一種新型真空閥結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及抽真空閥門技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說涉及一種新型真空閥結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶體反應(yīng)的過程中，需要對單晶反應(yīng)爐進(jìn)行抽真空處理，在抽真空處理的過程中，需要在抽真空泵和單晶反應(yīng)爐之間設(shè)置有真空閥，真空閥主要由閥體構(gòu)成，并且閥體具有進(jìn)氣腔室和出氣腔室，進(jìn)氣腔室與進(jìn)氣口連通，氣腔室與出氣口連通，其主要作用在于在真空泵斷電和不工作的情況下將真空系統(tǒng)和外界大氣進(jìn)行切斷，而在抽真空的時(shí)候則保持連通，現(xiàn)有技術(shù)中的真空閥不僅僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且其使用過程中容易發(fā)生損壞，使用壽命不長。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的就在于提供一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，它具有結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)省成本的特點(diǎn)，另外，它還具有較長使用壽命的特點(diǎn)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，所述真空閥結(jié)構(gòu)包括閥體，所述閥體中設(shè)置有閥板，所述閥板的一側(cè)為進(jìn)氣腔室，另一側(cè)為出氣腔室，所述進(jìn)氣腔室與進(jìn)氣口連通，所述出氣腔室與出氣口連通，所述閥板上設(shè)置有若干通氣孔，所述出氣腔室中設(shè)置有電磁鐵，所述出氣腔室中且位于所述電磁鐵和閥板之間活動(dòng)設(shè)置有鐵質(zhì)擋板，所述鐵質(zhì)擋板可以把所述通氣孔蓋住，所述電磁鐵和鐵質(zhì)擋板之間設(shè)置有彈簧，所述彈簧的一端固定在電磁鐵上、另一端固定在鐵質(zhì)擋板上，所述電磁鐵的電源線接入真空泵的供電電源線中。
[0005]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述進(jìn)氣腔室中安裝有空氣過濾器)。
[0006]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述閥體位于所述出氣腔室的一端設(shè)置有端蓋，所述閥板活動(dòng)設(shè)置在所述閥體中，所述閥板與所述閥體內(nèi)壁密封配合，所述閥板固定在所述閥桿，所述閥桿活動(dòng)設(shè)置在所述端蓋上，所述閥桿上設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)。
[0007]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述緩沖機(jī)構(gòu)包括復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧的一端設(shè)置在所述端蓋上、另一端設(shè)置在動(dòng)態(tài)緩沖部件上，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件活動(dòng)設(shè)置在所述出氣腔室中，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件與所述出氣腔室內(nèi)壁之間設(shè)置有密封圈，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件安裝在所述閥桿上，所述閥桿位于出氣腔室外部的一端固定有定位部件。
[0008]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件上設(shè)置有彈簧座，所述復(fù)位彈簧與所述動(dòng)態(tài)緩沖部件相連接的一端固定在彈簧座上，所述閥桿與所述動(dòng)態(tài)緩沖部件之間設(shè)置有密封部件。
[0009]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述端蓋位于所述出氣腔室的一側(cè)設(shè)置有內(nèi)蓋，所述端蓋和內(nèi)蓋之間設(shè)置有密封圈。
[0010]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述閥體位于進(jìn)氣腔室的一端設(shè)置有穿孔，所述穿孔中設(shè)置有鋼珠。
[0011]作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述閥板外壁和閥體內(nèi)壁之間設(shè)置有O型密封圈。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果在于:本實(shí)用新型的工作原理簡單，因而其結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)省成本的特點(diǎn)，另外，本實(shí)用新型設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)，在通斷的過程中，其震動(dòng)較小，可對整體結(jié)構(gòu)起到較好地保護(hù)作用，因此它還具有較長使用壽命。
