專利名稱：導(dǎo)電性異物的檢查裝置及檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢測(cè)附著于具有電絕緣性的被檢查物上或混入到其內(nèi)部的導(dǎo)電性異物的檢查裝置及檢查方法。
于是，在過(guò)去，在對(duì)玻璃布進(jìn)行機(jī)織后，在對(duì)其進(jìn)行印刷電路板的制造工序之前，檢查該玻璃布，確認(rèn)導(dǎo)電性異物的存在，在確認(rèn)有其存在的場(chǎng)合，將其進(jìn)行去除處理。
作為上述玻璃布的檢查，目前，采用顯示光線檢查方法，在該方法中，對(duì)玻璃布照射檢查光，通過(guò)CCD照相機(jī)等拍攝其透射光，對(duì)所獲得的灰白度圖象，進(jìn)行雙值化處理等的處理，檢測(cè)異物。
但是，上述現(xiàn)有的光線檢查方法具有以下的問(wèn)題。即，玻璃纖維的截面呈圓形，或橢圓形狀，由于該截面形狀產(chǎn)生的透鏡效果，透射光發(fā)生折射，或衍射，通過(guò)與玻璃布的織物紋理疊加效果，在拍攝圖象上，獨(dú)立于導(dǎo)電性異物，產(chǎn)生因莫爾條紋、或衍射光柵的效果產(chǎn)生的灰白度。由此，無(wú)法區(qū)分因莫爾條紋、或衍射光柵的效果產(chǎn)生的高灰白度圖象，以及對(duì)應(yīng)于導(dǎo)電性異物的高灰白度圖象，不能夠正確地檢測(cè)導(dǎo)電性異物。
另外，在導(dǎo)電性異物具有透光性時(shí)，不能夠區(qū)分玻璃纖維和導(dǎo)電性異物，無(wú)法對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)。
還有另一種探測(cè)線圈式的金屬探測(cè)裝置，或X射線透射式金屬探測(cè)裝置，但是在為探測(cè)線圈式的金屬探測(cè)裝置時(shí)，具有難于檢測(cè)1mm以下的導(dǎo)電性異物的缺點(diǎn)，在為X射線透射式的金屬探測(cè)裝置時(shí)，具有安全上的問(wèn)題，或裝置復(fù)雜且價(jià)格較高的缺點(diǎn)。
并且，通常，如果通過(guò)上述光線檢查，檢測(cè)出導(dǎo)電性異物，則根據(jù)該檢測(cè)結(jié)果，通過(guò)目視進(jìn)行具體檢查，去除該導(dǎo)電性異物，但是該目視檢查或去除處理為非常煩雜且花費(fèi)時(shí)間的作業(yè)，由此，如果無(wú)法正確地進(jìn)行光線檢查的一次檢查，則此后的二次檢查(目視檢查)以后的作業(yè)是浪費(fèi)的，檢查作業(yè)整體產(chǎn)生損失。
還有，除了上述的玻璃布以外，對(duì)于縫制的衣物等，具有在縫制時(shí)折損的縫針的尖端部混入到制品中的可能性，同樣對(duì)于這些制品，人們希望提供可正確地檢測(cè)導(dǎo)電性異物的檢查法。但是，上述的光線檢查法不能夠檢測(cè)混入到非透明的衣物中的導(dǎo)電性異物。
用于解決上述課題的本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電性異物檢查裝置，該檢查裝置檢測(cè)附著于具有電絕緣性的被檢測(cè)物上，或混入到其內(nèi)部的導(dǎo)電性異物，其特征在于，該檢查裝置具有以與上述被檢測(cè)物對(duì)置的方式設(shè)置，輸出規(guī)定的檢測(cè)信號(hào)的磁性傳感器組；保持上述各磁性傳感器的保持機(jī)構(gòu)；將從上述各磁性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)，與預(yù)定的參考值進(jìn)行比較，對(duì)上述導(dǎo)電性異物的有無(wú)進(jìn)行判定的判定機(jī)構(gòu)。
上述磁性傳感器由并排設(shè)置的兩個(gè)磁阻元件，以及與該磁阻元件對(duì)置地設(shè)置，向該磁阻元件施加偏磁場(chǎng)的永久磁鐵構(gòu)成，如果導(dǎo)電性異物通過(guò)施加于磁阻元件上的磁場(chǎng)內(nèi)部，則該磁場(chǎng)發(fā)生變化，相應(yīng)于該磁場(chǎng)的變化，從上述磁阻元件輸出的電壓信號(hào)(檢測(cè)信號(hào))發(fā)生變化。于是，在導(dǎo)電性異物附著在被檢查物上，或混入到其內(nèi)部時(shí)，可從上述磁阻元件輸出的電壓信號(hào)的變化而感知該導(dǎo)電性異物的存在。
在本發(fā)明的導(dǎo)電性異物檢查裝置中，使磁性傳感器組與上述被檢查物對(duì)置，使它們沿被檢查物進(jìn)行掃描，借助判定機(jī)構(gòu)，監(jiān)視從各磁性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)，當(dāng)其超過(guò)預(yù)定的參考值時(shí)，判定在被檢查物中混入有導(dǎo)電性異物。另外，參考值是對(duì)應(yīng)于作為檢測(cè)對(duì)象物的導(dǎo)電性異物的大小或材質(zhì)而確定的。
這樣，如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，則與上述的光線檢查法相比較，即使在檢查對(duì)象物為玻璃纖維這樣的具有透鏡效果的材料，或非透明材料的情況下，仍可正確地檢測(cè)混入到其內(nèi)的導(dǎo)電性異物。另外，由于可采用多個(gè)磁性傳感器檢查規(guī)定區(qū)域，故可有效地進(jìn)行該檢查。
在被檢查物為玻璃布這樣的長(zhǎng)尺寸的織物時(shí)，如本發(fā)明所述，還可包括以規(guī)定通路傳送作為具有電絕緣性的被檢查物的織物的傳送機(jī)構(gòu)；對(duì)該傳送機(jī)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)，上述磁性傳感器組按照其檢測(cè)面與上述織物的傳送通路面對(duì)，并且與該織物對(duì)置的方式設(shè)置，其檢測(cè)區(qū)域按照遍及上述織物的寬度方向的整個(gè)區(qū)域的方式設(shè)置較好。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于可通過(guò)磁性傳感器依次檢查通過(guò)傳送機(jī)構(gòu)傳送的長(zhǎng)尺寸的織物，故可進(jìn)行有效的檢查。
另外，作為按照磁性傳感器的檢測(cè)區(qū)域遍及織物的寬度方向的整個(gè)區(qū)域的方式設(shè)置磁性傳感器的形式，可例舉下述排列形式，即沿織物的寬度方向，成一排排列磁性傳感器，另外，沿織物的傳送方向成多排排列該磁性傳感器，各排的磁性傳感器的檢測(cè)區(qū)域在排與排之間依次重合，同時(shí)沿織物的寬度方向以規(guī)定間距錯(cuò)開(kāi)，磁性傳感器組整體的檢測(cè)區(qū)域無(wú)間隙地覆蓋織物的整個(gè)區(qū)域。
此外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中，該判定機(jī)構(gòu)按照下述方式形成，即將從上述各磁性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)幅度，與預(yù)定的參考時(shí)間進(jìn)行比較，對(duì)檢測(cè)到上述導(dǎo)電性異物的信號(hào)與雜波進(jìn)行判別。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，可有效地從各磁性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)中去除雜波，可提高導(dǎo)電性異物的檢測(cè)精度。另外，上述參考時(shí)間相應(yīng)于作為檢測(cè)對(duì)象物的導(dǎo)電性異物的尺寸，或織物的傳送速度確定。
并且，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中上述保持機(jī)構(gòu)具有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述各磁性傳感器在與上述織物的傳送通路面對(duì)的位置，以及與其離開(kāi)的位置之間移動(dòng)。如果采用該裝置，由于可通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作，使各磁性傳感器從與織物的傳送通路面對(duì)的位置，移動(dòng)到與其離開(kāi)的位置，故可容易地進(jìn)行磁性傳感器的更換作業(yè)等的維修作業(yè)。
另外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，該裝置還包括圖象生成機(jī)構(gòu)，該圖象生成機(jī)構(gòu)根據(jù)上述判定機(jī)構(gòu)的判定結(jié)果數(shù)據(jù)，以及通過(guò)上述長(zhǎng)度測(cè)定機(jī)構(gòu)計(jì)算的傳送距離數(shù)據(jù)，生成與被檢測(cè)物上的導(dǎo)電性異物的有無(wú)相關(guān)的二維圖象數(shù)據(jù)；以及輸出通過(guò)上述圖象生成機(jī)構(gòu)生成的二維圖象數(shù)據(jù)的輸出機(jī)構(gòu)。如果采用該裝置，目視檢查員通過(guò)確認(rèn)與被檢查物上的導(dǎo)電性異物的有無(wú)相關(guān)的二維圖象數(shù)據(jù)，可立即判別導(dǎo)電性異物所在的位置，可進(jìn)行更加有效的檢查，去除作業(yè)。
此外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中通過(guò)非磁性膜覆蓋上述磁性傳感器組的各檢測(cè)面。磁性傳感器越靠近導(dǎo)電性異物，其探測(cè)性能越高。因此，為了高精度地檢測(cè)導(dǎo)電性異物，則必須盡可能地將磁性傳感器靠近被檢查物。其中，如果使磁性傳感器與被檢查物直接接觸，則具有因與被檢查物摩擦而導(dǎo)致磁性傳感器損傷的危險(xiǎn)。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于磁性傳感器的檢測(cè)面被非磁性的膜覆蓋，故即使在使傳感器檢測(cè)面與被檢查物接觸的情況下，因?yàn)樵摍z測(cè)面通過(guò)膜保護(hù)，故防止傳感器的損傷，同時(shí)可使磁性傳感器與被檢查物之間的距離(間隙)保持一定，可對(duì)導(dǎo)電性異物進(jìn)行高精度的檢測(cè)。
