一種采用分段式結構牽引級的復合分子泵的制作方法
【專利摘要】一種采用分段式結構牽引級的復合分子泵，其筒式牽引級采用分段式結構，筒式牽引級的相鄰段之間設有環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺，環(huán)向凹槽與環(huán)向凸臺彼此正對設置；當定子為光筒、牽引轉子上開設螺旋槽時，環(huán)向凹槽設置在牽引轉子上，環(huán)向凸臺設置在定子上，牽引轉子由環(huán)向凹槽分隔成若干牽引轉子段；當牽引轉子為光筒、定子內開設螺旋槽時，環(huán)向凹槽設置在定子上，環(huán)向凸臺設置在牽引轉子上，定子由環(huán)向凹槽分隔成若干定子段；在環(huán)向凸臺上開設有螺旋槽，環(huán)向凸臺上的螺旋槽與牽引轉子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽氣方向上，各個牽引轉子段或定子段上、環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置、螺旋槽槽深呈遞減設置及螺旋槽槽寬呈遞減設置。
【專利說明】
一種采用分段式結構牽引級的復合分子泵
技術領域
[0001]本發(fā)明屬于真空設備技術領域，特別是涉及一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗。
【背景技術】
[0002]分子栗作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設備，已被廣泛應用于很多工業(yè)領域，其中復合分子栗在較寬的壓力范圍內，依然能夠保持較高的抽氣性能，因此在半導體等行業(yè)中應用廣泛。
[0003]現(xiàn)有的復合分子栗主要分為兩類，一類是由渦輪分子栗與盤式牽引分子栗組合設計而成，即帶盤式牽引結構的復合分子栗；另一類是由渦輪分子栗與筒式牽引分子栗組合設計而成，即帶筒式牽引結構的復合分子栗，是現(xiàn)階段使用最為普遍的復合分子栗類型。
[0004]對于帶筒式牽引結構的復合分子栗，為了提高牽引級對氣體的壓縮能力，一般牽引級轉子與定子之間的間隙都很小。由于加工精度、裝配精度、轉子離心變形和熱變形等因素的限制，只能將牽引級轉子與定子之間間隙適當增大，以此來保證復合分子栗的工作可靠性，但牽引級轉子與定子之間間隙泄漏量將增加，并導致復合分子栗的性能下降，特別是當復合分子栗工作在過渡流態(tài)以及粘滯流態(tài)時，氣體沿間隙的泄漏量將加劇，嚴重影響到復合分子栗的抽氣性能。

【發(fā)明內容】

[0005]針對現(xiàn)有技術存在的問題，本發(fā)明提供一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，有效提升牽引級的壓縮作用，進一步提高復合分子栗的抽氣性能。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術方案:一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，包括渦輪級、筒式牽引級和驅動主軸，所述渦輪級包括靜葉片和動葉輪，所述筒式牽引級包括牽引轉子和定子，所述動葉輪及牽引轉子固定套裝在驅動主軸上，其特點是:所述筒式牽引級采用分段式結構，筒式牽引級的相鄰段之間設置有環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺，環(huán)向凹槽與環(huán)向凸臺彼此正對設置，且環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺的軸向中心線與驅動主軸的軸向中心線相重合。
[0007]當所述定子為光筒、牽引轉子上開設螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽設置在牽引轉子上，所述環(huán)向凸臺設置在定子上。
[0008]所述牽引轉子由環(huán)向凹槽分隔成若干牽引轉子段，且在抽氣方向上，各個牽引轉子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個牽引轉子段上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個牽引轉子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0009]在所述定子的環(huán)向凸臺上開設有螺旋槽，且環(huán)向凸臺上的螺旋槽與牽引轉子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0010]當所述牽引轉子為光筒、定子內開設螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽設置在定子上，所述環(huán)向凸臺設置在牽引轉子上。
[0011]所述定子由環(huán)向凹槽分隔成若干定子段，且在抽氣方向上，各個定子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個定子段上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個定子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0012]在所述牽引轉子的環(huán)向凸臺上開設有螺旋槽，且環(huán)向凸臺上的螺旋槽與定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0013]本發(fā)明的有益效果:
[0014]本發(fā)明采用的分段式結構牽引級，通過環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺的配合，首先借助環(huán)向凸臺可以對氣體泄漏進行局部阻擋，進而解決牽引級轉子與定子之間的氣體間隙泄漏問題，同時借助環(huán)向凸臺上開設的反向螺旋槽，使環(huán)向凸臺對氣體也具備了一定的壓縮能力。
[0015]本發(fā)明通過開設的環(huán)向凹槽將牽引級分隔成了若干段，這樣一來，就滿足了在各個牽引級段上開設不同參數(shù)螺旋槽的條件，即螺旋槽數(shù)量呈遞增設置、螺旋槽槽深呈遞減設置、螺旋槽槽寬呈遞減設置，通過上述結構的牽引級提升了氣體的壓縮作用，從而進一步提高復合分子栗的抽氣性能。
【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗(定子為光筒且牽引轉子上開設螺旋槽時)結構示意圖；
[0017]圖2為本發(fā)明的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗(牽引轉子為光筒且定子內開設螺旋槽時)結構示意圖；
[0018]圖中，I—靜葉片，2—動葉輪，3—牽引轉子，4—定子，5—驅動主軸，6—環(huán)向凹槽，7—環(huán)向凸臺。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明做進一步的詳細說明。
[0020]如圖1、2所示，一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，包括渦輪級、筒式牽引級和驅動主軸5，所述渦輪級包括靜葉片I和動葉輪2，所述筒式牽引級包括牽引轉子3和定子4，所述動葉輪2及牽引轉子3固定套裝在驅動主軸5上，其特點是:所述筒式牽引級采用分段式結構，筒式牽引級的相鄰段之間設置有環(huán)向凹槽6和環(huán)向凸臺7，環(huán)向凹槽6與環(huán)向凸臺7彼此正對設置，且環(huán)向凹槽6和環(huán)向凸臺7的軸向中心線與驅動主軸5的軸向中心線相重入口 ο
