1.一種配置在真空室內(nèi)并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動被旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：
電機(jī)；
接收來自電機(jī)的動力并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動被旋轉(zhuǎn)體的輸出軸；以及
由外部插入輸出軸并支撐該輸出軸的滾動軸承；
其中，在旋轉(zhuǎn)體通過旋轉(zhuǎn)力傳遞裝置與被旋轉(zhuǎn)體連接的同時，滾動軸承的外圈嵌合在設(shè)置于旋轉(zhuǎn)力傳遞裝置中的槽部中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于：
所述輸出軸經(jīng)動力傳遞裝置與所述電機(jī)的驅(qū)動軸連接，以可自由冷卻的機(jī)架保持電機(jī)。
3.一種薄膜厚度監(jiān)控器，其特征在于，具有：
權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；
包括石英晶體振蕩器的監(jiān)控器本體；以及
作為使石英晶體振蕩器局部露出的被旋轉(zhuǎn)體的圓盤狀部件。