專利名稱：識別透明材料中的缺陷的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及如獨立權(quán)利要求前序部分所述的、識別透明材料中的缺陷的方法和裝置。本發(fā)明用于確定透明材料的光學質(zhì)量并且識別透明材料中的缺陷，確切地說，透明材料固體材料且尤其是玻璃或塑料如聚氯乙烯(PVC)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)或其它透明的熱固材料、彈性體或熱塑材料。本發(fā)明尤其最好被用來檢查平板玻璃和浮法玻璃的質(zhì)量。
背景技術(shù)：
WO 99/49303描述了一種用于檢測平板玻璃中的缺陷的方法和裝置。在這里，照相機觀察在一個被分成兩部分的照明裝置的邊界上的斑點。該照明裝置是這樣實現(xiàn)的，即在照明裝置的一半中設(shè)置紅色LED，在另一半中設(shè)置綠色LED。在照相機與照明裝置之間是相對運動的平板玻璃。如果平板玻璃中有使光線偏轉(zhuǎn)的缺陷如足夠大的氣泡，則該缺陷使來自照明裝置的光線偏向照相機。這樣，數(shù)量變化的紅光和綠光到達對波長敏感的照相機中，從而產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)信號。這樣一來，該裝置可探測到使光束偏轉(zhuǎn)的缺陷。另外，也可以使用明場信號來測定使光束偏轉(zhuǎn)的相應(yīng)缺陷的大小。
日本專利公開號H 10-339795教導這樣檢測平板玻璃中的缺陷，即把平行光束傾斜地耦合輸入平板玻璃側(cè)邊緣中。通過之中耦合輸入，在帶狀玻璃材料內(nèi)出現(xiàn)了全發(fā)射，結(jié)果，來自平板玻璃一側(cè)的光傳播至另一側(cè)。如果在平板玻璃內(nèi)有玻璃缺陷如夾雜、結(jié)疤或氣泡，則耦合輸入玻璃體中的光被散射。一個探測器測量散射光。
在2002年3月15日的DE 10221945.1中公開了一種類似方法，其中，從側(cè)面把激光束耦合輸入平板玻璃內(nèi)，激光在內(nèi)部因全反射而從平板玻璃一側(cè)傳至另一側(cè)。在這種情況下，激光束在平板玻璃側(cè)邊上通過水被耦合輸入玻璃內(nèi)。由此一來，克服了在浮法玻璃中不存在一定的邊緣形狀的缺點，并且與上述日本專利申請不同，只能困難地通過一定方式方法將光束側(cè)向耦合輸入側(cè)邊緣中。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的技術(shù)問題如此改進識別透明材料中的缺陷的方法，即只有來自該體積的信號被考慮用于識別缺陷和確定大小。
通過獨立權(quán)利要求的特征實現(xiàn)了該技術(shù)問題的解決。通過從屬權(quán)利要求給出了有利的改進方案。
第一變型解決方案基于以下認識，迄今位置的、識別透明材料中的缺陷的明場測量法的適用性的波動是由以下原因造成的，即該測量法不能對付缺陷的空間分隔。因此目前無法區(qū)分，能夠在本申請范圍中被定義為信號的且其強度因光吸收而與明場中的強度遞減(局部)成比例的各明場信號是否源于一個位于體內(nèi)或表面上的缺陷。就此而言，明場中的光吸收可能由玻璃內(nèi)的缺陷引起，但也可能是由在玻璃表面上的缺陷如臟東西引起。到目前為止，都無法區(qū)分這兩種情況。