還有，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中上述膜中含有靜電防止劑。比如，在被檢查物為由玻璃纖維制成的玻璃布時(shí)，由于與膜的摩擦，容易帶靜電。如果玻璃布帶靜電，則具有吸附環(huán)境中的灰塵，在后面的制造工序中，產(chǎn)生問(wèn)題的危險(xiǎn)。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于在膜中混入靜電防止劑，故獲得靜電抑制效果，可防止由于與膜的摩擦而使被檢查物帶靜電的情況。
本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中上述保持機(jī)構(gòu)包括調(diào)整上述膜的張力的張力調(diào)整機(jī)構(gòu)。如果采用該檢查裝置，通過(guò)調(diào)整施加于膜上的張力，可使膜處于沒(méi)有松弛的狀態(tài)。另外，通過(guò)在與膜滑動(dòng)接觸的狀態(tài)下傳送被檢查物，可使磁性傳感器的檢測(cè)面與被檢測(cè)物之間的間距總是保持一定。這樣，如果采用該檢查裝置，可進(jìn)行檢測(cè)精度保持穩(wěn)定的檢查。
本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其包括連續(xù)地傳送具有電絕緣性的被檢測(cè)物的長(zhǎng)尺寸的織物的傳送機(jī)構(gòu)；按照位于上述傳送機(jī)構(gòu)的兩端之間的位置，從厚度方向兩側(cè)夾持上述織物的方式設(shè)置的第1和第2電極；在上述第1，第2電極之間外加電壓的電壓外加機(jī)構(gòu)；以及檢測(cè)由于上述電壓外加機(jī)構(gòu)的電壓外加，是否在第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電的檢測(cè)機(jī)構(gòu)。
如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于當(dāng)導(dǎo)電性異物附著于上述織物上，或混入到其內(nèi)部時(shí)，通過(guò)外加于第1，第2電極之間的電壓，在電極之間產(chǎn)生通電或放電，故可借助檢測(cè)機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單地檢測(cè)異物的有無(wú)。
在此情況下，檢測(cè)機(jī)構(gòu)也可按照檢測(cè)電極之間的通電的方式構(gòu)成，但是，當(dāng)比如導(dǎo)電性異物在與電極稍稍接觸的狀態(tài)下混入織物內(nèi)部時(shí)，具有不能夠檢測(cè)該情況的可能性。由此，檢測(cè)機(jī)構(gòu)按照可檢測(cè)是否在電極之間發(fā)生放電的方式構(gòu)成較好。
還有，電壓外加機(jī)構(gòu)和檢測(cè)機(jī)構(gòu)既可為一體形成的裝置，也可為分別各自形成的裝置。在此情況下，作為一體形成的現(xiàn)有的裝置，例舉檢測(cè)火花放電的火花試驗(yàn)器，檢測(cè)電暈放電的局部放電測(cè)定儀等。此外，作為檢測(cè)機(jī)構(gòu)，可采用檢測(cè)在電極之間發(fā)生通電或放電時(shí)所產(chǎn)生的電流、電壓、電荷變化中的任何一種的機(jī)構(gòu)，檢測(cè)伴隨火花等產(chǎn)生的聲音的機(jī)構(gòu)，檢測(cè)電磁波的機(jī)構(gòu)等。在此情況下，檢測(cè)機(jī)構(gòu)優(yōu)選根據(jù)需要，按是否超過(guò)預(yù)先確定的臨界值來(lái)進(jìn)行檢測(cè)或檢驗(yàn)。
再有，在作為被檢查物的織物比如無(wú)紡布，或布(織物)這樣的沿厚度方向存在連續(xù)的空氣空間的材料的情況下，由于在電極之間外加電壓，故容易產(chǎn)生因空氣的絕緣破壞造成的火花放電。由此，可采用火花試驗(yàn)器、局部放電測(cè)定儀中的任何一種，但是，優(yōu)選采用檢測(cè)對(duì)象放電量較大的火花試驗(yàn)器。另外，相應(yīng)于樹(shù)脂膜那樣的只要沒(méi)有小孔就難于產(chǎn)生絕緣破壞的材料，可采用具有能檢測(cè)僅有微量電流流動(dòng)的電暈放電的靈敏度的局部放電測(cè)定儀。
另外，發(fā)明涉及的導(dǎo)電性異物檢查裝置，上述電壓外加機(jī)構(gòu)的外加電壓設(shè)定為下述電壓值，其中在上述導(dǎo)電性異物大于預(yù)定的參考值時(shí)，在上述第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電，在小于上述參考值時(shí)，不產(chǎn)生通電或放電。
按照該導(dǎo)電性異物檢查裝置，在導(dǎo)電性異物大于參考值的尺寸時(shí)，在電極之間產(chǎn)生通電或放電，通過(guò)檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)該情況。這樣做的原因在于在導(dǎo)電性異物小于參考值時(shí)，異物的尺寸小到可忽略的程度，或處于異物沿可忽略的方向混入的狀態(tài)，不必一定進(jìn)行檢測(cè)。
此外，在此情況下，還可相應(yīng)于作為檢測(cè)對(duì)象的異物的尺寸、形狀等，改變外加電壓的設(shè)定值。另外，相對(duì)電極之間距離(或織物的厚度T)的異物的大小越接近厚度T的尺寸、形狀，越可提高檢測(cè)異物時(shí)的檢測(cè)精度，可減少漏過(guò)異物的混入，或發(fā)生過(guò)度地檢測(cè)較小的異物這樣的情況。
還有，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，為了判別上述導(dǎo)電性異物位于織物的哪個(gè)位置，上述第1，第2電極中的至少1個(gè)電極由沿上述織物的寬度方向分離而設(shè)置的多個(gè)電極部件形成。
如果采用如此構(gòu)成的導(dǎo)電性異物檢查裝置，檢測(cè)機(jī)構(gòu)可檢測(cè)在與多個(gè)電極部件中的哪個(gè)電極部件相對(duì)應(yīng)的位置，發(fā)生通電或放電，可判別異物附著于或混入到織物的哪個(gè)位置。另外，通過(guò)顯示器等的顯示機(jī)構(gòu)，顯示已檢測(cè)的部位，由此使檢查作業(yè)的操作人員了解異物的檢測(cè)部位。
再有，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，上述多個(gè)電極部件通過(guò)相對(duì)于上述織物相互獨(dú)立設(shè)置的、分別與該織物的一側(cè)面均勻接觸的多塊電極板形成。通過(guò)該構(gòu)成，可使沿織物的寬度方向相互分離設(shè)置的各電極板分別與該織物的一側(cè)面均勻地接觸，當(dāng)導(dǎo)電性異物與電極板接觸或接近該電極板時(shí)，可立即檢測(cè)到在電極之間，發(fā)生通電或發(fā)電的情況。
在此情況下，還可使各電極板在織物的長(zhǎng)度方向相位錯(cuò)開(kāi)地以多種組合的方式設(shè)置。由此，可防止在沿絕緣性層的寬度方向間隔開(kāi)的，比如，兩塊電極板之間，發(fā)生異物的檢測(cè)遺漏等情況，可在織物的整個(gè)表面范圍內(nèi)，穩(wěn)定地檢測(cè)異物混入的有無(wú)。
另外，對(duì)于進(jìn)行工業(yè)生產(chǎn)的絕緣性的織物，通常，其寬度大于1m的織物較多，難于在超過(guò)1m的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，以均勻的微米精度的間距保持第1，第2電極之間的距離。于是，一個(gè)電極由劃分為多塊的電極板形成，使各電極板相對(duì)支承部件可三維運(yùn)動(dòng)地形成各電極板，由此，可將各電極板輕輕地壓靠于層的表面上，可使該電極間距基本上與織物的厚度相等。
由于作為當(dāng)前使用的產(chǎn)品而制造的電氣電子部件用的絕緣性織物按照其厚度為微米單位的良好精度制造，故通過(guò)采用上述那樣的機(jī)構(gòu)，可確保沿織物的寬度方向，第1，第2電極具有均勻的電極間距。
此外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，上述第1，第2電極中的至少另一個(gè)電極由與上述織物接觸而旋轉(zhuǎn)的滾輪形成。由此，因?qū)⑿D(zhuǎn)滾輪用作電極，故可保證順暢地使織物在電極之間行走，或?qū)ζ鋫魉?，并且在沿織物的厚度方向，混入產(chǎn)生導(dǎo)通故障的可能性較高的異物時(shí)，可使電極處于與所傳送的織物內(nèi)部的異物接觸，或接近該異物的狀態(tài)。
還有，本發(fā)明涉及的導(dǎo)電性異物檢查裝置，通過(guò)上述電壓外加機(jī)構(gòu)外加于第1，第2電極之間的電壓為直流電壓。即使在外加電壓為交流的情況下，從原理上說(shuō)，仍可檢測(cè)上述異物，但是由于檢查對(duì)象為連續(xù)行走的織物，故在其通過(guò)電極之間的瞬間電壓為不斷變化的交流的情況下，還具有以穩(wěn)定的一定基準(zhǔn)，檢測(cè)異物的情況。由此，按照本發(fā)明，可外加直流電壓。由此，可提高異物的檢測(cè)精度。
本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電性異物檢查方法，該方法包括下述步驟在連續(xù)地傳送長(zhǎng)尺寸的織物的傳送過(guò)程中，檢測(cè)導(dǎo)電性異物是否附著于上述織物上或混入到其內(nèi)部的異物檢測(cè)步驟；在檢測(cè)到上述導(dǎo)電性異物時(shí)，停止上述織物的傳送，使上述織物停止于預(yù)定的檢查位置的傳送停止步驟；去除在上述檢查位置附著于上述織物上或混入到其內(nèi)部的異物的導(dǎo)電性異物去除步驟；在去除上述異物后，再次開(kāi)始上述織物的傳送的傳送再次開(kāi)始步驟。
如果采用該導(dǎo)電性異物檢查方法，當(dāng)在異物檢測(cè)步驟中，檢測(cè)到異物時(shí)，使織物的傳送停止，使該織物停止在預(yù)定的檢查位置，然后，在該檢查位置，使用放大鏡采用手動(dòng)作業(yè)，或采用適合的工具等，去除檢測(cè)到的導(dǎo)電性異物。另外，在去除異物后，再次傳送織物。這樣，連續(xù)地對(duì)織物的整個(gè)表面進(jìn)行檢查。
