專利名稱：機(jī)動(dòng)化可定向的測(cè)量頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于測(cè)量機(jī)械部件的三維坐標(biāo)的可重新定向的測(cè)量頭并且，特別是，盡管不是排它地，涉及設(shè)計(jì)應(yīng)用于測(cè)量坐標(biāo)的手動(dòng)或自動(dòng)機(jī)上的可重新定向的測(cè)量頭。
背景技術(shù)：
接觸探測(cè)器是例如應(yīng)用在機(jī)械部件生產(chǎn)線上的測(cè)量?jī)x器，用于檢驗(yàn)機(jī)加工部件的尺寸或表面。接觸探測(cè)器還用于記錄復(fù)雜工件的三維形狀，例如為了對(duì)其進(jìn)行再生產(chǎn)或者仿造。
探測(cè)器通常包括設(shè)計(jì)以固定在測(cè)量機(jī)的臂上或活動(dòng)觸頭上的測(cè)量頭，所述測(cè)量頭包括在細(xì)長(zhǎng)桿端部處的球體并且被設(shè)計(jì)用以使其與要進(jìn)行測(cè)量的工件接觸。
在大多數(shù)應(yīng)用中，接觸探測(cè)器被固定在機(jī)器的活動(dòng)臂上，通過(guò)手動(dòng)或自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)，例如放置在該機(jī)器軸上的位置編碼器可以準(zhǔn)確地確定所述活動(dòng)臂在空間中的位置。在空間中移動(dòng)活動(dòng)臂以使探測(cè)器的測(cè)量觸頭與要進(jìn)行測(cè)量的工件或表面接觸。接觸時(shí)，于是偏轉(zhuǎn)力被施加到觸頭上，使其離開(kāi)其初始靜止位置。傳感器對(duì)該觸頭最輕微的位移起反應(yīng)，產(chǎn)生電信號(hào)，所述電信號(hào)或是以光信號(hào)的形式發(fā)送給用戶，或者發(fā)送給機(jī)器的控制軟件，所述控制軟件由此根據(jù)測(cè)量系統(tǒng)的數(shù)據(jù)確定接觸點(diǎn)在給定參照系內(nèi)的坐標(biāo)。為此目的，現(xiàn)有技術(shù)中使用了基于不同原理的電子機(jī)械或光學(xué)傳感器或者移動(dòng)傳感器，例如包括約束量規(guī)(constraint gauge)的傳感器。
在三維接觸探測(cè)器的情況下，觸頭和測(cè)量頭的固定部分之間的連接一般是按照Boys連接原理(Principle of the Boys connection)實(shí)現(xiàn)的，即例如通過(guò)將三個(gè)圓柱形銷放置在六個(gè)球體上以便在固定機(jī)構(gòu)和觸頭之間限定出六個(gè)接觸點(diǎn)。然而，二維和一維的探測(cè)器也是已公知的。
當(dāng)應(yīng)用探測(cè)器測(cè)量具有復(fù)雜形狀，如具有空腔和突出部的工件時(shí)，很難或者甚至不可能使觸頭接觸到工件的整個(gè)表面而不會(huì)造成測(cè)量頭的固定部分或觸頭桿妨礙要進(jìn)行測(cè)量工件的各元件。為了補(bǔ)救這種不方便，已公知各種測(cè)量頭允許接觸觸頭在空間中能沿多個(gè)方向定向。一般來(lái)說(shuō)，需要兩個(gè)獨(dú)立的轉(zhuǎn)軸以便達(dá)到所有可能的定向。在歐洲專利申請(qǐng)EP0392660號(hào)中描述了這種類型的儀器。
然而，使用這種類型的裝置并不限于接觸觸頭，且它們也可以使用無(wú)接觸探測(cè)器，例如攝像機(jī)，用于對(duì)機(jī)加工的部件進(jìn)行檢查和檢驗(yàn)。
轉(zhuǎn)軸優(yōu)選是帶分度的，其意義是設(shè)置足夠多但數(shù)目有限的預(yù)定和精確可重復(fù)的靜止位置。這種結(jié)構(gòu)避免了在觸頭每次改變定向之后都必須要重新校準(zhǔn)測(cè)量機(jī)的麻煩。
