技術(shù)編號(hào):10550119
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。分子栗作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設(shè)備,已被廣泛應(yīng)用于很多工業(yè)領(lǐng)域,其中復(fù)合分子栗在較寬的壓力范圍內(nèi),依然能夠保持較高的抽氣性能,因此在半導(dǎo)體等行業(yè)中應(yīng)用廣泛?,F(xiàn)有的復(fù)合分子栗主要分為兩類,一類是由渦輪分子栗與盤式牽引分子栗組合設(shè)計(jì)而成,即帶盤式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗;另一類是由渦輪分子栗與筒式牽引分子栗組合設(shè)計(jì)而成,即帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗,是現(xiàn)階段使用最為普遍的復(fù)合分子栗類型。對(duì)于帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復(fù)合分子栗,為了提高牽引級(jí)對(duì)氣體的壓縮能力,一...
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