這樣的異物去除處理等在織物的整個(gè)制造步驟中，比如打包出廠前的最終檢查工序中進(jìn)行較好，由此，可向客戶提供沒(méi)有混入導(dǎo)電性異物的高品質(zhì)的織物，可使可靠性提高。
還有，當(dāng)作業(yè)者去除已檢測(cè)到的導(dǎo)電性異物時(shí)，可以較高的精度，確定異物存在于織物的哪個(gè)部位，這樣可容易地進(jìn)行去除作業(yè)。由此，還對(duì)應(yīng)于織物的長(zhǎng)度方向，確定異物的位置進(jìn)行檢測(cè)，可通過(guò)顯示器等顯示該情況。另外，去除異物的方法是任意的，除了樹(shù)脂膜那樣，異物埋于內(nèi)部的情況以外，可在確定的位置看著放大鏡采用手動(dòng)作業(yè)或采用適合的工具簡(jiǎn)單地進(jìn)行去除作業(yè)。
再有，作為檢測(cè)導(dǎo)電性異物的機(jī)構(gòu)，可例舉上述的磁性傳感器，上述第1和第2電極。
另外，作為本發(fā)明的被檢查物，可例舉以玻璃布、由天然纖維、合成纖維形成的布帛為代表的實(shí)例，但是只要為可明確地判斷導(dǎo)電性異物，可由任何材質(zhì)形成。
圖2為以放大方式表示設(shè)置有本實(shí)施方式的固定檢測(cè)裝置的部分放大圖。
圖3為以放大方式表示圖2中的A部的放大圖。
圖4為表示本實(shí)施方式的磁性傳感器的設(shè)置狀態(tài)的圖，該圖為圖3中的箭頭I方向的側(cè)視圖。
圖5為表示本實(shí)施方式的固定檢測(cè)裝置的基本結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖6為表示本實(shí)施方式的移動(dòng)檢測(cè)裝置的正視圖。
圖7為圖6的仰視圖。
圖8為表示本實(shí)施例的移動(dòng)檢查裝置的基本結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖9為表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。


圖10為從圖9中的箭頭II-II方向看到的電極滾輪和各電極板等的平面圖。
圖11為以放大方式表示圖9所示的玻璃布的織物結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
圖12為以放大方式表示將圖9所示的玻璃布夾持于電極滾輪和電極板之間的狀態(tài)的主要部分的剖視圖。
圖13為表示混入到玻璃布內(nèi)部的異物小到可忽略程度時(shí)的，與圖12基本相同的主要部分的剖視圖。
圖14為第2實(shí)施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的電路圖。
圖15為表示第2實(shí)施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的處理順序的流程圖。
圖16為表示第3實(shí)施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。
圖17為從圖16中的箭頭III-III方向看到的第3實(shí)施方式的電極滾輪和各電極板等的平面圖。
符號(hào)說(shuō)明1(導(dǎo)電性異物)檢查裝置；2抽出裝置；4玻璃布輥；5卷取裝置；7玻璃布輥；10固定檢測(cè)裝置；11傳感機(jī)構(gòu)；12磁性傳感器；15處理裝置；16放大器；17比較器；18缺陷檢測(cè)部；19驗(yàn)布控制部；20圖象生成部；21長(zhǎng)度測(cè)定部；23控制裝置；24警報(bào)機(jī)構(gòu)；46樹(shù)脂膜；50移動(dòng)檢測(cè)裝置；51傳感機(jī)構(gòu)；56處理裝置；57放大器；58比較器；59缺陷檢測(cè)部；60警報(bào)機(jī)構(gòu)；102卷出輥(傳送機(jī)構(gòu))；103卷取輥(傳送機(jī)構(gòu))；104，105，106，123轉(zhuǎn)換滾輪；107，121，122電極滾輪(第1電極)；108，124，125電極板(第2電極)；110連接件；112去處工位(檢查位置)；113照明裝置；114長(zhǎng)度測(cè)定儀；115電源部(電壓外加機(jī)構(gòu))；116檢測(cè)器(檢測(cè)機(jī)構(gòu))；117控制裝置；118啟動(dòng)開(kāi)關(guān)；119顯示部；120驅(qū)動(dòng)器(驅(qū)動(dòng)裝置)；F導(dǎo)電性異物。
(第1實(shí)施方式)
首先，根據(jù)圖1～8，對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式進(jìn)行描述。
如圖1和圖5所示，本實(shí)例的導(dǎo)電性異物檢查裝置(下面簡(jiǎn)稱為“檢查裝置”)1包括從玻璃布輥4抽出玻璃布W的抽出裝置2；按照經(jīng)過(guò)規(guī)定的通路的方式，對(duì)該已抽出的玻璃布W進(jìn)行導(dǎo)向的導(dǎo)向滾輪9；呈卷狀卷取玻璃布W的卷取裝置5；以可旋轉(zhuǎn)的方式支承上述導(dǎo)向滾輪9的架臺(tái)8；對(duì)卷取裝置5的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制裝置23；以及檢測(cè)附著于傳送的玻璃布W上或混入到該布內(nèi)部的導(dǎo)電性異物的固定檢測(cè)裝置10和移動(dòng)檢測(cè)裝置50等。
上述卷取裝置5按照支承輥6，并且通過(guò)電動(dòng)馬達(dá)等，向該輥6傳遞旋轉(zhuǎn)動(dòng)力的方式構(gòu)成，上述玻璃布W通過(guò)供給該輥6的動(dòng)力，從上述玻璃布輥4抽出(拉出)，經(jīng)各導(dǎo)向滾輪9導(dǎo)向，沿規(guī)定的通路傳送，然后，將該布卷取于輥6上，使其形成于玻璃布輥7上。上述抽出裝置2這樣形成，即其以可旋轉(zhuǎn)的方式支承玻璃布輥4的滾輪3，并且相對(duì)該滾輪3沿抽出方向的旋轉(zhuǎn)，施加控制力，通過(guò)該控制力抽出該布，對(duì)傳送的玻璃布W施加規(guī)定的張力。
如圖5所示，上述固定檢測(cè)裝置10由具有多個(gè)磁性傳感器12的傳感機(jī)構(gòu)11，和處理從各磁性傳感器12輸出的檢測(cè)信號(hào)的處理裝置15構(gòu)成。
如圖3和圖4所示，上述傳感機(jī)構(gòu)11包括多個(gè)傳感器12，該多個(gè)傳感器12中的檢驗(yàn)部12a露出于外部，這些傳感器12在排成一排的狀態(tài)下保持于容器13中，上述傳感機(jī)構(gòu)11中的多個(gè)沿與玻璃布W的傳送方向相垂直的方向(玻璃布W的寬度方向)排成一排，另外，傳感機(jī)構(gòu)11沿玻璃布W的傳送方向，排成多排(11a，11b，11c，11d，11e，11f)，象這樣排成多排的傳感機(jī)構(gòu)11組固定于基座31上。
對(duì)于結(jié)構(gòu)，在圖中未特別示出，但是上述磁性傳感器12包括并排設(shè)置的兩個(gè)磁阻元件，以及與該磁性電阻器對(duì)置，將偏磁施加于該磁阻元件上的永久磁鐵，如果導(dǎo)電性異物通過(guò)施加于磁阻元件上的磁場(chǎng)內(nèi)部，則該磁場(chǎng)發(fā)生變化，相應(yīng)于該磁場(chǎng)的變化，從上述磁阻元件輸出的電壓信號(hào)(檢測(cè)信號(hào))會(huì)發(fā)生變化。
此外，如圖4所示，單一的磁性傳感器12的檢測(cè)區(qū)域沿玻璃布W的寬度方向，具有寬度d，各排(11a，11b，11c，11d，11e，11f)的磁性傳感器12的檢測(cè)寬度區(qū)域d象圖示的那樣，在排與排之間依次重合，同時(shí)沿玻璃布W的寬度方向，以規(guī)定間距錯(cuò)開(kāi)，在全部的上述多個(gè)磁性傳感器12中，沿玻璃布W的寬度方向，以無(wú)間隙的方式，形成寬度D的檢測(cè)區(qū)域。另外，玻璃布W按照通過(guò)檢測(cè)區(qū)域?qū)挾菵內(nèi)部的方式傳送。
如圖3所示，上述基座31固定于支承架32上。另外，在支承架32上，以規(guī)定的間距立設(shè)一對(duì)對(duì)置板37，40，該基座31設(shè)置于該對(duì)置板37，40之間。
在其中一個(gè)對(duì)置板37上，固定有固定件39，在該固定件39上，還固定有固定件38。此外，在另一對(duì)置板40上，也同樣固定有固定件42，按照與其對(duì)置的方式，設(shè)置有固定件41。固定件42，41通過(guò)穿過(guò)該固定件42，41的調(diào)整螺栓43；以螺紋方式與該調(diào)整螺栓43嵌合的螺母44；以及在由上述調(diào)整螺栓43穿過(guò)的狀態(tài)下，設(shè)置于固定件42，41之間的壓縮螺旋彈簧45相互嵌合，通過(guò)緊固螺母44，固定件41接近固定件42，通過(guò)擰松螺母44，可使固定件41離開(kāi)固定件42。
還有，非磁性的樹(shù)脂膜46的一端通過(guò)粘接膠帶等粘接于上述固定件38上，同樣，樹(shù)脂膜46的另一端粘接于上述固定件41上，上述樹(shù)脂膜46處于跨于一對(duì)對(duì)置板37，40之間的狀態(tài)。另外，通過(guò)適當(dāng)?shù)鼐o固上述螺母44，對(duì)樹(shù)脂膜46施加張力，各磁性傳感器的檢測(cè)面與該樹(shù)脂膜46接觸，由此，該檢測(cè)面處于被覆蓋的狀態(tài)。
如圖2所示，上述支承架32通過(guò)鉸鏈33，以可自由擺動(dòng)的方式安裝于沿橫向架設(shè)于形成架臺(tái)8的縱向支架8a，8a之間的橫向支架35上，在該圖中由實(shí)線所示的立起狀態(tài)，支承架32的頂端部固定于固定架34上，磁性傳感器12的檢測(cè)面處于與玻璃布W的傳送通路面對(duì)的狀態(tài)，即覆蓋磁性傳感器12的檢測(cè)面的樹(shù)脂膜46處于與玻璃布W滑動(dòng)接觸的狀態(tài)，另一方面，如雙點(diǎn)劃線所示，解除上述固定架34的固定，處于臥倒的狀態(tài)時(shí)，可通過(guò)立設(shè)于架臺(tái)8上的支柱36支承。
