氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及氣體管路的泄露及壓力檢測(cè)裝置，本發(fā)明還涉及所述氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置的檢測(cè)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前半導(dǎo)體工廠的二次配管大宗氣體管路的泄漏檢測(cè)及壓力波動(dòng)測(cè)量，一般使用指針式壓力表進(jìn)行12小時(shí)連續(xù)檢測(cè)壓力，檢測(cè)結(jié)果依靠目測(cè)，無法對(duì)細(xì)微的壓力泄漏進(jìn)行判斷，經(jīng)常無法通過科學(xué)的測(cè)量來解決相關(guān)問題。由于半導(dǎo)體工廠對(duì)安全和環(huán)境的要求高，氣體配管不能有任何的泄漏，業(yè)界普遍采用的HE檢漏儀檢查泄漏率，價(jià)格高且一般使用于特氣管路，性價(jià)比低。
[0003]同時(shí)，在半導(dǎo)體工廠內(nèi)無法精確到對(duì)單臺(tái)設(shè)備進(jìn)行壓力波動(dòng)檢測(cè)(目前只監(jiān)測(cè)系統(tǒng)壓力)，經(jīng)常無法通過科學(xué)的測(cè)量來解決相關(guān)問題，當(dāng)出現(xiàn)單臺(tái)設(shè)備出現(xiàn)宕機(jī)時(shí)，無法判斷是否是由于動(dòng)力部門提供的氣體壓力發(fā)生的波動(dòng)而造成，也無法判斷發(fā)生壓力波動(dòng)的時(shí)間。
[0004]基于以上兩點(diǎn)，需要一種針對(duì)大宗氣體管路泄漏及壓力波動(dòng)的檢測(cè)手段。
[0005]旋轉(zhuǎn)圓盤式壓力測(cè)定表盤是機(jī)械傳動(dòng)裝置(可用機(jī)械鐘表改造)、彈簧管、帶畫筆的轉(zhuǎn)軸固件組成的，由于被測(cè)量氣體壓力的變化使彈簧管的自由端產(chǎn)生位移，借助連桿帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸扇使得帶畫筆的指針旋轉(zhuǎn)，在記錄紙上畫出相應(yīng)的壓力數(shù)值。在測(cè)量12小時(shí)后，壓力如沒有變化，則能畫出不斷點(diǎn)能重合的等直徑光滑圓圈，證明所測(cè)二次配管管路氣體沒有泄漏，適用于(CDA、N2、H2、02、AR等等介質(zhì)的壓力)，在二次配管管路內(nèi)氣體壓力發(fā)生波動(dòng)時(shí)，利用旋轉(zhuǎn)圓盤式壓力測(cè)定表盤，可監(jiān)測(cè)12小時(shí)內(nèi)，何時(shí)發(fā)生過壓力波動(dòng)的情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置，監(jiān)控氣體管路內(nèi)部氣體壓力。
[0007]本發(fā)明還要解決的技術(shù)問題在于提供所述氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置的檢測(cè)方法。
[0008]為解決上述問題，本發(fā)明所述的氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置，包含:
[0009]—導(dǎo)氣管，該導(dǎo)氣管與氣體管路連接，并且在導(dǎo)氣管上安裝有閥門組，控制導(dǎo)氣管內(nèi)氣體的流通；
[0010]—彈簧管，該彈簧管呈螺旋彈簧狀，具備首尾兩端，其尾端有一卡件將其固定，并且螺旋彈簧與導(dǎo)氣管連接，導(dǎo)體管內(nèi)的氣體通過閥門進(jìn)入螺旋彈簧內(nèi)；彈簧管的首端為自由端，進(jìn)入彈簧管內(nèi)氣體的壓力及流量的變化能使自由端自由擺動(dòng)；
[0011 ] 一轉(zhuǎn)軸，該轉(zhuǎn)軸固定于一轉(zhuǎn)軸架上，轉(zhuǎn)軸通過連接件連接彈簧管的首端，當(dāng)首端擺動(dòng)時(shí)，通過連接件帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸形成轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0012]記錄裝置，該記錄裝置通過一擺動(dòng)臂安裝在轉(zhuǎn)軸上，當(dāng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)擺動(dòng)臂擺動(dòng)，使記錄裝置形成運(yùn)動(dòng)；
[0013]機(jī)械傳動(dòng)裝置，由多個(gè)齒輪構(gòu)成齒輪組驅(qū)動(dòng)一圓盤轉(zhuǎn)動(dòng)，圓盤上放置帶刻度的圓形記錄紙，圓盤圓心處有一帽托對(duì)圓形記錄紙施加向下的壓力，固定圓形記錄紙;所述記錄裝置通過擺動(dòng)臂懸浮于圓形記錄紙的上方，并且記錄裝置與記錄紙接觸，在記錄紙上形成劃線筆跡。
