(qiáng)的效果，因此，可以積極地防止分子氣體的動(dòng)量在外側(cè)折返流路中散失，能夠保證在該外側(cè)折返流路中排氣作用的連續(xù)性。
[0111]附圖標(biāo)記說明
I西格班式分子栗;2外殼;3基座;4吸氣口 ；5凸緣部;6排氣口；7軸;8轉(zhuǎn)子;9旋轉(zhuǎn)圓板；10旋轉(zhuǎn)圓筒;20馬達(dá)部;30徑向磁性軸承裝置;31徑向磁性軸承裝置;40軸向磁性軸承裝置；50帶螺旋狀槽的固定圓板;50a外徑端部;51固定圓板;5 Ia外徑端部;60間隔件;70斜板;71斜板;90帶螺旋狀槽的旋轉(zhuǎn)圓板；100西格班式分子栗;900槽部;901槽部;902槽部；1000西格班式分子栗(現(xiàn)有技術(shù));5000固定圓板(現(xiàn)有技術(shù));9000旋轉(zhuǎn)圓板(現(xiàn)有技術(shù))。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空排氣機(jī)構(gòu)，具備外包裝體、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)體部件、固定圓板狀部、間隔件部，其中前述外包裝體形成有吸氣口與排氣口，前述旋轉(zhuǎn)軸被前述外包裝體包含在內(nèi)，旋轉(zhuǎn)自如地被支承，前述旋轉(zhuǎn)體部件具有旋轉(zhuǎn)圓板狀部，該旋轉(zhuǎn)圓板狀部配設(shè)在前述旋轉(zhuǎn)軸上或者圓筒體的外周面上，前述圓筒體配設(shè)在前述旋轉(zhuǎn)軸上，前述固定圓板狀部與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部同心設(shè)置，且與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部隔著間隙在軸向上對(duì)置，前述間隔件部與前述固定圓板狀部分體形成或者與前述固定圓板狀部一體形成，并固定該固定圓板狀部，所述真空排氣機(jī)構(gòu)借助前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部與前述固定圓板狀部的相互作用，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送， 其特征在于， 前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部或者前述固定圓板狀部中的至少一個(gè)，在前述軸向上的對(duì)置面的至少一部分上配設(shè)有具有谷部和峰部的螺旋狀槽， 前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部在外周部的至少一部分上配設(shè)有槽部，該槽部連通該旋轉(zhuǎn)圓板狀部的前述吸氣口側(cè)的面與前述排氣口側(cè)的面。2.如權(quán)利要求1所述的真空排氣機(jī)構(gòu)，其特征在于，前述槽部被設(shè)置為，相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的中心軸，具有向前述真空排氣機(jī)構(gòu)的排氣方向傾斜的傾斜角度。3.如權(quán)利要求2所述的真空排氣機(jī)構(gòu)，其特征在于，在前述固定圓板狀部或者前述間隔件部的至少一個(gè)上，設(shè)置有斜板，該斜板與前述槽部的前述吸氣口側(cè)開口端或者前述排氣口側(cè)開口端中的至少某一個(gè)相對(duì)置， 前述斜板被設(shè)置為，相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的中心軸，具有向前述槽部的前述傾斜角度的反方向傾斜的傾斜角度。4.一種復(fù)合式真空栗，其特征在于，由西格班式排氣機(jī)構(gòu)部與螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)部復(fù)合構(gòu)成， 前述西格班式真空排氣機(jī)構(gòu)部包括如權(quán)利要求1、2或3所述的真空排氣機(jī)構(gòu)， 前述螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)是真空排氣機(jī)構(gòu)，在固定部與圓筒體的外周面相對(duì)置的對(duì)置面上的至少一部分上，具有螺紋槽，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送，前述固定部設(shè)置在前述外包裝體的內(nèi)側(cè)，前述圓筒體設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸。5.