如根據(jù)以上的描述容易理解的那樣，上述樹(shù)脂膜46起到使磁性傳感器12的檢測(cè)面免受與玻璃布W滑動(dòng)接觸的磨耗損傷的作用，但是該樹(shù)脂膜46的材質(zhì)優(yōu)選為不妨礙磁性傳感器12的異物檢測(cè)的材料，其厚度優(yōu)選在0.05～0.15mm的范圍內(nèi)。因?yàn)槿绻ず裥∮?.05mm，則磨耗耐久面的性能變得極差，反之，如果膜厚大于0.15mm，則磁性傳感器12的檢測(cè)面與玻璃布W之間的距離過(guò)大，磁性傳感器12的檢測(cè)靈敏度降低。另外，玻璃布W容易在與另一物體摩擦的作用下帶上靜電。由此，上述樹(shù)脂膜46優(yōu)選為具有防靜電劑(比如，表面活性劑)的防靜電效果的膜。
如圖5所示，上述處理裝置15由放大器16，比較器17，缺陷檢測(cè)部18，驗(yàn)布控制部19，圖象生成部20和長(zhǎng)度測(cè)定部21形成。另外，上述放大器16和比較器17收裝于上述基座31內(nèi)，缺陷檢測(cè)部18，驗(yàn)布控制部19，圖象生成部20和長(zhǎng)度測(cè)定部21獨(dú)立于前述部件而適當(dāng)?shù)卦O(shè)置。
上述放大器16為將從上述各磁性傳感器12輸出的檢測(cè)信號(hào)放大并輸出的處理器。另外，上述比較器17為比較機(jī)構(gòu)，其將預(yù)定的參考值與從上述放大器16輸出的各檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行比較，當(dāng)上述檢測(cè)信號(hào)超過(guò)上述參考值時(shí)，剛好在該時(shí)間生成矩形波(脈沖信號(hào))，將其發(fā)送給上述缺陷檢測(cè)部18。上述參考值為用于檢測(cè)上述導(dǎo)電性異物的臨界值，如果磁性傳感器12檢測(cè)出導(dǎo)電性異物，則從該磁性傳感器12輸出其值大于上述參考值的檢測(cè)信號(hào)。
上述缺陷檢測(cè)部18接收從上述比較器17發(fā)送來(lái)的各信號(hào)，當(dāng)包含在這些信號(hào)中的脈沖幅度超過(guò)預(yù)定的參考時(shí)間時(shí)，判定存在導(dǎo)電性異物，將導(dǎo)電性異物的存在確認(rèn)信號(hào)，與對(duì)應(yīng)于上述檢測(cè)信號(hào)的磁性傳感器12的地址信息(address信息)一起，發(fā)送給驗(yàn)布控制部19和圖象生成部20。在從上述磁性傳感器12輸出的檢測(cè)信號(hào)中，還包括雜波，在由比較器17生成的矩形波中，也包括雜波成分，但是該雜波成分通過(guò)缺陷檢測(cè)部18的上述處理去除。即，由于雜波成分的矩形波的脈沖幅度較短，故可將該矩形波的脈沖幅度與上述參考時(shí)間比較，將短于該參考時(shí)間的脈沖幅度的矩形波看作雜波，由此，通過(guò)上述處理，將雜波去除。另外，上述參照時(shí)間對(duì)應(yīng)于作為檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電性異物的尺寸，或玻璃布的傳送速度而確定。
上述長(zhǎng)度測(cè)定部21為計(jì)算玻璃布W的傳送距離的處理部，如圖2所示，從附設(shè)于導(dǎo)向滾輪9上的旋轉(zhuǎn)編碼器47，接收旋轉(zhuǎn)位置信號(hào)，根據(jù)已接收的旋轉(zhuǎn)位置信號(hào)，計(jì)算玻璃布W的傳送距離。導(dǎo)向滾輪9與沿箭頭方向傳送的玻璃布W接觸，伴隨該玻璃布W的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)。因此，通過(guò)將由旋轉(zhuǎn)編碼器47檢測(cè)的旋轉(zhuǎn)次數(shù)，與導(dǎo)向滾輪9的圓周長(zhǎng)度相乘，可計(jì)算玻璃布W的傳送距離。另外，長(zhǎng)度測(cè)定部21逐次地將上述那樣計(jì)算的玻璃布W的傳送距離發(fā)送給驗(yàn)布控制部19和圖象生成部20。
上述驗(yàn)布控制部19從上述缺陷檢測(cè)部18接收信號(hào)，在該信號(hào)為確認(rèn)導(dǎo)電性異物存在的信號(hào)時(shí)，馬上將減速信號(hào)發(fā)送給控制裝置23，并且根據(jù)從上述長(zhǎng)度測(cè)定部21發(fā)送的玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，計(jì)算從通過(guò)磁性傳感器12檢測(cè)到導(dǎo)電性異物的時(shí)刻開(kāi)始的玻璃布W的傳送距離，根據(jù)該計(jì)算結(jié)果，確認(rèn)玻璃布W中的具有導(dǎo)電性異物的部分是否到達(dá)規(guī)定的目視檢查位置(圖1的M位置)，當(dāng)?shù)竭_(dá)目視檢查位置時(shí)，向控制裝置23，發(fā)送停止信號(hào)。驗(yàn)布控制部19從缺陷檢測(cè)部18，接收檢測(cè)到導(dǎo)電性異物的磁性傳感器12的地址信息，對(duì)哪個(gè)磁性傳感器12檢測(cè)到導(dǎo)電性異物進(jìn)行判定，從各磁性傳感器12到上述目視檢查位置的距離可預(yù)先計(jì)算，由此，如上所述，可根據(jù)從上述長(zhǎng)度測(cè)定部21發(fā)送的玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，確認(rèn)玻璃布W中的具有導(dǎo)電性異物的部分是否到達(dá)規(guī)定的目視檢查位置。
上述控制裝置23從驗(yàn)布控制部19接收上述減速信號(hào)，使卷取裝置5的卷取速度減慢，并且向警報(bào)機(jī)構(gòu)24發(fā)送信號(hào)，進(jìn)行警報(bào)蜂鳴器的鳴叫或警報(bào)燈的點(diǎn)亮等設(shè)置于警報(bào)機(jī)構(gòu)24中的適合的警報(bào)動(dòng)作。另外，從驗(yàn)布控制部19，接收上述停止信號(hào)，停止卷取裝置5的驅(qū)動(dòng)。
上述圖象生成部20從上述缺陷檢測(cè)部18接收檢測(cè)到導(dǎo)電性異物的磁性傳感器12的地址信息和導(dǎo)電性異物的存在確認(rèn)信號(hào)，另外，從長(zhǎng)度測(cè)定部21接收與玻璃布W的傳送距離有關(guān)的數(shù)據(jù)，根據(jù)這些數(shù)據(jù)，生成以玻璃布W的寬度方向和縱向(傳送方向)為各坐標(biāo)軸的二維圖象數(shù)據(jù)。即，根據(jù)圖4所示的磁性傳感器12組的設(shè)置信息和探測(cè)磁性傳感器12的地址信息，確定玻璃布W的寬度方向的導(dǎo)電性異物的位置信息，同樣，根據(jù)磁性傳感器12組的設(shè)置信息，探測(cè)磁性傳感器12的地址信息和玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，確定玻璃布W的傳送方向的導(dǎo)電性異物的位置信息，根據(jù)這些位置信息，生成表示玻璃布W的導(dǎo)電性異物存在位置的二維圖象數(shù)據(jù)。另外，顯示器22與處理裝置15連接，通過(guò)圖象生成部20生成的二維圖象數(shù)據(jù)可顯示于該顯示器22中。還有，也可通過(guò)適合的打印機(jī)，打印該二維圖象數(shù)據(jù)，此外，還可將其保存在適合的記錄媒體上。
如圖6～8所示，上述移動(dòng)檢測(cè)裝置50由具有多個(gè)磁性傳感器52的傳感機(jī)構(gòu)51；對(duì)各磁性傳感器52輸出的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行處理的處理裝置56；以及保持該傳感機(jī)構(gòu)51和處理裝置56的容器54構(gòu)成。
如圖6和圖7所示，傳感機(jī)構(gòu)51的組成與前述的傳感機(jī)構(gòu)11相同，其包括多個(gè)磁性傳感器52，在這些磁性傳感器52中，檢測(cè)部52a露出于外部，并且這些磁性傳感器在排成一排的狀態(tài)下，保持在容器53中。另外，如圖7所示，容器54具有把手55，如上所述，保持傳感機(jī)構(gòu)51，并且在其內(nèi)部收裝有處理裝置56。
如圖8所示，上述處理裝置56由放大器57，比較器58，缺陷檢測(cè)部59和警報(bào)機(jī)構(gòu)60形成。該放大器57與前述的放大器16相同，為對(duì)從各磁性傳感器52輸出的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行放大并輸出的處理器，比較器58也與前述的比較器17相同，為對(duì)預(yù)定的參考值與從上述放大器57輸出的各檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行比較，當(dāng)該檢測(cè)信號(hào)超過(guò)參考值時(shí)，剛好在該時(shí)間生成矩形波(脈沖信號(hào))，將其發(fā)送給缺陷檢測(cè)部59的比較器。
再有，上述缺陷檢測(cè)部59為進(jìn)行與上述缺陷檢測(cè)部19基本相同的處理的處理部，其接收從比較器58發(fā)送的各信號(hào)，當(dāng)包括在這些信號(hào)中的脈沖信號(hào)超過(guò)預(yù)定的參考時(shí)間時(shí)，判定導(dǎo)電性異物存在，向警報(bào)機(jī)構(gòu)60發(fā)送導(dǎo)電性異物存在的確認(rèn)信號(hào)。另外，警報(bào)機(jī)構(gòu)60接收來(lái)自缺陷檢測(cè)部59的上述信號(hào)，進(jìn)行警報(bào)蜂鳴器的鳴叫或警報(bào)燈的點(diǎn)亮等警報(bào)機(jī)構(gòu)60中設(shè)置的適合的警報(bào)動(dòng)作。
另外，形成上述固定檢測(cè)裝置10的比較器17和缺陷檢測(cè)部18，以及形成上述移動(dòng)檢測(cè)裝置50的比較器58和缺陷檢測(cè)部59相當(dāng)于本發(fā)明的判斷機(jī)構(gòu)。
如果采用具有以上構(gòu)成的本實(shí)例的檢查裝置1，如下所述，進(jìn)行作為檢查對(duì)象的玻璃布W的檢查。此外，從玻璃布輥4處，抽出玻璃布W的前端部，依次經(jīng)過(guò)導(dǎo)向滾輪9，將其卷取到輥6上。
首先，通過(guò)控制裝置23，對(duì)卷取裝置5進(jìn)行驅(qū)動(dòng)、控制，由此，依次從玻璃布輥4處，抽出玻璃布W，該布經(jīng)各導(dǎo)向滾輪9導(dǎo)向，沿規(guī)定的通路行走，然后，卷取到輥6上，形成于玻璃布輥7上。另外，在行走期間，通過(guò)固定檢測(cè)裝置10，對(duì)玻璃布W是否具有導(dǎo)電性異物進(jìn)行檢查。
