專利名稱：：傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，特別涉及具有一個敏感參數(shù)及具有多個敏感參數(shù)的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法。
背景技術(shù)：
：現(xiàn)有對傳感器的輸出進行校準常采用模擬校準方法，該種方法一則導致傳感器的補償電路極為復雜，再則也難以對二階或二階以上的非線性系數(shù)進行校準，因此如何解決現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點實已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)課題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，以實現(xiàn)對具有一個敏感參數(shù)傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準。本發(fā)明的另一目的在于提供一種傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，以實現(xiàn)對具有多個敏感參數(shù)傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準。為了達到上述目的，本發(fā)明提供的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，應用于具有一個敏感參數(shù)的傳感器，其包括步驟1)使傳感器信號調(diào)理電路分別工作在敏感參數(shù)不同的狀態(tài)，并記錄所述傳感器信號調(diào)理電路在不同狀態(tài)下的各數(shù)字輸出值；2)根據(jù)所記錄的各數(shù)字輸出值及所述傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系計算所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)應達到的值；3)根據(jù)所述各階補償系數(shù)應達到的值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)以校準所述傳感器信號調(diào)理電路。其中，所述傳感器信號調(diào)理電路可為具有溫度變化率的溫度傳感器信號調(diào)理電路，在步驟l)中，使溫度傳感器信號調(diào)理電路分別工作在溫度變化率為0及A^的狀態(tài)，并記錄所述溫度傳感器信號調(diào)理電路在各不同狀態(tài)的數(shù)字輸出值。此外，本發(fā)明的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，應用于具有多個敏感參數(shù)的傳感器，其包括步驟1)使傳感器信號調(diào)理電路工作在零輸入狀態(tài)，并根據(jù)所述傳感器信號調(diào)理電路在零輸入狀態(tài)下的數(shù)字輸出調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差調(diào)節(jié)控制器以使所述傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差降至最低；2)使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路分別工作在一個敏感參數(shù)不同且其他敏感參數(shù)相同的多種狀態(tài)，并記錄所述傳感器信號調(diào)理電路在各種狀態(tài)輸出的數(shù)字值，其中，在所述多種狀態(tài)中，發(fā)生改變的敏感參數(shù)為影響所述放大器增益的主敏感參數(shù)；3)根據(jù)所記錄的各數(shù)字值及所述傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系計算所述傳感器信號調(diào)理電路的放大器應達到的增益值；4)根據(jù)所計算出的放大器應達到的增益值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的放大器增益；5)使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路分別工作在多個敏感參數(shù)都不同的狀態(tài)，并記錄所述傳感器信號調(diào)理電路在各不同狀態(tài)輸出的各數(shù)字輸出值；6)根據(jù)所記錄的各數(shù)字輸出值及經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系，計算所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)應達到的值；7)根據(jù)所述各階補償系數(shù)應達到的值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)以校準所述傳感器信號調(diào)理電路。