本技術(shù)涉及一種同軸嵌套軟管，屬于半導(dǎo)體制造。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體微電子制造領(lǐng)域常采用的影像光刻法[photolithography]中，晶圓[wafer]作為主要被加工載體需要完成必要的光刻/涂膠/顯影制程，這些制程中不可避免的需要接觸光刻膠這種介質(zhì)。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，當(dāng)前的光刻膠的性能表現(xiàn)與光刻膠使用過程中的溫度高度關(guān)聯(lián)，通常來說，光刻膠溫度的升高，使內(nèi)含的溶劑揮發(fā)加快，引起光刻膠流動性降低，因此，對光刻膠管路控溫的需求越發(fā)的高。

2、當(dāng)前常見的對于光刻膠的溫度控制，通常有涂膠環(huán)境的空氣溫度和管道內(nèi)光刻膠溫度控制兩類，其中，管道內(nèi)光刻膠溫度控制均基于在光刻膠輸送管道外安裝可供液體循環(huán)的管道，并通過在管道內(nèi)注入經(jīng)過控溫的液體以熱傳導(dǎo)的方式，隔著輸送光刻膠的高分子耐腐蝕軟管向光刻膠傳遞冷量或熱量，其由于控溫效率高而被廣泛應(yīng)用。

3、但是，由于涂膠過程中，光刻膠管道不會固定在一個特定位置，而是根據(jù)制程動作的要求不斷變換位置，在不斷運(yùn)動的過程中，內(nèi)外管路會因管道彎曲變形和拉扯造成的管道內(nèi)部粘連的問題，從而使管路的控溫液體流量不穩(wěn)定，與光刻膠輸送管道接觸面積不均衡，導(dǎo)致控溫效果差，而且容易導(dǎo)致管路使用壽命下降。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種同軸嵌套軟管，其能避免管道彎曲變形和拉扯造成的管道內(nèi)部粘連，提高控溫效果。

2、為達(dá)到上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種同軸嵌套軟管，其所述同軸嵌套軟管包括：

3、管體結(jié)構(gòu)，包括自內(nèi)朝外依次套設(shè)的第一管體、第二管體、第三管體及第四管體，所述第一管體與所述第二管體之間形成有第一回路，所述第二管體和所述第三管體之間形成有第二回路；

4、接頭結(jié)構(gòu)，包括設(shè)置所述管體結(jié)構(gòu)兩端的第一接頭和第二接頭，所述第一接頭與供液源連通，所述第一回路和所述第二回路于所述第二接頭處連通；

5、若干鏤空間隔結(jié)構(gòu)，間隔設(shè)置在所述第一回路和所述第二回路中，且分別抵持所述第一管體、第二管體和第三管體。

6、進(jìn)一步地，所述鏤空間隔結(jié)構(gòu)包括間隔環(huán)本體和用于連接相鄰間隔環(huán)本體的連接件，所述間隔環(huán)本體沿厚度方向貫穿設(shè)置的弧形槽。

7、進(jìn)一步地，所述第四管體為隔熱保溫管。

8、進(jìn)一步地，所述第一接頭內(nèi)形成有分別與所述第一回路和所述第二回路連通的進(jìn)液腔和出液腔，所述進(jìn)液腔和出液腔與分別與所述供液源連通。

9、進(jìn)一步地，所述第一接頭包括套設(shè)的內(nèi)套筒和外套筒，所述內(nèi)套筒與所述第一管體之間形成有所述進(jìn)液腔，所述內(nèi)套筒和外套筒之間形成有所述出液腔，所述外套筒上形成有與所述出液腔連通的出液口，所述出液口與所述供液源連通。

10、進(jìn)一步地，所述第二接頭內(nèi)形成有密封的循環(huán)空間，所述循環(huán)空間用于連通所述第一回路和所述第二回路。

11、進(jìn)一步地，所述第二接頭包括套設(shè)的外套接頭和內(nèi)套接頭，所述外套接頭和內(nèi)套接頭之間形成有第一空間，所述內(nèi)套接頭與所述第一管體之間形成有第二空間，所述內(nèi)套接頭上沿徑向貫穿設(shè)置有腰型槽，所述腰型槽連通所述第一空間和第二空間以形成循環(huán)空間。

