一種連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥的制作方法
【專利摘要】一種連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，其特征在于：包括：一閥口；一閥板；一主傳動軸，轉(zhuǎn)動支承于真空腔室壁面上；一連桿，其第一端與主傳動軸固定連接，其第二端伸至閥板的背面?zhèn)龋灰粯休S，將閥板與連桿的第二端樞軸連接；一傾角調(diào)整裝置，由至少一對頂銷機(jī)構(gòu)組成，頂銷機(jī)構(gòu)包括銷孔、滑動銷、彈性元件以及螺釘；銷孔設(shè)于連桿的第二端上，滑動銷穿設(shè)于銷孔中，其朝閥板背面的一端上設(shè)彈性元件，其另一端處設(shè)所述螺釘，以此螺釘頂壓滑動銷，滑動銷端部的彈性元件抵壓閥板的背面；一對頂銷機(jī)構(gòu)中的兩個(gè)頂銷機(jī)構(gòu)在連桿長度方向上分列于樞軸的兩側(cè)；一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，驅(qū)動主傳動軸旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明開關(guān)動作速度快、工作可靠、并且密封效果有保證。
【專利說明】 一種連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及鍍膜生產(chǎn)機(jī)械領(lǐng)域，具體涉及一種連續(xù)式真空鍍膜生產(chǎn)線的真空腔室上的物料進(jìn)出口翻板閥。
【背景技術(shù)】
[0002]以連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線為例來說，其鍍膜室須為高真空的狀態(tài)，玻璃基板需要快速地進(jìn)出鍍膜室，即玻璃基板要在大氣狀態(tài)一高真空狀態(tài)一大氣狀態(tài)之間快速切換，以實(shí)現(xiàn)磁控濺射生產(chǎn)工藝的高效生產(chǎn)率?，F(xiàn)通常采用的方法是:在鍍膜室前、后均布置串接的2?3個(gè)真空腔室，一級級地增加/降低真空度，譬如:在鍍膜室之前的三個(gè)真腔室中，第一級真空腔室的壓力調(diào)節(jié)的目標(biāo)值設(shè)定為10Pa，第二級真空腔室的壓力調(diào)節(jié)的目標(biāo)值設(shè)定為0.1Pa ;第三級真空腔室的壓力調(diào)節(jié)的目標(biāo)值設(shè)定為IX 10_3Pa。這些真空腔室要獨(dú)立地壓力調(diào)節(jié)，故各腔室之間需要設(shè)計(jì)閥門來分割和密封，當(dāng)閥門打開時(shí)，其前后腔室連通，玻璃基板可以快速地從前一級腔室輸送到后一級腔室；關(guān)閉時(shí)，可以對單個(gè)腔室進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。閥門的密封效果直接關(guān)系到各腔室的真空度和各腔室之間真空梯度的形成，從而影響到能否在各腔室之間快速輸送玻璃基板以及鍍膜室真空度的穩(wěn)定性，最終將影響到整線的生產(chǎn)效率和鍍膜質(zhì)量。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，閥門有多種，但用于上述場合，需要著重考慮閥門的密封性能，其次還要考慮閥門開閉速度和方便性，目前市面上的現(xiàn)成常規(guī)閥門都不是很適用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明目的是提供一種連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，以滿足連續(xù)式真空鍍膜生產(chǎn)線的各級真空腔室之間的分割和密封的需要。
[0005]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，包括:
一閥口，該閥口為開設(shè)于真空腔室壁面上的物料傳送口 ；
一閥板，以正面朝閥口并封蓋于閥口上，閥板正面與真空腔室壁面之間繞閥口周向設(shè)有密封圈；
一主傳動軸，轉(zhuǎn)動支承于真空腔室壁面上，且位于閥板的側(cè)旁；
一連桿，其第一端與主傳動軸固定連接，其第二端伸至閥板的背面?zhèn)龋?br> 一樞軸，其軸線與主傳動軸的軸線相平行，且由該樞軸將閥板與連桿的第二端樞軸連接，以使閥板可繞樞軸轉(zhuǎn)動；
