專利名稱：電子部件的特性測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子部件的特性測(cè)量裝置，尤其涉及用于保持待測(cè)量其電特性的電子部件的保持器的結(jié)構(gòu)改善。
背景技術(shù)：
美國(guó)專利No.5842579揭示了一種影響本發(fā)明的已知電子部件特性測(cè)量裝置。圖9示意性地示出這種已知電子部件特性測(cè)量裝置的主要部分。
參考圖9，特性測(cè)量裝置1用來(lái)測(cè)量具有第一和第二外部端子電極2和3位于第一和第二相對(duì)端處的片形電子部件4的特性。
特性測(cè)量裝置1包括保持件8，它具有用來(lái)接納電子部件4的接納腔5并保持電子部件4使其具有第一和第二外部端子電極2和3指向接納腔5的第一和第二相對(duì)開口端6和7。
特性測(cè)量裝置1還包括第一和第二測(cè)量端子9和10，它們?cè)O(shè)置在接納腔5的第一和第二開口端6和7處，從而與電子部件4的第一和第二外部端子電極2和3接觸。第一測(cè)量端子9由例如片簧制成以便與第一外部端子電極2彈性接觸。第二測(cè)量端子10例如呈塊狀，并固定地設(shè)置。
保持件8通常呈圓盤狀，且多個(gè)接納腔5分布在其圓周方向上。每個(gè)接納腔5接納一個(gè)電子部件4。因此，應(yīng)理解，僅部分保持件8在圖9中示出。
旋轉(zhuǎn)圓盤狀保持件8。在通路的預(yù)定位置上將電子部件4放入接納腔5內(nèi)，其中通過(guò)保持件8的旋轉(zhuǎn)使得接納腔5沿所述通路移動(dòng)。接著，保持在接納腔5中的電子部件4在第一和第二測(cè)量端子9和10之間移動(dòng)，第一和第二測(cè)量端子9和10與第一和第二外部端子電極2和3接觸以測(cè)量電子部件4的電特性。此后，電子部件4從接納腔中彈出。在這種情況中，根據(jù)測(cè)量的電特性，例如根據(jù)電特性是否良好而將電子部件4分類。
實(shí)際上，當(dāng)用上述特性測(cè)量這種1找出電子部件4的靜電電容時(shí)，在以下過(guò)程中將其找到以便增加精度。
首先，測(cè)量特性測(cè)量裝置1中設(shè)置的諸如測(cè)量端子9和10以及電纜(未示出)之類的電元件給出的電寄生部分。接著，測(cè)量電子部件4的靜電電容。所測(cè)量的靜電電容是包括電寄生部分的值。通過(guò)將電寄生部分從所測(cè)量的靜電電容中減去而獲得的值被認(rèn)為是電子部件4的靜電電容。
因此，當(dāng)預(yù)先測(cè)量的電寄生部分和實(shí)際測(cè)試電子部件4時(shí)獲得的電寄生部分之間存在差異時(shí)，該差異包含在所找出的靜電電容中作為誤差。
上述電寄生部分包括測(cè)量端子9和10之間的雜散電容。圖9中，產(chǎn)生雜散電容的電力線11由虛線箭頭示意性地示出。當(dāng)電子部件4的尺寸減小以及第一和第二測(cè)量端子9和10之間的距離由此減少時(shí)，并當(dāng)?shù)谝缓偷诙y(cè)量端子9和10之間的相對(duì)區(qū)域減小時(shí)，雜散電容變得不可以忽略。
在這種條件下存在電子部件4的尺寸變化時(shí)，由于尺寸變化使得雜散電容變化。結(jié)果，在測(cè)量特性時(shí)獲得的電寄生部分和預(yù)先測(cè)量的電寄生部分之間形成差異，且該差異變化。由此產(chǎn)生的誤差包含在所測(cè)量的靜電電容中。
類似問(wèn)題不僅在測(cè)量靜電電容時(shí)碰到，也在測(cè)量其它電特性時(shí)碰到。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種電子部件特性測(cè)量裝置，它能克服上述問(wèn)題并可以更加精確地測(cè)量電特性。
發(fā)明概述簡(jiǎn)單地說(shuō)，本發(fā)明針對(duì)使要測(cè)量其電特性的電子部件附近寄生的雜散電容最小化，并由此使電子部件的尺寸變化導(dǎo)致的測(cè)量誤差最小化。
