專利名稱：基板裂紋檢測(cè)裝置以及基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適用于在搬送液晶顯示設(shè)備(LCD)、或等離子顯示設(shè)備(PDP)用玻璃基板等基板的同時(shí)實(shí)施各種處理的基板處理裝置的基板裂紋檢測(cè)裝置以及內(nèi)置有該檢測(cè)裝置的基板處理裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為檢測(cè)在處理對(duì)象即基板上產(chǎn)生的裂紋、缺損(以下，只稱為裂紋)的裝置而研究過(guò)種種的裝置，例如，在專利文獻(xiàn)1中公開有一種基板裂紋檢測(cè)器，其使用具有投光器與受光器的光學(xué)傳感器，基于半導(dǎo)體基板的碎片通過(guò)該傳感器的光路時(shí)的受光器的受光電平的變化，檢測(cè)出在基板上是否產(chǎn)生存在裂紋。
另外，在專利文獻(xiàn)2中提出有一種檢測(cè)出基板的裂紋的技術(shù)，該技術(shù)針對(duì)形成有導(dǎo)電膜的基板，使用一對(duì)電極檢測(cè)出形成有上述導(dǎo)電膜的部分的電阻值，從而基于該電阻值的變化檢測(cè)出玻璃基板的裂紋。
專利文獻(xiàn)1JP特許第2953850號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2JP特開2005-100330號(hào)公報(bào)近年來(lái)，在LCD或PDP用玻璃基板等的處理裝置中，從高效率的觀點(diǎn)出發(fā)而在搬送基板的同時(shí)實(shí)施各種處理，此時(shí)，使用如專利文獻(xiàn)1的裝置檢測(cè)基板的裂紋雖然有效，但是會(huì)存在如下的課題。
即，在基板的搬送速度快時(shí)、或者裂紋微細(xì)時(shí)，由于與裂紋對(duì)應(yīng)的受光電平的變化細(xì)微(時(shí)間短)，從而導(dǎo)致很難檢測(cè)出裂紋。這是因?yàn)?，例如由于與受光信號(hào)的取樣周期(檢測(cè)周期)的關(guān)系，而若受光電平的變化過(guò)于細(xì)微，則檢測(cè)不出該變化的可能性自然會(huì)增高。
因此，可以考慮在傳感器的位置處暫時(shí)降低基板的搬送速度、或縮短受光信號(hào)的取樣周期而提高檢測(cè)裂紋的可靠性。但是，前者會(huì)使基板的處理效率降低，另外，后者需要高性能的控制裝置而會(huì)提高相應(yīng)的成本等，因此哪個(gè)都不能說(shuō)是上策。
此外，也可以考慮應(yīng)用專利文獻(xiàn)2的技術(shù)，但此時(shí)很難檢測(cè)出形成有導(dǎo)電膜的部分之外的裂紋。也可以考慮使用CCD(Charge Coupled Devices電荷耦合器件)等拍攝裝置拍攝基板，并基于其圖像檢測(cè)基板的裂紋。此時(shí)會(huì)導(dǎo)致高成本，另外圖像處理等控制負(fù)擔(dān)過(guò)大，因此也不能說(shuō)是有效方法。因此，希望能夠以簡(jiǎn)單且廉價(jià)的結(jié)構(gòu)更為可靠地檢測(cè)出搬送中的基板的裂紋(裂紋、缺損等)。
另外，若基板上存在裂紋，則會(huì)導(dǎo)致搬送事故(trouble)而導(dǎo)致發(fā)生設(shè)備故障，或者對(duì)不能使用的基板實(shí)施無(wú)用的處理，所以有必要在開始基板處理之前、即在基板從前工序搬入到處理裝置的階段檢測(cè)出裂紋基板并剔除。另外，由于也有可能在處理中產(chǎn)生裂紋，所以，在這種情況下，需要快速檢測(cè)出裂紋基板而阻止該基板移到下一個(gè)工序。
因此，雖然希望能夠在基板搬入到處理裝置的階段、或者向下一個(gè)工序搬出之前以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)檢測(cè)出基板的裂紋，但在該專利文獻(xiàn)1等并沒(méi)有公開那種具體的結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而提出的，其目的在于，在從基板處理裝置中的基板搬入位置到搬出位置為止的基板搬送過(guò)程中，能夠以簡(jiǎn)單且廉價(jià)的結(jié)構(gòu)更加可靠地檢測(cè)出基板的裂紋(裂紋、缺損等)。
為了解決上述課題，本發(fā)明提出了如下的基板裂紋檢測(cè)裝置以及基板處理裝置。
(1)即，本發(fā)明是一種基板裂紋檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)沿著搬送路徑被搬送的基板的裂紋，并且具有第一信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；裂紋檢測(cè)單元，其在上述基板通過(guò)上述照射單元照射光的照射位置的期間，基于對(duì)應(yīng)于此而從上述信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在裂紋檢測(cè)開始之后上述受光單元的受光狀態(tài)變化時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有始終比由上述裂紋檢測(cè)單元能夠處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的上述信號(hào)。
若采用該裝置，則在由照射單元照射光的狀態(tài)下基板通過(guò)該照射位置的期間，第一信號(hào)輸出單元輸出與受光單元的受光狀態(tài)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)，并基于該信號(hào)而由裂紋檢測(cè)單元檢測(cè)出基板的裂紋。也就是說(shuō)，在基板上存在裂紋時(shí)，在該部位，光的受光狀態(tài)變化而與其對(duì)應(yīng)的信號(hào)從第一信號(hào)輸出單元被輸出，因此在裂紋檢測(cè)單元中基于該信號(hào)而檢測(cè)出裂紋。此時(shí)，在開始裂紋檢測(cè)后，第一信號(hào)輸出單元輸出具有始終比由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，所以，即使在基板的搬送速度快的情況下、或者在裂紋微細(xì)的情況下，裂紋檢測(cè)單元也能夠可靠地檢測(cè)出裂紋。