一種復(fù)合式真空栗，其特征在于，由西格班式排氣機(jī)構(gòu)部與渦輪分子栗機(jī)構(gòu)部復(fù)合構(gòu)成， 前述西格班式真空排氣機(jī)構(gòu)部包括如權(quán)利要求1、2或3所述的真空排氣機(jī)構(gòu)， 前述渦輪分子栗機(jī)構(gòu)部是真空排氣機(jī)構(gòu)，具備旋轉(zhuǎn)翼與固定翼，前述旋轉(zhuǎn)翼呈放射狀地設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸或者圓筒體的外周面，前述圓筒體配設(shè)于前述旋轉(zhuǎn)軸，前述固定翼與前述旋轉(zhuǎn)翼隔著既定間隔地配置，借助前述旋轉(zhuǎn)翼與前述固定翼的相互作用，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送。6.一種復(fù)合式真空栗，其特征在于，由西格班式排氣機(jī)構(gòu)部、螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)部、渦輪分子栗機(jī)構(gòu)部復(fù)合構(gòu)成， 前述西格班式真空排氣機(jī)構(gòu)部包括如權(quán)利要求1、2或3所述的真空排氣機(jī)構(gòu)， 前述螺紋槽式分子栗機(jī)構(gòu)在固定部與圓筒體的外周面相對(duì)置的對(duì)置面上的至少一部分上具有螺紋槽，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送，前述固定部設(shè)置在前述外包裝體的內(nèi)側(cè)，前述圓筒體設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸， 前述渦輪分子栗機(jī)構(gòu)部是真空排氣機(jī)構(gòu)，具備旋轉(zhuǎn)翼與固定翼，前述旋轉(zhuǎn)翼呈放射狀地設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸或者圓筒體的外周面，前述圓筒體配設(shè)于前述旋轉(zhuǎn)軸，前述固定翼與前述旋轉(zhuǎn)翼隔著既定間隔地配置，借助前述旋轉(zhuǎn)翼與前述固定翼的相互作用，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送。7.如權(quán)利要求1、2或3所述的旋轉(zhuǎn)體部件，具有前述旋轉(zhuǎn)軸與設(shè)置于前述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)圓板狀部，是真空栗中使用的旋轉(zhuǎn)體部件， 前述旋轉(zhuǎn)體部件的特征在于，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部在外周部的至少一部分上設(shè)置有槽部，該槽部連通該旋轉(zhuǎn)圓板狀部的前述真空栗的吸氣口側(cè)的面和排氣口側(cè)的面。8.如權(quán)利要求7所述的旋轉(zhuǎn)體部件，其特征在于，前述旋轉(zhuǎn)板狀部在前述旋轉(zhuǎn)板狀部的前述真空栗的吸氣口側(cè)的面和排氣口側(cè)的面中的至少一個(gè)面的至少一部分上，配設(shè)有具有谷部和峰部的螺旋狀槽。9.如權(quán)利要求7或8所述的旋轉(zhuǎn)體部件，其特征在于，所述槽部配設(shè)成，相對(duì)于前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的中心軸具有既定的角度。10.一種旋轉(zhuǎn)體部件，被用在具有吸氣口和排氣口的真空栗中，具有旋轉(zhuǎn)圓板狀部，其特征在于， 前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部或者固定圓板狀部中的至少一個(gè)，在軸向的對(duì)置面的至少一部分上設(shè)置有具有谷部和峰部的螺旋狀槽，前述固定圓板狀部與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部之間隔著間隙在軸向上對(duì)置， 前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部在外周部的至少一部分上具有槽部，該槽部連通前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部的前述吸氣口側(cè)的面與前述排氣口側(cè)的面。11.用于權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的真空排氣機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體部件。
【文檔編號(hào)】F04D19/04GK105829729SQ201480069353
【公開日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2014年10月29日
【發(fā)明人】野中學(xué), 樺澤剛志
【申請(qǐng)人】埃地沃茲日本有限公司