其中，所述傳感器信號調(diào)理電路可為具有溫度變化率及壓力變化率兩個敏感參數(shù)的壓力傳感器信號調(diào)理電路，在步驟2)中，使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)的壓力傳感器信號調(diào)理電路分別工作在溫度變化率都為0而壓力變化率分別為零、A^、及2、^的狀態(tài)，在步驟3)中，使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的所述壓力傳感器信號調(diào)理電路分別工作在溫度變化率和壓力變化率都為0、溫度變化率為A^且壓力變化率為0、溫度變化率為a7^且壓力變化率為A^、溫度變化率為2^^且壓力變化率為0、溫度變化率為2、^且壓力變化率為A^的狀態(tài)。綜上所述，本發(fā)明的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法通過采用數(shù)字方法實現(xiàn)對具有一個或多個敏感參數(shù)的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準。圖1為傳感器信號調(diào)理電路的示意圖。圖2為本發(fā)明的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法操作流程示意圖。具體實施方式請參閱圖l，其為傳感器信號調(diào)理電路的示意圖，在所述傳感器信號調(diào)理電路中分別設有傳感器(Sensor)、可編程放大器(PGA)和輸入零偏調(diào)節(jié)電路(offsetcancellation),線性調(diào)節(jié)電壓源(LD0)、參考源(REF)、溫度傳感器(TEMP)、振蕩器(0SC)、一次編程存儲單元(0TP)、.多路選擇器(MUX)、增量積分模數(shù)轉(zhuǎn)換器(SDM)、降采樣濾波器(DEC)、校準單接口電路(IIC)及數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)等，所述傳感器信號調(diào)理電路分別接設了橋臂激勵電壓(V服)、電源電壓(VDD)及地(VSS)，其還設有橋臂負輸入端(IN)、橋臂正輸入端(IP)、第二路輔助負輸入端(IN2)、第二路輔助正輸入端(IP2)、第三路輔助負輸入端(IN3)、第三路輔助正輸入端(IP3)、電路開關(guān)端(nSHDN)、模擬輸出信號端(V0UT)，當所述傳感器為壓力傳感器時，其輸出可等效為具有二次項的多項式UM0(i+^r)vs0@(i+7rls:r+rc2,sr2)(LL工)v(i+《+(i+rc,。r+rc2oer2)上式中各參數(shù)的含義請參見表1，式中第一項為施加在傳感器橋壁上的偏置電壓&，第二項為傳感器靈敏度的非線性溫度系數(shù)，第三項為傳感器靈敏度的非線性系數(shù)，第四項為零輸入誤差的非線性系數(shù)，而可編程放大器(PGA)的輸出為式中rc;^是傳感器本身的溫度系數(shù)，r'，e是傳感器本身的零輸入誤差，rCp^和^^是在考慮了可編程放大器的非線性后的等效傳感器溫度系數(shù)和等效的零輸入誤差，由式(i.i.i)和(1.1.2)可得到ADC的轉(zhuǎn)換結(jié)果為、U+rc腸c.A:r)一=2.d(i丄聽c'^.(1+rC,'Ar)(i丄3)『腳(i+rc朋a:t)v(i+;'Ar+rc2,sAr2)(i+ap)AF+r。#0.(i+rclo.Ar+rc2，?！?)]+f0,c}其中，W為所述壓力傳感器信號調(diào)理電路的模數(shù)變換數(shù)字位數(shù)；根據(jù)泰勒(Taylor)多項式原理，上述表達式中可以表達為一個關(guān)于Ar和AP的多項式即M"r,D期.『腳參V(l+化".Ar+rC2s.Ar2),(l+^.AP).AP"脫:2^.4G,[^^.(i+rCw.Ar+rc2,A:r2).(i+^.AP).AP(1.1.4)"嚴M必c在上式中，re,".rC^力、rC^和F^w等系數(shù)以在Taylor展開中被其他多項式系數(shù)等效，而高階系數(shù)在上式中被忽略，令尸s=2&oc.7朋oFTTO_厶A簡，，則式(1.1.4)可表示為+Jp0*(i+rcvAr+rc2,Ar2)此外，當所述傳感器為溫度傳感器時，其輸出電壓可表示為<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>爿DC本發(fā)明的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法即為對上述傳感器信號調(diào)理電路的輸出進行校準，首先以具有兩個敏感參數(shù)的壓力傳感器信號調(diào)理電路為例詳細說明。壓力傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法主要包括以下步驟第一步使傳感器信號調(diào)理電路工作在零輸入狀態(tài)，并根據(jù)所述傳感器信號調(diào)理電路在零輸入狀態(tài)下的數(shù)字輸出調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差調(diào)節(jié)控制器以使所述傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差降至最低，所述零輸入狀態(tài)為溫度變化率Ar和壓力變化率AP兩個敏感參數(shù)都為O，若Ar-O且AP-O零輸入狀態(tài)下記錄ADC的輸出此狀態(tài)的數(shù)字輸出值il^，再調(diào)節(jié)零輸入誤差調(diào)節(jié)控制器使其值最接近M,,由于如此可使零輸入誤差降至最低。