專利名稱：雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到雙波長納米精度的實(shí)時干涉測量儀，特別涉及到使用正弦相位調(diào)制干涉測量的雙波長納米精度干涉測量儀。
背景技術(shù)：
在光學(xué)精密干涉測量中，正弦相位調(diào)制干涉測量是一種高精度的測量，位移測量可以達(dá)到納米精度，但是測量范圍只有半個光源波長。為了解決這個問題，日本新瀉(Niigata)大學(xué)的佐佐木修己(Osami Sasaki)等人于1991年提供了一種雙波長半導(dǎo)體激光干涉儀(在先技術(shù)[1]“Two-wavelenlength sinusoidalphase-modulating laser-diode interferometer insensitive to external disturbances，”Applied Optics，Vol.30，No.28，4040-4045)。在此干涉儀中，采用了兩個光源，利用合成波長技術(shù)將位移的測量范圍擴(kuò)大到152ìm，大大擴(kuò)大了測量范圍。遺憾的是此干涉儀測量精度較低，僅有0.6微米；而且使用體光學(xué)系統(tǒng)，體積較大；測量光束直徑較大(1厘米左右)，不能用來測量尺寸微小的物體的位移；并且沒有考慮激光器的溫度控制措施，而溫度變化引起的激光器波長漂移將造成測量誤差。同時使用計(jì)算機(jī)使得測量不能實(shí)時進(jìn)行。王向朝等發(fā)明人提供一種全光纖的大范圍位移測量儀(在先技術(shù)[2]發(fā)明人王向朝，步揚(yáng)，王學(xué)鋒，“全光纖大范圍位移測量儀，”專利申請?zhí)?1126555.8)。該干涉儀大幅提高了測量范圍，并且可以用于微小物體的測量，但是測量精度仍只達(dá)微米，而且也不能實(shí)時測量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀，包括帶有第一驅(qū)動電源1和第一溫度控制器18的第一光源13發(fā)射的光束通過第一段光纖1301射入第一隔離器14內(nèi)，由第一隔離器14出射后，通過第二段光纖1302由合波元件7的第二端口b射入，從合波元件7的第三端口c射出后，再通過第三段光纖1303由光纖耦合器8的第一端口P1射入，從光纖耦合器8的第三端口P3射出后，再通過第四段光纖1304，經(jīng)過準(zhǔn)直器15準(zhǔn)直，透過部分反射元件16射到被測物體17上；由光纖耦合器8第二端口P2出射的光束經(jīng)過第七段光纖801射到光電轉(zhuǎn)換元件9上。由光纖耦合器8第四端口P4出射的光束經(jīng)過第八段光纖802射到防反射元件12上；有波長λ2不等于第一光源13的波長λ1的帶有第二驅(qū)動電源3和第二溫度控制器4的第二光源5。由第二光源5發(fā)射的光束通過第五段光纖501，經(jīng)過第二隔離器6，再經(jīng)過第六段光纖502由合波元件7的第一端口a射入，同樣從合波元件7的第三端口c射出后，再通過第三段光纖1303由光纖耦合器8的第一端口P1射入，從光纖耦合器8的第三端口P3射出后，再通過第四段光纖1304，經(jīng)過準(zhǔn)直器15準(zhǔn)直，透過部分反射元件16射到被測物體17上；第一驅(qū)動電源1和第二驅(qū)動電源3之間連接有觸發(fā)控制器2；有三個輸入端口11a、11b、11c和一個輸出端口11d的信號處理器11，信號處理器11的第一輸入端口11a與光電轉(zhuǎn)換元件9的輸出端相連，信號處理器11的第二輸入端口11b與第二驅(qū)動電源3相連，信號處理器11的第三輸入端口11c與第一驅(qū)動電源1相連，信號處理器11的輸出端口11d連接到數(shù)字顯示器10上。如圖1所示。