通過(guò)相互接合的且限定出所需靜止位置的各個(gè)分度表面，例如通過(guò)其中接合有三個(gè)銷的球冠，獲得觸頭轉(zhuǎn)軸的分度。在本申請(qǐng)人申請(qǐng)的歐洲專利申請(qǐng)EP 1443299號(hào)中描述了這種類型分度機(jī)構(gòu)的例子。當(dāng)在每個(gè)分度位置分度表面限定出與六個(gè)獨(dú)立接觸點(diǎn)的均衡連接時(shí)獲得最優(yōu)的精度。
為了測(cè)量復(fù)雜的工件，所希望的是測(cè)量頭是機(jī)動(dòng)化的，以便能按照測(cè)量機(jī)控制程序的指令自動(dòng)定向探測(cè)器的觸頭。為此目的，由電磁致動(dòng)器，例如使分度表面移動(dòng)分離并使各軸轉(zhuǎn)動(dòng)的引擎或伺服馬達(dá)執(zhí)行觸頭軸的轉(zhuǎn)動(dòng)和鎖定。
當(dāng)分度位置數(shù)目很多時(shí)，軸的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)必須保證高的角精度但不會(huì)對(duì)可定向元件引入附加的機(jī)械約束，這些約束可能損害分度精度。在已公知的測(cè)量頭中很難協(xié)調(diào)這兩種相反的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的是提出一種沒(méi)有已公知裝置的各種限制的測(cè)量頭，特別是，一種測(cè)量頭，其中它精確地執(zhí)行圍繞軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，而不會(huì)在分度位置處引入可能影響分度精度的各種機(jī)械約束。
通過(guò)包括作為主技術(shù)方案目的的各種特征的組合的裝置，且特別是通過(guò)用于相對(duì)于測(cè)量設(shè)備重新定向探測(cè)器觸頭的可重新定向的測(cè)量頭，實(shí)現(xiàn)這些目的，包括支承元件；連接到所述支承元件上并能相對(duì)所述支承元件圍繞第一軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的第一可重新定向元件；連接以便能夠圍繞所述第一軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器，在所述支承元件和所述轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器之間用于在距離所述第一軸線恒定距離處圍繞所述第一軸線驅(qū)動(dòng)所述致動(dòng)器的第一傳動(dòng)裝置；在所述轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器和所述第一可定向元件之間用于驅(qū)動(dòng)所述第一可定向元件的第二傳動(dòng)裝置。


通過(guò)閱讀通過(guò)附圖示出并以實(shí)例形式給出的描述會(huì)更好地理解本發(fā)明，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的機(jī)動(dòng)化測(cè)量頭的視圖；圖2是處于鎖定位置的發(fā)明測(cè)量頭的剖面圖；圖3是處于解鎖位置的發(fā)明測(cè)量頭的剖面圖；圖4是發(fā)明測(cè)量頭的鎖定/解鎖機(jī)構(gòu)的詳圖；圖5-8是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面負(fù)責(zé)進(jìn)行鎖定和解鎖的致動(dòng)器的不同視圖；圖9是包含在圖5-8中所示致動(dòng)器中的曲軸的詳圖；和圖10示出了發(fā)明測(cè)量頭中的轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器。
具體實(shí)施例方式
參見(jiàn)圖1，根據(jù)本發(fā)明的可重新定向的測(cè)量頭10包括設(shè)計(jì)用以固定到測(cè)量機(jī)臂上且能夠例如在測(cè)量體積內(nèi)沿著三個(gè)坐標(biāo)軸X、Y和Z移動(dòng)的支座30。例如通過(guò)桿20或任何其它固定機(jī)構(gòu)可將該支座固定住。
