新型工業(yè)氣體均勻分布系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及氣體供氣分布裝置，尤其屬于工業(yè)用氣中的供氣分布裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在工業(yè)用氣中，都會有惰性氣體供氣的裝置，最先是在銅管上間隔均勻地鉆孔，這樣會導致銅管進口一端氣流量大，銅管出口一端氣流量小，整條靶線的供氣很不均勻；后來人們經(jīng)過改進是將出氣銅管分段分級焊接，然后再通過分段分級焊接后的銅管出氣管進行供氣，這樣雖然對于新設備達到了供氣較為均勻，但是，銅管分段焊接工藝復雜，導致成本提高，而且在分段分級的銅管供氣經(jīng)過一段時間后，銅管很容易吸附雜質(zhì)在管外壁，由于銅管是分段分級焊接，管外的雜質(zhì)容易掉落玻璃上，導致膜層易產(chǎn)生針孔，從而導致產(chǎn)品缺陷，本實用新型發(fā)明大大提高了產(chǎn)品成品率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是，為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷與不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、容易清理、能長時間保持供氣均勻的工業(yè)用氣供氣分布裝置。
[0004]本實用新型的目的可以通過采取以下技術(shù)方案達到:
[0005]—種新型工業(yè)氣體均勻分布系統(tǒng)，包括氣瓶和氣體分布器，所述的氣瓶與氣體分布器連接，所述的氣體分布器包括至少兩塊氣體分布平板，在其中一塊平板上，刻有若干組槽，每組槽由若干級橫向和縱向的槽呈階梯狀排布，橫向槽將相鄰的縱向槽連通，所述的至少兩塊氣體分布平板的接觸面是氣密性接觸面。
[0006]作為本實用新型專利的優(yōu)選實施例，在一塊平板上刻有4到11組槽，每組槽是相互獨立供氣的。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實用新型具有以下優(yōu)點:
[0008]一、在工業(yè)用氣中，采用本實用新型專利氣體供氣裝置，在平板上刻槽，相對于現(xiàn)有的將銅管分段分級焊接，工藝簡單易行。
[0009]二、在工業(yè)用氣中，在平板上銑槽，取代現(xiàn)有的將銅管分段分級焊接，使得供氣裝置更為耐用，而且隨時能夠保持整條氣瓶路供氣均勻。
[0010]三、在工業(yè)用氣中，采用本實用新型專利氣體供氣裝置，在平板上銑槽，取代現(xiàn)有的將銅管分段分級焊接，從而克服了銅管很容易吸附靶鍍膜后雜質(zhì)在管外壁，管外的雜質(zhì)容易掉落玻璃上，導致鍍膜層易產(chǎn)生斷層，導致產(chǎn)品缺陷等缺點，本實用新型大大提高了產(chǎn)品優(yōu)良率。
[0011]四、由于在平板上刻槽工藝簡單，使得每組出氣口密度大大增加，從而使供氣更為均勻。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型新型工業(yè)氣體均勻分布系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作詳細描述。
[0014]如圖1所示，本實用新型新型工業(yè)氣體均勻分布系統(tǒng)，由至少兩塊氣體分布平板構(gòu)成氣體分布器，兩塊板的接觸面是氣密性接觸面，通過氣瓶8與各組出氣槽連接，在一塊平板上均勻地刻橫向槽2、4、6和縱向槽1、3、5、7，槽I沿靶條方向均勻分布，根據(jù)需要確定槽I的間隔距離，橫向槽2將相鄰兩個槽I連通，氣體經(jīng)過氣瓶8依次流過槽7、6、5、4、3、再到槽2、最后由槽I出氣，根據(jù)需要確定每組氣體分布器中橫槽和豎槽的數(shù)量。
[0015]由于該工藝簡單易行，可以使出氣一級的槽間隔距離更少，從而達到供氣更為均勻，而且各個槽是相對獨立的，這樣可以實現(xiàn)分段獨立供氣。
[0016]以上所揭露的僅為本實用新型的較佳實施例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權(quán)利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種新型工業(yè)氣體均勻分布系統(tǒng)，其特征在于:包括氣瓶和氣體分布器，所述的氣瓶與氣體分布器連接，所述的氣體分布器包括至少兩塊氣體分布平板，在其中一塊平板上刻有若干組槽，每組槽由若干級橫向和縱向的槽呈階梯狀排布，橫向槽將相鄰的縱向槽連通，所述的至少兩塊氣體分布平板的接觸面是氣密性接觸面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型工業(yè)氣體均勻分布系統(tǒng)，其特征在于:在所述的一塊平板上刻有4到11組槽。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型工業(yè)氣體均勻分布系統(tǒng)，包括氣瓶和氣體分布器，氣體分布器包括至少兩塊氣體分布平板，在其中一塊平板上，刻有若干組槽，每組槽由若干級橫向和縱向的槽呈階梯狀排布，橫向槽將相鄰的縱向槽連通，所述的至少兩塊氣體分布平板的接觸面是氣密性接觸面；本實用新型加工工藝簡單，供氣更為均勻，能實現(xiàn)分段供氣。
【IPC分類】F17D1-04
【公開號】CN204345269
【申請?zhí)枴緾N201420668323
【發(fā)明人】陳閨艷
【申請人】陳閨艷
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2014年11月7日