即，在固定檢測(cè)裝置10中，從磁性傳感器12輸出檢測(cè)信號(hào)，該磁性傳感器12通過(guò)樹(shù)脂膜與行走過(guò)程中的玻璃布W滑動(dòng)接觸，該信號(hào)通過(guò)放大器16放大，然后，通過(guò)比較器17，將其與規(guī)定的參考值進(jìn)行比較，當(dāng)檢測(cè)信號(hào)超過(guò)參考值時(shí)，剛好在此時(shí)間生成矩形波，將其發(fā)送給缺陷檢測(cè)部18。接著，缺陷檢測(cè)部18在從比較器17發(fā)送來(lái)的信號(hào)中包含的脈沖幅度超過(guò)預(yù)定的參考時(shí)間時(shí)，判定存在導(dǎo)電性異物，將導(dǎo)電性異物的存在確認(rèn)信號(hào)，與和該檢測(cè)信號(hào)相對(duì)應(yīng)的磁性傳感器12的地址信息一起，發(fā)送給驗(yàn)布控制部19和圖象生成部20。
驗(yàn)布控制部19在從缺陷檢測(cè)部18接收的信號(hào)為確認(rèn)導(dǎo)電性異物存在的信號(hào)時(shí)，馬上向控制裝置23發(fā)送減速信號(hào)，然后，根據(jù)從上述長(zhǎng)度測(cè)定部21發(fā)送的玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，確認(rèn)玻璃布W中的具有導(dǎo)電性異物的部分是否到達(dá)目視檢查位置，當(dāng)該部分到達(dá)目視檢查位置時(shí)，向控制裝置23發(fā)送停止信號(hào)。另外，圖象生成部20從缺陷檢測(cè)部18接收檢測(cè)到導(dǎo)電性異物的磁性傳感器12的地址信息和導(dǎo)電性異物的存在確認(rèn)信號(hào)，從長(zhǎng)度測(cè)定部21接收與玻璃布W的傳送距離有關(guān)的數(shù)據(jù)，根據(jù)這些數(shù)據(jù)，生成表示玻璃布W的導(dǎo)電性異物的存在位置的二維圖象數(shù)據(jù)，將其顯示于顯示器22中。
控制裝置23從驗(yàn)布控制部19接收減速信號(hào)，使卷取裝置5的卷取速度減慢，并且向警報(bào)機(jī)構(gòu)24發(fā)送信號(hào)，發(fā)出警報(bào)鳴叫，從驗(yàn)布控制部19接收停止信號(hào)，停止卷取裝置5的驅(qū)動(dòng)。
如果從警報(bào)機(jī)構(gòu)24發(fā)出警報(bào)聲音，則檢查員根據(jù)顯示于顯示器22中的圖象信息，確認(rèn)導(dǎo)電性異物所存在的位置，然后，如圖1所示，攜帶移動(dòng)檢測(cè)裝置50，將其移動(dòng)到目視檢查位置，通過(guò)移動(dòng)檢測(cè)裝置50，對(duì)根據(jù)該圖象信息確定的導(dǎo)電性異物的存在位置附近仔細(xì)地進(jìn)行檢查。即，檢查員在使移動(dòng)檢查器50的磁性傳感器檢測(cè)部52a與玻璃布W接觸的同時(shí)，沿其對(duì)該布進(jìn)行掃描，檢測(cè)導(dǎo)電性異物，如果從警報(bào)機(jī)構(gòu)60發(fā)出警報(bào)聲音，則更加仔細(xì)地觀察該檢查部，檢測(cè)出導(dǎo)電性異物并將其去除。
接著，象上述那樣，在將導(dǎo)電性異物完全去除后，再次通過(guò)控制裝置23，驅(qū)動(dòng)卷取裝置5，之后，以同樣方式，對(duì)全部的玻璃布W，進(jìn)行檢查。
象上面具體描述的那樣，如果采用本實(shí)例的檢查裝置1，由于通過(guò)磁性傳感器12，52，檢測(cè)導(dǎo)電性異物，故與過(guò)去的光學(xué)檢查法相比較，即使在檢查對(duì)象物具有玻璃纖維這樣的透鏡效果、或非透明的情況下，仍可正確檢測(cè)混在其內(nèi)的導(dǎo)電性異物，另外，由于可通過(guò)多個(gè)磁性傳感器12，52檢查規(guī)定區(qū)域，故可有效地進(jìn)行該檢查。此外，由于按照通過(guò)規(guī)定通路的方式，使長(zhǎng)尺寸的玻璃布W行走的同時(shí)，對(duì)其進(jìn)行檢查，故可有效地檢查該長(zhǎng)尺寸的檢查對(duì)象物。
此外，在判定導(dǎo)電性異物存在時(shí)，由于將導(dǎo)電性異物所存在的部分自動(dòng)地傳送到目視檢查位置，并且將表示玻璃布W上的導(dǎo)電性異物位置的二維圖象信息顯示于顯示器22中，故可有效地進(jìn)行固定檢測(cè)裝置10的一次檢查后的目視檢查和導(dǎo)電性異物的去除作業(yè)。
為了高精度地檢測(cè)導(dǎo)電性異物，必須盡可能地使磁性傳感器12靠近玻璃布W。如果使磁性傳感器12與玻璃布W直接接觸，則由于其與玻璃布W的摩擦，有磁性傳感器12發(fā)生損傷的危險(xiǎn)。如果采用本實(shí)例的檢查裝置1，由于磁性傳感器12的檢測(cè)面被非磁性的樹(shù)脂膜46覆蓋，故通過(guò)該樹(shù)脂膜46，保護(hù)磁性傳感器12的檢測(cè)面。由此，可一邊防止磁性傳感器12的損傷，一邊高精度地進(jìn)行導(dǎo)電性異物的檢測(cè)。
還有，如果玻璃布W帶有靜電，則吸附環(huán)境中的灰塵，在后面的制造工序中，有產(chǎn)生問(wèn)題的危險(xiǎn)，但是由于在上述樹(shù)脂膜46中混入有表面活性劑，故借助該表面活性劑，呈現(xiàn)靜電抑制效果，可防止因與樹(shù)脂膜的摩擦而產(chǎn)生的玻璃布W帶靜電的情況。另外，在本實(shí)施例的檢查裝置1中，由于可調(diào)整作用于樹(shù)脂膜46的張力，可使樹(shù)脂膜46處于沒(méi)有松弛的狀態(tài)，故可使磁性傳感器12的檢測(cè)面與玻璃布W之間的間距總是保持一定，由此，可保持穩(wěn)定的檢測(cè)精度。
再有，由于在固定檢測(cè)裝置10中，可使各磁性傳感器12在面對(duì)玻璃布W的傳送通路的位置，與離開(kāi)該位置的位置(退回位置)之間擺動(dòng)，故通過(guò)將固定檢測(cè)裝置10擺動(dòng)到退回位置，可容易地進(jìn)行樹(shù)脂膜46，磁性傳感器12的更換作業(yè)等。
另外，在被檢測(cè)物為較短尺寸時(shí)，雖然采用上述移動(dòng)檢測(cè)裝置50進(jìn)行檢查，但是操作方便，效果良好。
(第2實(shí)施方式)下面通過(guò)圖9～圖15，對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
在圖9中，102表示卷繞有玻璃布W的卷出輥，該卷出輥102用于將玻璃布W送入比如出廠前的檢查工序。另外，通過(guò)來(lái)自后述的驅(qū)動(dòng)器120的輸出，使卷出輥102旋轉(zhuǎn)，連續(xù)地將玻璃布W朝向后述的卷取輥103，沿箭頭E方向傳送。
103表示與卷出輥102一起形成玻璃布W的傳送機(jī)構(gòu)的卷取輥，該卷取輥103設(shè)置于與卷出輥以較大距離間隔開(kāi)的位置，該卷取輥103通過(guò)來(lái)自驅(qū)動(dòng)器120的輸出而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，連續(xù)卷取從卷出輥102上展開(kāi)的玻璃布W。
此外，在卷出輥102和卷取輥103之間，用于改變玻璃布W的傳送方向的轉(zhuǎn)換滾輪104，105，106與后述的電極滾輪107一起設(shè)置，這些轉(zhuǎn)換滾輪104～106由大于玻璃布W的寬度的長(zhǎng)滾輪形成。這樣，作為傳送對(duì)象的玻璃布W在轉(zhuǎn)換滾輪104，105，電極滾輪107和轉(zhuǎn)換滾輪106的位置，一邊按照90度的程度被轉(zhuǎn)換傳送方向，一邊被朝向卷取輥103一側(cè)傳送。
107為構(gòu)成設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪105，106之間的第1電極的電極滾輪，該電極滾輪107由呈圓柱狀，或圓筒狀的導(dǎo)電性的金屬滾輪等構(gòu)成，該滾輪長(zhǎng)度大于玻璃布W的寬度。這樣，電極滾輪107構(gòu)成與后述的電極板108對(duì)置的接地側(cè)電極，其外周面(表面)以較大的面積，與玻璃布W的內(nèi)側(cè)均勻地接觸。
再有，電極滾輪107如圖10所示，具有旋轉(zhuǎn)軸107a，通過(guò)以該軸為中心而使該滾輪旋轉(zhuǎn)，將從轉(zhuǎn)換滾輪105基本沿水平方向傳送的玻璃布W，沿與轉(zhuǎn)換滾輪106一側(cè)垂直方向向下轉(zhuǎn)換方向，順暢地傳送。
108，108，…表示按照與電極滾輪107一起，從厚度方向兩側(cè)夾持玻璃布W的方式設(shè)置的形成第2電極的電極板，這些電極板108象圖10所示，由長(zhǎng)方形的較薄的金屬板形成，構(gòu)成沿玻璃布W的寬度方向，稍稍間隔開(kāi)地設(shè)置的電極部件。
另外，各電極板108按照下述方式配置，即通過(guò)后述的連接件110，保證相對(duì)玻璃布W的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)，分別均勻地與玻璃布W的一個(gè)側(cè)面的外面接觸。接著，通過(guò)在各電極板108和電極滾輪107之間，如后所述地外加電壓，則如圖11所示，在玻璃布W內(nèi)部混有導(dǎo)電性異物F時(shí)，在電極板108和電極滾輪107之間，電流作為通電或放電現(xiàn)象產(chǎn)生。此外，在圖11中，Wa表示形成玻璃布W的纖維束。
109表示作為以懸吊狀態(tài)支承電極板108的支承部件的支桿，該支桿109如圖9和圖10所示，設(shè)置于電極滾輪107和電極板108的上方位置，與電極滾輪107基本保持平行地、沿玻璃布W的寬度方向(左，右方向)延伸地設(shè)置。
110，110，…表示連接件，該連接件以可相對(duì)支桿109進(jìn)行三維運(yùn)動(dòng)的方式連接各電極板108，這些連接件110由比如絕緣性的樹(shù)脂材料等形成，作為柔性的系繩，形成電極板108的繩狀的懸吊具。另外，連接件110將電極板108保持從支桿109懸吊的狀態(tài)，保證電極板108相對(duì)玻璃布W沿厚度方向、左右方向等自由運(yùn)動(dòng)。