[0021]當所述定子4為光筒、牽引轉子3上開設螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽6設置在牽引轉子3上，所述環(huán)向凸臺7設置在定子4上。
[0022]所述牽引轉子3由環(huán)向凹槽6分隔成若干牽引轉子段，且在抽氣方向上，各個牽引轉子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個牽引轉子段上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個牽引轉子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0023]在所述定子4的環(huán)向凸臺7上開設有螺旋槽，且環(huán)向凸臺7上的螺旋槽與牽引轉子3上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0024]當所述牽引轉子3為光筒、定子4內開設螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽6設置在定子4上，所述環(huán)向凸臺7設置在牽引轉子3上。
[0025]所述定子4由環(huán)向凹槽6分隔成若干定子段，且在抽氣方向上，各個定子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個定子段上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個定子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0026]在所述牽引轉子3的環(huán)向凸臺7上開設有螺旋槽，且環(huán)向凸臺7上的螺旋槽與定子4上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個環(huán)向凸臺7上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
[0027]下面結合【附圖說明】本發(fā)明的一次使用過程:
[0028]復合分子栗在工作時，動葉輪2及牽引轉子3隨著驅動主軸5高速旋轉，進而攜帶氣體沿著螺旋槽向下流動，隨著對氣體壓縮的增強，復合分子栗牽引級入口與出口之間的壓差越來越大，此時的氣體會在壓差作用下增加沿著牽引轉子3與定子4之間間隙向上的泄露，從而會導致栗抽氣性能和壓縮性能的下降。
[0029]當復合分子栗采用分段式結構牽引級后，通過環(huán)向凸臺6可對氣體起到明顯的阻擋作用，進而解決牽引級轉子與定子之間的氣體間隙泄漏問題，同時借助環(huán)向凸臺6上開設的反向螺旋槽，使環(huán)向凸臺6也具備了一定的壓縮能力。再有，由于環(huán)向凹槽7將牽引級分隔成了若干段，且在抽氣方向上，各個牽引級段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置、螺旋槽槽深呈遞減設置及螺旋槽槽寬呈遞減設置，通過上述結構的牽引級有效提升了氣體的壓縮作用，從而進一步提尚復合分子栗的抽氣性能。
[0030]實施例中的方案并非用以限制本發(fā)明的專利保護范圍，凡未脫離本發(fā)明所為的等效實施或變更，均包含于本案的專利范圍中。
【主權項】
1.一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，包括渦輪級、筒式牽引級和驅動主軸，所述渦輪級包括靜葉片和動葉輪，所述筒式牽引級包括牽引轉子和定子，所述動葉輪及牽引轉子固定套裝在驅動主軸上，其特征在于:所述筒式牽引級采用分段式結構，筒式牽引級的相鄰段之間設置有環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺，環(huán)向凹槽與環(huán)向凸臺彼此正對設置，且環(huán)向凹槽和環(huán)向凸臺的軸向中心線與驅動主軸的軸向中心線相重合。2.根據(jù)權利要求1所述的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，其特征在于:當所述定子為光筒、牽引轉子上開設螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽設置在牽引轉子上，所述環(huán)向凸臺設置在定子上。3.根據(jù)權利要求2所述的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，其特征在于:所述牽引轉子由環(huán)向凹槽分隔成若干牽引轉子段，且在抽氣方向上，各個牽引轉子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個牽引轉子段上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個牽引轉子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。4.根據(jù)權利要求3所述的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，其特征在于:在所述定子的環(huán)向凸臺上開設有螺旋槽，且環(huán)向凸臺上的螺旋槽與牽引轉子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。5.根據(jù)權利要求1所述的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，其特征在于:當所述牽引轉子為光筒、定子內開設螺旋槽時，所述環(huán)向凹槽設置在定子上，所述環(huán)向凸臺設置在牽引轉子上。6.根據(jù)權利要求5所述的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，其特征在于:所述定子由環(huán)向凹槽分隔成若干定子段，且在抽氣方向上，各個定子段上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個定子段上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個定子段上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。7.根據(jù)權利要求6所述的一種采用分段式結構牽引級的復合分子栗，其特征在于:在所述牽引轉子的環(huán)向凸臺上開設有螺旋槽，且環(huán)向凸臺上的螺旋槽與定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向，且在抽氣方向上，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽數(shù)量呈遞增設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽深呈遞減設置，各個環(huán)向凸臺上的螺旋槽槽寬呈遞減設置。
【文檔編號】F04D19/04GK105909538SQ201610482808
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年6月28日
【發(fā)明人】王曉冬, 巴德純, 張磊, 張鵬飛, 陶繼忠
【申請人】東北大學