更特別地，本發(fā)明針對(duì)一種電子部件特性測(cè)量裝置，它用于測(cè)量具有第一和第二外部端子電極位于其第一和第二相對(duì)端處的片形電子部件的電特性，所述電子部件特性測(cè)量裝置包括保持件，具有用于接納電子部件的至少一個(gè)接納腔，并保持具有第一和第二外部端子電極指向接納腔的第一和第二相對(duì)開口端的電子部件；和第一和第二測(cè)量端子，置于接納腔的第一和第二開口端處以便與電子部件的第一和第二外部端子電極接觸。為了克服上述技術(shù)問(wèn)題，電子部件特性測(cè)量裝置具有以下特點(diǎn)。
即，所述保持件具有由導(dǎo)電材料制成并在第一和第二測(cè)量端子之間延伸的屏蔽層，而所述屏蔽層電連接到測(cè)量基準(zhǔn)電位。
如上所述，通過(guò)設(shè)置具有屏蔽層的保持件，提供雜散電容的電力線由電子部件附近的屏蔽層阻斷，從而可以降低雜散電容。
本發(fā)明中，保持件優(yōu)選具有多個(gè)接納腔，它們每個(gè)都接納一個(gè)電子部件，所述保持件以及第一和第二測(cè)量端子相對(duì)于彼此可移動(dòng)的，從而第一和第二測(cè)量端子連續(xù)地與接納腔中接納的電子部件的第一和第二外部端子電極接觸。從而可以有效進(jìn)行測(cè)量多個(gè)電子部件的電特性的過(guò)程。
在上述較佳實(shí)施例中，保持件優(yōu)選呈圓盤狀，多個(gè)接納腔分布在保持件的圓周方向上，且第一和第二測(cè)量端子通過(guò)保持件的旋轉(zhuǎn)而連續(xù)地與接納腔中接納的電子部件的第一和第二外部端子電極接觸。因此，可以在保持件沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)時(shí)連續(xù)進(jìn)行測(cè)量電子部件的特性的步驟。
在上述較佳實(shí)施例中，多個(gè)第一和第二測(cè)量端子分布在保持件的圓周方向上。根據(jù)這個(gè)特點(diǎn)，用于測(cè)量電特性的測(cè)量部分可以設(shè)置在保持件內(nèi)的多個(gè)位置處，且測(cè)量電特性的步驟可以在多個(gè)測(cè)量部分處同時(shí)進(jìn)行。在多個(gè)測(cè)量部分處測(cè)量相同類的電特性時(shí)，可以有效地進(jìn)行測(cè)量電特性的過(guò)程。在多個(gè)測(cè)量部分處測(cè)量不同類型的電特性時(shí)，它們可以采用將電子部件保持在保持件中的狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)量。
在上述后者的情況中，其中測(cè)量多種類型的電特性，優(yōu)選將屏蔽層分成保持件的圓周方向上分布的多個(gè)部分，且至少一個(gè)接納腔設(shè)置在屏蔽層的每個(gè)分開的部分中。這是因?yàn)槭┘拥蕉鄠€(gè)部分的屏蔽層上的測(cè)量基準(zhǔn)電位可以根據(jù)被測(cè)電特性的種類而彼此不同。
在保持件與第一和第二測(cè)量端子可以彼此相對(duì)地移動(dòng)的情況中，第一和第二測(cè)量端子中的至少一個(gè)優(yōu)選具有滾筒，它在滾動(dòng)時(shí)與相對(duì)應(yīng)的一個(gè)外部端子電極接觸。這使得測(cè)量端子平滑地接觸外部端子電極。
在保持件與第一和第二測(cè)量端子可以相對(duì)彼此地移動(dòng)的情況中，保持件優(yōu)選具有與屏蔽層電連接的暴露的屏蔽導(dǎo)電表面，而屏蔽端子還設(shè)置成與屏蔽導(dǎo)電表面接觸以便施加測(cè)量基準(zhǔn)電位。保持件移動(dòng)期間，測(cè)量基準(zhǔn)電位可以從屏蔽端子通過(guò)屏蔽導(dǎo)電表面施加到屏蔽層。
