0]圖6是圖1的CC剖面圖；
[0041]圖7是表示先導閥關閉了的狀態(tài)的先導閥部的構造的剖面圖；
[0042]圖8是表示先導閥打開了的狀態(tài)的先導閥部的構造的剖面圖；
[0043]圖9A、9B是第二實施方式的先導式電磁閥的正面圖及底面圖；
[0044]圖10A、10B是第三實施方式的先導式電磁閥的正面圖及底面圖；
[0045]圖11A、11B是第四實施方式的先導式電磁閥的正面圖及底面圖；
[0046]圖12A、12B是第五實施方式的先導式電磁閥的正面圖及右側面圖；
[0047]圖13是第六實施方式的先導式電磁閥的正面圖；
[0048]圖14是第七實施方式的先導式電磁閥的正面圖；
[0049]圖15是第八實施方式的先導式電磁閥歧管的正面圖；
[0050]圖16是圖15的左側面圖；
[0051]圖17是圖15的底面圖；
[0052]圖18是第八實施方式的先導式電磁閥歧管回路圖。
[0053]標號說明
[0054]1先導式電磁閥
[0055]2先導閥部
[0056]3流路塊體
[0057]14共用流路
[0058]18可動鐵芯
[0059]22固定鐵芯
[0060]30平蓋體
[0061]32平蓋體連通路
[0062]33金屬球
[0063]35凹部
[0064]36貫通孔
[0065]40塊主體
[0066]41閥孔室
[0067]42輸出流路
[0068]43閥室
[0069]44輸入流路
[0070]55閥座
[0071]57連通路
[0072]58遮蔽壁
[0073]60隔膜閥芯
【具體實施方式】
[0074]以下，參照附圖對將本發(fā)明具體化后的先導式電磁閥1進行詳細說明。圖1表示先導式電磁閥1的正面圖。圖2表不圖1的右側面圖。圖3表不圖1的底面圖。圖4表不圖3的BB剖面圖。圖5表示圖1的AA剖面圖。圖6表示圖1的CC剖面圖。
[0075]如圖1所示，先導式電磁閥1由先導閥部2和流路塊體3構成。
[0076]接著，使用圖4、圖5對流路塊體3的構造進行說明。
[0077]如圖5所示，流路塊體3是具有一對寬的相對面3a、3b的長方體形狀的塊體，具有塊主體40、和安裝于塊主體40上的平蓋體30。首先，說明塊主體40的構造。在塊主體40的中心形成有大致圓筒形狀的凹部即閥室43。此外，一對相對面3a、3b由規(guī)定流路塊體3的厚度(電磁閥1的厚度L1:圖2)的側面包圍。
[0078]在閥室43的中央底面形成有閥座55。在閥座55的中心形成有閥孔31，閥孔31具備底面，形成閥孔室41。在閥孔室41的底面左端連通狹縫形狀的輸出流路42。如圖4所示，輸出流路42的一端在塊主體40的下端面40b開口。
[0079]如圖4、5所示，在閥室43的右端連通有截面為正方形形狀的輸入流路44。輸入流路44的一端在塊主體40的下端面40b開口。在輸入流路44的另一端開設有N0連通路45。N0連通路45的另一端在塊主體40的上端面40a開口。
[0080]在塊主體40的下端面40b，通過兩個螺釘72固定設置有安裝板56。在安裝板56上形成有與輸入流路44連通的輸入口 49、與輸出流路42連通的輸出口 50。在安裝板56的兩端部形成有安裝螺釘用孔51、52。先導式電磁閥1使用安裝螺釘用孔51、52安裝于形成有與輸入口 49及輸出口 50對應的各口的歧管塊。
[0081]如圖4所示，形成有連通塊主體40的右上端面的開口和右側面上部的開口的大氣流路47。
[0082]接著，對于平蓋體30的構造、及隔膜閥芯60的安裝構造進行說明。如圖5所示，在與塊主體40面對的平蓋體30的內(nèi)側面的中心部形成有凹部35。凹部35構成隔膜閥芯60的背室。