【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明:
[0014]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖
[0015]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中閥板的安裝示意圖
[0016]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中閥板的主視圖
[0017]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中閥板的剖視圖
[0018]圖中:1、閥體；2、閥桿；3、端蓋；4、彈簧座；5、動(dòng)態(tài)緩沖部件；6、電磁鐵；7、閥板；8、鐵質(zhì)擋板；9、密封部件；10、密封圈；11、復(fù)位彈簧；12、彈簧；13、內(nèi)蓋；14、定位部件；15、鋼珠；16、空氣過濾器；17、出氣口 ；18、進(jìn)氣口 ；19、出氣腔室；20、進(jìn)氣腔室；73、通氣孔。
【具體實(shí)施方式】
[0019]以下所述僅為體現(xiàn)本實(shí)用新型原理的較佳實(shí)施例，并不因此而限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍
[0020]實(shí)施例:如圖1至4所示為本實(shí)用新型一種新型真空閥結(jié)構(gòu)的實(shí)施例，所述真空閥結(jié)構(gòu)包括閥體1，所述閥體I中設(shè)置有閥板7，所述閥板7的一側(cè)為進(jìn)氣腔室20，另一側(cè)為出氣腔室19，所述進(jìn)氣腔室20與進(jìn)氣口 18連通，所述出氣腔室19與出氣口 17連通，其特征在于，所述閥板7上設(shè)置有若干通氣孔73，所述出氣腔室19中設(shè)置有電磁鐵6，所述出氣腔室19中且位于所述電磁鐵6和閥板7之間活動(dòng)設(shè)置有鐵質(zhì)擋板8，所述鐵質(zhì)擋板8可以把所述通氣孔73蓋住，所述電磁鐵6和鐵質(zhì)擋板8之間設(shè)置有彈簧12，所述彈簧12的一端固定在電磁鐵6上、另一端固定在鐵質(zhì)擋板8上，所述電磁鐵6的電源線接入真空泵的供電電源線中。
[0021 ] 進(jìn)氣腔室20中安裝有空氣過濾器16，該過濾器16為過濾膜或是過濾板，其主要作用在于可以凈化空氣，防止在抽真空過程中大的顆粒物質(zhì)進(jìn)入抽真空泵，對抽真空泵造成損傷，其對抽真空泵可起到一定地保護(hù)作用，在一定程度上可延長抽真空泵的使用壽命。
[0022]所述閥體I位于所述出氣腔室19的一端設(shè)置有端蓋3，所述閥板7活動(dòng)設(shè)置在所述閥體I中，所述閥板7與所述閥體I內(nèi)壁密封配合，所述閥板7固定在所述閥桿2，所述閥桿2活動(dòng)設(shè)置在所述端蓋3上，所述閥桿2上設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)。
[0023]緩沖機(jī)構(gòu)包括復(fù)位彈簧11，所述復(fù)位彈簧11的一端設(shè)置在所述端蓋3上、另一端設(shè)置在動(dòng)態(tài)緩沖部件5上，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件5活動(dòng)設(shè)置在所述出氣腔室19中，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件5與所述出氣腔室19內(nèi)壁之間設(shè)置有密封圈10，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件5安裝在所述閥桿2上，所述閥桿2位于出氣腔室19外部的一端固定有定位部件14。
[0024]動(dòng)態(tài)緩沖部件5上設(shè)置有彈簧座4，所述復(fù)位彈簧11與所述動(dòng)態(tài)緩沖部件5相連接的一端固定在彈簧座4上，所述閥桿2與所述動(dòng)態(tài)緩沖部件5之間設(shè)置有密封部件9。
[0025]端蓋3位于所述出氣腔室19的一側(cè)設(shè)置有內(nèi)蓋13，所述端蓋3和內(nèi)蓋13之間設(shè)置有密封圈10。
[0026]閥體I位于進(jìn)氣腔室20的一端設(shè)置有穿孔，所述穿孔中設(shè)置有鋼珠15。
[0027]閥板7外壁和閥體I內(nèi)壁之間設(shè)置有O型密封圈。
[0028]本實(shí)用新型實(shí)施例在工作狀態(tài)下，首先在通電狀態(tài)，抽真空泵工作的情況下，電磁鐵6工作，電磁鐵6吸附鐵質(zhì)擋板8，此時(shí)通氣孔73打開，抽真空泵可正常的進(jìn)行抽真空操作，而當(dāng)由于故障或是抽真空泵停止工作的時(shí)候，電磁鐵6不再工作，此時(shí)鐵質(zhì)擋板8在彈簧12的作用下將氣孔73擋住，此時(shí)可保證抽真空系統(tǒng)和外表的大氣環(huán)境之間進(jìn)行隔絕，另夕卜，在抽真空泵剛開啟工作的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)一個(gè)瞬時(shí)的力量作用力于閥板7上，此時(shí)閥桿2受力，動(dòng)態(tài)緩沖部件5隨著閥桿2 —起后退，在復(fù)位彈簧11的作用下可起到一個(gè)緩沖作用，將瞬時(shí)力卸掉，可很好地對其內(nèi)部的各零部件起到保護(hù)作用。