一傾角調(diào)整裝置，由至少一對頂銷機(jī)構(gòu)組成，所述每一頂銷機(jī)構(gòu)包括銷孔、滑動銷、彈性元件以及螺釘；所述銷孔朝向閥板的背面開設(shè)于連桿的第二端上，所述滑動銷滑動設(shè)于銷孔中，其朝閥板背面的一端上設(shè)彈性元件，其另一端處設(shè)所述螺釘，螺釘與銷孔螺紋連接，以此螺釘頂壓滑動銷，使滑動銷端部的彈性元件抵壓閥板的背面；并且，所述一對頂銷機(jī)構(gòu)中的兩個(gè)頂銷機(jī)構(gòu)在連桿長度方向上分列于樞軸的兩側(cè)； 一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，驅(qū)動主傳動軸旋轉(zhuǎn)。
[0006]上述技術(shù)方案中的有關(guān)內(nèi)容解釋如下:
1、上述方案中，所述閥口為矩形，且閥口以長邊沿水平方向布置；所述閥板也對應(yīng)為矩形；所述主傳動軸平行于矩形閥口的長邊設(shè)置于閥板的上方，以此閥板上下翻轉(zhuǎn)打開。
[0007]2、上述方案中，所述密封圈嵌設(shè)于閥板正面上。
[0008]3、上述方案中，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)由氣缸及曲柄連桿機(jī)構(gòu)組成，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄端部與主傳動軸固定，氣缸經(jīng)曲柄連桿機(jī)構(gòu)驅(qū)動主傳動軸旋轉(zhuǎn)。
[0009]4、上述方案中，所述彈性元件為橡膠壓塊，滑動銷朝閥板背面的一端上開設(shè)一內(nèi)孔，橡膠壓塊嵌置于該內(nèi)孔中，橡膠壓塊的端部突出于內(nèi)孔。
[0010]5、上述方案中，所述螺釘整體外周面上均設(shè)有外螺紋成一螺桿狀，在螺釘突出于銷孔的頭部上螺紋連接有螺母。
[0011]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
本發(fā)明的閥板以翻轉(zhuǎn)的方式打開關(guān)閉，結(jié)構(gòu)簡單，打開關(guān)閉的動作速度快。并且，由于本發(fā)明設(shè)有傾角調(diào)整裝置，在翻板閥安裝調(diào)整基本到位后，可利用傾角調(diào)整裝置將閥板調(diào)整到和密封面平行的狀態(tài)，使密封圈上各處壓縮量一致，即兼顧了閥板和被密封面之間的間隙和平行度這兩個(gè)重要參數(shù)，保證了密封效果。傾角調(diào)整裝置還能夠有效彌補(bǔ)腔體及閥板的加工誤差以及密封圈變形或磨損造成的密封失效，確保翻板閥長期頻繁動作的密封效果O
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明實(shí)施例結(jié)構(gòu)主視示意圖；
圖2為圖1的A-A剖視示意圖，該圖表示閥板調(diào)整前的狀態(tài)；
圖3為圖1的B-B剖視示意圖，該圖表示閥板調(diào)整前的狀態(tài)。
[0013]以上附圖中:1、閥口 ；2、真空腔室壁面；3、閥板；4、密封圈；5、主傳動軸；6、連桿；
7、樞軸；8、傾角調(diào)整裝置；9、頂銷機(jī)構(gòu)；10、銷孔；11、滑動銷；12、彈性元件；13、螺釘；14、內(nèi)孔；15、螺母；16、軸承座；17、輔助連桿。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述:
實(shí)施例:參見圖1-圖3所示:
一種連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，包括閥口 1、閥板3、主傳動軸5、連桿6、樞軸7、傾角調(diào)整裝置8以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
[0015]參見圖1-圖3所示，所述閥口 1，為開設(shè)于真空腔室壁面2上的物料傳送口。所述閥板3，以正面朝閥口 I并封蓋于閥口 I上，閥板3正面與真空腔室壁面2之間繞閥口 I周向設(shè)有密封圈4，較佳是將密封圈4嵌設(shè)于閥板正面上。
[0016]參見圖1-圖3所示，所述主傳動軸5，通過軸承座16轉(zhuǎn)動支承于真空腔室壁面2上，且位于閥板3的側(cè)旁，圖上舉例為設(shè)于閥板的上側(cè)。