此外，所謂“包括能夠?qū)逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧币馕吨率鰞煞N結(jié)構(gòu)從照射單元對(duì)基板照射光的同時(shí)，由受光單元接收其反射光的結(jié)構(gòu)；以及，從照射單元對(duì)基板照射光的同時(shí)，接收其透射光的結(jié)構(gòu)(對(duì)于以下所述的發(fā)明也相同)。
(2)作為更具體的結(jié)構(gòu)，在上述受光單元的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
若采用該結(jié)構(gòu)，則在光的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)時(shí)，從第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
(3)在上述的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選具有多個(gè)上述第一信號(hào)輸出單元，并且，這些第一信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置排列在上述搬送路徑的寬度方向上。
若采用該結(jié)構(gòu)，則能夠在基板的更寬的范圍內(nèi)檢測(cè)裂紋，從而可提高裂紋檢測(cè)的可靠性。
此外，也考慮到這種情況由于在受光單元的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)時(shí)第一信號(hào)輸出單元輸出信號(hào)，因此在基板的前端存在裂紋時(shí)無(wú)法檢測(cè)出裂紋的情況。
(4)因此，優(yōu)選地，在上述結(jié)構(gòu)中，除了上述第一信號(hào)輸出單元，另外還具有多個(gè)第二信號(hào)輸出單元，該第二信號(hào)輸出單元包括能夠?qū)ρ刂崴吐窂奖话崴偷幕逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出與基板的有無(wú)對(duì)應(yīng)的信號(hào)，這些第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置排列在上述搬送路徑的寬度方向上，從而上述裂紋檢測(cè)單元基于從第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)上述裂紋。
若采用該結(jié)構(gòu)，則在基板的前端存在裂紋的情況下，當(dāng)基板前端到達(dá)由第二信號(hào)輸出單元的照射單元的光照射位置時(shí)，在從各第二信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)中，只有與裂紋對(duì)應(yīng)的信號(hào)狀態(tài)與其他信號(hào)狀態(tài)不同。因此，能夠檢測(cè)出基板前端的裂紋。
(5)在該結(jié)構(gòu)中，作為上述第一信號(hào)輸出單元以及第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元以及受光單元，優(yōu)選設(shè)置有共用的照射單元以及受光單元。
若采用該結(jié)構(gòu)，則能夠?qū)Φ谝恍盘?hào)輸出單元以及第二信號(hào)輸出單元的照射單元以及受光單元進(jìn)行共用化而實(shí)現(xiàn)合理且廉價(jià)的結(jié)構(gòu)。另外，由第一信號(hào)輸出單元以及第二信號(hào)輸出單元的照射單元的光照射位置變?yōu)橄嗤奈恢?，因此在基板寬度方?與搬送路徑的寬度方向相同)的特定的位置上，能夠?qū)幕宓那岸?搬送方向前端)到后端為止的整體檢測(cè)出裂紋。
(6)此外，在上述的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，還具有第三信號(hào)輸出單元，該第三信號(hào)輸出單元包括能夠?qū)ρ刂鲜霭崴吐窂奖话崴偷幕逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧一谠撌芄鈫卧氖芄鉅顟B(tài)而輸出與基板的有無(wú)對(duì)應(yīng)的信號(hào)，該第三信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置位于上述搬送路徑的寬度方向的中央、并且處在上述第二信號(hào)輸出單元的各照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向下游側(cè)的位置，上述裂紋檢測(cè)單元基于從第三信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)而檢測(cè)基板的前端，并在進(jìn)行該檢測(cè)后，基于從第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)上述裂紋。
(7)另外，優(yōu)選地，具有第四信號(hào)輸出單元，該第四信號(hào)輸出單元包括能夠?qū)ρ刂崴吐窂奖话崴偷幕逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出與基板的有無(wú)對(duì)應(yīng)的信號(hào)，該第四信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置被設(shè)定在上述搬送路徑的寬度方向的中央、并且處在上述第二信號(hào)輸出單元的各照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向上游側(cè)的位置，上述裂紋檢測(cè)單元基于從第四信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)而檢測(cè)基板的后端，并在進(jìn)行該檢測(cè)后，忽略從第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)。
若采用這些結(jié)構(gòu)，則如在具體實(shí)施方式
中詳細(xì)說(shuō)明了的那樣，在發(fā)生了基板相對(duì)搬送方向傾斜的所謂傾斜搬送時(shí)，能夠有效地回避對(duì)于基板前端、基板后端的裂紋的誤檢測(cè)，從而能夠提高裂紋檢測(cè)的可靠性。