在上述實(shí)施例中，當(dāng)屏蔽導(dǎo)電表由偶部分屏蔽層構(gòu)成時(shí)，無(wú)需設(shè)置特殊的屏蔽導(dǎo)電表面，且可以阻止保持件的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，用于測(cè)量電特性的保持件具有在第一和第二測(cè)量端子間延伸的屏蔽層。由于屏蔽層鏈接到測(cè)量基準(zhǔn)電位，第一和第二測(cè)量端子之間產(chǎn)生的電力線可以由屏蔽層阻斷。為此，可以降低第一和第二測(cè)量端子之間寄生的雜散電容。結(jié)果，可以降低由于電子部件的尺寸變化引起的雜散電容變化而導(dǎo)致的電特性的測(cè)量誤差。
因此，可以以更高的精度測(cè)量電子部件的電特性。結(jié)果，可以加寬根據(jù)電特性將合格的電子部件分類的范圍，并可預(yù)見(jiàn)合格電子部件的比例的增加。
本發(fā)明中，當(dāng)保持件具有每個(gè)都接納一個(gè)電子部件的多個(gè)接納腔，且保持件以及第一和第二測(cè)量端子相對(duì)彼此可移動(dòng)從而第一和第二測(cè)量端子連續(xù)地與接納腔中保持的電子部件的第一和第二外部端子電極接觸時(shí)，可以有效地進(jìn)行多個(gè)電子部件的特性測(cè)量過(guò)程。
在上述情況中，當(dāng)保持件呈圓盤狀時(shí)，接納腔分布在保持件的圓周方向上，且第一和第二測(cè)量端子通過(guò)保持件的旋轉(zhuǎn)而連續(xù)地與接納腔中保持的電子部件的第一和第二外部端子電極接觸，可以連續(xù)地進(jìn)行將電子部件插入接納腔的步驟、在接納腔中測(cè)量電子部件的電特性的步驟和將電子部件從接納腔中彈出的步驟，同時(shí)在一個(gè)方向上旋轉(zhuǎn)保持件，并可以更有效地進(jìn)行特性測(cè)量過(guò)程。
在上述情況中，通過(guò)將多個(gè)第一和第二測(cè)量端子成對(duì)地排列和分布在保持件的圓周方向上，可以在多個(gè)位置同時(shí)進(jìn)行特性測(cè)量過(guò)程。
在上述情況中，沿保持件的圓周方向?qū)⑵帘螌臃殖啥鄠€(gè)部分且至少一個(gè)接納腔設(shè)置在屏蔽層的每個(gè)分開的部分中時(shí)，可以同時(shí)進(jìn)行測(cè)量多種類型的電特性的步驟，同時(shí)改變或變化施加到多個(gè)部分的屏蔽層上的測(cè)量基準(zhǔn)電位。
在保持件以及第一和第二測(cè)量端子相對(duì)彼此可移動(dòng)的情況中，當(dāng)?shù)谝缓偷诙y(cè)量端子中的至少一個(gè)具有滾動(dòng)時(shí)與外部端子電極中的相應(yīng)一個(gè)接觸的滾筒時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量端子和外部端子電極的平滑接觸狀態(tài)。
在保持件是可移動(dòng)的情況中，當(dāng)電連接到屏蔽層的屏蔽導(dǎo)電表面從保持件上暴露時(shí)，通過(guò)使屏蔽端子與屏蔽導(dǎo)電表面接觸可以將測(cè)量基準(zhǔn)電位施加到屏蔽層上，而不管保持件的移動(dòng)。
附圖概述

圖1是剖視圖，為了說(shuō)明本發(fā)明的原理示出電子部件特性測(cè)量裝置13的主要部分。
圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的電子部件特性測(cè)量裝置21中的保持件22，以及第一測(cè)量端子28和屏蔽端子35的平面圖。
圖3包括圖2所示的電子部件特性測(cè)量裝置21中設(shè)置的第一和第二測(cè)量端子28和29以及屏蔽端子35的放大前視圖，以及保持件22的部分放大剖視圖。
圖4包括第一和第二測(cè)量端子28和29的放大前視圖和保持件22的部分放大視圖用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施例。
對(duì)應(yīng)于圖4，圖5是說(shuō)明本發(fā)明第三實(shí)施例的視圖。
對(duì)應(yīng)于圖4，圖6是說(shuō)明本發(fā)明第四實(shí)施例的視圖。