所說的信號處理器11的結(jié)構(gòu)包括，信號處理器11的第一輸入端口11a分別與第一乘法器1101、第二乘法器1121、第三乘法器1110和第四乘法器1111相連。其中第一乘法器1101與第一低通濾波器1103和第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器1104串聯(lián)后接入第一存儲器1105內(nèi)。第二乘法器1121與第二低通濾波器1120和第二模數(shù)轉(zhuǎn)換器1119串聯(lián)后接入第一存儲器1105內(nèi)。第三乘法器1110與第三低通濾波器1108和第三模數(shù)轉(zhuǎn)換器1107串聯(lián)后接入第二存儲器1106內(nèi)。第四乘法器1111與第四低通濾波器1112和第四模數(shù)轉(zhuǎn)換器1113串聯(lián)后接入第二存儲器1106內(nèi)；信號處理器11的第二輸入端口11b分別與第四乘法器1111和第六乘法器1109相連，其中第六乘法器1109與第三乘法器1110相連；信號處理器11的第三輸入端口11c分別與第二乘法器1121和第五乘法器1102相連，其中第五乘法器1102與第一乘法器1101相連；第一存儲器1105的輸出經(jīng)過第七乘法器1118至加法器1116以及依次經(jīng)過減法器1114、除法器1115和第八乘法器1117至加法器1116；第二存儲器1106的輸出依次經(jīng)過減法器1114、除法器1115和第八乘法器1117至加法器1116；加法器1116的輸出接入數(shù)字顯示器10內(nèi)。如圖2所示。
本發(fā)明的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀，其結(jié)構(gòu)如上述圖1所示。帶有第一驅(qū)動電源1和第一溫度控制器18的第一光源13通過第一段光纖1301和第一隔離器14的輸入端相連。第一隔離器14的輸出端通過第二段光纖1302和合波元件7的第二端口b相連。第一驅(qū)動電源1和第二驅(qū)動電源3通過觸發(fā)控制器2相連。帶有第二驅(qū)動電源3和第二溫度控制器4的第二光源5通過第五段光纖501和第二隔離器6的輸入端相連。第二隔離器6的輸出端通過第六段光纖502和合波元件7的第一端口a相連。合波元件7的第三端口c通過第三段光纖1303和光纖耦合器8的第一端口P1相連。光纖耦合器8的第三端口P3通過第四段光纖1304連接到準(zhǔn)直器15。由準(zhǔn)直器15射出的光束射向與準(zhǔn)直器15同光軸放置的部分反射元件16和被測物體17。光纖耦合器8的第二端口P2、第四端口P4分別通過第七、八段光纖801、802連接到光電轉(zhuǎn)換元件9和防反射元件12。光電轉(zhuǎn)換元件9的輸出與信號處理器11的第一輸入端口11a連接。第一驅(qū)動電源1和第二驅(qū)動電源3的輸出分別與信號處理器11的第三輸入端口11c與第二輸入端口11b連接。信號處理器11的輸出由數(shù)字顯示器10顯示。
信號處理器11的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如上述圖2所示，第一輸入端口11a分別連到第一乘法器的1101、第二乘法器1121、第三乘法器1110和第四乘法器1111。第三輸入端口11c連接到第五乘法器1102和第二乘法器1121。第五乘法器1102的輸出連接到第一乘法器1101。輸入與第一乘法器1101輸出相連的第一低通濾波器1103的輸出連接到第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器1104。輸入與第二乘法器1121輸出相連的第二低通濾波器1120的輸出連接到第二模數(shù)轉(zhuǎn)換器1119。兩個輸入分別與第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器1104和第二模數(shù)轉(zhuǎn)換器1119的輸出連接的第一存儲器1105的輸出分別連接到第七乘法器1118和減法器1114。第七乘法器1118的輸出連接到加法器1116的輸入。信號處理器的第二輸入端口11b分別連接到第六乘法器1109和第四乘法器1111。第三乘法器1110的另一個輸入端口與第六乘法器1109相連。輸入與第三乘法器1110輸出相連的第三低通濾波器1108的輸出連接到第三模數(shù)轉(zhuǎn)換器1107。輸入與第四乘法器1111輸出相連的第四低通濾波器1112的輸出連接到第四模數(shù)轉(zhuǎn)換器1113。兩個輸入分別與第三模數(shù)轉(zhuǎn)換器1107和第四模數(shù)轉(zhuǎn)換器1113的輸出連接的第二存儲器1106的輸出連接到減法器1114。減法器1114的輸出輸入到除法器1115，除法器1115輸出輸入到第八乘法器1117，第八乘法器1117的輸出輸入到加法器1116。
