專利名稱：化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種化學供應系統(tǒng)(chemical supply system)及其閥箱(valve box)設計，特別是涉及一種用于制造工廠的多功式(multi-function)的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計。
背景技術：
通常，集成電路或是半導體元件都需要歷經(jīng)許多的制程步驟才得以完成，而這些制程步驟幾乎都需要使用化學試劑或是氣體來進行。因此一般在半導體工廠中，都會裝設化學供應系統(tǒng)，利用其管路的配置及操控裝置等元件，將化學試劑或氣體配送至各制程機臺，而這些制程機臺又稱為使用端(point of use，POU)。
一般在多樓層的工廠中，其化學供應系統(tǒng)，是包括設置在底層樓層的一化學供應裝置，以及分別設置在其它樓層的化學供應裝置，且每一樓層的化學供應裝置中都各自有其控制單元。藉由底層樓層的化學供應裝置中的控制單元的控制，可配送化學試劑或氣體至底層樓層的使用端。而其它樓層的化學供應裝置則會藉由其控制單元而從底層樓層的化學供應裝置要求配送所需求的化學試劑或氣體，然后再將化學試劑或氣體配送至所在樓層的使用端。特別是，現(xiàn)有習知的連接于底層樓層的化學供應裝置的主管路會被分支分成多個管路，以供應化學試劑或氣體給底部樓層的使用端以及其它樓層的化學供應裝置，因此當需求量暴增時，經(jīng)常會有限流(flowlimitation)或是無法供應的情況發(fā)生。而且因每一樓層的化學供應裝置都各自有其控制單元，因此每一樓層的控制系統(tǒng)并未整合在一起，如此對于整個工廠內化學試劑或氣體的供應狀態(tài)并無法輕易的掌控。
為了解決上述問題，一種方式是在底層樓層額外裝設一轉換單元(transfer unit)，其中該轉換單元內具有分別控制每一樓層的化學供應裝置的數(shù)個控制單元，透過該轉換單元內部的數(shù)個控制單元的操控，可將化學試劑或是氣體分別配送至各樓層的化學供應裝置，然后每一樓層的化學供應裝置再將化學試劑或氣體輸送至其使用端。
雖然使用轉換單元的方式可以解決限流等問題，但是轉換單元的購入?yún)s存在有會使成本大幅增加的缺陷。
另外，一般在配送化學試劑或是氣體的管路上都會裝設有閥箱，用以控制輸送至使用端的化學試劑或是氣體的流量。然而，上述化學供應系統(tǒng)在長期的使用下，經(jīng)常會在管路上發(fā)現(xiàn)有滲出的化學物或是化學煙霧(chemicalfume)，特別是在閥箱附近的管路上經(jīng)常會滲出化學物或是化學煙霧，如此不但會影響管路的可透視度，而且還可能造成其它設備元件的污穢。
由此可見，上述現(xiàn)有的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計仍存在有諸多的缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切的結構能夠解決上述問題，此顯然是相關業(yè)者急欲解決的問題。
有鑒于上述現(xiàn)有的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設計制造多年豐富的實務經(jīng)驗及專業(yè)知識，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設一種新型的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計，能夠改進一般現(xiàn)有的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設計，并經(jīng)反復試作樣品及改進后，終于創(chuàng)設出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的化學供應系統(tǒng)存在的缺陷，而提供一種新的化學供應系統(tǒng)，所要解決的技術問題是使其可以解決現(xiàn)有習知的化學供應系統(tǒng)在供應不同樓層的使用端時，經(jīng)常會有限流或是無法供應的問題，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種化學供應系統(tǒng)，所要解決的技術問題是使其在不需要增加成本的情況下就可以解決現(xiàn)有技術存在的問題。