[0017]參見圖1-圖3所示，所述連桿6，其第一端(圖上示出為上端)與主傳動軸5以螺栓固定連接，其第二端(圖上示出為下端)伸至閥板3的背面?zhèn)取Ｋ鰳休S7的軸線與主傳動軸5的軸線相平行，且由該樞軸7將閥板3與連桿6的第二端樞軸連接，以使閥板3可繞樞軸7轉(zhuǎn)動。
[0018]具體，如圖1所示，連桿6是設(shè)于軸承座16旁，在軸承座16的另一側(cè)對稱于連桿6還設(shè)有一輔助連桿17，該輔助連桿17的上端也與主傳動軸5以螺栓固定連接，樞軸7的中部為位于連桿6和輔助連桿17之間的矩形塊狀體，樞軸7的兩端則穿置于連桿6和輔助連桿17上，樞軸7的矩形塊狀體的中心設(shè)螺栓與閥板3固定連接。
[0019]參見圖1-圖3所示，所述傾角調(diào)整裝置8由設(shè)置于連桿6上的至少一對頂銷機(jī)構(gòu)9組成，所述每一頂銷機(jī)構(gòu)9包括銷孔10、滑動銷11、彈性元件12以及螺釘13 ;所述銷孔10朝向閥板3的背面開設(shè)于連桿6的第二端上，所述滑動銷11滑動設(shè)于銷孔10中，其朝閥板3背面的一端上設(shè)所述彈性元件12，其另一端處設(shè)所述螺釘13，螺釘13與銷孔10的端部螺紋連接，以此螺釘13頂壓滑動銷11，使滑動銷11端部的彈性元件12抵壓閥板3的背面。并且，所述一對頂銷機(jī)構(gòu)9中的兩個(gè)頂銷機(jī)構(gòu)9在連桿6長度方向上分列于樞軸7的兩側(cè)(如圖示即為上下兩側(cè));所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動主傳動軸旋轉(zhuǎn)，即可帶動閥板3翻轉(zhuǎn)打開或關(guān)閉。
[0020]具體，見圖1-圖3所示，所述閥口 I為矩形，且閥口 I以長邊沿水平方向布置，所述閥板3也對應(yīng)為矩形，所述主傳動軸5平行于矩形閥口 I的長邊設(shè)置于閥板3的上方，以此閥板3上下翻轉(zhuǎn)打開。當(dāng)閥板3的長度較長時(shí)，就需要在閥板3上布置多套如圖1上所示的機(jī)構(gòu)(該機(jī)構(gòu)由連桿6、輔助連桿17、軸承16、樞軸7以及傾角調(diào)整裝置8組成)，這樣的機(jī)構(gòu)需在閥板3的長度方向上均布。
[0021]具體，見圖1-圖3所示，所述螺釘13整體外周面上均設(shè)有外螺紋成一螺桿狀，在螺釘13突出于銷孔10的頭部上螺紋連接有螺母15，即以螺母15鎖緊螺釘13，防止螺釘13在閥板8打開關(guān)閉的運(yùn)動過程中因震動而松動移位。
[0022]見圖2-圖3所示，所述彈性元件12實(shí)際中可以是螺旋彈簧、彈簧片，也可以是彈性材質(zhì)的柱體等。較佳方案是彈性元件12為橡膠壓塊，滑動銷11朝閥板3背面的一端上開設(shè)一內(nèi)孔14，橡膠壓塊嵌置于該內(nèi)孔14中，橡膠壓塊的端部突出于內(nèi)孔14，以便作用于閥板3的背面。
[0023]所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，可以是現(xiàn)有各式提供旋轉(zhuǎn)力的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，如直接采用一電機(jī)，或者是采用氣缸加上直線-旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換的傳動機(jī)構(gòu)。較佳方案是，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)由氣缸及曲柄連桿機(jī)構(gòu)組成，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄端部與主傳動軸5固定，氣缸經(jīng)曲柄連桿機(jī)構(gòu)驅(qū)動主傳動軸5旋轉(zhuǎn)。
[0024]本發(fā)明安裝調(diào)整時(shí)，先初調(diào)，即調(diào)整主傳動軸5的旋轉(zhuǎn)角度范圍，使關(guān)閉時(shí)閥板3抵觸真空腔室壁面2 (即被密封面)，然后細(xì)調(diào)，即通過傾角調(diào)整裝置8細(xì)調(diào)閥板3的位置和角度。傾角調(diào)整裝置8的具體調(diào)法是:微調(diào)兩頂銷機(jī)構(gòu)9，即擰動螺釘13，螺釘13通過滑動銷11和彈性元件12抵壓閥板3，配合著調(diào)兩頂銷機(jī)構(gòu)9即能使閥板3旋轉(zhuǎn)，直至將閥板3調(diào)整到和密封面平行的狀態(tài)，使密封圈4上各處壓縮量一致時(shí)，能達(dá)到最佳的密封效果。