圖7包括屏蔽端子35的放大前視圖和保持件22的外部周邊部分的放大剖視圖用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第五實(shí)施例。
圖8是保持件22a的平面圖用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第六實(shí)施例。
圖9是剖視圖，示出影響本發(fā)明的已知電子部件特性測(cè)量裝置1的主要部分。
具體實(shí)施例方式
為了說(shuō)明本發(fā)明的原理，圖1示出根據(jù)本發(fā)明的電子部件特性測(cè)量裝置13的主要部分，并對(duì)應(yīng)于圖9。圖1中，與圖9中的元件相對(duì)應(yīng)的元件由相同的標(biāo)號(hào)表示，省略其重復(fù)描述。
圖1所示的特性測(cè)量裝置13的特點(diǎn)在于，用于保持電子部件4的保持件14的結(jié)構(gòu)。即，保持件14具有導(dǎo)電材料制成并在第一和第二測(cè)量端子9和10之間延伸的屏蔽層15。該屏蔽層15電連接測(cè)量基準(zhǔn)電位16。
圖1中，給出雜散電容(stray capacitance)的電力線11由虛線箭頭示出，類似于圖9中的方式。
第一和第二測(cè)量端子9和10之間產(chǎn)生的電力線11由屏蔽層15阻斷，從而僅保留通過(guò)電子部件4的線。因此，減少了電子部件4附近寄生的雜散電容。為此，可以抑制由于電子部件4的尺寸變化引起的雜散電容的變化。結(jié)果，可以進(jìn)一步降低諸如靜電電容的電特性的測(cè)量誤差。
以下將描述本發(fā)明的更特殊的實(shí)施例。
為了說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施例，圖2和3示出電子部件特性測(cè)量裝置21的主要部分。圖2是設(shè)置在特性測(cè)量裝置21內(nèi)的保持件22的平面圖，而圖3是保持件22的部分放大的剖視圖。
特性測(cè)量裝置21處理具有第一和第二外部端子電極2和3的片形電子部件4，所述端子電極以圖1和9中所示的電子部件4中同樣的方式分別設(shè)置在第一和第二相對(duì)端處。
保持件22呈圓盤狀，如圖2所示。保持件22包括多個(gè)接納腔23，它們每個(gè)都接納一個(gè)電子部件4。多個(gè)接納腔23沿保持件22的圓周方向分布。雖然未示出，但必要時(shí)接納腔23可以以多列排列。
軸接納孔24設(shè)置在保持件22的中間。通過(guò)接納于其間的軸(未示出)的旋轉(zhuǎn)傳送，旋轉(zhuǎn)保持件22，如箭頭25所示。通常情況下保持件22是間歇性旋轉(zhuǎn)的。
在一通路上，將電子部件4放入接納腔23內(nèi)預(yù)定位置處，其中通過(guò)上述保持件22的旋轉(zhuǎn)沿所述路徑移動(dòng)接納腔23。如圖3所示，電子部件4保持在接納腔23中，并處于第一和第二外部端子電極2和3置于接納腔23的第一和第二相對(duì)開口端26和27處的狀態(tài)。
特性測(cè)量裝置21具有第一和第二測(cè)量端子28和29，它們?cè)O(shè)置成與電子部件4的第一和第二外部端子電極2和3接觸并處于接納腔23的第一和第二開口端26和27處。通過(guò)保持件22的旋轉(zhuǎn)，第一和第二測(cè)量端子28和29順序地與接納腔23中保持的電子部件4的第一和第二端子電極2和3接觸。在這種狀態(tài)中，進(jìn)行測(cè)試電子部件4的所需電特性的過(guò)程。
在用保持件22的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)電子部件4之后，它們從接納腔23彈出。在這種情況中，根據(jù)測(cè)量的電特性，例如根據(jù)電特性是否良好將電子部件4分類。
在該實(shí)施例中，第一和第二測(cè)量端子28和29分別有滾筒30和31，它們滾動(dòng)時(shí)與第一和第二外部端子電極30和31接觸。這些滾筒30和31允許與電子部件4的外部端子電極2和3的平滑接觸，其中所述電極2和3通過(guò)保持件22的旋轉(zhuǎn)而移動(dòng)。