本發(fā)明的再一目的在于，提供一種閥箱設計，所要解決的技術問題是使其可以解決管路上經(jīng)常會滲出化學煙霧，而影響管路可透視度的問題。
本發(fā)明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種化學供應系統(tǒng)，其適用于配送一化學物至多樓層的多個使用端(point of use，POU)，該化學供應系統(tǒng)包括一第一化學供應裝置，配置在一第一樓層，其中該第一化學供應裝置內具有一控制單元；復數(shù)個主管路，其是與該第一供應裝置連通，且其中一該些主管路是用來配送該化學物至該第一樓層的使用端；以及一第二化學供應裝置，配置在一第二樓層，且另一該些主管路是由該第一化學供應裝置連通至該第二化學供應裝置，藉由該控制單元的控制以使該化學物能送至該第二化學供應裝置，進而配送至該第二樓層的使用端。
本發(fā)明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現(xiàn)。
前述的化學供應系統(tǒng)，其中所述的第一化學供應裝置中更包括設計有復數(shù)個預留接口(port)，用以額外加裝主管路。
前述的化學供應系統(tǒng)，其更包括復數(shù)個閥箱(valve box)，配置在該第一化學供應裝置與該第一樓層的使用端之間，以及該第二化學供應裝置與該第二樓層的使用端之間，其中每一該些閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是與對應的該化學供應裝置連通，并且與對應的該些使用端連通；一排放裝置，其與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
前述的化學供應系統(tǒng)，其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
前述的化學供應系統(tǒng)，其更包括至少一化學供應裝置，分別配置在該第二樓層以上的各樓層，其中各該些化學供應裝置都分別以分開的主管路與該第一化學供應裝置連通，且藉由該控制單元而從該第一化學供應裝置配送該化學物至各該些化學供應裝置，進而配送該化學物至各樓層的使用端。
前述的化學供應系統(tǒng)，其中所述的化學物是選自一化學試劑以及一氣體其中之一。
本發(fā)明的目的及解決其技術問題還采用以下的技術方案來實現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種閥箱的設計，其是裝設在一供應端以及復數(shù)個使用端之間的管路上，該閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是藉由該管路而與該供應端連通并與該些使用端連通；一排放裝置，其是與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
本發(fā)明的目的及解決其技術問題還可采用以下的技術措施進一步實現(xiàn)。前述的閥箱設計，其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上的技術方案可知，為了達到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的主要技術內容如下本發(fā)明提出一種化學供應系統(tǒng)，其適用于配送化學物至多樓層的多個使用端，該化學物例如是化學試劑或是氣體，而該化學供應系統(tǒng)是包括一第一化學供應裝置、數(shù)個主管路以及一第二化學供應裝置。其中，第一化學供應裝置是配置在一第一樓層，且第一化學供應裝置內具有一控制單元。數(shù)個主管路是與第一化學供應裝置連通，且其中一主管路是用來配送化學物至第一樓層的使用端。而第二化學供應裝置是配置在一第二樓層，且另一主管路是由第一化學供應裝置連通至第二化學供應裝置，藉由第一化學供應系統(tǒng)中的控制單元的控制以使化學物能輸送至第二化學供應裝置，進而配送至第二樓層的使用端。
本發(fā)明又提出一種閥箱的設計，其裝設在一供應端以及數(shù)個使用端之間的管路上，該閥箱包括一閥箱主體、一排放裝置以及一清洗裝置。其中，閥箱主體是藉由管路而與供應端連通并且與數(shù)個使用端連通。另外，排放裝置是與閥箱主體連通，用以排放出管路及閥箱主體中的污染物。而清洗裝置是與閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路及閥箱主體。