111表示設(shè)置于電極板108和支桿109之間的調(diào)節(jié)桿，該調(diào)節(jié)桿111以活動(dòng)的方式與連接件110的兩端之間的位置接觸，由此，任意地調(diào)節(jié)電極板108與玻璃布W的接觸角度。此外，通過(guò)采用連接件110，調(diào)節(jié)桿111等，電極板108在自重的作用下，均勻地壓靠在玻璃布W的外面?zhèn)?，在該玻璃布W的外面上連續(xù)地滑動(dòng)接觸。
112表示去除工位，該去除工位112位于電極滾輪107和轉(zhuǎn)換滾輪106之間，以對(duì)置方式設(shè)置于玻璃布W的兩端之間的部位，該去除工位112按照將玻璃布W夾持于其與照明裝置113之間的方式設(shè)置，構(gòu)成用于將混入玻璃布W內(nèi)部的異物F去除的檢查位置。在此情況下，來(lái)自照明裝置113的光明亮地照射玻璃布W，且其一部分從去除工位112一側(cè)透過(guò)。
另外，預(yù)先等待于去除工位112的作業(yè)人員進(jìn)行下述作業(yè)，即在從照明裝置113照射的光的條件下，一邊通過(guò)放大鏡(圖未示)等觀察混入玻璃布W內(nèi)部的異物F，一邊對(duì)其探查，采用手動(dòng)作業(yè)或適合的工具，從玻璃布W謹(jǐn)慎地去除異物F。
114表示設(shè)置于卷出輥102側(cè)的轉(zhuǎn)換滾輪104上的長(zhǎng)度測(cè)定儀，該長(zhǎng)度測(cè)定儀114通過(guò)與轉(zhuǎn)換滾輪104接觸而旋轉(zhuǎn)，由此形成檢測(cè)玻璃布W的長(zhǎng)度方向位置的位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)。另外，當(dāng)通過(guò)后述的檢測(cè)器116檢測(cè)到異物F時(shí)，通過(guò)來(lái)自長(zhǎng)度測(cè)定儀114的檢測(cè)信號(hào)，判斷在玻璃布W的哪個(gè)位置(長(zhǎng)度方向的哪個(gè)位置)混入異物F。
115表示作為電壓外加機(jī)構(gòu)的電源部，其在電極板108與電極滾輪107之間，外加電壓，該電源部115如圖14所示，與各電極板108并聯(lián)，象后面所述的那樣，將預(yù)先設(shè)定的一定的直流電壓，外加于相應(yīng)的電極板108和電極滾輪107之間。此外，在電源部115上，設(shè)置有電壓調(diào)整部(圖中未示出)，通過(guò)來(lái)自后述的控制裝置117的調(diào)整信號(hào)，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整外加電壓的電壓值。
116，116，…表示作為設(shè)置于電源部115和各電極板108之間的檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)器，這些檢測(cè)器116針對(duì)每個(gè)電極板108獨(dú)立地設(shè)置，檢測(cè)在哪個(gè)電極板108和電極滾輪107之間，如后述的那樣，發(fā)生通電或放電。另外，當(dāng)發(fā)生這樣的通電或放電時(shí)，由于在檢測(cè)器116的前后產(chǎn)生電流，故檢測(cè)器116檢測(cè)該電流，將檢測(cè)信號(hào)朝向控制裝置117輸出。
117表示由微型計(jì)算機(jī)等形成的控制裝置，該控制裝置117的輸入側(cè)與長(zhǎng)度測(cè)定儀114，各檢測(cè)器116和啟動(dòng)開(kāi)關(guān)118等連接，輸出側(cè)與電源部115，顯示器等的顯示機(jī)構(gòu)119和驅(qū)動(dòng)器120等連接。此外，控制裝置117通過(guò)控制程序或控制電路，進(jìn)行圖15所示的工序檢查處理，對(duì)玻璃布W的異物檢測(cè)處理和異物去除處理等進(jìn)行控制。
在這里，顯示器119在檢測(cè)到異物F混入到玻璃布W內(nèi)部時(shí)，根據(jù)來(lái)自長(zhǎng)度測(cè)定儀114和各檢測(cè)器116的信號(hào)，沿玻璃布W的長(zhǎng)度方向和寬度方向確定異物F的混入位置并顯示該位置。在此情況下，顯示器119設(shè)置于去除工位112的附近位置。
還有，驅(qū)動(dòng)器120包括驅(qū)動(dòng)電路，該驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)分別設(shè)置于卷出輥102和卷取輥103上的電動(dòng)馬達(dá)(圖中未示出)等，如果從控制裝置117輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，則基本同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)卷出輥102和卷取輥103，當(dāng)停止驅(qū)動(dòng)信號(hào)的輸出時(shí)，基本上同時(shí)地使卷出輥102，卷取輥103停止。
本實(shí)例的檢查裝置具有如上所述的構(gòu)成，下面參照?qǐng)D15對(duì)包括玻璃布W的異物檢測(cè)處理和異物去除處理等的檢查處理方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，如果通過(guò)啟動(dòng)開(kāi)關(guān)118的接通，控制裝置117的處理動(dòng)作開(kāi)始，則在步驟S1，通過(guò)向驅(qū)動(dòng)器120輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，則基本同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)卷出輥102和卷取輥103。另外，通過(guò)卷出輥102和卷取輥103的相互旋轉(zhuǎn)，沿圖9中的箭頭所示的方向，連續(xù)地傳送長(zhǎng)尺寸的玻璃布W。
另外，此時(shí)，使來(lái)自電源部115的電壓外加動(dòng)作開(kāi)始，采用并排地設(shè)置于電源部115和多個(gè)電極板108，108，…之間的各檢測(cè)器116，分別地監(jiān)視在相應(yīng)的電極板108和電極滾輪107之間是否發(fā)生通電或放電。
接著，在步驟S2，通過(guò)來(lái)自檢測(cè)器116的信號(hào)，判定是否檢測(cè)到導(dǎo)電性異物F(異物檢測(cè)工序)，在判定為“否”的期間，反復(fù)進(jìn)行步驟S1以后的處理。另外，當(dāng)在步驟S2，判定為“是”時(shí)，由于為在玻璃布W內(nèi)部混入有導(dǎo)電性異物F，故進(jìn)行步驟S3以后的處理。
在此情況下，如圖12，圖13所示，電極板108將厚度T的玻璃布W夾持在與電極滾輪107之間并與其對(duì)置，按照連續(xù)地在電極滾輪107和電極板108之間行走的方式傳送玻璃布W。接著，如圖12中的實(shí)例所示，在玻璃布W內(nèi)部混入有導(dǎo)電性異物F，當(dāng)該異物F沿玻璃布W的厚度方向穿過(guò)時(shí)，在該電極板108和電極滾輪107之間，發(fā)生通電或放電。
即，圖14所示的電源部115的外加電壓按照下述方式設(shè)定為規(guī)定的電壓值(比如，400V程度)，該方式為如圖12所示的那樣，當(dāng)沿玻璃布W的厚度T的方向，異物F的尺寸大于參考值T1(比如，可為厚度T的4/5的尺寸)時(shí)，則在電極板108和電極滾輪107之間，發(fā)生通電或放電。
另外，電源部115的外加電壓的值根據(jù)比如玻璃布W的厚度T等而改變，其也可為低于400V的電壓值，反之，還可設(shè)定為高于400V的電壓值，如果需要由與參考值T1的關(guān)系確定。
此外，在混入到玻璃布W內(nèi)部的導(dǎo)電性異物F的尺寸如圖13所示的那樣，沿玻璃布W的厚度T的方向，小于參考值T1時(shí)，不在電極板108和電極滾輪107之間發(fā)生通電或放電。另外，即使在發(fā)生的情況下，也為微量的放電，無(wú)法檢測(cè)到。由此，檢測(cè)器116將在玻璃布W內(nèi)部未混入異物F的非檢測(cè)信號(hào)輸出給控制裝置117。
如圖12所示，導(dǎo)電性異物F以沿玻璃布W的厚度方向穿過(guò)的方式存在，在電極板108和電極滾輪107之間發(fā)生通電或放電，此時(shí)，相應(yīng)的檢測(cè)器116將在玻璃布W中的與電極板108相對(duì)應(yīng)的位置，混入異物F的檢測(cè)信號(hào)，輸出給控制裝置117。由此，在上述步驟S2，判定為“是”，進(jìn)行下一步驟S3。
然后，在步驟S3，確定混入有異物F的玻璃布W的位置，通過(guò)顯示器119，顯示該位置。在此情況下，考慮沿玻璃布W的縱向，在哪個(gè)位置存在異物F，比如，考慮電極板108與長(zhǎng)度測(cè)定儀114之間的距離，根據(jù)來(lái)自長(zhǎng)度測(cè)定儀114的信號(hào)，求出該距離。
另外，通過(guò)相應(yīng)的檢測(cè)器116，分別地檢測(cè)沿玻璃布W的寬度方向在哪個(gè)位置存在異物F，或在沿玻璃布W的寬度方向，借助間隙并排地設(shè)置的電極板108，108，…中的哪個(gè)電極板上，發(fā)生上述通電或放電，由此，通過(guò)來(lái)自各檢測(cè)器116的信號(hào)進(jìn)行確定。
之后，在步驟S4，在檢測(cè)到異物F的階段，暫時(shí)停止向驅(qū)動(dòng)器120的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的輸出，使卷出輥102和卷取輥103的玻璃布W的傳送停止。另外，在判定了在玻璃布W的長(zhǎng)度方向的異物F混入位置的階段，通過(guò)手動(dòng)或自動(dòng)方式，再次開(kāi)始玻璃布W的傳送。
接著，慢慢地傳送玻璃布W，直至玻璃布W的異物混入位置到達(dá)與圖9中的去除工位112面對(duì)的位置，使玻璃布W停止在該去除工位112的位置(傳送停止工序)。
然后，在步驟S5，預(yù)先等待于去除工位處的作業(yè)人員根據(jù)顯示器119的顯示，判別異物F的位置，同時(shí)，在照明裝置113的照射光的條件下，采用放大鏡等，探查混入到玻璃布W內(nèi)部的異物F。接著，如果看到該異物，則通過(guò)手動(dòng)作業(yè)或適合的工具，從玻璃布W中，小心地將異物F去除(異物去除工序)。