如圖3中部分示出的，固定的底部32設(shè)置在保持件22下用來(lái)接納在接納腔4中保持的電子部件4，從而電子部件4不會(huì)跌落。當(dāng)接納腔23具有阻止電子部件4跌落的形狀時(shí)無(wú)需固定的底部32。
保持件22具有第一和第二測(cè)量端子28和29之間延伸的屏蔽層33。屏蔽層33由諸如銅、其合金或其它金屬的導(dǎo)電材料組成。例如，保持件22的總厚度設(shè)為約500μm，而屏蔽層33的厚度設(shè)為約35μm，雖然厚度根據(jù)被處理的電子部件4的尺寸而變化。
屏蔽層33以外的部分保持件22由電絕緣材料組成。例如，電絕緣材料包括諸如環(huán)氧玻璃樹脂或酚醛塑料的樹脂或諸如氧化鋯的陶瓷?？紤]到保持件22的耐久性、耐磨性和成本，特別優(yōu)選適用環(huán)氧玻璃樹脂。
電連接到屏蔽層33的屏蔽導(dǎo)電表面34設(shè)置在保持件22的內(nèi)周邊側(cè)上。在該實(shí)施例中，屏蔽導(dǎo)電表面34是屏蔽層33的一部分。屏蔽端子35設(shè)置為與屏蔽導(dǎo)電表面34接觸。將測(cè)量基準(zhǔn)電位施加到屏蔽端子35。因此，屏蔽層33通過(guò)屏蔽端子35與屏蔽導(dǎo)電表面34的接觸而電連接到測(cè)量基準(zhǔn)電位。
在該實(shí)施例中，屏蔽端子35具有滾筒36，它滾動(dòng)時(shí)與屏蔽導(dǎo)電表面34接觸。滾筒36允許屏蔽端子35平滑地接觸屏蔽導(dǎo)電表面34，該屏蔽導(dǎo)電表面34隨保持件22的旋轉(zhuǎn)而移動(dòng)。
如圖2所示，在將屏蔽導(dǎo)電表面34連續(xù)地設(shè)置在保持件22的圓周方向上時(shí)屏蔽端子35可以設(shè)置在任意位置，只要它與屏蔽導(dǎo)電表面34接觸。
如上所述，在特性測(cè)量裝置21中，第一和第二測(cè)量端子28和29之間產(chǎn)生的電力線由屏蔽層33有利地阻斷，從而僅保留通過(guò)電子部件4的電力線。因此，降低了靠近電子部件4的寄生的雜散電容。為此，可以降低由于電子部件4的尺寸變化引起的電特性的測(cè)量誤差，并可以以較高的精度測(cè)量電特性。
可以測(cè)量各種電特性。當(dāng)電子部件4是電容器時(shí)，除了上述靜電電容，還可以測(cè)量諸如絕緣電阻的電特性。當(dāng)電子部件4是芯片電阻器時(shí)，可以測(cè)量諸如電阻的電特性。當(dāng)電子部件4是芯片電感器時(shí)，可以測(cè)量諸如電感的電特性。
以下將描述本發(fā)明的其它實(shí)施例。
圖4、5和6示出本發(fā)明的第二、第三和第四實(shí)施例中的測(cè)量端子的修改。圖4到6中，與圖3中元件對(duì)應(yīng)的那些元件由相同標(biāo)號(hào)表示，并省略其重復(fù)描述。
在圖4所示的第二實(shí)施例中，第一測(cè)量端子28由片簧制成。其它結(jié)構(gòu)基本類似于第一實(shí)施例中的那些。
作為圖4所示的第二實(shí)施例的修改，第二測(cè)量端子29可以由片簧制成，而第一測(cè)量端子28具有滾筒30?；蛘?，第一和第二測(cè)量端子28和29都可以由片簧制成。
在圖5所示的第三實(shí)施例中，第二測(cè)量端子29呈塊狀。較佳地，塊狀測(cè)量端子29具有如圖2楔形面38。
作為圖5所示的第三實(shí)施例的修改，第一測(cè)量端子28可以呈塊狀而第二測(cè)量端子29可以具有滾筒31?；蛘撸谝缓偷诙y(cè)量端子28和29都可以呈塊狀。
在圖6所示的第四實(shí)施例中，第一測(cè)量端子28由針探測(cè)器構(gòu)成。
作為圖6所示的第四實(shí)施例的修改，第二測(cè)量端子29可以由針探測(cè)器構(gòu)成，而第一測(cè)量端子28可以具有滾筒30?；蛘撸谝缓偷诙y(cè)量端子28和29都可以由針探測(cè)器構(gòu)成。