12、進(jìn)一步地，所述第二接頭還包括快抓噴口端，所述第一管體貫穿設(shè)置在所述快抓噴口端內(nèi)，所述快抓噴口端上形成有與機(jī)械手配合的快抓部。

13、進(jìn)一步地，所述快抓部包括對稱形成在所述快抓噴口端上的v字形槽及形成在所述v字形槽內(nèi)的鎖緊部。

14、進(jìn)一步地，所述鎖緊部為固定孔。

15、本實用新型的有益效果在于：本申請通過自內(nèi)朝外依次套設(shè)的第一管體、第二管體、第三管體及第四管體形成輸送光刻膠的輸送軟管，并在第一管體與第二管體之間形成有第一回路和第二管體和第三管體之間形成有第二回路中均設(shè)置鏤空間隔結(jié)構(gòu)，利用鏤空間隔結(jié)構(gòu)支撐第一回路和第二回路，以使輸送軟管在彎曲變形和拉扯過程中仍保證有效的液體流動空間，從而提供穩(wěn)定的液體流量，以提高控溫效果。

16、上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

技術(shù)特征：

1.一種同軸嵌套軟管，其特征在于，所述同軸嵌套軟管包括：

2.如權(quán)利要求1所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述鏤空間隔結(jié)構(gòu)包括間隔環(huán)本體和用于連接相鄰間隔環(huán)本體的連接件，所述間隔環(huán)本體沿厚度方向貫穿設(shè)置的弧形槽。

3.如權(quán)利要求1所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述第四管體為隔熱保溫管。

4.如權(quán)利要求1所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述第一接頭內(nèi)形成有分別與所述第一回路和所述第二回路連通的進(jìn)液腔和出液腔，所述進(jìn)液腔和出液腔與分別與所述供液源連通。

5.如權(quán)利要求4所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述第一接頭包括套設(shè)的內(nèi)套筒和外套筒，所述內(nèi)套筒與所述第一管體之間形成有所述進(jìn)液腔，所述內(nèi)套筒和外套筒之間形成有所述出液腔，所述外套筒上形成有與所述出液腔連通的出液口，所述出液口與所述供液源連通。

6.如權(quán)利要求1所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述第二接頭內(nèi)形成有密封的循環(huán)空間，所述循環(huán)空間用于連通所述第一回路和所述第二回路。

7.如權(quán)利要求6所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述第二接頭包括套設(shè)的外套接頭和內(nèi)套接頭，所述外套接頭和內(nèi)套接頭之間形成有第一空間，所述內(nèi)套接頭與所述第一管體之間形成有第二空間，所述內(nèi)套接頭上沿徑向貫穿設(shè)置有腰型槽，所述腰型槽連通所述第一空間和第二空間以形成循環(huán)空間。

8.如權(quán)利要求7所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述第二接頭還包括快抓噴口端，所述第一管體貫穿設(shè)置在所述快抓噴口端內(nèi)，所述快抓噴口端上形成有與機(jī)械手配合的快抓部。

9.如權(quán)利要求8所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述快抓部包括對稱形成在所述快抓噴口端上的v字形槽及形成在所述v字形槽內(nèi)的鎖緊部。

10.如權(quán)利要求9所述的同軸嵌套軟管，其特征在于，所述鎖緊部為固定孔。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及一種同軸嵌套軟管，其通過自內(nèi)朝外依次套設(shè)的第一管體、第二管體、第三管體及第四管體形成輸送光刻膠的輸送軟管，并在第一管體與第二管體之間形成有第一回路和第二管體和第三管體之間形成有第二回路中均設(shè)置鏤空間隔結(jié)構(gòu)，利用鏤空間隔結(jié)構(gòu)支撐第一回路和第二回路，以使輸送軟管在彎曲變形和拉扯過程中仍保證有效的液體流動空間，從而提供穩(wěn)定的液體流量，以提高控溫效果。

技術(shù)研發(fā)人員：黃自柯,紀(jì)心宇,丁文標(biāo),林生海
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州冠禮科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240321
技術(shù)公布日：2024/12/19