由于本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)是使用多個主管路而分別使各樓層的化學供應裝置與底層樓層的化學供應裝置總相連通，因此可以解決當使用量暴增時，會發(fā)生管路限流或是無法供應的問題。
本發(fā)明由于僅在底部樓層的化學供應裝置中設置控制單元，以控制所有樓層的化學供應裝置的供應，因此本發(fā)明將所有化學供應裝置的控制系統(tǒng)整合起來，可以易于掌控廠內的化學試劑以及氣體的供應狀態(tài)。
本發(fā)明由于在閥箱設置有排出裝置以及清洗裝置，因此可以使?jié)B出管路的化學煙霧被排出或清洗掉，進而可恢復管路的可透視度。
經(jīng)由上述可知，借由上述技術方案，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點1、本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)可以解決當使用量暴增時，會發(fā)生管路限流或是無法供應的問題。
2、本發(fā)明將所有化學供應裝置的控制系統(tǒng)整合起來，可以易于掌控廠內的化學試劑以及氣體的供應狀態(tài)。
3、本發(fā)明在閥箱設計有排出裝置以及清洗裝置，而可以使?jié)B出管路的化學煙霧被排出或清洗掉，進而可恢復管路的可透視度。
綜上所述，本發(fā)明特殊結構的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計，可以解決現(xiàn)有習知的化學供應系統(tǒng)在供應不同樓層的使用端時，經(jīng)常會有限流或是無法供應的問題，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值；其在不需要增加成本的情況下就可以解決現(xiàn)有技術存在的問題，且可以解決管路上經(jīng)常會滲出化學煙霧，而影響管路可透視度的問題。其具有上述諸多的優(yōu)點及實用價值，并在同類產(chǎn)品中未見有類似結構設計公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在結構上或功能上皆有較大改進，在技術上有較大進步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計具有增進的多項功效，從而更加適于實用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
上述說明僅是本發(fā)明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。


圖1是依照本發(fā)明一較佳實施例的化學供應系統(tǒng)的示意圖。
圖2是依照本發(fā)明一較佳實例的閥箱的設計的示意圖。
100、200、300化學供應裝置 102控制單元
104、204、304；閥箱 106a、106b使用端110a、110b、110c主管路112；預留接口206a、206b使用端 306a、306b使用端406a、406b使用端 400供應端402管路 404閥箱主體408排出裝置 410清洗裝置具體實施方式
以下結合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計其具體實施方式
、結構、特征及其功效，詳細說明如后。
為了解決現(xiàn)有技術中用于多樓層的化學供應系統(tǒng)經(jīng)常會發(fā)生限流或無法供應的情形，因此本發(fā)明提出新型結構的一種化學供應系統(tǒng)，其是使用多個主管路來配送化學物至不同樓層，其中該化學物例如是化學試劑或氣體，以解決現(xiàn)有技術中將主管路分支成多個管路以供應化學試劑或氣體至不同樓層時，經(jīng)常會發(fā)生限流或無法供應的問題。
請參閱圖1所示，是依照本發(fā)明一較佳實施例的化學供應系統(tǒng)的示意圖。本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)，是適用于配送化學物至多樓層的多個使用端(point of use，POU)，其中，該化學物例如是化學試劑或是氣體，而這些使用端包括配置在第一樓層的使用端106a、106b，配置在第二樓層的使用端206a、206b，甚至是其它樓層的使用端306a、306b。倘若本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)是應用在一半導體工廠中，則上述的使用端例如是蝕刻機臺或是沉積機臺等制程機臺。
