本實用新型涉及電磁閥互鎖技術領域，特別涉及一種模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置。

背景技術：

目前的模塊化總線式電磁閥組在實際應用中無法對閥組其中某個電磁閥或某幾個電磁閥進行硬件互鎖?？偩€式電磁閥組的供電端口只有兩個，分別是控制電源和驅(qū)動電源，將模塊化總線式電磁閥組的控制電源或驅(qū)動電源設定為互鎖的執(zhí)行對象，當互鎖的執(zhí)行條件滿足時，將模塊化總線式電磁閥組的驅(qū)動電源斷掉，使閥組中的電磁閥全部進入關斷狀態(tài)。因此，無論是將互鎖端連接到控制電源或驅(qū)動電源都難以達成目的。

然而，在電磁閥的應用過程中，當現(xiàn)場的實際情況或工藝流程不需要、不允許當互鎖條件滿足時所有的電磁閥全部關斷，只要求關斷指定閥組中某個或某幾個電磁閥的時候，目前的模塊化總線式電磁組的互鎖方法就無法滿足硬件互鎖的需求。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型旨在至少解決上述技術問題之一。

為此，本實用新型的一個目的在于提出一種模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，該互鎖裝置能按照實際需求對目標電磁閥個體進行互鎖，實現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

本實用新型的另一個目的在于提出一種模塊化總線式電磁閥組。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型第一方面提出了一種模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，所述模塊化總線式電磁閥組包括總線耦合器、電磁閥閥座及集成在所述電磁閥閥座上的多個電磁閥，所述互鎖裝置包括：輸入接口，所述輸入接口與所述總線耦合器相連，以接收所述總線耦合器傳輸?shù)碾姶砰y控制指令；輸出接口，所述輸出接口與通過所述電磁閥閥座與所述多個電磁閥相連；控制器，所述控制器用于根據(jù)所述電磁閥控制指令從所述多個電磁閥中確定目標電磁閥，并控制所述目標電磁閥進行互鎖。

根據(jù)本實用新型的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，通過輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個電磁閥中確定目標電磁閥，并控制目標電磁閥進行互鎖。因此，該互鎖裝置能按照實際需求對目標電磁閥個體進行互鎖，實現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

另外，根據(jù)本實用新型上述的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置還可以具有如下附加的技術特征：

在一些示例中，所述控制器還包括：多個常閉觸點、互鎖輸入輸出接口和多個互鎖繼電器，其中，所述多個常閉觸點與所述多個互鎖繼電器一一對應相連；所述多個電磁閥通過所述互鎖輸入輸出接口與所述多個互鎖繼電器相連，以在滿足互鎖條件時，向?qū)谒瞿繕穗姶砰y的目標互鎖繼電器傳輸互鎖信號，以使所述目標互鎖繼電器的電源接通，以使對應于所述目標互鎖繼電器的常閉觸點斷開，以完成所述目標電磁閥的互鎖。

在一些示例中，當所述目標互鎖繼電器處于非工作狀態(tài)時，對應的常閉觸點處于閉合狀態(tài)，以使對應的所述目標電磁閥的控制回路導通；當所述目標互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時，對應的常閉觸點處于斷開狀態(tài)，以使對應的所述目標電磁閥的控制回路斷開。

在一些示例中，當所述目標互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時，對應的所述目標電磁閥不響應所述電磁閥控制指令。

在一些示例中，所述互鎖輸入輸出接口還用于根據(jù)用戶輸入的狀態(tài)設置指令將所述目標互鎖繼電器設置為非工作狀態(tài)。

在一些示例中，所述電磁閥、所述常閉觸點和所述互鎖繼電器的數(shù)量相同。

在一些示例中，所述總線耦合器與上位機相連，以接收所述上位機提供的所述電磁閥控制指令。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型第二方面提出了一種模塊化總線式電磁閥組，包括本實用新型上述實施例所述的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置。

根據(jù)本實用新型的模塊化總線式電磁閥組，通過互鎖裝置的輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個電磁閥中確定目標電磁閥，并控制目標電磁閥進行互鎖。因此，該模塊化總線式電磁閥組能按照實際需求對目標電磁閥個體進行互鎖，實現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是現(xiàn)有模塊化總線式電磁閥組的結構示意圖；

圖2是根據(jù)本實用新型一個實施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置的整體示意圖；以及

圖3是根據(jù)本實用新型一個實施例的控制器的結構示意圖。

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。

以下結合附圖描述根據(jù)本實用新型實施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置及模塊化總線式電磁閥組。

圖2是根據(jù)本實用新型一個實施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置的整體結構示意圖。

在描述該互鎖裝置之前，首先結合圖1描述目前的模塊化總線式電磁閥組基本結構。如圖1所示，目前的模塊化總線式電磁閥組包括：總線耦合器1、多個電磁閥4及電磁閥閥座5，其中，多個電磁閥4集成在電磁閥閥座5上。其中，總線耦合器4具有輸出接口2，電磁閥閥座5具有輸入接口3?？偩€耦合器1的功能是按照相應的技術規(guī)范協(xié)議與上位機進行通信，按照上位機的控制指令實現(xiàn)對電磁閥的控制。電磁閥閥座5和電磁閥4是集成一起的，其主要功能是按照總線耦合器1的輸出指令和電源通斷，來對閥組中各個電磁閥進行開通和關斷?；诖?，本實用新型的實施例是在不改變上述電磁閥組的兩個單元的內(nèi)部結構和外形的基礎上，新增加一個相對獨立的互鎖裝置。該互鎖裝置安裝的位置介于總線耦合器1與電磁閥閥座5和電磁閥4的集成單元的中間。