第二步由于傳感器信號調(diào)理電路為壓力傳感器信號調(diào)理電路，所以影響所述放大器增益的主敏感參數(shù)為壓力變化率AP，故使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)的傳感器信號調(diào)理電路分別工作在Ar-O而AP分別為零、A^、及2、^的狀態(tài)，并記錄經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路在Ar=0且^=0時的數(shù)字輸出值似2，在厶r=0且^=么&時的數(shù)字輸出值M3，在Ar=0且/^=2*么&時的數(shù)字輸出值肘4。第三步根據(jù)所記錄的各數(shù)字值及所述傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系計算所述傳感器信號調(diào)理電路的放大器應達到的增益值計算所述傳感器信號調(diào)理電路的放大器應達到的增益值，所述壓力傳感器信號調(diào)理電路的輸入輸出關(guān)系如式(1.1.5)，由此可知M2=Fo，所以式(1.1.5)變換為M=」扁'F"(l+rC,s'Ar+7T2s'Ar2)—l+i^.AP).AP+m2(i+rc!。.Ar+rc20Ar2)相應有m3=v4，fs(1+《sAa)△&+m2M4=v4PG4《(2+4.iC,A;》+M2根據(jù)式(1.1.9)和(1.1.10)可得(1.1.8)(1.1.9)(1.1.10)^腦《=4'M3—M4-3省2(1.1.11)2.M3_M4—M2(Af4—4.iW3+3-M"2)化(1.1.12)進而可計算出應達到的PGA增益為:0.5f—見(1.1.13)第四步根據(jù)計算出的放大器應達到的標準增益值調(diào)節(jié)所述放大器的增益，即使PGA的增益調(diào)整為。第五步使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路分別工作在Ar-O且AP=0、A7，=△《且AP=0、A71=a7;且AP=aa、AT=2*a7;且AP=0、AT:2^7;且AP-A凡的狀態(tài)，并記錄經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路的模數(shù)轉(zhuǎn)換器測出的零輸入偏移值M2。，零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路在△r=0且厶尸=0時的數(shù)字輸出值^/5，在厶丁-Az;且AP二o時的數(shù)字輸出值Me，在Ar二at;且AP-AA時的數(shù)字輸出值i^，在AT=2*^且^=0時的數(shù)字輸出值肘9，在厶7=2*^且A/^A凡時的數(shù)字輸出值M,。。第六步根據(jù)所記錄的各數(shù)字輸出值及經(jīng)過了零誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系，計算所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)應達到的值，經(jīng)過了零誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系如式(1.1.8)所示，根據(jù)式(1.1.8)可得M5=4>C"《(1+&.厶A),+M:20其中，M2。為經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)后的零輸入偏移，現(xiàn)設定(1.1.14)尸=j.F二20(1+因此式(L1.8)可變換為+m20(i+rc,0.Ar+rc20at2)其中，F(xiàn)c和&可根據(jù)前述說明予以計算得到，進而有m6=m2(i+rc;,。.a7;+rc2,。az;2)m7=fg(i+rc,s+rc2s.at;2)(i+《s'a")a/s+m2。(i+rq,。-a7;+rc2o-a:;2)=fg(i+s+rc2s.az;2)(i+&'△凡)△&+m6m9=m2。(i+2-rc,o.Arv+4rc2,0.a7;2)m10=fg.(l+2-rq,s.厶j;+4.rc2,s.Ars2).(i+&龜)Ap,+m2。(i+2.rcl0+4.rc2,。-az;2)二fg(i+2rcs+4rc2s.a7;2)(i+&.△&).△&+m9聯(lián)合式(1.1.17)和(1.1.19)即可得到零輸入誤差的溫度補償系數(shù)為:(1.1.15)(1.1.16)(1.1.17)(1.1.18)(1.1.19)(1.1.20)、M202m2。2(1.1.21)&2，。=^,0《2=(1-2M6!m9)1m202(3(1.1.22)聯(lián)合式(1.1.19)和(1.1.20)即可得到溫度變化率不為零的溫度補償系數(shù)為:rcis=rqs=(4.a—6_3):53-m20—3'm5_m1()_4.m6+1m7+m92.(m5—m20)(1.1.23)f77C2,S=《=(一2+6+1):5一m5—m20+2.m6-2.似7_m9+m10=2.(m5—m20)(1.1.24)式中m7—m6，6=m10—m9第七步根據(jù)計算出的各補償系數(shù)應達到的值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的相應各補償系數(shù)，從而完成壓力傳感器信號調(diào)理電路的校準。經(jīng)過校準的壓力傳感器信號調(diào)理電路測量壓力時，根據(jù)式(1.1.16)可知+m2。(i+rc!。.Ar+rc2,。.Ar2)(1.1.27)其中，m,M,為壓力傳感器信號調(diào)理電路的adc的輸出值，根據(jù)上式可計算出厶p:—1±Jl+4-e《2-(1.1.28)見20其中，-a/20*(1+j,。.