本發(fā)明所提出的化學供應系統(tǒng)，是包括配置在第一樓層的化學供應裝置100、配置在第二樓層的化學供應裝置200、配置在其它樓層(例如是第N樓層)的化學供應裝置300以及數(shù)個主管路110a、110b、110c。除此之外，本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)更包括在各樓層的管路上配置有閥箱104、204、304。
其中，配置在第一樓層的化學供應裝置100中具有一控制單元102，該控制單元系用來控制工廠中所有樓層的化學試劑或是氣體的供應。而在化學供應裝置100中包括了加壓單元(pump)等現(xiàn)有習知常用的裝置單元。而數(shù)個主管路110a、110b、110c都與化學供應裝置100連通，其中該主管路110a是用來配送化學試劑或是氣體至第一樓層的使用端106a、106b，且在化學供應裝置100與使用端106a、106b之間的主管路110a上更包括配置有閥箱104，用以控制化學試劑或是氣體配送至各使用端106a、106b的供應量。
而另一主管路110b是連接于化學供應裝置100以及第二樓層的化學供應裝置200之間，藉由控制單元102的控制，化學試劑或是氣體會從化學供應裝置100經(jīng)主管路110b配送至第二樓層的化學供應裝置200中，之后才由化學供應裝置200輸送化學試劑或是氣體至第二樓層的使用端206a、206b，同樣的，在化學供應裝置200與使用端206a、206b之間的管路上更包括配置有一閥箱204，用以控制化學試劑或是氣體配送至各使用端206a、206b的供應量。當然，化學供應裝置200中亦包括加壓單元等現(xiàn)有習知常用的裝置單元。
因此，本發(fā)明由于在化學供應裝置100中就以分開的主管路110a、110b配送化學試劑或氣體至第一樓層以及第二樓層的使用端106a、106b、206a、206b，因此可以解決現(xiàn)有技術中將主管路分支成數(shù)個管路以配送化學試劑或氣體至各樓層時，經(jīng)常會發(fā)生限流或是無法供應的情形。而且，本發(fā)明將每一樓層的化學供應裝置的控制系統(tǒng)整合在一起，由單一控制單元102來控制每一樓層的化學試劑或氣體的供應狀態(tài)，而可以使整個工廠內的化學試劑或氣體的供應狀態(tài)較易于掌控。
倘若本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)是應用在兩層樓以上的工廠時，則在第一樓層的化學供應裝置100上更連接有另一主管路110c，用以與第N樓層的化學供應裝置300連通。同樣的，藉由控制單元102的控制，化學試劑或是氣體會從化學供應裝置100經(jīng)由主管路110c配送至第N樓層的化學供應裝置300中，之后才由化學供應裝置300輸送化學試劑或是氣體至第N樓層的使用端306a、306b。而且，在化學供應裝置300與使用端306a、306b之間的管路上亦包括配置有一閥箱304，用以控制化學試劑或是氣體配送至各使用端306a、306b的供應量。當然，化學供應裝置300中亦包括加壓單元等現(xiàn)有習知常用的裝置單元。
特別值得一提的是，在化學供應裝置100上更包括配置有數(shù)個預留接口112，其是提供額外的主管路接口，以因應當某一樓層化學試劑或是氣體使用量增加時可額外加裝主管路，以滿足該樓層的需求。當然，該預留接口112亦可以預留于工廠增建樓層時，可提供給供應給連接至其它樓層的主管路使用。
除此之外，在本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)中，每一樓層的化學供應裝置以及使用端之間的管路上都會配置有閥箱(如圖1所標示的104、204、206)，用以控制配送至各使用端的化學試劑或是氣體的量。由于化學供應系統(tǒng)在長期的使用下，經(jīng)常會在管路上發(fā)現(xiàn)有滲出的化學物或是化學煙霧(chemicalfume)，特別是在閥箱附近的管路上經(jīng)常會滲出化學物或是化學煙霧，其不但會影響管路的可透視度，而且還可能造成其它設備元件的污穢。因此本發(fā)明又特別提出一種閥箱的設計，以解決上述的問題。