雖然沒(méi)有說(shuō)明性示出，例如，可以組合由片簧制成的測(cè)量端子和塊狀測(cè)量端子，或可以組合由針探測(cè)器組成的測(cè)量端子和塊狀測(cè)量端子。
圖7說(shuō)明本發(fā)明的第五實(shí)施例。圖7中，與圖3中元件相對(duì)應(yīng)的元件由相同標(biāo)號(hào)表示，并省去其重復(fù)描述。
圖7示出呈圓盤狀的保持件22的外部周邊部分。電連接到屏蔽層33的屏蔽導(dǎo)電表面34暴露于保持件22的外部周邊表面上。另一方面，放置屏蔽端子35以便與屏蔽導(dǎo)電表面34接觸，從而滾筒36滾動(dòng)時(shí)與保持件22的外部周邊表面接觸。
在關(guān)于屏蔽端子35的以上放置的另一個(gè)實(shí)例中，雖然未說(shuō)明性地示出，參考圖3，屏蔽導(dǎo)電表面34可以設(shè)置在保持件22的下側(cè)上且屏蔽端子35可以置于保持件22的下側(cè)上。
在關(guān)于屏蔽端子35的形狀的另一個(gè)實(shí)例中，屏蔽端子35可以和圖4所示的第一測(cè)量端子28一樣由片簧制成，或如圖5所示的第二測(cè)量端子29一樣呈塊狀。
圖8是保持件22a的平面圖，用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第六實(shí)施例。圖8中，與圖2中元件對(duì)應(yīng)的元件由相同的標(biāo)號(hào)表示，并省略其重復(fù)描述。
在圖8所示的保持件22a中，屏蔽層33分成多個(gè)部分，它們分布在保持件22a的圓周方向上。至少一個(gè)接納腔23設(shè)置在屏蔽層33的每個(gè)分開的部分內(nèi)。
在該實(shí)施例中，優(yōu)選將多個(gè)第一和第二測(cè)量端子28和29對(duì)(其位置僅由一點(diǎn)鏈圓示出)分布在保持件22a的圓周方向上。還優(yōu)選對(duì)應(yīng)于第一和第二測(cè)量端子28和29對(duì)設(shè)置屏蔽端子35，如其位置僅由一點(diǎn)鏈圓示出。
在該實(shí)施例中，在電子部件4保持在保持件22a中的狀態(tài)中，在根據(jù)電特性的種類改變或變化測(cè)量基準(zhǔn)電位時(shí)，可以測(cè)量電子部件4的多種類型的電特性。
在可以使用共用測(cè)量基準(zhǔn)電位測(cè)量多種類型的電特性的情況中，不需要將屏蔽層33分成多個(gè)部分，如圖8所示，且多個(gè)第一和第二測(cè)量端子28和29對(duì)分布在保持件22a的圓周方向上。在這種情況中，當(dāng)不測(cè)量多種類型的電特性而測(cè)量同樣類型的電特性時(shí)，可以更有效地進(jìn)行電特性的這種測(cè)量。
在結(jié)合所示實(shí)施例描述了本發(fā)明時(shí)，各種修改可以在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
例如，在如以上所示的實(shí)施例中保持件22和22a呈圓盤狀并可旋轉(zhuǎn)時(shí)，保持件可以是可轉(zhuǎn)化的。
當(dāng)保持件有多個(gè)接納腔時(shí)，在上述實(shí)施例中可以將其移動(dòng)以使第一和第二測(cè)量端子連續(xù)地與接納腔中保持的電子部件的第一和第二外部端子電極接觸。相反地，可以移動(dòng)第一和第二測(cè)量端子。
在上述實(shí)施例中保持件22和22a排列成接納腔23的開口端26和27指向垂直方向時(shí)，開口端26和27可以指向水平方向或斜方向。
測(cè)量基準(zhǔn)電位不總是限于零電位，并可以是特定電壓，這取決于電子部件的電特性。
產(chǎn)業(yè)應(yīng)用性如上所述，本發(fā)明的電子部件特性測(cè)量裝置適于精確地測(cè)試各種電子部件。
權(quán)利要求