上面所說的第一光源13、第二光源5均是半導(dǎo)體激光器(也稱激光二極管，簡稱為LD)，均作為測量光源用，而且兩光源發(fā)射波長λ1、λ2不相等，即λ1≠λ2。
所說的第一驅(qū)動電源1提供直流、正弦交流信號給第一光源13。
所說的第二驅(qū)動電源3提供直流、正弦交流信號給第二光源5。
所說的第一溫度控制器18控制第一光源13的溫度，使第一光源13的溫度僅在±0.05℃的范圍內(nèi)變化。
所說的第二溫度控制器4控制第二光源5的溫度，使第二光源5的溫度僅在±0.05℃的范圍內(nèi)變化。
所說的第一、第二隔離器14、6是只能使光源13、5發(fā)射的光通過，而從光路中返回的光束不能通過，也就是說從光路中返回的光束射不到原發(fā)射光源13、5上。
所說的合波元件7是用來實(shí)現(xiàn)光束合路的光纖元件，可以是光纖耦合器、光纖復(fù)用器等。
所說的準(zhǔn)直器15是指使其出射光為平行光的光學(xué)元件。
所說的部分反射元件16是指可以使一部分入射光透射，一部分入射光反射回去的元件。其中一面不反射，或反射率很低(反射率R＜0.005)，或其反射光不會反射到光纖中。同時另一面的反射光可以反射回到光纖中，其反射率滿足(0.05＜R＜0.45)。
所說的光電轉(zhuǎn)換元件9是光電二極管，或是光電池等。
所說的防反射元件12是指其反射回到光纖耦合器8的光強(qiáng)比從部分反射元件16反射回到光纖耦合器8的光強(qiáng)小100倍以上的光纖元件，如光纖準(zhǔn)直器、端面為近似8度角的光纖連接器、或者直接將光纖末端浸入匹配液中。
所說的數(shù)字顯示器10能夠以數(shù)字顯示輸入信號的數(shù)值。
所說的觸發(fā)控制器2使第一驅(qū)動電源1產(chǎn)生的正弦信號頻率為第二驅(qū)動電源3的整數(shù)倍，同時使第二驅(qū)動電源3的交流信號和第一驅(qū)動電源1的初始相位均為零。
所說的信號處理器11是指通過處理光電轉(zhuǎn)換元件9、第一驅(qū)動電源1與第二驅(qū)動電源3的輸出信號，獲得部分反射元件16和被測物體17之間光程差的信號處理電路。如圖2所示。
信號處理器11中所說的第一乘法器1101、第二乘法器1121、第三乘法器1110、第四乘法器1111、第五乘法器1102與第六乘法器1109均為模擬乘法器。
信號處理器11中所說的減法器1114、第七乘法器1118、第八乘法器1117、除法器1115與加法器1116均為數(shù)字電路模塊(已商業(yè)化)。
信號處理器11中所說的第一低通濾波器1103、第二低通濾波器1120、第三低通濾波器1108、第四低通濾波器1112均為四階以上的低通濾波器。
信號處理器11中所說的第一存儲器1105與第二存儲器1106是只讀存儲器(ROM)或隨機(jī)存儲器(RAM)。
如上述圖1所示的結(jié)構(gòu)，帶有第一驅(qū)動電源1和第一溫度控制器18的第一光源13發(fā)出的光通過光纖1301入射到第一隔離器14。由第一隔離器14的出射光通過光纖1302入射到合波元件7的第二端口b。通過觸發(fā)控制器2控制第二驅(qū)動電源3，帶有第二驅(qū)動電源3和第二溫度控制器4的第二光源5發(fā)出的光通過光纖501入射到第二隔離器6。由第二隔離器6的出射光通過光纖502入射到合波元件7的第一端口a。經(jīng)合波元件7第三端口c出射后，再通過光纖1303入射到光纖耦合器8的第一端口P1。從光纖耦合器8的第四端口P4出射光通過光纖1303入射到防反射元件12后射出。防反射元件12的作用就是防止此處有光反射返回到光路中。從光纖耦合器8的第三端口P3出射光通過光纖1304入射到準(zhǔn)直器15。