此外，在去除異物F后，在下一步驟S6，再次接通啟動(dòng)開(kāi)關(guān)118，由此，使卷出輥102和卷取輥103旋轉(zhuǎn)，沿圖9中的箭頭所示的方向，傳送玻璃布W(傳送再開(kāi)工序)。之后，返回到步驟S1，再次反復(fù)進(jìn)行步驟S1以后的處理。由此，可將未混入有導(dǎo)電性異物F的玻璃布W，作為電子部件等的絕緣用層狀部件運(yùn)出廠。
這樣，如果采用本實(shí)例的檢查裝置，由于在卷出輥102和卷取輥103之間連續(xù)地傳送的玻璃布W被從厚度方向兩側(cè)由電極滾輪107和各電極板108夾持地設(shè)置，在該電極滾輪107和相應(yīng)的電極板108之間，外加預(yù)定的規(guī)定直流電壓，故在傳送(行走)過(guò)程中的玻璃布W內(nèi)部混入導(dǎo)電性異物時(shí)，在電極滾輪107和電極板108之間，產(chǎn)生通電或放電，通過(guò)多個(gè)檢測(cè)器116，116，…中的某個(gè)檢測(cè)器116，檢測(cè)該情況，由此可簡(jiǎn)單地檢測(cè)異物的有無(wú)。
在此情況下，檢測(cè)器116在玻璃布W內(nèi)部的異物F沿厚度T方向穿過(guò)，其兩端與兩個(gè)電極107，108接觸時(shí)，兩個(gè)電極107，108之間通電，可檢測(cè)異物F。但是，即使在導(dǎo)電性異物F在不與電極滾輪107，電極板108直接接觸的狀態(tài)下，混入到玻璃布W內(nèi)部的情況下，具有在對(duì)玻璃布W檢查后，在客戶那里造成異物F產(chǎn)生的通電故障的危險(xiǎn)。
于是，從電源部115外加的直流電壓設(shè)定為下述電壓值，其中在混入到玻璃布W內(nèi)部的導(dǎo)電性異物F大于預(yù)定的參考值T1時(shí)，在兩個(gè)電極107，108之間，產(chǎn)生通電或放電，在小于參考值T1時(shí)，不產(chǎn)生通電，或放電。
由此，檢測(cè)器116可根據(jù)混入到玻璃布W內(nèi)部的異物F與參考值T1的比較結(jié)果，即根據(jù)在電極107，108之間，是否產(chǎn)生通電或放電的情況，檢測(cè)異物F。
還有，由于與電極滾輪107對(duì)置設(shè)置的多個(gè)電極板108，108，…，按照沿玻璃布W的寬度方向相互分離并排延伸的方式設(shè)置，對(duì)應(yīng)于各電極板108，將相應(yīng)的檢測(cè)器116并排地設(shè)置于該電極板與電源部115之間，故可通過(guò)各檢測(cè)器116，檢測(cè)在與哪個(gè)電極板108相對(duì)應(yīng)的位置，發(fā)生通電，或放電，可判別沿玻璃布W的寬度方向，在哪個(gè)位置混入、存在異物F。
另外，可對(duì)應(yīng)于玻璃布W的長(zhǎng)度方向，通過(guò)長(zhǎng)度測(cè)定儀114，自動(dòng)地檢測(cè)異物F的混入位置。另外，通過(guò)顯示器等的顯示機(jī)構(gòu)119，顯示象上述那樣檢測(cè)的異物F混入部位，由此，可將異物F具體存在的位置，通報(bào)給在去除工位112處進(jìn)行去除作業(yè)等的操作人員(作業(yè)人員)。
此外，由于電極板108采用具有柔性的繩等的連接件110，從支桿109上將其懸吊，在自重的作用下，分別與玻璃布W的外面?zhèn)染鶆虻亟佑|，故可保證使沿玻璃布W的寬度方向相互分離而設(shè)置的各電極板108，分別獨(dú)立且均勻地與玻璃布W的外面接觸，當(dāng)導(dǎo)電性異物F與電極板108接觸，或接近該電極板108時(shí)，可立即檢測(cè)到電極107，108之間發(fā)生通電或放電的情況。
由于與各電極板108對(duì)置的電極滾輪107與連續(xù)行走的玻璃布W的內(nèi)面?zhèn)冉佑|，隨著玻璃布W的傳送而旋轉(zhuǎn)，故可保證作為檢查對(duì)象的玻璃布W在電極107，108之間平滑地行走或傳送。另外，由于電源部115外加直流電壓，故可以較低的電壓檢測(cè)異物F，可提高其檢測(cè)精度。
象上述那樣，如果采用本實(shí)例的檢查裝置，可在連續(xù)地傳送玻璃布的同時(shí)，檢測(cè)作為檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電性異物F，至少可良好地防止沿玻璃布W的厚度方向的導(dǎo)通故障等情況。由此，可在確保品質(zhì)安全性的狀態(tài)下，使用于確保電子部件等的絕緣性的玻璃布W出廠，可提高其可靠性。
還有，即使在作為適用對(duì)象的電絕緣性的玻璃布W的厚度比如，小于0.1mm的情況下，仍可連續(xù)地檢測(cè)混入其中的粒徑小于0.1mm的微小異物F，可順利地進(jìn)行該處理作業(yè)，有效地實(shí)現(xiàn)玻璃布W出廠前的檢查工序等，可確實(shí)提高整體的作業(yè)性。
(第3實(shí)施方式)下面根據(jù)圖16和圖17，對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)與上述的第2實(shí)施方式的檢查裝置相同的組成部分，采用同一標(biāo)號(hào)，故省略對(duì)其的具體描述。
如圖16和圖17所示，本實(shí)例的檢查裝置按照沿玻璃布W的長(zhǎng)度方向相位錯(cuò)開(kāi)地多種組合的方式設(shè)置各電極板和電極滾輪。
在圖中，121，122表示兩組電極滾輪，該兩組電極滾輪沿玻璃布W長(zhǎng)度方向間隔開(kāi)，設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪105，106之間，形成第1電極，雖然這些電極滾輪121，122按照與在第2實(shí)施方式中描述的電極滾輪107相同的方式形成，但是，在電極滾輪121，122之間，還添設(shè)有另一轉(zhuǎn)換滾輪123。
再有，電極滾輪121設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪105，123之間，以旋轉(zhuǎn)軸121a為中心而旋轉(zhuǎn)。由此，電極滾輪121將從轉(zhuǎn)換滾輪105基本沿水平方向傳送的玻璃布W的方向轉(zhuǎn)換為朝向轉(zhuǎn)換滾輪123側(cè)的向下方向，然后順暢地傳送該玻璃布W。
另外，電極滾輪122設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪123，106之間，以旋轉(zhuǎn)軸122a為中心而旋轉(zhuǎn)。由此，電極滾輪122將從轉(zhuǎn)換滾輪123側(cè)向上傳送的玻璃布W的方向轉(zhuǎn)換為朝向轉(zhuǎn)換滾輪106側(cè)的向下方向，然后順暢地傳送該玻璃布W。
124，124…表示形成第2電極的電極板，該電極板按照從厚度方向兩側(cè)，與電極滾輪121一起，夾持玻璃布W的方式設(shè)置，這些電極板124按照與在第2實(shí)施方式中已描述的電極板108相同的方式形成，它們分別形成沿玻璃布W的寬度方向間隔開(kāi)而設(shè)置的電極部件。
125，125…表示形成第2電極的電極板，該電極板按照從厚度方向兩側(cè)，與電極滾輪122一起夾持玻璃布W的方式設(shè)置，這些電極板125也按照與上述電極板124相同的方式形成。但是，這些電極板124，125如圖17所示，分別設(shè)置于沿玻璃布W的寬度方向，相互不同的位置。
其結(jié)果是，當(dāng)導(dǎo)電性異物F混入到玻璃布W內(nèi)部中的，各電極板124之間的位置時(shí)，可通過(guò)位于其下游側(cè)的各電極板125(與其相對(duì)應(yīng)的檢測(cè)器116)，檢測(cè)異物F，這之外的異物F可通過(guò)上游側(cè)的各電極板124檢測(cè)。
126，127表示作為以懸吊狀態(tài)支承各電極板124，125的支承部件的支桿，該支桿126，127按照與在第2實(shí)施方式中已描述的支桿109相同的方式形成。此外，支桿126設(shè)置于電極滾輪121，電極板124的上方位置，支桿127設(shè)置于電極滾輪122，電極板125的上方位置。
128，129表示調(diào)節(jié)桿，該調(diào)節(jié)桿設(shè)置于各電極板124，125與支桿126，127之間，該調(diào)節(jié)桿128，129按照與在第2實(shí)施方式中已描述的調(diào)節(jié)桿111相同的方式形成，通過(guò)可動(dòng)地與各連接件110的兩端之間的位置接觸，任意地調(diào)節(jié)電極板124，125與玻璃布W的接觸角度。
這樣，在這樣形成的本實(shí)例的檢查裝置中，也可獲得與上述第2實(shí)施方式的檢查裝置相同的作用效果。但是，在此情況下，將兩組電極滾輪121，122與各電極板124，125的組合體的相位錯(cuò)開(kāi)，將其設(shè)置于玻璃布W的兩端之間的位置。
由此，可防止在沿玻璃布W的寬度方向間隔開(kāi)的各電極板124，或125之間，異物F的檢測(cè)遺漏等情況，可以較高的精度，沿玻璃布W的整個(gè)表面，檢查是否混入異物F。
再有，在前述第2實(shí)施方式中，說(shuō)明了通過(guò)由柔性的系繩件形成的連接件110從支桿109上懸吊，沿玻璃布W的寬度方向劃分而設(shè)置的各電極板108，在自重的作用下，將電極板108輕輕地壓靠于玻璃布W的外面?zhèn)?，但是本發(fā)明不限于此，比如，也可采用金屬制或塑料制的活動(dòng)接頭(萬(wàn)向接頭)等，分別將電極板108與支桿109連接。
另外，同樣在此情況下，可以3維運(yùn)動(dòng)的方式，支承電極板108，可通過(guò)比如彈簧等的偏置機(jī)構(gòu)，按照均勻地與玻璃布W的外面連續(xù)地接觸的方式，保持電極板108。另外，對(duì)于第3實(shí)施方式來(lái)說(shuō)，此方面也是相同的。
此外，在前述第2實(shí)施方式中，以采用平板狀的電極板108的情況為實(shí)例進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明不限于此，也可采用比如由導(dǎo)電性材料形成的圓桿，或自由滾輪等構(gòu)成的多個(gè)電極部件，形成第2電極。
