專利名稱：具有吸入探針的檢漏器的制作方法
具有^uv探針的檢漏器技術(shù)領(lǐng)域^本發(fā)明涉及一種具有吸入探針的檢漏器，該檢漏器包括包含真空泵 和示蹤氣體感測器的主裝置，所述主裝置通過軟管與吸入探針連接。
背景技術(shù)：
DE 44 45 829 Al (Leybold AG)描述了 一種在吸入軟管末端具有高 真空泵級的逆流吸入檢漏裝置。使用約4m長的吸入軟管，所述吸入軟 管被設(shè)計為毛細管線并具有約0.4 mm的內(nèi)徑。吸入軟管提供維持在其 出口端處產(chǎn)生真空所需的節(jié)流效應(yīng)。DE-OS 24 41 124描述了一種具有吸入軟管的檢漏裝置，其中所述 軟管具有相對較大的直徑。在為質(zhì)譜儀的示蹤氣體感測器的前方設(shè)置節(jié) 流閥。通過將節(jié)流閥布置在示蹤氣體感測器的前方，真空泵可以將待分 析空氣從吸入探針的入口更快地輸送到節(jié)流閥的前方，即輸送到示蹤氣 體感測器。因此，降低了取決于軟管長度的響應(yīng)時間。德國專利申請DE 10 2005 009 713 (尚未公開)描述了 一種具有吸入 探針的檢漏器，其中將吸入探針連接到主裝置上的軟管包括至少兩個毛 細管線，所述毛細管線可以選擇性地在主裝置或吸入探針中關(guān)閉。通過 選擇性地開啟一個或幾個閥，可以選擇通過其吸入空氣的毛細管線。因 此，通過選擇具有特定橫截面的毛細管線，可以改變死時間。此外，以 不同氣體流量操作的兩種不同類型的裝置可以與相同軟管結(jié)合使用。吸入檢漏的問題是，必須盡可能快地探測大部分測試項目，以最早 發(fā)現(xiàn)工藝中的泄漏。其后，必須評價所發(fā)現(xiàn)泄漏的大小，使用的參考值 為預(yù)先設(shè)定的觸發(fā)信號。這兩個要求彼此矛盾，因為對于有效的檢漏，需要短的響應(yīng)時間和良好的距離靈敏度，以及然而，對于定量評價，需要具有高穩(wěn)定性的信號，這在快速測量中 不易于得到。由允許實施檢漏模式和泄漏量測量模式的實踐中，已知檢漏器。利 用具有差分顯示的儀器，其中確定作為時間的函數(shù)的測量信號的導(dǎo)數(shù)以 抑制恒定的背景濃度，在探測模式中選擇最可能高的前置放大器靈敏 度，以在距離泄漏較大距離處檢測低濃度的已泄漏氣體。利用具有非差 分直接顯示的儀器，探測觸發(fā)水平限定得明顯低于實際觸發(fā)極限。在任 一種情況下，增加靈敏度或降低觸發(fā)水平都不會提高距離靈敏度，這是 因為在泄漏周圍形成的泄漏氣體的霧是非常有限的，例如尤其是具有低 擴散系數(shù)的重氣體，例如制冷劑。應(yīng)該增加放大，但必須接受較大的信 號噪音。如果通過較長的平均時間減小噪音，則信號的增加會非常地更 慢，降低可能的探測速度。利用非差分顯示，通過重復(fù)的手動調(diào)零僅可 以校正慢的背景變化，這很難在探測模式中給出增加的靈敏度。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個目的是提供一種具有吸入探針的檢漏器，所述檢漏器 允許盡可能快地探測大部分測試項目，并快速地發(fā)現(xiàn)工藝中的每處泄 漏，并且也允許精確地確定泄漏的大小。本發(fā)明檢漏器的特征在于權(quán)利要求1的特征。據(jù)此，軟管包括具有 不同橫截面的至少第一通道和第二通道，其中至少具有較大橫截面的通 it設(shè)置有閥，并且其中設(shè)置用于在檢漏模式(在該模式中，打開較大通 道)和泄漏量測量模式(在該模式中，關(guān)閉較大通道)之間切換的開關(guān)。