1.一種電子部件特性測(cè)量裝置，用于測(cè)量在其第一和第二相對(duì)端處具有第一和第二外部端子電極的片形電子部件的電特性，其特征在于，所述裝置包括保持件，具有用于接納電子部件的至少一個(gè)接納腔，并保持電子部件使第一和第二外部端子電極指向接納腔的第一和第二相對(duì)開口端；和第一和第二測(cè)量端子，置于接納腔的第一和第二開口端處以便與電子部件的第一和第二外部端子電極接觸，其中所述保持件具有由導(dǎo)電材料制成并在第一和第二測(cè)量端子之間延伸的屏蔽層，所述屏蔽層電連接到測(cè)量基準(zhǔn)電位。
2.如權(quán)利要求1所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述保持件具有多個(gè)接納腔，它們每個(gè)都接納一個(gè)電子部件，所述保持件以及第一和第二測(cè)量端子可彼此相對(duì)移動(dòng)，從而第一和第二測(cè)量端子順序地與納腔中接納的電子部件的第一和第二外部端子電極接觸。
3.如權(quán)利要求2所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述保持件呈圓盤狀，多個(gè)接納腔分布在保持件的圓周方向上，且第一和第二測(cè)量端子通過(guò)保持件的旋轉(zhuǎn)而順序地與接納腔中接納的電子部件的第一和第二外部端子電極接觸。
4.如權(quán)利要求3所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，多個(gè)第一和第二測(cè)量端子分布在保持件的圓周方向上。
5.如權(quán)利要求4所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述屏蔽層分為在保持件的圓周方向上分布的多個(gè)部分，且至少一個(gè)接納腔設(shè)置在屏蔽層的每個(gè)分開的部分中。
6.如權(quán)利要求2到5中任一項(xiàng)所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一和第二測(cè)量端子中的至少一個(gè)具有滾筒，它在滾動(dòng)時(shí)與相對(duì)應(yīng)的一個(gè)外部端子電極接觸。
7.如權(quán)利要求2到5中任一項(xiàng)所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述保持件具有與屏蔽層電連接的暴露的屏蔽導(dǎo)電表面，而屏蔽端子還設(shè)置成與屏蔽導(dǎo)電表面接觸以便施加測(cè)量基準(zhǔn)電位。
8.如權(quán)利要求6所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述保持件具有與屏蔽層電連接的暴露的屏蔽導(dǎo)電表面，且屏蔽端子還設(shè)置成與屏蔽導(dǎo)電表面電接觸以便施加測(cè)量基準(zhǔn)電位。
9.如權(quán)利要求7所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述屏蔽導(dǎo)電表面是屏蔽層的一部分。
10.如權(quán)利要求8所述的電子部件特性測(cè)量裝置，其特征在于，所述屏蔽導(dǎo)電表面是屏蔽層的一部分。
全文摘要
提供了一種用于測(cè)量具有第一和第二外部電極位于第一和第二相對(duì)端處的片形電子部件的電特性的裝置。保持具有第一和第二外部端子電極2和3指向接納腔5的第一和第二開口端6和7的電子部件4的保持件14具有屏蔽層15，它在第一和第二測(cè)量端子9和10之間延伸，且所述屏蔽層15電連接到測(cè)量基準(zhǔn)電位16。屏蔽層15降低了電子部件4附近寄生的雜散電容，并降低了電子部件4的尺寸變化導(dǎo)致的測(cè)量誤差。
文檔編號(hào)G01R1/02GK1564949SQ0380117
公開日2005年1月12日 申請(qǐng)日期2003年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月25日
發(fā)明者笹岡嘉一 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所