[0029]本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對本實(shí)用新型精神作舉例說明。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，但并不會(huì)偏離本實(shí)用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，所述真空閥結(jié)構(gòu)包括閥體(1)，所述閥體(I)中設(shè)置有閥板(7),所述閥板(7)的一側(cè)為進(jìn)氣腔室(20)，另一側(cè)為出氣腔室(19)，所述進(jìn)氣腔室(20)與進(jìn)氣口(18)連通，所述出氣腔室(19)與出氣口(17)連通，其特征在于，所述閥板(7)上設(shè)置有若干通氣孔(73)，所述出氣腔室(19)中設(shè)置有電磁鐵(6)，所述出氣腔室(19)中且位于所述電磁鐵(6)和閥板(7)之間活動(dòng)設(shè)置有鐵質(zhì)擋板(8)，所述鐵質(zhì)擋板(8)可以把所述通氣孔(73)蓋住，所述電磁鐵(6)和鐵質(zhì)擋板(8)之間設(shè)置有彈簧(12)，所述彈簧(12)的一端固定在電磁鐵(6)上、另一端固定在鐵質(zhì)擋板(8)上，所述電磁鐵(6)的電源線接入真空泵的供電電源線中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)氣腔室(20)中安裝有空氣過濾器(16)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述閥體(I)位于所述出氣腔室(19)的一端設(shè)置有端蓋(3)，所述閥板(7)活動(dòng)設(shè)置在所述閥體(I)中，所述閥板(7 )與所述閥體(I)內(nèi)壁密封配合，所述閥板(7 )固定在所述閥桿(2 )，所述閥桿(2 )活動(dòng)設(shè)置在所述端蓋(3)上，所述閥桿(2)上設(shè)置有緩沖機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述緩沖機(jī)構(gòu)包括復(fù)位彈簧(11)，所述復(fù)位彈簧(11)的一端設(shè)置在所述端蓋(3)上、另一端設(shè)置在動(dòng)態(tài)緩沖部件(5)上，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件(5)活動(dòng)設(shè)置在所述出氣腔室(19)中，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件(5)與所述出氣腔室(19)內(nèi)壁之間設(shè)置有密封圈(10)，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件(5)安裝在所述閥桿(2)上，所述閥桿(2)位于出氣腔室(19)外部的一端固定有定位部件(14)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述動(dòng)態(tài)緩沖部件(5)上設(shè)置有彈簧座(4)，所述復(fù)位彈簧(11)與所述動(dòng)態(tài)緩沖部件(5)相連接的一端固定在彈簧座(4 )上，所述閥桿(2 )與所述動(dòng)態(tài)緩沖部件(5 )之間設(shè)置有密封部件(9 )。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述端蓋(3)位于所述出氣腔室(19 )的一側(cè)設(shè)置有內(nèi)蓋(13 )，所述端蓋(3 )和內(nèi)蓋(13 )之間設(shè)置有密封圈(10 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述閥體(I)位于進(jìn)氣腔室(20)的一端設(shè)置有穿孔，所述穿孔中設(shè)置有鋼珠(15)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述閥板(7)外壁和閥體(I)內(nèi)壁之間設(shè)置有O型密封圈。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種新型真空閥結(jié)構(gòu)，所述緩真空閥結(jié)構(gòu)包括閥體，所述閥體中設(shè)置有閥板，所述閥板的一側(cè)為進(jìn)氣腔室，另一側(cè)為出氣腔室，所述進(jìn)氣腔室與進(jìn)氣口連通，所述出氣腔室與出氣口連通，所述閥板上設(shè)置有若干通氣孔，所述出氣腔室中設(shè)置有電磁鐵，所述出氣腔室中且位于所述電磁鐵和閥板之間活動(dòng)設(shè)置有鐵質(zhì)擋板，所述鐵質(zhì)擋板可以把所述通氣孔蓋住，所述電磁鐵和鐵質(zhì)擋板之間設(shè)置有彈簧，所述彈簧的一端固定在電磁鐵上、另一端固定在鐵質(zhì)擋板上，所述電磁鐵的電源線接入真空泵的供電電源線中。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)省成本的特點(diǎn)，另外，它還具有較長使用壽命的特點(diǎn)。
【IPC分類】F16K51-02, F16K31-06, F16K27-02, B01D35-04, F16K1-00
【公開號】CN204553859
【申請?zhí)枴緾N201520183646
【發(fā)明人】胡治軍
【申請人】安徽中晶光技術(shù)股份有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年3月30日