經(jīng)準(zhǔn)直器15準(zhǔn)直后的出射光入射到部分反射元件16上，由部分反射元件16透射的光射到被測物體17上再反射回來，其反射回來的光和部分反射元件16上未透過的反射光產(chǎn)生干涉，干涉信號光再通過準(zhǔn)直器15和光纖1304進(jìn)入光纖耦合器8，從光纖耦合器8的第二端口P2出射，通過光纖后801由光電轉(zhuǎn)換元件9轉(zhuǎn)換成電信號輸入到信號處理器11的第一輸入端口11a。第一驅(qū)動電源1和第二驅(qū)動電源3的輸出分別輸入到信號處理器11的第三輸入端口11c和第二輸入端口11b。信號處理器11處理部分反射元件16與被測物體17產(chǎn)生的干涉信號，得到光程差，光程差由數(shù)字顯示器10顯示，根據(jù)數(shù)字顯示器10上的光程差可以得到被測物體17移動的位移。
具體的過程描述是向第一光源13和第二光源5注入電流后，其波長分別為λ1(t)＝λ01+β1Δi1(t)， (1)λ2(t)＝λ02+β2Δi2(t)， (2)β1、β2為比例常數(shù)，λ01、λ02為對應(yīng)于驅(qū)動電流直流分量的中心波長。Δi1(t)、Δi2(t)為驅(qū)動電流的交流分量，表示為Δi1(t)＝α1cos(ωc1t+θ1)，(3)Δi2(t)＝α2cos(ωc2t+θ2)，(4)其中ωc1、ωc2分別為第一光源13和第二光源5的正弦相位調(diào)制的角頻率，t為光源調(diào)制的時間，θ1、θ2為第一光源13和第二光源5的正弦相位調(diào)制的初始相位，α1、α2為驅(qū)動電流交流分量的幅度。
光電轉(zhuǎn)換元件9檢測到的干涉信號為S(t)＝IB(t)+IM1(t)cos[z1cos(ωc1t+θ1)+α01]+IM2(t)cos[z2cos(ωc2t+θ2)+α02],---(5)]]>其中IB(t)為干涉信號的背景強(qiáng)度，LM1(t)、IM2(t)分別為兩光源13、5的調(diào)制強(qiáng)度。z1、z2為干涉信號相位調(diào)制深度，根據(jù)在先技術(shù)[1]，部分反射元件16與被測物體17之間的光程差為Δl＝(α01-α02)λe/2π，(6)式中λe＝|λ01λ02/(λ01-λ02)| (7)為合成波長。
如上述圖2所示，光電轉(zhuǎn)換元件9的信號輸入到信號處理器11后，分別進(jìn)入第一乘法器1101、第二乘法器1121、第三乘法器1110和第四乘法器1111。來自第一驅(qū)動電源1的信號進(jìn)入第五乘法器1102和第二乘法器1121。第一乘法器1101的輸出信號經(jīng)過第一低通濾波器1103和第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器1104后得到數(shù)字化的cosα01，類似地，從第二模數(shù)轉(zhuǎn)換器1119的輸出得到數(shù)字化的sinα01，根據(jù)相應(yīng)的cosα01和sinα01值，從第一存儲器1105得到λeα01/2π的值。同樣地，從第二存儲器1106的輸出得到λeα02/2π的值。第一存儲器1105和第二存儲器1106的輸出輸入到減法器1114相減，得到光程差Δl的粗略值。第一存儲器1105的輸出經(jīng)過第七乘法器1118后得到λ01α01/2π。減法器1114的輸出經(jīng)過除法器1115后得到滿足mλ01≤Δl＜(m+1)λ01的整數(shù)m值，再經(jīng)過第八乘法器1117得到mλ01，第七乘法器1118和第八乘法器1117的輸出經(jīng)過加法器1116后得到所求的光程差，Δl＝mλ01+λ01α01/2π， (8)并由數(shù)字顯示器10顯示其數(shù)值，由于上式中等號右邊的第一項(xiàng)能達(dá)到小于1nm的精度，第二項(xiàng)能達(dá)到幾個納米的精度，因此光程差的測量精度為幾個納米。
如果物體沿光軸由位置一移動到位置二，測得的光程差分別為Δl1、Δl2，則被測物體17的位移就可以根據(jù)數(shù)字顯示器10的兩次顯示數(shù)值之差求出，即d12＝(Δl2-Δl1)/2 (9)這樣我們就以幾個納米的精度求出了物體的位移。