+2,0.fr)a.i.29)因為厶戶是(-1，1)之間的數(shù)，且&是一個遠小于的數(shù)，因此式(1.1.28)可變換為-—1+^/1+4.2-《。w(l-e《-(l一2.e人))對于溫度傳感器調(diào)理電路，由于其僅僅對溫度變化率敏感，因此其校準過程較為簡單，主要包括以下步驟-第一步使溫度傳感器信號調(diào)理電路分別工作在溫度為0及A7;的狀態(tài)，并記錄所述溫度傳感器信號調(diào)理電路在各不同狀態(tài)的數(shù)字輸出值，例如記錄有溫度為0時的數(shù)字輸出值為7^1，溫度為A7;時的數(shù)字輸出值是^^。第二步根據(jù)所記錄的各數(shù)字輸出值及所述傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系計算所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)應達到的值，根據(jù)前述分析可知，所述傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系如式(1.1.7)，因為根據(jù)式(1.1.7)可知ik^二2、;，，進而有M,2=Mn.(i+rc,，.Ar)由此可得到相應的溫度補償系數(shù)分別為i^。二M,i，&=M'2-M"，而式(1.1.7)可變換為-M=Fr,(l+Fre.Ar)(1.1.25)第三步根據(jù)所述各階補償系數(shù)應達到的值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)以校準所述傳感器信號調(diào)理電路。經(jīng)過上述校準后，當所述溫度傳感器測量相對于初始溫度的溫度變化為A:r，根據(jù)式a.i.25)可得Ff=Md，其中，M是溫度傳感器調(diào)理電路的adc的輸出值。△rsm,2—,'需要說明的是，前述的各公式中的參數(shù)的含義可參見后表l，在此不一一予以解釋，以上僅以具有一階溫度補償系數(shù)的溫度傳感器信號調(diào)理電路的校準及具有兩個敏感系數(shù)的壓力傳感器信號調(diào)理電路的校準為例予以說明，但并非依此為限，例如，也可將本發(fā)明的校準方法用于對二階以上的補償系數(shù)予以校準，即通過使傳感器信號調(diào)理電路工作在敏感參數(shù)不同的狀態(tài)，并根據(jù)傳感器信號調(diào)理電路輸入與輸出之間的關(guān)系即可計算出相應二階以上的補償系數(shù)，由此可完成對二階以上系數(shù)的校準，在此不再詳述。再有，敏感參數(shù)也并非以本實施方式所示為限，例如也可為地磁力、加速度、濕度等。綜上所述，本發(fā)明的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法釆用數(shù)字校準技術(shù)實現(xiàn)對傳感器調(diào)理電路的校準，其中，傳感器所有非線性敏感系數(shù)及非線性溫度系數(shù)都通過數(shù)字計算得到校準，相較于現(xiàn)有的模擬校準方法，其補償電路較為簡單，而且信號調(diào)理電路的供電電壓可以更低，更加適用于深亞微米工藝的制造，再有，也可為將來的單芯片傳感器信號處理系統(tǒng)集成打下基礎，同時還可延伸至對傳感器的二階以上的非線性系數(shù)進行校準。11表1:<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>權(quán)利要求1.一種傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，應用于具有多個敏感參數(shù)的傳感器，其特征在于包括步驟1)使傳感器信號調(diào)理電路工作在零輸入狀態(tài)，并根據(jù)所述傳感器信號調(diào)理電路在零輸入狀態(tài)下的數(shù)字輸出調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差調(diào)節(jié)控制器以使所述傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差降至最低；2)使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路分別工作在一個敏感參數(shù)不同且其他敏感參數(shù)相同的多種狀態(tài)，并記錄所述傳感器信號調(diào)理電路在各種狀態(tài)輸出的數(shù)字值，其中，在所述多種狀態(tài)中，發(fā)生改變的敏感參數(shù)為影響所述放大器增益的主敏感參數(shù)；3)根據(jù)所記錄的各數(shù)字值及所述傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系計算所述傳感器信號調(diào)理電路的放大器應達到的增益值；4)根據(jù)所計算出的放大器應達到的增益值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的放大器增益；5)使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的所述傳感器信號調(diào)理電路分別工作在多個敏感參數(shù)都不同的狀態(tài)，并記錄所述傳感器信號調(diào)理電路在各不同狀態(tài)輸出的各數(shù)字輸出值；6)根據(jù)所記錄的各數(shù)字輸出值及經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系，計算所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)應達到的值；7)根據(jù)所述各階補償系數(shù)應達到的值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)以校準所述傳感器信號調(diào)理電路。