基于此，結合圖2所示，本實用新型實施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，包括：輸入接口110、輸出接口120和控制器130。

其中，輸入接口110與總線耦合器1相連，以接收總線耦合器1傳輸?shù)碾姶砰y控制指令。更為具體地，例如，總線耦合器1的輸入接口與外部的上位機相連，用于接收上位機下達的電磁閥控制指令，并傳輸該電磁閥控制指令。

輸出接口120與通過電磁閥閥座5與多個電磁閥4相連。

綜上，輸入接口110和輸出接口120分別用于完成與總線耦合器1和電磁閥閥座5和多個電磁閥4的連接功能。

控制器130用于根據(jù)電磁閥控制指令從多個電磁閥4中確定目標電磁閥，并控制目標電磁閥進行互鎖。

具體地，在本實用新型的一個實施例中，結合圖3所示，控制器130包括：多個常閉觸點131(例如圖3中的常閉觸點k1至kn)、互鎖輸入輸出接口132和多個互鎖繼電器133(例如圖3中的繼電器K1至Kn)。其中，多個常閉觸點131與多個互鎖繼電器133一一對應相連；多個電磁閥4通過互鎖輸入輸出接口132與多個互鎖繼電器133相連，以在滿足互鎖條件時，向?qū)谀繕穗姶砰y的目標互鎖繼電器傳輸互鎖信號，以使目標互鎖繼電器的電源接通，從而使對應于目標互鎖繼電器的常閉觸點斷開，以完成目標電磁閥的互鎖。

綜上，控制器130主要用于完成目標電磁閥的互鎖功能。其中，通過互鎖輸入輸出接口132完成互鎖信號的通信功能。

其中，當目標互鎖繼電器處于非工作狀態(tài)時，對應的常閉觸點處于閉合狀態(tài)，以使對應的目標電磁閥的控制回路導通，目標電磁閥處于工作狀態(tài)；當目標互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時，對應的常閉觸點處于斷開狀態(tài)，以使對應的目標電磁閥的控制回路斷開，目標電磁閥實現(xiàn)互鎖，不工作。

進一步地，當目標互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時，對應的目標電磁閥不響應電磁閥控制指令。換言之，當目標互鎖繼電器處于工作狀態(tài)下，對應的目標電磁閥的電源回路將斷開，此時無論上位機對目標電磁閥控制指令如何，目標電磁閥都會處于停止工作的狀態(tài)，從而實現(xiàn)硬件互鎖的功能。

在本實用新型的一個實施例中，互鎖輸入輸出接口132還用于根據(jù)用戶輸入的狀態(tài)設置指令將目標互鎖繼電器設置為非工作狀態(tài)。換言之，即互鎖輸入輸出接口132還具有相應的跳線功能，可以根據(jù)用戶的實際使用條件靈活的將互鎖繼電器設置在不工作的狀態(tài)。

在本實用新型的一個實施例中，例如，電磁閥、常閉觸點和互鎖繼電器的數(shù)量相同，即多個電磁閥、多個常閉觸點和多個互鎖繼電器的數(shù)量一一對應。例如，圖3中包括n個常閉觸點(k1至kn)，則相應地應該有n個電磁閥及n個互鎖繼電器(K1至Kn)。

為了更好地理解本實用新型實施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，以下結合一個具體實施例，以模塊化的互鎖單元的實際應用進行舉例。在本實施例中，以華海清科公司的Universal300系列化學機械拋光機的清洗單元為例。在CMP單元對晶圓進行拋光后要通過清洗單元將晶圓表面的附著物清洗干凈，完成拋光。清洗的過程主要是通過清洗液和DIW的刷洗，因此在通過機械手放置晶圓完成后，會通過清洗腔室內(nèi)部的液路系統(tǒng)向晶圓表面噴灑液體，腔室的外邊緣配置了漏液傳感器。當箱體發(fā)生不明原因的泄露，互鎖信號會觸發(fā)互鎖單元將相應對應DIW和清洗液供液的氣動閥的電源回路斷開，實現(xiàn)硬件互鎖功能。因此，使用本實用新型實施例的互鎖裝置，可以只對總線式電磁閥組的目標電磁閥個體進行互鎖。如果互鎖信號關斷閥組的電源入口回路，整個閥組所有電磁都會關斷，但如果機械手正在取放片，如果此關斷相應的電磁閥會造成機械手撞到門上發(fā)生碰撞事故，而使用了本實用新型實施例的互鎖裝置將會避免此種事故的發(fā)生。

綜上，根據(jù)本實用新型實施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，通過輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個電磁閥中確定目標電磁閥，并控制目標電磁閥進行互鎖。因此，該互鎖裝置能按照實際需求對目標電磁閥個體進行互鎖，實現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

本實用新型的進一步實施例還提出了一種模塊化總線式電磁閥組。該模塊化總線式電磁閥組包括本實用新型上述實施例所描述的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置。

綜上，根據(jù)本實用新型實施例的模塊化總線式電磁閥組，通過互鎖裝置的輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個電磁閥中確定目標電磁閥，并控制目標電磁閥進行互鎖。因此，該模塊化總線式電磁閥組能按照實際需求對目標電磁閥個體進行互鎖，實現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，本領域的普通技術人員可以理解：在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由權利要求及其等同限定。