若采用波長分別為785nm和780nm的LD，合成波長λe為122.46μm，位移的測量范圍為61.23μm；若采用波長分別為1305.0nm和1308.0nm的LD，位移的測量范圍為284.49μm，而測量精度均為幾個納米。與在先技術(shù)[1]相比，測量范圍也擴(kuò)大的前提下，測量精度大大提高了。而且測量不再需要計(jì)算機(jī)。
本發(fā)明與在先技術(shù)相比，具有顯著的特點(diǎn)1)、與在先技術(shù)相比，本發(fā)明的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀，在測量范圍相同的情況下，測量精度提高了兩個數(shù)量級，達(dá)到小于10納米。
2)、與在先技術(shù)相比，本發(fā)明的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀，采用信號處理器11實(shí)現(xiàn)所有運(yùn)算，省卻了計(jì)算機(jī)，可以實(shí)時得到測量結(jié)果。
3)、與在先技術(shù)相比，本發(fā)明的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀，采用觸發(fā)控制器2實(shí)現(xiàn)兩個光源的正弦調(diào)制有相同的初始相位，保證相位α01和α02的測量精度。


圖1為本發(fā)明的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀中信號處理器11的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示的結(jié)構(gòu)。通過控制觸發(fā)控制器2使第一光源13與第二光源5正弦相位調(diào)制角頻率的比值ωc1/ωc2＝10。其中第一光源13和第二光源5采用波長分別為λ1＝1305.0nm和λ2＝1308.0nm的分布反饋半導(dǎo)體激光器(DFB-LD)，合成波長λe為568.98ìm。光電轉(zhuǎn)換元件9為光電二極管。防反射元件12為光纖連接器。合波元件7為光纖耦合器。光纖耦合器8的分束比為1∶1。部分反射元件12的反射率為27％。開始測量時，首先打開第一光源13和第二光源5，并用第一溫度控制器18和第二溫度控制器4分別使第一光源13和第二光源5的溫度穩(wěn)定。通過調(diào)節(jié)第一驅(qū)動電源1和第二驅(qū)動電源3的正弦交流信號的幅度使得z1＝z2＝2.34rad時，求得的位移的精度最高。當(dāng)被測物體17在位置1時，數(shù)字顯示器10上的數(shù)值為Δl1＝2128nm，當(dāng)被測物體17在位置2時，數(shù)字顯示器10上的數(shù)值為Δl2＝2543nm，則根據(jù)上述式(9)可以求出被測物體17的位移為207.5nm。
權(quán)利要求
1.一種雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀，包括<1>帶有第一驅(qū)動電源(1)和第一溫度控制器(18)的第一光源(13)發(fā)射的光束通過第一段光纖(1301)射入第一隔離器(14)內(nèi)，由第一隔離器(14)出射后，通過第二段光纖(1302)由合波元件(7)的第二端口b射入，從合波元件(7)的第三端口(c)射出后，再通過第三段光纖(1303)由光纖耦合器(8)的第一端口(P1)射入，從光纖耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，再通過第四段光纖(1304)，經(jīng)過準(zhǔn)直器(15)準(zhǔn)直，透過部分反射元件(16)射到被測物體(17)上；<2>由光纖耦合器(8)第二端口(P2)出射的光束經(jīng)過第七段光纖(801)射到光電轉(zhuǎn)換元件(9)上，由光纖耦合器(8)第四端口(P4)出射的光束經(jīng)過第八段光纖(802)射到防反射元件(12)上；其特征在于<3>有波長λ2不等于第一光源(13)的波長λ1的帶有第二驅(qū)動電源(3)和第二溫度控制器(4)的第二光源(5)，由第二光源(5)發(fā)射的光束通過第五段光纖(501)，經(jīng)過第二隔離器(6)，再經(jīng)過第六段光纖(502)由合波元件(7)的第