象上述那樣，第1，第2電極考慮采用圓形滾輪，圓桿，平板等的各種類型，但是當(dāng)與作為檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電性異物接觸，或接近該異物時(shí)，與這些異物相比較，必須要求具有足夠平滑的電極面。另外，在此情況下，當(dāng)導(dǎo)電性異物接近時(shí)，可保證在電極之間產(chǎn)生穩(wěn)定的通電或放電。
還有，在前述第2實(shí)施方式中，如圖14所示，以電源部115，各檢測(cè)器116和控制裝置117等分別形成的情況為實(shí)例進(jìn)行了描述，但是本發(fā)明不限于此，比如，還可采用電壓外加機(jī)構(gòu)和檢測(cè)機(jī)構(gòu)形成為一體的裝置。在此情況下，作為形成為一體的現(xiàn)有裝置，例舉比如檢測(cè)火花放電的火花試驗(yàn)器，檢測(cè)電暈放電的部分放電測(cè)定儀等。
再有，作為檢測(cè)機(jī)構(gòu)，還可采用檢測(cè)在電極之間發(fā)生通電或放電時(shí)所產(chǎn)生的電流、電壓、電荷的變化中的任何一種的機(jī)構(gòu)，檢測(cè)伴隨火花等的聲音機(jī)構(gòu)，檢測(cè)電磁波的機(jī)構(gòu)等。在此情況下，檢測(cè)機(jī)構(gòu)優(yōu)選根據(jù)需要，相應(yīng)于是否超過(guò)預(yù)定的臨界值的情況，進(jìn)行檢測(cè)，或檢驗(yàn)動(dòng)作。
另外，在作為檢查對(duì)象的絕緣性層為比如沿?zé)o紡布，布(織物)這樣的厚度方向保持連續(xù)的空氣空間存在的層時(shí)，通過(guò)在電極之間外加電壓，容易產(chǎn)生空氣的絕緣破壞造成的火花放電。由此，雖然可采用局部放電測(cè)定儀中的任何一種，但是優(yōu)選采用火花試驗(yàn)器。
此外，象樹(shù)脂膜那樣，對(duì)于只要沒(méi)有氣泡，難于產(chǎn)生絕緣破壞的材料，可采用具有下述靈敏度的局部放電測(cè)定儀，該靈敏度可檢測(cè)僅僅有微量的電流流動(dòng)的電暈放電。此外，對(duì)于上述的方面，第3實(shí)施方式也是相同的。
上面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明可采用的具體形式不限于任何的實(shí)施例。特別是，被檢測(cè)物不限于任何的上述玻璃布W，另外，顯然，被檢測(cè)物可為較短的尺寸。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)電性異物檢查裝置，該檢查裝置檢測(cè)附著于具有電絕緣性的被檢測(cè)物上，或混入到其內(nèi)部的導(dǎo)電性異物，其特征在于，該檢查裝置設(shè)置有以與所述被檢測(cè)物對(duì)置的方式設(shè)置，輸出規(guī)定的檢測(cè)信號(hào)的磁性傳感器組；保持所述各磁性傳感器的保持機(jī)構(gòu)；將從所述各磁性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)，與預(yù)定的參考值進(jìn)行比較，對(duì)所述導(dǎo)電性異物的有無(wú)進(jìn)行判定的判定機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于該檢查裝置還包括以規(guī)定通路傳送具有電絕緣性的被檢查物的長(zhǎng)尺寸的織物的傳送機(jī)構(gòu)；以及對(duì)該傳送機(jī)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制機(jī)構(gòu)，所述磁性傳感器組按照其檢測(cè)面與所述織物的傳送通路面對(duì)，并且與該織物對(duì)置的方式設(shè)置，其檢測(cè)區(qū)域按照遍及所述織物的寬度方向的整個(gè)區(qū)域的方式設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，該判定機(jī)構(gòu)按照下述方式形成，即將從所述各磁性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)幅度，與預(yù)定的參考時(shí)間進(jìn)行比較，對(duì)檢測(cè)到的所述導(dǎo)電性異物的信號(hào)與雜波進(jìn)行判別。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述保持機(jī)構(gòu)具有使所述各磁性傳感器在與所述織物的傳送通路面對(duì)的位置，以及與其離開(kāi)的位置之間移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，該裝置還包括根據(jù)所述判定機(jī)構(gòu)的判定結(jié)果數(shù)據(jù)，以及通過(guò)所述長(zhǎng)度測(cè)定結(jié)果計(jì)算的傳送距離數(shù)據(jù)，生成與被檢測(cè)物上的導(dǎo)電性異物的有無(wú)相關(guān)的二維圖象數(shù)據(jù)的圖象生成機(jī)構(gòu)；以及輸出通過(guò)所述圖象生成機(jī)構(gòu)生成的二維圖象數(shù)據(jù)的輸出機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，用非磁性膜覆蓋所述磁性傳感器組的各檢測(cè)面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述膜含有靜電防止劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述保持機(jī)構(gòu)包括調(diào)整所述膜的張力的張力調(diào)整機(jī)構(gòu)。
9.一種導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，其由下述機(jī)構(gòu)構(gòu)成連續(xù)地傳送具有電絕緣性的被檢測(cè)物的長(zhǎng)尺寸的織物的傳送機(jī)構(gòu)；按照位于所述傳送機(jī)構(gòu)的兩端之間的位置，從厚度方向兩側(cè)夾持所述織物的方式設(shè)置的第1和第2電極；在所述第1，第2電極之間外加電壓的電壓外加機(jī)構(gòu)；檢測(cè)通過(guò)所述電壓外加機(jī)構(gòu)的電壓外加，是否在第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電的檢測(cè)機(jī)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述電壓外加機(jī)構(gòu)的外加電壓設(shè)定為在所述導(dǎo)電性異物大于預(yù)定的參考值時(shí)，在所述第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電，在小于所述參考值時(shí)不產(chǎn)生通電或放電。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，為了判別所述導(dǎo)電性異物位于織物的哪個(gè)位置，所述第1，第2電極中的至少1個(gè)電極由沿所述織物的寬度方向分離設(shè)置的多個(gè)電極部件形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述多個(gè)電極部件通過(guò)多塊電極板形成，該多塊電極板相對(duì)所述織物，相互獨(dú)立地設(shè)置，分別均勻地與所述織物的一個(gè)側(cè)面接觸。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述第1，第2電極中的至少另一個(gè)電極由與所述織物接觸而旋轉(zhuǎn)的滾輪構(gòu)成。
14.根據(jù)權(quán)利要求9～13中的任一項(xiàng)所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，通過(guò)所述電壓外加機(jī)構(gòu)外加于第1，第2電極之間的電壓為直流電壓。
15.一種導(dǎo)電性異物檢查方法，該方法包括下述工序在連續(xù)地傳送長(zhǎng)尺寸的織物的傳送過(guò)程中，檢測(cè)導(dǎo)電性異物是否附著于所述織物上或混入到其內(nèi)部的異物檢測(cè)工序；在檢測(cè)到所述導(dǎo)電性異物時(shí)，停止所述織物的傳送，使所述織物停止于預(yù)定的檢查位置的傳送停止工序；去除在所述檢查位置附著于所述織物或混入到其內(nèi)部的異物的異物去除工序；在去除所述異物后，再次開(kāi)始所述織物的傳送的傳送再開(kāi)工序。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的導(dǎo)電性異物檢測(cè)方法，其特征在于，在所述異物檢測(cè)工序中可通過(guò)磁性傳感器檢測(cè)所述導(dǎo)電性異物。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的導(dǎo)電性異物檢查方法，其特征在于，在所述異物檢測(cè)工序中，可通過(guò)按照從厚度方向兩側(cè)夾持所述織物的方式設(shè)置的第1和第2電極，檢測(cè)所述導(dǎo)電性異物。
全文摘要
本發(fā)明提供一種檢查裝置,該檢查裝置即使在玻璃纖維這樣的,具有透鏡效果的材料或非透明的材料的情況下,仍可正確地檢測(cè)附著于被檢查物上或混入到其內(nèi)的導(dǎo)電性異物。該檢查裝置設(shè)置有以與被檢測(cè)物對(duì)置的方式設(shè)置,輸出規(guī)定的檢測(cè)信號(hào)的磁性傳感器組;保持各磁性傳感器的保持機(jī)構(gòu);將從各磁性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào),與預(yù)定的參考值進(jìn)行比較,判定導(dǎo)電性異物的有無(wú)的判定機(jī)構(gòu)。
文檔編號(hào)G01N27/82GK1370988SQ0210452
公開(kāi)日2002年9月25日 申請(qǐng)日期2002年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月16日
發(fā)明者稻場(chǎng)伸一, 池田博一, 浦上旦, 魚澄弘行, 上田高次 申請(qǐng)人:鐘紡株式會(huì)社, 鐘紡工程株式會(huì)社