下文中，為了簡(jiǎn)明扼要，所使用的指示“垂直”指的是圖1中軸線B所表示的方向。該指示方向是各圖中的常規(guī)定向并且也是發(fā)明裝置正常使用的定向且通常與其上安裝有探測(cè)器的測(cè)量機(jī)的垂直軸線Z的方向一致。然而，探測(cè)器可以空間中任何定向進(jìn)行使用。
第一可重新定向元件40被固定到支座30上，以便能圍繞垂直軸線B轉(zhuǎn)動(dòng)。第一可重新定向元件40優(yōu)選可具有與多個(gè)小的預(yù)定角度，例如10度相對(duì)應(yīng)的多個(gè)帶分度的位置。在已公知的方式中，例如通過(guò)在定位元件之間限定六個(gè)靜止點(diǎn)的均衡連接確定這些帶分度的位置，所述定位元件的位置被高精度確定。
第二可重新定向元件50圍繞水平軸線A自由轉(zhuǎn)動(dòng)并與第一可重新定向元件40連接在一起。第二可重新定向元件50圍繞軸線A的轉(zhuǎn)動(dòng)可以是連續(xù)的或分度的，機(jī)動(dòng)化的或手動(dòng)的，如上述的第一可重新定向元件40。
探測(cè)器觸頭60被固定到第二可重新定向元件50和軸承上，在其末端，球70被設(shè)計(jì)用以接觸要進(jìn)行測(cè)量的工件。圖中未示出的檢測(cè)機(jī)構(gòu)響應(yīng)球70相對(duì)靜止位置最輕微的位移通過(guò)連接器(未示出)將電信號(hào)發(fā)送至光顯示器35或者機(jī)器的控制軟件。
下面結(jié)合圖2和3對(duì)根據(jù)本發(fā)明一個(gè)方面的軸的鎖定和解鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行描述。
支座30帶有沿著圓周以通常恒定的角距，例如10°，設(shè)置的一系列球31，以便限定通常有規(guī)則地隔開(kāi)的一系列分度位置。對(duì)應(yīng)于所述球31，第一可重新定向元件40帶有三個(gè)間隔120°且能夠與球31接合的銷41。在鎖定位置(圖2)，通過(guò)拉動(dòng)桿66，使第一可重新定向元件40壓靠在固定元件30上。然后每個(gè)銷41接觸兩個(gè)相鄰的球31，以便按照Boys連接法的原理，在支承元件30和可重新定向元件40之間形成均衡連接。
以等效的方式，在本發(fā)明的框架內(nèi)，通過(guò)將前者設(shè)置到可重新定向元件上并將后者設(shè)置到支承元件上，有可能交換球和銷的位置。也可以用能夠在支承元件30和可重新定向元件40之間限定六個(gè)接觸點(diǎn)的其它定位元件代替球和銷。
用鉸接的方式將垂直桿66的一個(gè)末端固定到支承元件30上，而將桿66的另一末端用鉸接的方式固定到杠桿62的一臂上，所述杠桿能夠圍繞軸線65樞轉(zhuǎn)，相對(duì)于第一可重新定向元件40是固定的。桿66優(yōu)選與旋轉(zhuǎn)軸線B對(duì)齊。
在圖2所示的鎖定狀態(tài)，桿66被拉緊并拉動(dòng)第一可重新定向元件40向上，從而使分度銷41與支座30上的球31接合。在這種狀態(tài)下，圍繞軸線B的任何轉(zhuǎn)動(dòng)都是不可能的并且可重新定向元件40被鎖定在一個(gè)帶分度的位置處。
由桿66施加的力被施加到球31和銷41之間接觸點(diǎn)的相對(duì)中心，并沿著軸線B的方向。按照這種方式，以最大的分度精度在球31和銷41之間獲得了接觸力的均勻分布。
通過(guò)拉緊與軸線A對(duì)齊的水平桿67，也使第二可重新定向元件50保持靠在第一可重新定向元件40上。一方面，桿67與可重新定向元件50相鉸接，而另一方面，桿67與杠桿62相鉸接。
放置在第一和第二可重新定向元件之間的第二組球43和銷42允許第二可重新定向元件50轉(zhuǎn)動(dòng)以便被鎖定在帶分度的位置處。
可選擇地，桿66和67包括彈性元件(未示出)，例如金屬?gòu)椈桑员惚ＷC在銷41、42和球31、43之間存在恒定的分度力。按照等效的方式，桿62中或第一和第二可重新定向元件中可包括彈性元件。