一端口(a)射入，同樣從合波元件(7)的第三端口(c)射出后，再通過第三段光纖(1303)由光纖耦合器(8)的第一端口(P1)射入，從光纖耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，再通過第四段光纖(1304)，經(jīng)過準(zhǔn)直器(15)準(zhǔn)直，透過部分反射元件(16)射到被測物體(17)上；<4>第一驅(qū)動電源(1)和第二驅(qū)動電源(3)之間連接有觸發(fā)控制器(2)；<5>有包含三個輸入端口(11a、11b、11c)和一個輸出端口(11d)的信號處理器(11)，信號處理器(11)的第一輸入端口(11a)與光電轉(zhuǎn)換元件(9)的輸出端相連，信號處理器(11)的第二輸入端口(11b)與第二驅(qū)動電源(3)相連，信號處理器(11)的第三輸入端口(11c)與第一驅(qū)動電源(1)相連，信號處理器(11)的輸出端口(11d)連接到數(shù)字顯示器(10)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀，其特征在于所說的信號處理器(11)的結(jié)構(gòu)包括，信號處理器(11)的第一輸入端口(11a)分別與第一乘法器(1101)、第二乘法器(1121)、第三乘法器(1110)和第四乘法器(1111)相連，其中第一乘法器(1101)與第一低通濾波器(1103)和第一模數(shù)轉(zhuǎn)換器(1104)串聯(lián)后接入第一存儲器(1105)內(nèi)，第二乘法器(1121)與第二低通濾波器(1120)和第二模數(shù)轉(zhuǎn)換器(1119)串聯(lián)后接入第一存儲器(1105)內(nèi)，第三乘法器(1110)與第三低通濾波器(1108)和第三模數(shù)轉(zhuǎn)換器(1107)串聯(lián)后接入第二存儲器(1106)內(nèi)，第四乘法器(1111)與第四低通濾波器(1112)和第四模數(shù)轉(zhuǎn)換器(1113)串聯(lián)后接入第二存儲器(1106)內(nèi)；信號處理器(11)的第二輸入端口(11b)分別與第四乘法器(1111)和第六乘法器(1109)相連，其中第六乘法器(1109)與第三乘法器(1110)相連；信號處理器(11)的第三輸入端口(11c)分別與第二乘法器(1121)和第五乘法器(1102)相連，其中第五乘法器(1102)與第一乘法器(1101)相連；第一存儲器(1105)的輸出分別經(jīng)過第七乘法器(1118)連至加法器(1116)上和依次經(jīng)過減法器(1114)、除法器(1115)和第八乘法器(1117)連至加法器(1116)上；第二存儲器(1106)的輸出依次經(jīng)過減法器(1114)、除法器(1115)和第八乘法器(1117)連至加法器(1116)；加法器(1116)的輸出接入數(shù)字顯示器(10)內(nèi)。
全文摘要
一種雙波長納米精度實(shí)時干涉測量儀,適用于靜態(tài)位移的測量。包括兩個波長不相等的帶有驅(qū)動電源和溫度控制器的光源。光源發(fā)射光束的傳輸路徑全部在光纖、合波元件和光纖耦合器內(nèi)進(jìn)行。兩驅(qū)動電源之間連接有控制初始相位相同的觸發(fā)控制器。光電轉(zhuǎn)換元件將接收到的干涉信號轉(zhuǎn)換成電信號輸入到信號處理器內(nèi)。信號處理器的另外兩個輸入端口分別與兩個驅(qū)動電源相連。經(jīng)信號處理器處理的數(shù)據(jù)顯示在數(shù)字顯示器上。與在先技術(shù)相比,本發(fā)明能夠?qū)崟r得到測量結(jié)果,測量精度比在先技術(shù)提高兩個數(shù)量級,達(dá)到小于10納米。
文檔編號G01B11/04GK1384332SQ02112079
公開日2002年12月11日 申請日期2002年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月14日
發(fā)明者王學(xué)鋒, 王向朝, 劉英明, 錢鋒 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所