[0025]本實(shí)施例的閥板以翻轉(zhuǎn)的方式打開關(guān)閉，結(jié)構(gòu)簡單，打開關(guān)閉的動作速度快，并且，在翻板閥安裝調(diào)整基本到位后，可利用傾角調(diào)整裝置將閥板調(diào)整到和密封面平行的狀態(tài)，使密封圈上各處壓縮量一致，即兼顧了閥板和被密封面之間的間隙和平行度這兩個(gè)重要參數(shù)，保證了密封效果。并且，傾角調(diào)整裝置還能夠有效彌補(bǔ)腔體及閥板的加工誤差以及密封圈變形或磨損造成的密封失效，確保翻板閥長期頻繁動作的密封效果。
[0026]上述實(shí)施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，其特征在于:包括: 一閥口( I)，該閥口( I)為開設(shè)于真空腔室壁面(2 )上的物料傳送口 ； 一閥板(3 )，以正面朝閥口( I)并封蓋于閥口( I)上，閥板(3 )正面與真空腔室壁面(2 )之間繞閥口(I)周向設(shè)有密封圈(4)； 一主傳動軸(5)，轉(zhuǎn)動支承于真空腔室壁面(2)上，且位于閥板(3)的側(cè)旁； 一連桿(6)，其第一端與主傳動軸(5)固定連接，其第二端伸至閥板(3)的背面?zhèn)龋? 一樞軸(7)，其軸線與主傳動軸(5)的軸線相平行，且由該樞軸(7)將閥板(3)與連桿(6)的第二端樞軸連接，以使閥板(3)可繞樞軸(7)轉(zhuǎn)動； 一傾角調(diào)整裝置(8)，由至少一對頂銷機(jī)構(gòu)(9)組成，所述每一頂銷機(jī)構(gòu)(9)包括銷孔(10)、滑動銷(11)、彈性元件(12)以及螺釘(13);所述銷孔(10)朝向閥板(3)的背面開設(shè)于連桿(6)的第二端上，所述滑動銷(11)滑動設(shè)于銷孔(10)中，其朝閥板(3)背面的一端上設(shè)所述彈性元件(12)，其另一端處設(shè)所述螺釘(13)，螺釘(13)與銷孔(10)螺紋連接，以此螺釘(13)頂壓滑動銷(11)，使滑動銷(11)端部的彈性元件(12)抵壓閥板(3)的背面；并且，所述一對頂銷機(jī)構(gòu)(9)中的兩個(gè)頂銷機(jī)構(gòu)(9)在連桿長度方向上分列于樞軸(7)的兩側(cè)； 一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，驅(qū)動主傳動軸旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，其特征在于:所述閥口(I)為矩形，且閥口(I)以長邊沿水平方向布置；所述閥板(3)也對應(yīng)為矩形；所述主傳動軸(5)平行于矩形閥口(I)的長邊設(shè)置于閥板(3)的上方，以此閥板(3)上下翻轉(zhuǎn)打開。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，其特征在于:所述密封圈(4)嵌設(shè)于閥板正面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)由氣缸及曲柄連桿機(jī)構(gòu)組成，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄端部與主傳動軸(5)固定，氣缸經(jīng)曲柄連桿機(jī)構(gòu)驅(qū)動主傳動軸(5)旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，其特征在于:所述彈性元件(12)為橡膠壓塊，滑動銷(11)朝閥板(3)背面的一端上開設(shè)一內(nèi)孔(14)，橡膠壓塊嵌置于該內(nèi)孔(14)中，橡膠壓塊的端部突出于內(nèi)孔(14)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述連續(xù)式真空鍍膜線的真空腔室翻板閥，其特征在于:所述螺釘(13)整體外周面上均設(shè)有外螺紋成一螺桿狀，在螺釘(13)突出于銷孔(10)的頭部上螺紋連接有螺母(15)。
【文檔編號】F16K1/36GK103470789SQ201310346406
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2013年8月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月9日
【發(fā)明者】彭壽, 葛承全, 張超群, 屠友明, 張仰平, 李險(xiǎn)峰 申請人:中建材光電裝備（太倉）有限公司, 中國建材國際工程集團(tuán)有限公司