基于這樣的認識，本發(fā)明的構(gòu)想在于，明場測量法與由其原理決定地只對體內(nèi)缺陷敏感的第二種方法結(jié)合。在這種情況下要考慮，這兩種方法只探測透明材料的同一部分體積，因此確保了這兩種方法能夠識別出同一缺陷。通過兩種方法的結(jié)合，可以檢查明場信號與第二種方法的信號是否一致并且在一致的情況下就說明明場信號的起因就在透明材料內(nèi)。如果不一致，則缺陷不在體內(nèi)，而在表面上。因此，在大多數(shù)情況下，這可能是由臟東西造成的。
基于以上考慮，從方法方面解決上述技術(shù)問題的方案在于這樣一種識別透明材料中的缺陷的方法，其中用第一發(fā)光裝置使透明材料的一定部分體積受到一個明場照明，該方法的特點是，用第二發(fā)光裝置如此將光線耦合輸入透明材料內(nèi)，即光路在該部分體積內(nèi)只在該透明材料內(nèi)延伸，其中如此識別在該部分體積里的缺陷，即探測由該缺陷造成的明場內(nèi)的光吸收并且探測第二發(fā)光裝置的由該缺陷散射的光。在這里，由散射光引起的信號以下被稱為散射光信號。
第二變型解決方案基于以下認識，即識別透明材料中的缺陷的光偏轉(zhuǎn)法，即從外側(cè)照射透明材料并且缺陷使照射光偏轉(zhuǎn)的方法也不能區(qū)分出光偏轉(zhuǎn)的起因是在材料表面上，還是在材料內(nèi)。
基于前一段落中的描述，另一發(fā)明構(gòu)想就是使光偏轉(zhuǎn)法與一種只對在材料內(nèi)或者說在體內(nèi)的缺陷做出反應(yīng)的第二種方法結(jié)合。
基于所述的另一發(fā)明構(gòu)想，在方法方面的解決方案在于一種識別透明材料中的缺陷的方法，其中用第一發(fā)光裝置照射該材料的一定的部分體積，用第二發(fā)光裝置如此將光線耦合輸入該材料內(nèi)，即光路在所述部分體積只在該材料內(nèi)部經(jīng)過，其中這樣識別在該部分體積里的缺陷，即不僅探測由該缺陷散射的光，而且探測第一發(fā)光裝置的光的由該缺陷引起的偏轉(zhuǎn)。
由偏轉(zhuǎn)光引起的在光線探測器中的信號以下被稱為偏轉(zhuǎn)信號。
上述兩種方法可以交替或累加地運行。還有第三變型解決方案，它能夠測量由缺陷散射的光和第一發(fā)光裝置的光的由在部分體積內(nèi)的缺陷引起的偏轉(zhuǎn)，借此檢查在材料內(nèi)的光偏轉(zhuǎn)型缺陷。
總之，上述技術(shù)問題的解決方案導致了一種識別透明材料中的缺陷的方法，其中，用第一發(fā)光裝置照射該材料的一定的部分體積，用第二發(fā)光裝置如此將光線耦合輸入該材料內(nèi)，即光路在所述部分體積內(nèi)只在該材料內(nèi)部延伸，并且如此識別在部分體積里的缺陷，即a)不僅探測由該缺陷散射的光，b)而且探測由該缺陷引起的明場內(nèi)的光吸收，和/或c)探測由該缺陷引起的第一發(fā)光裝置的光的偏轉(zhuǎn)。
解決該技術(shù)問題的裝置是一種識別透明材料中的缺陷的裝置，它具有用于照射該透明材料的一定和/或預定的部分體積的第一發(fā)光裝置、用于探測源于上述部分體積的光的探測器和第二發(fā)光裝置，該第二發(fā)光裝置相對該材料如此布置，即在所述部分體積里，對應(yīng)的光路只在該材料內(nèi)部經(jīng)過。
參照關(guān)于方法的解決方案的描述，源于預定的部分體積的光線是a)由該缺陷散射的第二發(fā)光裝置的光，和/或b)由該缺陷引起的在明場內(nèi)的光吸收，其中，所吸收的光是來自第一發(fā)光裝置的光；和/或c)由該缺陷偏轉(zhuǎn)的第一發(fā)光裝置的光。