[0083]隔膜閥芯60由圓板狀且外周部薄而中心部具有厚度的隔膜61、一體成形于隔膜61的中心部的樹脂主體62構成。隔膜61的外周部由塊主體40和平蓋體30夾持保持，并且被密封。隔膜閥芯60將閥室43和凹部35隔離。在樹脂主體62的上表面中央部形成有凹部62a，在該凹部62a安裝有螺旋彈簧63。螺旋彈簧63將隔膜閥芯60向與閥座55抵接的方向施力。在圖5的狀態(tài)下，隔膜閥芯60為與閥座55抵接的狀態(tài)。如后所述，螺旋彈簧63的作用力不大，隔膜閥芯60與閥座55抵接取決于向背室即凹部35供給的壓縮空氣的力和螺旋彈簧63的合力。
[0084]如圖5所示，在平蓋體30的凹部35的側面開設有用于形成平蓋體連通路32的貫通路37的一端(圖5中左端)。用于形成平蓋體連通路32的貫通路37的另一端(圖5中右端)在平蓋體30的側面開口。S卩，該貫通路37因在成形平蓋體30時，在金屬模中需要拔出從平蓋體30的側面插入的銷，所以從平蓋體30的側面朝向凹部35的內(nèi)壁開口。在貫通路37內(nèi)，金屬球33向平蓋體30的側面的開口壓入，堵塞開口。貫通路37通過壓入金屬球33，形成平蓋體連通路32。本實施方式中，平蓋體30的厚度為3mm左右，平蓋體連通路32的直徑為1mm左右。
[0085]圖5中，在塊主體40的上表面的右端形成有遮蔽壁58，遮蔽平蓋體連通路32的插入有金屬球33的開口。由此，即使金屬球33的壓入狀態(tài)松弛，金屬球33也不會從開口飛出，可確保平蓋體連通路32的密封性。
[0086]在平蓋體30的平蓋體連通路32的中途的內(nèi)面開設有貫通孔36。在貫通孔36插入連接有塊主體40的圓筒狀突出部34。在突出部34形成有連通路57。連通路57與形成于塊主體40的共用連通路46的一端連通。共用連通路46的另一端在塊主體40的上端面4a開口。連通路57由一體成形于隔膜61的兩個密封圈61a、61b中的密封圈61b密封。
[0087]如圖1所示，平蓋體30通過3個螺釘71螺紋緊固于塊主體40的螺紋孔53。本實施方式中，在平蓋體30螺紋緊固于塊主體40的狀態(tài)下，如圖2所示，流路塊體3的厚度L1為10mm。在此，先導閥部2的厚度也為10mm。
[0088]接著，說明先導閥部2的構造。圖7表示先導閥部2的構造。圖7表示先導閥關閉了的狀態(tài)。
[0089]在先導閥部2內(nèi)部的左側配置有中空狀的線圈17。在線圈17的左端固定設置有固定鐵芯22。在線圈17的右端，沿直線方向(圖7中左右方向)可移動地保持有可動鐵芯18。在可動鐵芯18的右端附設有橡膠制的先導閥芯19。先導閥芯19可與閥座20抵接地設置。閥座20形成于圓錐臺狀的凸部的頂部。在可動鐵芯18上形成有凸緣部18a，在凸緣部18a安裝有施力彈簧21。施力彈簧21向先導閥芯19與閥座20抵接的方向?qū)蓜予F芯18施力。圖7中因沒有對線圈17通電流，所以先導閥芯19通過施力彈簧21的作用力與閥座20抵接。
[0090]先導閥室16與共用流路14、及NO流路13連通。S卩，共用流路14和N0流路13處于總是連通的狀態(tài)。處于閥座20的中心的閥孔20a與NC流路15連通。
[0091]先導閥部2的共用流路14經(jīng)由流路塊體3的共用連通路46與連通路57連通。同樣，N0流路13與N0連通路45連通。同樣，NC流路15與大氣流路47連通。
[0092]另一方面，在先導閥