[0014]進(jìn)一步地，所述圓盤的轉(zhuǎn)動(dòng)速度由齒輪組決定，以設(shè)定圓盤轉(zhuǎn)動(dòng)一周所需的時(shí)間，如設(shè)置成12小時(shí)旋轉(zhuǎn)一周，或者任意時(shí)間。
[0015]進(jìn)一步地，所述記錄裝置為水筆、鉛筆、圓珠筆或其他能持續(xù)均勻劃線的設(shè)備。
[0016]為解決上述問題，本發(fā)明所述的氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置的檢測(cè)方法，包含:
[0017]步驟一，將導(dǎo)氣管接入待測(cè)氣體管路，打開閥門組，使導(dǎo)氣管與氣體管路接通；
[0018]步驟二，在圓盤上放置帶刻度的記錄紙，將記錄裝置置于紙上使之接觸能產(chǎn)生畫線；
[0019]步驟三，使機(jī)械傳動(dòng)裝置按照設(shè)定轉(zhuǎn)速進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，記錄裝置在記錄紙上開始畫線。
[0020]進(jìn)一步地，還包括步驟四，機(jī)械傳動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)一周后，通過閥門組將導(dǎo)氣管內(nèi)的氣體壓力釋放。
[0021]進(jìn)一步地，所述的氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置的檢測(cè)方法，氣體通過彈簧管，有壓力波動(dòng)時(shí)，彈簧管自由端發(fā)生位移，轉(zhuǎn)軸形成連動(dòng)，推動(dòng)記錄裝置的擺動(dòng)，使記錄紙上的畫線產(chǎn)生波動(dòng)。
[0022]進(jìn)一步地，所述的氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置的檢測(cè)方法，機(jī)械傳動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)一周，若記錄裝置畫線軌跡為封閉的圓形，則表明氣體管路沒有發(fā)生泄露;若畫線軌跡不封閉，首尾不能重合，這表明氣體管路壓力不穩(wěn)定;若畫線軌跡首尾重合，但中間產(chǎn)生波動(dòng)，這表示氣體壓力在某時(shí)間段發(fā)生波動(dòng)。
[0023]本發(fā)明所述的氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，通過氣體壓力變化使彈簧管自由端產(chǎn)生位移，帶動(dòng)記錄裝置在旋轉(zhuǎn)的圓形記錄紙上畫線，監(jiān)控管路內(nèi)氣體壓力的變化。
【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明裝置整體結(jié)構(gòu)圖；
[0025]圖2是本發(fā)明彈簧管自由端位移示意圖；
[0026]圖3是圓形記錄紙安裝示意圖；
[0027]圖4是轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)記錄裝置示意圖；
[0028]圖5是幾種畫線軌跡示意圖。
[0029]附圖標(biāo)記說明
[0030]I是閥門組，2是彈簧管固定卡件，3是彈簧管，4是連接件，5是轉(zhuǎn)軸，6是轉(zhuǎn)軸架，7是機(jī)械傳動(dòng)裝置，8是圓形記錄紙，9是帽托，10是記錄裝置，11是導(dǎo)氣管。
【具體實(shí)施方式】
[0031]本發(fā)明所述的氣體管路泄露及壓力波動(dòng)的檢測(cè)裝置，如圖1所示，包含:
[0032]—導(dǎo)氣管11，該導(dǎo)氣管11與氣體管路連接，并且在導(dǎo)氣管11上安裝有閥門組I，控制導(dǎo)氣管11內(nèi)氣體的流通；
[0033]—彈簧管3，該彈簧管3呈螺旋彈簧狀，具備首尾兩端，其尾端有一卡件2將其固定，并且彈簧管3尾端與導(dǎo)氣管11連接，導(dǎo)體管11內(nèi)的氣體通過閥門組I進(jìn)入螺旋彈簧管3內(nèi)；彈簧管3的首端為自由端，進(jìn)入彈簧管3內(nèi)氣體的壓力及流量的變化能使自由端自由擺動(dòng)；
[0034]—轉(zhuǎn)軸5，該轉(zhuǎn)軸5固定于一轉(zhuǎn)軸架上6，轉(zhuǎn)軸5通過連接件4連接彈簧管3的首端，當(dāng)首端擺動(dòng)時(shí)，通過連接件4帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸5形成轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0035]記錄裝置10，該記錄裝置10通