給在材料內(nèi)缺陷處散射的第二發(fā)光裝置的光分配一個探測器。該探測器與檢測第一發(fā)光裝置的光的探測器相同，或者可以與之不同。
本發(fā)明規(guī)定了，分辨局部地測量明場。在這種情況下，可以確定位于體內(nèi)缺陷的大小。這對玻璃制造中的質(zhì)量控制非常重要，因為人們越來越希望高質(zhì)量產(chǎn)品只有小的缺陷。因此，在用于平面顯示屏的TFT玻璃制造中，越來越需要防止如直徑大于50μm的缺陷。與此相關(guān)地，在制造中規(guī)定了直徑大于50μm的缺陷數(shù)量必須是有限的。根據(jù)一致信號數(shù)量可以斷定所制造出的產(chǎn)品是否符合這些要求。
為了確定缺陷類型，可以考慮使用明場信號與散射光信號之比。如果通過本發(fā)明方法如照射物體內(nèi)的氣泡，則氣泡的光線輸出側(cè)部分里出現(xiàn)光散射。而在有夾雜時，只出現(xiàn)在夾雜一側(cè)的散射，在缺陷尺寸相同的情況下，總體也就產(chǎn)生較少的散射光。在這一點上，根據(jù)上述信號比就能區(qū)分缺陷是氣泡還是夾雜。在這個意義上，偏轉(zhuǎn)信號與散射光信號之比也可被用于確定缺陷類型。在考慮透明材料中的其它缺陷的情況下，這是很普遍的。本發(fā)明的進一步研究表明，每種缺陷帶有自身特有的三維輻射特征，因此，可以繼續(xù)根據(jù)這些輻射特征來歸類所測得的缺陷。
第二發(fā)光裝置發(fā)出單色光，即它是激光器，這是有利的。在這種情況下，非常簡單地通過側(cè)邊緣將光線耦合輸入平板玻璃內(nèi)。這樣做的另一優(yōu)點是能使用高光強。因此，對例如要用鹵素燈照射的平板玻璃而言，估計耦合輸入的光的強度因光吸收而向著玻璃板中心大大減弱，如果是1.2m的寬帶，則例如減弱到在邊緣耦合輸入的值的5％。因此，在分析時需要復雜的計算補償，以便根據(jù)散射光來正確判斷在玻璃板整個寬度上的缺陷點大小。然而，激光器具有以下潛能，即在本發(fā)明方法中，在光線相應(yīng)經(jīng)過一段行程后尚有足夠的強度。
本發(fā)明方法的一個有利應(yīng)用在于，把各自光線耦合輸入帶狀平板玻璃內(nèi)，并且相應(yīng)地檢查它是否有缺陷。平板玻璃由制造決定地相對發(fā)光裝置移動，確切地說以進給速度10m/min，因而根據(jù)板寬而每分鐘檢查約26m2。這類玻璃的厚度通常為0.4mm-1.1mm。
當?shù)诙l(fā)光裝置發(fā)綠光或在綠色波長范圍內(nèi)的光時，吸收在工程玻璃中非常小。這種玻璃含有含鐵雜質(zhì)，它在上述綠色波長范圍內(nèi)有最小吸收性能。因此，激光器的發(fā)射頻率被選為532nm是有利的。
當?shù)诙l(fā)光裝置發(fā)紅光時，吸收在光學玻璃中非常小。對這種情況來說，以氦氖激光器或在紅色波長范圍內(nèi)發(fā)光的LED或二極管為發(fā)光裝置。光波長被選定為光盡量少地被材料吸收通常是有利的。
通過試驗證明是有利的是，由第二發(fā)光裝置耦合輸入材料內(nèi)的光的強度在材料邊緣上是在中心的10倍。在試驗中，通過耦合輸入平板玻璃內(nèi)的光確定了，當在玻璃內(nèi)必然出現(xiàn)光吸收時，通過提高耦合輸入的光強度來簡單補償光減弱不是辦法。反而可能出現(xiàn)或許由玻璃表面上的臟物引起的故障信號。就此而言，表面上的臟物“發(fā)亮”并導致信號處理困難。在這一點上，上述強度比是足夠高的強度與足夠小的故障信號之間的良好平衡點。為調(diào)整該強度比，可以根據(jù)各材料調(diào)整波長，因為對不同波長的吸收取決于材料地發(fā)生變化。作為替換方式或除此之外，也能通過耦合輸入激光的變焦的變化來處理強度比。