參見(jiàn)圖5-9，杠桿62的位置由圖9中所詳細(xì)示出的曲軸59決定，所述曲軸由電動(dòng)馬達(dá)45和刻齒的輪46、51驅(qū)動(dòng)圍繞軸線75轉(zhuǎn)動(dòng)。按照等效的方式，曲軸59可由設(shè)置在曲軸59的同一軸線75上的馬達(dá)直接驅(qū)動(dòng)或者由任何機(jī)械傳動(dòng)裝置，例如滑輪系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)。
杠桿62的一個(gè)臂包括一叉狀部，該叉狀部的兩個(gè)分支63和64接觸曲軸59的曲柄銷55的兩個(gè)相對(duì)側(cè)，以便當(dāng)曲軸59轉(zhuǎn)動(dòng)180°時(shí)將杠桿62從鎖定位置移動(dòng)至解鎖位置?？蛇x擇地，將滾珠軸承插入到曲柄銷55和叉狀部之間以便減小鎖定和/或解鎖過(guò)程中的摩擦。在圖中所示出的實(shí)施例中，僅與傳送鎖緊力的叉狀部分支63對(duì)應(yīng)地裝設(shè)滾珠軸承54。對(duì)應(yīng)于負(fù)責(zé)解鎖的叉狀部的另一分支64，所需的作用力較小且可以使用簡(jiǎn)單的抗摩軸承。
通過(guò)扇形部件53和與第一可重新定向元件40連接的銷55限制曲軸59圍繞軸線75的轉(zhuǎn)動(dòng)使其轉(zhuǎn)角略大于180°。設(shè)置銷55支靠扇形部件53末端的制動(dòng)位置以便碰到各平衡點(diǎn)并由此限定出分別與鎖定狀態(tài)和解鎖狀態(tài)相對(duì)應(yīng)的穩(wěn)定的靜止位置。
圖3和4示出了處于解鎖狀態(tài)的根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量頭。在這種情況下，杠桿62是傾斜的且桿66和67分別壓在支承元件30和第二可重新定向元件50上以便分別移動(dòng)分度元件31、41和42、43使其各自分開(kāi)預(yù)定的距離d1、d2。
在一個(gè)不同的實(shí)施例中，桿66和67可由小齒輪/齒條單元驅(qū)動(dòng)。
由于桿66和67的雙重動(dòng)作導(dǎo)致分度表面的移動(dòng)分離和閉合，所述動(dòng)作與重力和慣性力方向無(wú)關(guān)，也沒(méi)有必要使用彈簧或彈性元件。因而不管測(cè)量頭的方向如何，發(fā)明的機(jī)構(gòu)也能保證可靠和快速地起作用。
在解鎖位置，由伺服馬達(dá)(未示出)保證、由測(cè)量機(jī)的軟件、或者由其它等效的自動(dòng)致動(dòng)器控制圍繞兩個(gè)軸A和B的轉(zhuǎn)動(dòng)。
這里描述的實(shí)施例包括用于同時(shí)鎖定和解鎖兩個(gè)軸A和B的單個(gè)致動(dòng)器。但是本發(fā)明還包括多種變型，其中通過(guò)獨(dú)立的致動(dòng)器鎖定和解鎖每條旋轉(zhuǎn)軸線。
在一個(gè)實(shí)施例中，發(fā)明的測(cè)量頭僅包括一條旋轉(zhuǎn)軸線，例如水平軸線A。
下面結(jié)合圖10對(duì)驅(qū)動(dòng)第一可重新定向元件40圍繞軸線B轉(zhuǎn)動(dòng)的裝置進(jìn)行描述。第二水平旋轉(zhuǎn)軸線A可選擇地也設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，為了簡(jiǎn)明起見(jiàn)將不對(duì)其進(jìn)行描述。
與支承元件30相連并與軸線B共軸的固定軸套80帶有固定齒輪86，該齒輪與由馬達(dá)90的軸C直接驅(qū)動(dòng)的小齒輪92嚙合。
在解鎖位置，軸承84允許馬達(dá)90圍繞軸線B自由轉(zhuǎn)動(dòng)。對(duì)于可重新定向元件40的所有位置來(lái)說(shuō)，軸線B和馬達(dá)90的軸C之間各軸的中心距離a是恒定的，且小齒輪92和齒輪86之間的間隙也是恒定的，這樣使得角誤差達(dá)到最小。齒輪86和小齒輪92之間各軸的中心距離a是由軸承84嚴(yán)格決定的。
馬達(dá)90優(yōu)選為脈沖馬達(dá)并且，如果需要，也可以包括機(jī)械齒輪減速單元或運(yùn)行結(jié)束傳感器的摩擦離合器、或角編碼器以便精確地確定探測(cè)器觸頭的軌跡。另一種可選方式是，可以獨(dú)立部件的形式設(shè)置這些元件。根據(jù)具體情況，可以用抗摩軸承或任何其它等效的引導(dǎo)裝置代替軸承84。