請參閱圖2所示，本發(fā)明的閥箱是裝設在一供應端400以及數(shù)個使用端406a、406b之間的管路402上，在該供應端400例如是圖1的化學供應裝置100、200或300，而使用端406a、406b例如是各制程機臺。該閥箱包括一閥箱主體404、一排放裝置408以及一清洗裝置410。其中閥箱主體404是藉由管路402而與供應端400連通并且與使用端連通406a、406b。而排放裝置408是與閥箱主體連通，用以排放出閥箱主體404與管路402中的污染物。而清洗裝置410是與閥箱主體404連通，用以通入清洗物以凈化閥箱主體404與管路402，當然通入的清洗物亦會從排放裝置408排放出。在一較佳實施例中，清洗裝置410例如是一空氣清洗(air purge)裝置，藉由通入干凈的空氣至閥箱主體404以及管路402內，以清除滲出的化學物或化學煙霧，進而改善管路的可透視度并避免設備元件污穢。
上述的閥箱設計并非限定只能在用本發(fā)明的化學供應系統(tǒng)中其它種類的供應系統(tǒng)或是配送系統(tǒng)，只要會使用到閥箱的系統(tǒng)，皆可以使用本發(fā)明的閥箱。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術人員，在不脫離本發(fā)明技術方案范圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案的范圍內。
權利要求
1.一種化學供應系統(tǒng)，其是適用于配送一化學物至多樓層的多個使用端(point of use，POU)，其特征在于該化學供應系統(tǒng)包括一第一化學供應裝置，配置在一第一樓層，其中該第一化學供應裝置內具有一控制單元；復數(shù)個主管路，其是與該第一供應裝置連通，且其中一該些主管路是用來配送該化學物至該第一樓層的使用端；以及一第二化學供應裝置，配置在一第二樓層，且另一該些主管路是由該第一化學供應裝置連通至該第二化學供應裝置，藉由該控制單元的控制以使該化學物能送至該第二化學供應裝置，進而配送至該第二樓層的使用端。
2.根據(jù)權利要求1所述的化學供應系統(tǒng)，其特征在于其中所述的第一化學供應裝置中更包括設計有復數(shù)個預留接口(port)，用以額外加裝主管路。
3.根據(jù)權利要求1所述的化學供應系統(tǒng)，其特征在于其更包括復數(shù)個閥箱(valve box)，配置在該第一化學供應裝置與該第一樓層的使用端之間，以及該第二化學供應裝置與該第二樓層的使用端之間，其中每一該些閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是與對應的該化學供應裝置連通，并且與對應的該些使用端連通；一排放裝置，其是與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
4.根據(jù)權利要求3所述的化學供應系統(tǒng)，其特征在于其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
5.根據(jù)權利要求1所述的化學供應系統(tǒng)，其特征在于其更包括至少一化學供應裝置，分別配置在該第二樓層以上的各樓層，其中各該些化學供應裝置都分別以分開的主管路與該第一化學供應裝置連通，且藉由該控制單元而從該第一化學供應裝置配送該化學物至各該些化學供應裝置，進而配送該化學物至各樓層的使用端。
6.根據(jù)權利要求1所述的化學供應系統(tǒng)，其特征在于其中所述的化學物是選自一化學試劑以及一氣體其中之一。
7.一種閥箱的設計，其是裝設在一供應端以及復數(shù)個使用端之間的管路上，其特征在于該閥箱包括一閥箱主體，該閥箱主體是藉由該管路而與該供應端連通并與該些使用端連通；一排放裝置，其是與該閥箱主體連通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗裝置，其是與該閥箱主體連通，用以通入清洗物以凈化管路。
8.根據(jù)權利要求7所述的閥箱設計，其特征在于其中所述的清洗裝置包括一空氣清洗裝置，用以通入空氣以凈化管路。
全文摘要
本發(fā)明是關于一種化學供應系統(tǒng)及其閥箱設計，該化學供應系統(tǒng)，包括一第一化學供應裝置、數(shù)個主管路以及一第二化學供應裝置。其中，第一化學供應裝置是配置在一第一樓層，且該第一化學供應裝置內具有一控制單元。數(shù)個主管路是與第一供應裝置連通，且其中一主管路是用來配送化學物至第一樓層的使用端。而第二化學供應裝置是配置在一第二樓層，且另一主管路是由第一化學供應裝置連通至第二化學供應裝置，以配送化學物至第二樓層的使用端。本發(fā)明使用多個主管路以配送化學試劑或氣體，因此可以解決管路限流的問題。
文檔編號F17D1/00GK1609501SQ20031010160
公開日2005年4月27日 申請日期2003年10月21日 優(yōu)先權日2003年10月21日
發(fā)明者洪錫焜, 徐乾智 申請人:旺宏電子股份有限公司