為保證在待側(cè)部分體積內(nèi)的第二發(fā)光裝置的光只在材料內(nèi)傳播，可如此耦合輸入第二發(fā)光裝置的光，即它在內(nèi)部被全反射。這可以通過相對材料上表面或底面傾斜地耦合輸入光線來做到，確切地說，在光線隨后從透明材料轉(zhuǎn)入空氣時，相對表面法線的入射角大于全反射極限角?；蛘?，也可以相對材料側(cè)邊緣傾斜地耦合輸入第二發(fā)光裝置的光。這一做法特別適用于檢查平板玻璃或浮法玻璃，其中，光可以說被截留在玻璃內(nèi)，就象在光纖內(nèi)。同時，不僅可以檢查小的部分體積，而且可以在平板玻璃的整個長度上檢查缺陷。相應(yīng)地，所屬裝置必須設(shè)計成不僅能掃描小的部分體積，而且能相對平板玻璃進給方向傾斜地掃描許多部分體積。
如果要用本發(fā)明方法檢查浮法玻璃是否有缺陷，浮法玻璃在其邊緣上沒有一定的、人們可用來將第二發(fā)光裝置的光相對側(cè)邊緣傾斜地耦合輸入的邊緣形狀。關(guān)于這一點，在第二發(fā)光裝置與浮法玻璃之間設(shè)置透明液體是有利的，從而第二發(fā)光裝置的光通過透明液體如水被耦合輸入浮法玻璃板。通過與不規(guī)則邊緣接觸的透明液體，補償了形狀差異并且可靠地實現(xiàn)了激光耦合輸入。
當兩個發(fā)光裝置發(fā)出脈沖光時，其中一個發(fā)光裝置只在另一發(fā)光裝置的脈沖間隔內(nèi)發(fā)光，唯一的探測器可被用于探測透明材料中的缺陷。因此，通過所述第一發(fā)光裝置的光來掌握明場信號并且在時間上錯開地檢測相應(yīng)的散射光信號，并且交替進行。另一方面，因為檢查這良種信號是否一致，當然就必須使材料進給速度匹配于發(fā)光裝置的相應(yīng)脈沖周期，以便保證兩個發(fā)光裝置照射同一部分體積。相應(yīng)地，設(shè)有一個控制這兩個發(fā)光裝置的電子裝置，該電子裝置通常是多路傳送單元并這樣設(shè)計，即這兩個發(fā)光裝置只能時間錯開地發(fā)光。
如果在明場中確定光吸收，則所提出的方法由原理決定了能夠表現(xiàn)出一致性。如果這種吸收太小或根本沒有出現(xiàn)，則沒有發(fā)現(xiàn)相應(yīng)缺陷。但在這樣的哭泣能夠下，或許可以如此探測缺陷，即照射缺陷，以檢查在照射中是否有由缺陷引起的光偏轉(zhuǎn)效果。如果明場照射是透明完成的，即透明物在照相機與發(fā)光裝置之間，則在有光偏轉(zhuǎn)型缺陷的情況下，照射缺陷的光被偏轉(zhuǎn)并在一個與沒有經(jīng)歷這種光偏轉(zhuǎn)影響的不同的位置上到達一個探測器。
為探測這種光偏轉(zhuǎn)，第一發(fā)光裝置可以是由兩個部分構(gòu)成的發(fā)光裝置。該發(fā)光裝置的各部分可發(fā)出兩種不同強度或顏色的光。例如，如果發(fā)出兩種顏色如紅色和綠色，則缺陷的由光線決定的作用導致數(shù)量變化的紅光或綠光到達探測器。如果每種顏色的光對應(yīng)于探測器上的一個電壓信號U1和U2，則在光偏轉(zhuǎn)時相應(yīng)地出現(xiàn)這些電壓信號U1和U2的改變。兩個電壓的差值被考慮用做偏轉(zhuǎn)尺度。
或者，人們可以考慮這樣的比率，即UPOS＝{U1-U2}/{U1+U2}。因此，幅度UPOS就是由缺陷引起的偏轉(zhuǎn)尺度。