馬達(dá)和第一可重新定向元件之間的轉(zhuǎn)動(dòng)傳送不是剛性的，而是通過(guò)具有間隙的傳動(dòng)元件進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)傳送的，以避免在鎖定位置均衡靜止條件產(chǎn)生任何改變。馬達(dá)90的外周邊上包括引導(dǎo)孔94，與可重新定向元件40連接的且與所述旋轉(zhuǎn)軸線B平行的指部75接合在該孔中。按照這種方法，通過(guò)馬達(dá)90驅(qū)動(dòng)可重新定向元件40圍繞軸線B轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)保持在鎖定位置和解鎖位置之間可軸向自由地滑動(dòng)。
切換到鎖定位置的開(kāi)關(guān)簡(jiǎn)單地包括將指部75滑入到孔94內(nèi)，而不存在馬達(dá)90相對(duì)于軸線B和相對(duì)于支承元件30的相對(duì)位置的任何改變。馬達(dá)90和齒輪86、92并不跟隨可重新定向元件40沿軸線B的滑動(dòng)移動(dòng)而運(yùn)動(dòng)。在孔94和指部75之間的間隙足以排除對(duì)鎖定位置中分度精度的任何影響。
有利地，將由指部75和孔94構(gòu)成的對(duì)放在距軸線B最大距離處以使傳動(dòng)力最小。在指部75和軸線B之間各軸相當(dāng)大的中心距也允許更加容易地選擇指部75和孔94之間的最佳間隙。
已經(jīng)確定在0.005-1.0毫米之間的間隙允許可重新定向元件在不同的分度位置精確定位而不會(huì)改變分度精度，0.01-0.1毫米之間的間隙效果最優(yōu)。可選擇地，可對(duì)指部75進(jìn)行型面加工以增加在鎖定位置的間隙。
自然地，指部75和孔94可由能夠由馬達(dá)90驅(qū)動(dòng)可重新定向元件40轉(zhuǎn)動(dòng)的另一種傳動(dòng)裝置所代替，例如由槽和舌、滑動(dòng)器或另一種其它的等效裝置所代替。
在一個(gè)未示出的不同實(shí)施例中，可將馬達(dá)90設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸線B，使馬達(dá)90軸與支承元件30直接相連以便省去齒輪裝置86和90。在這個(gè)實(shí)施例中，在第一可重新定向元件的旋轉(zhuǎn)軸線B和馬達(dá)90的軸線之間各軸的中心距減至零，且馬達(dá)軸相對(duì)于支承元件30鎖定，馬達(dá)有利地設(shè)有機(jī)械齒輪減速裝置，馬達(dá)自己轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)由指部75和孔94構(gòu)成的元件對(duì)驅(qū)動(dòng)可重新定向元件40。
在其它實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可以是對(duì)稱的，即它們存在于支承元件30中和/或存在于第二可重新定向元件50中而不是存在于第一可重新定向元件40中。
權(quán)利要求
1.用于相對(duì)于測(cè)量設(shè)備定向探測(cè)器觸頭(60)的可定向測(cè)量頭(10)，包括支承元件(30)；與所述支承元件(30)相連接且能夠相對(duì)于所述支承元件(30)圍繞第一軸線(B)轉(zhuǎn)動(dòng)的第一可重新定向元件(40)；轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器(90)，連接以便能圍繞所述第一軸線(B)轉(zhuǎn)動(dòng)；在所述支承元件和所述轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器之間用于在距所述第一軸線(B)恒定距離(a)處圍繞所述第一軸線(B)驅(qū)動(dòng)所述致動(dòng)器的第一傳動(dòng)裝置(86，92)；和在所述轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器和所述第一可重新定向元件之間用于驅(qū)動(dòng)所述第一可重新定向元件(40)的第二傳動(dòng)裝置(75，94)。