在檢漏模式中，用較大橫截面的通道進行泄漏的探測，由此得到大 的范圍和短的響應(yīng)時間。因此，也可以從較遠的距離探測泄漏，因為由 于強的吸入作用和吸入探針的較快移動，所以從泄漏處之前的霧中瞬間 吸入大量泄漏氣體并且立即顯示。死時間和上升時間都是最短的，因此 加快檢漏。這不是采用放大的增加，放大的增加可能導(dǎo)致小的干擾濃度 的錯誤測量。而是采用流量的增加，由此加快來自泄漏之前的霧的氣體 的探測。與其相反，用小流量測量泄漏量，導(dǎo)致短的量程。因此，在由探測 所知的泄漏位置處的測量期間，精確地定量測量泄漏，并具有大的穩(wěn)定 性。通過小流量最小化來自環(huán)境的背景。4在檢漏模式中，維持氣體的限定的環(huán)境濃度，這與吸入管線中的氣 體流無關(guān)。由于吸入管中的大的氣體流，泄漏氣體流導(dǎo)致在泄漏周圍形 成的霧中的氣體濃度降低，這是因為流入的空氣引起稀釋。因此，由于 吸入管中大的氣體流，與泄漏信號相比，限定的在環(huán)境中的背景濃度會 導(dǎo)致較大的信號。盡管具有較大氣體流量的吸入管線導(dǎo)致較快的信號上 升和較好的距離靈敏度，但是示蹤氣體對環(huán)境污染物的靈敏度較高。由于上述原因，在利用較低的氣體流量實施的泄漏量探測模式中， 檢漏器對環(huán)境污染物的靈敏度較低。在檢漏模式中，優(yōu)選進行背景的連續(xù)自動抑制。為此，可以提供用 于探測和顯示示蹤氣體感測信號隨時間的變化的裝置?？梢允褂眯纬尚?號導(dǎo)數(shù)的微分裝置，以使緩慢變化的信號歸零，所述信號包括背景信號。 然而，進行泄漏量的測量而不用自動背景補償?？梢酝ㄟ^在軟管內(nèi)延伸并具有不同直徑的毛細管形成軟管的不同 通道。另一方面，也可以通過入口尺寸不同的毛細管線形成所述通道， 通過所述毛細管線節(jié)流氣體流。優(yōu)選地，兩個通道的每一個本身設(shè)置有閥，使得可以交替地打開和 關(guān)閉通道。然而，還能夠保持較小通道連續(xù)打開并且僅在檢漏模式中打 開大通道。優(yōu)選地，兩個通道中的載氣流量相差至少IO倍。


下面是本發(fā)明實施方案相對于唯一附圖的詳細描述。 附圖示意性地舉例說明根據(jù)本發(fā)明的檢漏器。
具體實施方式
檢漏器包括主裝置10，所述主裝置10包括在吸入檢漏期間不需移 動的部件。將主裝置10設(shè)計為桌面設(shè)備或安裝在地面上的裝置。其中， 主裝置10包括真空泵11和示蹤氣體感測器12。質(zhì)鐠儀或紅外氣體分析 儀可以作為示蹤氣體感測器。真空泵11吸入氣體，使其通過示蹤氣體感測器12。示蹤氣體感測器的入口 13與軟管15相連。長度可以為幾米 的軟管通向吸入探針16。吸入探針16是具有手柄17和吸入管18的手 持式設(shè)備。吸入探針16可以為槍形設(shè)計。也可以在主裝置中設(shè)置與手 持式設(shè)備中相同的閥布置。軟管15包括第一毛細管線20和第二毛細管線21，其連接吸入探針 16和主裝置10。在手持式裝置17中設(shè)置由第一閥22和第二閥23形成 的閥布置。第一閥22與第一毛細管線20的入口連接，第二閥23與第 二毛細管線21的入口連接。閥22和23的入口與吸入管18連接。閥22 和23是通過安裝在手持式裝置17上的開關(guān)24電控制的電磁閥。然而， 還可以使用在手持式裝置17處由使用者機械操作的手動操作閥。連接 閥22、 23，使得閥中的至多一個是打開的。當閥22打開時，閥23將關(guān) 閉。當閥22關(guān)閉時，閥23打開。因此，在這種情況下交替地打開由毛 細管線20和21形成的通路。閥22、 23是可以在打開狀態(tài)和關(guān)閉狀態(tài) 之間切換的切換閥。