因此，通過附加探測光偏轉(zhuǎn)型缺陷，可借助測量技術(shù)總體掌握到幾種缺陷，并且當測量到制造過程尚可接受的最大尺寸的缺陷時，安全性提高了。
可同時處理散射光信號、光偏轉(zhuǎn)信號和明場信號。這樣一來，可以識別出表面上的光偏轉(zhuǎn)型缺陷并且不將其用語材料質(zhì)量檢查。出現(xiàn)三個一致的信號，這意味著發(fā)現(xiàn)了由源于體內(nèi)的、光偏轉(zhuǎn)型缺陷和光吸收型缺陷并可以掌握其大小。缺陷也是光偏轉(zhuǎn)型的情況允許大規(guī)模地細分缺陷，如上所述。
可以這樣為第一發(fā)光裝置的兩個部分提供不同的顏色，從而在這兩個部分中配備顏色不同的LED。CCD照相機可以檢測其光線。
可以用不同的探測器探測散射光和偏轉(zhuǎn)光和/或明場信號。
為保持低廉的設(shè)備成本，有利地使兩個發(fā)光裝置脈動發(fā)光，所述第一發(fā)光裝置最好為脈動發(fā)光裝置。與第二脈動發(fā)光裝置如脈沖激光器結(jié)合地，可以保證一個發(fā)光裝置只在另一個發(fā)光裝置脈沖間隔內(nèi)發(fā)光。為此，該裝置有一個控制兩個發(fā)光裝置的電子裝置，該電子裝置被設(shè)計成使兩個發(fā)光裝置只能時間錯開地發(fā)光。
如上所述，如果選擇由兩部分構(gòu)成的第一發(fā)光裝置，則這對應(yīng)于三個發(fā)光裝置的情況。就此而言，其中一個發(fā)光裝置只在另兩個發(fā)光裝置的脈沖間隔內(nèi)發(fā)光。
還設(shè)有一個用于確定明場信號、散射光信號和/或偏轉(zhuǎn)信號的分析處理單元，以便處理探測到的信號。


現(xiàn)在，借助優(yōu)選實施例的描述并參考附圖來詳細圖解說明本發(fā)明的目的、特征和優(yōu)勢，其中圖1以透視圖表示一個用于實現(xiàn)用于識別透明材料中的缺陷的本發(fā)明方法的裝置的第一實施例；圖2以透視圖表示一個用于實現(xiàn)用于識別透明材料中的缺陷的本發(fā)明方法的裝置的第二實施例；圖3以透視圖表示用于實現(xiàn)用于識別透明材料中的缺陷的本發(fā)明方法的裝置的另一實施例，該裝置類似于圖2所示的裝置；圖4示意表示在透明材料中的成氣泡狀的缺陷；及圖5以脈沖時間圖表示本發(fā)明方法所用的激光器與LED脈沖之間的瞬時關(guān)系。
具體實施例方式
圖1示意表示本發(fā)明的方法，其中，具有波長λ1的第一發(fā)光裝置1從板狀玻璃3的下方照射。光在兩次穿過后到達探測器4。在這里，發(fā)光裝置1在玻璃板3內(nèi)探測部分體積2。
此外，第二發(fā)光裝置5經(jīng)玻璃板3側(cè)邊緣將波長為λ2的光供給玻璃板3。在這里，第二發(fā)光裝置5的光在預定的部分體積2內(nèi)部分散射，這由圖1的橫向朝左的箭頭表示。玻璃板3以速度v從左向右橫移。
圖2再次表示玻璃板3，這次使用桿狀發(fā)光裝置1，它垂直于板底面地發(fā)出波長為λ1的光。另外，波長為λ2的光線進入側(cè)邊緣區(qū)域。這種耦合輸入這樣進行，即波長為λ2的光在內(nèi)部全反射，這由折線5表示。在這里，全反射光在上述部分體積2內(nèi)被部分散射并到達探測器4。未被散射的部分光經(jīng)過在玻璃板3其它端上的表面6射出玻璃。
圖3表示一個類似于圖2的裝置。圖3所示的實施例與圖2的區(qū)別在于，桿狀發(fā)光裝置1有兩個部分，即第一部分1’和第二部分1”。一臺CCD照相機4聚焦在玻璃板3內(nèi)的部分體積上。因此，在該方向的延長段上，探測器4檢測在部分1’、1”之間界面上的、發(fā)出脈沖光的發(fā)光裝置1的表面的一部分。