2.如在前權(quán)利要求所述的測(cè)量頭，其特征在于，所述第二傳動(dòng)裝置包括間隙。
3.如在前權(quán)利要求所述的測(cè)量頭，其特征在于，所述間隙在0.005-1.0毫米之間。
4.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量頭，其特征在于，所述第一傳動(dòng)裝置包括一對(duì)齒輪，其中一個(gè)齒輪(86)與所述支承元件(30)相連接，而另一個(gè)齒輪(92)由馬達(dá)(90)直接驅(qū)動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量頭，包括支承所述致動(dòng)器的軸承(84)。
6.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量頭，其特征在于，所述第一可重新定向元件(40)可在鎖定位置和解鎖位置之間在軸線(B)的方向上滑動(dòng)。
7.如權(quán)利要求6所述的測(cè)量頭，其特征在于，當(dāng)所述第一可重新定向元件(40)在軸線(B)方向上滑動(dòng)時(shí)，所述致動(dòng)器不相對(duì)于所述支承元件改變位置。
8.如權(quán)利要求7所述的測(cè)量頭，其特征在于，所述第二傳動(dòng)裝置包括與所述第一可重新定向元件相連接且平行于所述第一軸線(B)的元件(75)。
9.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量頭，包括多個(gè)與所述第一可重新定向元件(40)相連接的活動(dòng)定位元件(41)；多個(gè)與所述支承元件(30)相連接的且能與所述活動(dòng)定位元件(41)接合以相對(duì)于所述固定元件(30)限定多個(gè)所述第一可重新定向元件(40)的預(yù)定方向的固定定位元件(31)。
10.如權(quán)利要求9所述的測(cè)量頭，包括與所述第一可重新定向元件相連接能沿著第二軸線(A)相對(duì)于所述第一可重新定向元件(40)轉(zhuǎn)動(dòng)的第二可重新定向元件(50)；連接以便能圍繞所述第一軸線(A)轉(zhuǎn)動(dòng)的第二轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器；在所述第一可重新定向元件和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器之間用于在距所述第二軸線恒定距離處圍繞所述第二軸線(A)驅(qū)動(dòng)所述致動(dòng)器的第三傳動(dòng)裝置；在所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)致動(dòng)器和所述第二可重新定向元件之間用于驅(qū)動(dòng)所述第二可重新定向元件(40)的第四傳動(dòng)裝置。
11.如權(quán)利要求10所述的測(cè)量頭，其特征在于，所述第一軸線(B)與第二軸線(A)基本上是互相垂直的。
全文摘要
用于測(cè)量三維坐標(biāo)的機(jī)器的帶分度的機(jī)動(dòng)化測(cè)量頭。由剛性支承在軸承或滾珠軸承上的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)可定向軸。由傳動(dòng)元件將轉(zhuǎn)動(dòng)傳送給可重新定向的元件，所述傳動(dòng)元件具有足夠的間隙從而不會(huì)損害分度精度。
文檔編號(hào)G01B5/008GK1782654SQ20051012850
公開(kāi)日2006年6月7日 申請(qǐng)日期2005年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月1日
發(fā)明者P·若爾迪爾, C·魯熱 申請(qǐng)人:特莎有限公司