可替代地，在主裝置10中也可以容納本實施方案 中的包括在手持式裝置中的閥布置。通過開關(guān)24實現(xiàn)檢漏模式和泄漏量測量模式之間的切換。當該開 關(guān)接通時，閥22打開，閥23關(guān)閉，這相應(yīng)于檢漏模式。當開關(guān)24斷 開時，閥22關(guān)閉，閥23打開，這相應(yīng)于泄漏量測量模式。在吸入檢漏中，示蹤氣體包含于測試的對象(例如容器)中。通常將 氦用作示蹤氣體，在封閉容器之前將示蹤氣體引入到待測試泄漏的腔 內(nèi)。然后用吸入探針16掃描測試的對象。吸入管18吸入從可能的泄漏 流出的示蹤氣體，并將該示蹤氣體輸送到分析示蹤氣體的主裝置10中。首先，設(shè)定為檢漏模式，其中毛細管線20打開，毛細管線21關(guān)閉。 同時，激活差分顯示，從而消除示蹤氣體感測器12的緩慢變化的信號。在 這種狀態(tài)中，通過緊密地沿著待檢測本體的表面移動^探針，用^探 針掃描該本體的環(huán)境。因此，可以定位存在的泄漏。其后，啟動開關(guān)24， 以切換到泄漏量測量模式。同時，停止差分顯示并用檢測信號的直接顯示 代替?，F(xiàn)在，僅用細的毛細管線21進行泄漏量測量模式。因此，得到具有 高穩(wěn)定性和高精度的泄漏的定量評估。
權(quán)利要求
1.一種具有吸入探針的檢漏器，其包括包含真空泵(11)和示蹤氣體感測器(12)的主裝置(10)，所述主裝置(10)通過軟管(15)與吸入探針(16)相連，其特征在于所述軟管(15)包括具有不同橫截面的第一通道和第二通道，至少具有較大橫截面的通道設(shè)置有閥(22、23)；并且設(shè)置有用于在檢漏模式和泄漏量測量模式之間切換的開關(guān)(24)，在所述檢漏模式中，所述較大通道是打開的，在所述泄漏量測量模式中，所述較大通道是關(guān)閉的。
2. 權(quán)利要求l的檢漏器，其特征在于設(shè)置有用于測定和顯示所述示蹤 氣體感測器(12)的信號隨時間的變化的裝置。
3. 權(quán)利要求1或2的檢漏器，其特征在于所述開關(guān)(24)設(shè)置在所述吸入 探針(16)上。
4. 權(quán)利要求1~3中之一的檢漏器，其特征在于所述軟管(15)包括至少 兩個毛細管線(20、 21)，其中一個毛細管線(20)形成所述第一通道，而 另 一個毛細管線(21)形成所述第二通道。
5. 權(quán)利要求1~4中之一的檢漏器，其特征在于在所述兩個通道中的載 氣流相差至少10倍。
6. 權(quán)利要求1~5中之一的檢漏器，其特征在于在所述主裝置(10)中包 括至少一個閥(22、 23)。
全文摘要
檢漏器具有包括真空泵(11)和測試氣體感測器(12)的主裝置(10)和手持式吸入探針(16)。將吸入探針連接到基本設(shè)備的毛細管線(20、21)包括閥(22、23)，通過所述閥可以選擇性地打開這些管線。在檢漏模式中，打開具有較大橫截面的毛細管線(20)。這導(dǎo)致從較大距離也能檢漏?？s短測試氣體感測器(12)響應(yīng)前的死時間。一旦查找到泄漏位置，則該設(shè)備切換到泄漏量測量模式，在該模式中僅打開具有較小橫截面的毛細管線(21)。這導(dǎo)致高精度和高穩(wěn)定性地定量測量泄漏量。
文檔編號G01M3/20GK101263377SQ200680033254
公開日2008年9月10日 申請日期2006年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月13日
發(fā)明者桑德拉·塞茨, 維爾納·格羅斯·布萊 申請人:因菲康有限公司