圖4示意表示在玻璃內(nèi)的成氣泡狀的識別缺陷。通過在明場中分析光吸收情況而獲知了尺寸和大致成蛋形的結(jié)構(gòu)。CCD芯片先后交替探測光LED1和光LED2，即7’、8’、7”、8”、7、8、7””、8””。在這里，LED1代表發(fā)光裝置1第一部分1”的光，而LED2代表第二部分2”的光。
同樣通過邊緣從右到左地橫向耦合輸入波長為λ2的光。邊緣光從右到左穿過氣泡并在光輸出側(cè)區(qū)域里導致散射。
在這里，使激光脈沖與所述部分1’和1”的周期匹配。圖5示出了所采取的周期。第一部分1’和第二部分1”先后交替發(fā)光，隨后，激光發(fā)出各自的光。其中一個發(fā)光裝置總在另兩個發(fā)光裝置的共同的脈沖間歇中發(fā)光。唯一的探測器探測在散射區(qū)域內(nèi)先后探測激光器的光9’、LED1的光7”、激光器的光9”、LED2的光8、激光器的9”和LED1的光7等。
權(quán)利要求
1.一種識別透明材料中的缺陷的方法，其中，用第一發(fā)光裝置照射該透明材料的一定的部分體積，用第二發(fā)光裝置如此將光線耦合輸入該透明材料中，即在所述部分體積內(nèi)的光路只在該透明材料內(nèi)延伸，這樣識別在該部分體積里的缺陷，即a)探測由該缺陷散射的光，或b)探測由該缺陷引起的在明場內(nèi)的光吸收，和/或c)探測由該缺陷引起的、所述第一發(fā)光裝置的光線的偏轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，分辨局部地測量該材料。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，，其特征在于，明場信號或偏轉(zhuǎn)信號與散射光信號之比被考慮用于確定缺陷類型。
4.如權(quán)利要求1-3之一所述的方法，其特征在于，所述第二發(fā)光裝置發(fā)出單色光。
5.如權(quán)利要求1-4之一所述的方法，其特征在于，各自光線被耦合輸入帶狀平板玻璃內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1-5之一所述的方法，其特征在于，所述第二發(fā)光裝置發(fā)出綠光。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述第二發(fā)光裝置發(fā)出532nm波長的綠光。
8.如權(quán)利要求1-5之一所述的方法，其特征在于，所述第二發(fā)光裝置發(fā)出紅光。
9.如權(quán)利要求1-8之一所述的方法，其特征在于，由所述第二發(fā)光裝置耦合輸入的光的強度在材料邊緣上大約是在中心處的10倍。
10.如權(quán)利要求5-9之一所述的方法，其特征在于，所述第二發(fā)光裝置的光被這樣耦合輸入該透明材料內(nèi)，即所述光在該透明材料內(nèi)被全反射。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述第二發(fā)光裝置的光通過透明液體被耦合輸入該材料中。
12.如權(quán)利要求1-11之一所述的方法，其特征在于，這兩個發(fā)光裝置發(fā)出脈沖光，并且其中一個發(fā)光裝置只在所述另一發(fā)光裝置的脈沖間歇中發(fā)光。
13.如權(quán)利要求1-12之一所述的方法，其特征在于，由兩部分構(gòu)成的第一發(fā)光裝置發(fā)出有兩種不同顏色的光。