2.如權(quán)利要求1所述的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，其特征在于所述傳感器信號調(diào)理電路為壓力傳感器信號調(diào)理電路。3.如權(quán)利要求2所述的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，其特征在于所述壓力傳感器信號調(diào)理電路具有溫度變化率及壓力變化率兩個敏感參數(shù)。4.如權(quán)利要求3所述的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，其特征在于在步驟2)中，使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)的壓力傳感器信號調(diào)理電路分別工作在溫度變化率都為0而壓力變化率分別為零、A/7、及2、^的狀態(tài)。5.如權(quán)利要求4所述的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，其特征在于在步驟5)中，使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的所述壓力傳感器信號調(diào)理電路分別工作在溫度變化率和壓力變化率都為0、溫度變化率為A^且壓力變化率為0、溫度變化率為A^且壓力變化率為A^、溫度變化率為2、^且壓力變化率為0、溫度變化率為且壓力變化率為^^的狀態(tài)。6.—種傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，應用于具有一個敏感參數(shù)的傳感器，其特征在于包括步驟1)使傳感器信號調(diào)理電路分別工作在敏感參數(shù)不同的狀態(tài)，并記錄所述傳感器信號調(diào)理電路在不同狀態(tài)下的各數(shù)字輸出值；2)根據(jù)所記錄的各數(shù)字輸出值及所述傳感器信號調(diào)理電路的輸入與輸出的關(guān)系計算所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)應達到的值；3)根據(jù)所述各階補償系數(shù)應達到的值調(diào)節(jié)所述傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)以校準所述傳感器信號調(diào)理電路。7.如權(quán)利要求6所述的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，其特征在于所述傳感器信號調(diào)理電路為溫度傳感器信號調(diào)理電路。8.如權(quán)利要求7所述的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，其特征在于所述敏感參數(shù)為溫度變化率。9.如權(quán)利要求8所述的傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，其特征在于在步驟l)中，使溫度傳感器信號調(diào)理電路分別工作在溫度變化率為0及A^的狀態(tài)，并記錄所述溫度傳感器信號調(diào)理電路在各不同狀態(tài)的數(shù)字輸出值。全文摘要一種傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準方法，首先使傳感器信號調(diào)理電路工作在零輸入狀態(tài)，根據(jù)傳感器信號調(diào)理電路在零輸入狀態(tài)下的數(shù)字輸出調(diào)節(jié)傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差調(diào)節(jié)控制器以使傳感器信號調(diào)理電路的零輸入誤差降至最低，接著使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)的傳感器信號調(diào)理電路分別工作在一敏感參數(shù)不同且其他各敏感參數(shù)相同的狀態(tài)，并根據(jù)傳感器信號調(diào)理電路的各數(shù)字輸出值調(diào)節(jié)傳感器信號調(diào)理電路的放大器增益，最后使經(jīng)過零輸入誤差調(diào)節(jié)及增益調(diào)節(jié)的傳感器信號調(diào)理電路分別工作在各敏感參數(shù)都不同的狀態(tài)，并根據(jù)傳感器信號調(diào)理電路的各數(shù)字輸出值調(diào)節(jié)傳感器信號調(diào)理電路的各階補償系數(shù)，如此實現(xiàn)對傳感器信號調(diào)理電路的數(shù)字校準。文檔編號G01D18/00GK101329188SQ20071004495公開日2008年12月24日申請日期2007年8月16日優(yōu)先權(quán)日2007年8月16日發(fā)明者剛許申請人:捷頂微電子(上海)有限公司