14.一種識別透明材料中的缺陷的裝置，它包括用于照射該透明材料的一定部分體積的第一發(fā)光裝置、用于探測來自所述部分體積的光的探測器和第二發(fā)光裝置，該第二發(fā)光裝置相對該透明材料如此布置，即對應(yīng)的光路在所述部分體積內(nèi)只在該透明材料內(nèi)延伸。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，所述第一發(fā)光裝置包括兩個部分，這兩個部分能夠以不同的強度或波長發(fā)光。
16.如權(quán)利要求15所述的裝置，其特征在于，所述第一發(fā)光裝置的這兩個部分配有顏色不同的LED。
17.如權(quán)利要求14-16之一所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個脈沖發(fā)光式第一發(fā)光裝置。
18.如權(quán)利要求15-17之一所述的裝置，其特征在于，用于探測明場的探測器是這樣定向的，即所述探測器探測來自所述第一發(fā)光裝置的這兩個部分的光線。
19.如權(quán)利要求14-18之一所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個在綠色波長范圍內(nèi)發(fā)光的發(fā)光裝置。
20.如權(quán)利要求14-19之一所述的裝置，其特征在于，所述第二發(fā)光裝置是激光器。
21.如權(quán)利要求20所述的裝置，其特征在于，所述激光器的發(fā)射頻率為532nm。
22.如權(quán)利要求19-21之一所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個脈沖型激光器。
23.如權(quán)利要求14-22之一所述的裝置，其特征在于，設(shè)有一個控制這兩個發(fā)光裝置的電子裝置，該電子裝置是這樣設(shè)計的，即這兩個發(fā)光裝置只能時間錯開地發(fā)光。
24.如權(quán)利要求15所述的裝置，其特征在于，設(shè)有唯一一個探測器來探測明場信號、散射光信號和/或偏轉(zhuǎn)信號。
25.如權(quán)利要求14-24之一所述的裝置，其特征在于，作為探測器地設(shè)有CCD照相機。
全文摘要
本發(fā)明涉及識別透明材料中的缺陷的方法，其中用第一發(fā)光裝置照射透明材料的一定的部分體積，用第二發(fā)光裝置如此將光線耦合輸入透明材料中，即光路在上述部分體積里只在該材料中延伸，這樣識別在該部分體積里的缺陷，即探測由該缺陷散射的光，或探測由該缺陷引起的在明場內(nèi)的光吸收，和/或探測由該缺陷引起的、所述第一發(fā)光裝置的光線的偏轉(zhuǎn)。本發(fā)明還涉及識別材料中的缺陷的裝置，它包括用于照射透明材料的一定部分體積的第一發(fā)光裝置、用于探測來自該部分體積的光的探測器和第二發(fā)光裝置，第二發(fā)光裝置如此相對透明材料布置，即對應(yīng)的光路在所述部分體積內(nèi)只在該透明材料內(nèi)延伸。
文檔編號G01N21/896GK1536350SQ20041003425
公開日2004年10月13日 申請日期2004年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月4日
發(fā)明者K·格爾斯特納, C·奧特曼, T·齊默曼, J·德羅斯特, K 格爾斯特納, 匏固, 羋 申請人:肖特玻璃制造廠, 拉索股份公司