(8)另一方面，本發(fā)明的基板處理裝置具有基板的搬送路徑；處理單元，其對(duì)沿著上述搬送路徑被搬送的基板實(shí)施規(guī)定的處理；基板裂紋檢測(cè)裝置，其檢測(cè)沿著上述搬送路徑被搬送的基板的裂紋，而且，作為上述基板裂紋檢測(cè)裝置而具有上述(2)所述的基板裂紋檢測(cè)裝置。
若采用這樣的基板處理裝置，則由于內(nèi)置有上述基板裂紋檢測(cè)裝置，所以，即使在基板搬送速度快的情況下、或者在裂紋微細(xì)的情況下，也能夠可靠地檢測(cè)出基板的裂紋。
(9)此外，在該基板處理裝置中，優(yōu)選地，上述基板裂紋檢測(cè)裝置設(shè)置在開始搬送基板的搬送開始地點(diǎn)與上述處理單元之間、或在上述處理單元與處理后的基板的搬送結(jié)束地點(diǎn)之間的至少一方。
若采用該結(jié)構(gòu)，則在將裂紋的檢測(cè)位置設(shè)定在搬送開始地點(diǎn)與上述處理單元之間時(shí)，能夠在由處理單元進(jìn)行處理前事先檢測(cè)出基板的裂紋并將其剔除，另外，在將裂紋的檢測(cè)位置設(shè)定在處理單元與搬送結(jié)束地點(diǎn)之間時(shí)，能夠在由處理單元進(jìn)行了處理后將該基板搬出到下一個(gè)工序的裝置之前檢測(cè)出基板的裂紋并將其剔除。此外，所謂“搬送結(jié)束地點(diǎn)”意味著成為處理對(duì)象的基板的終點(diǎn)位置，而并不是限定在該地點(diǎn)停止基板。也就是說(shuō)，在搬送結(jié)束地點(diǎn)一旦使基板停止，或者使基板通過(guò)均可。
(10)另外，作為其他具體的結(jié)構(gòu)，上述基板裂紋檢測(cè)裝置配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送開始位置，并且具有上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送開始位置的基板的搬送方向前端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴烷_始位置的基板的搬送方向后端部照射光的照射單元與該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)上述裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元始終使與該變化對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸出延遲一定期間，從而輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
若采用該裝置，則從外部對(duì)搬送開始位置放置了(搬入)基板，進(jìn)而基于在該基板沿著搬送路徑從該搬送開始位置完全搬出為止的期間的各信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)，通過(guò)裂紋檢測(cè)單元來(lái)檢測(cè)出裂紋。即，當(dāng)從外部對(duì)搬送開始位置放置了基板時(shí)，各信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)從不存在基板的狀態(tài)向存在的狀態(tài)變化，但此時(shí)，在基板存在裂紋時(shí)所對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)不會(huì)產(chǎn)生變化，由此裂紋檢測(cè)單元可對(duì)基板的前端部或后端部的裂紋進(jìn)行檢測(cè)。另外，當(dāng)在基板的中間部分(在搬送方向上的基板的中間部分)存在裂紋時(shí)，在開始搬送基板之后，由于來(lái)自第一信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)一旦變化為不存在基板的狀態(tài)后再次返回到存在基板的狀態(tài)，由此裂紋檢測(cè)單元可對(duì)該中間部分的裂紋進(jìn)行檢測(cè)。此時(shí)，第一信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)使信號(hào)輸出延遲一定期間，而輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)、也就是輸出具有比由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，因此，在基板的搬送速度快的情況下、或在裂紋極其微細(xì)的情況下，裂紋檢測(cè)單元也能夠可靠地基于該輸出信號(hào)而檢測(cè)出裂紋。
(11)另外，作為其他的具體的結(jié)構(gòu)，上述基板裂紋檢測(cè)裝置配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送開始位置，并且具有上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送開始位置的基板的搬送方向前端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴烷_始位置的基板的搬送方向后端部照射光的照射單元與該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
在采用該裝置的情況下，也是通過(guò)裂紋檢測(cè)單元基于各信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)來(lái)檢測(cè)裂紋。即，當(dāng)從外部對(duì)搬送開始位置放置了基板時(shí)，各信號(hào)輸出單元的光的受光狀態(tài)從不存在基板的狀態(tài)向存在基板的狀態(tài)變化，因此，裂紋檢測(cè)單元基于從各信號(hào)輸出單元是否輸出有與此對(duì)應(yīng)的信號(hào)，而對(duì)基板的前端部或后端部的裂紋進(jìn)行檢測(cè)。另外，當(dāng)在基板的中間部分(在搬送方向上的基板的中間部分)存在裂紋時(shí)，在基板的搬送開始之后，來(lái)自第一信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)一旦變化為不存在基板的狀態(tài)后再次返回到存在基板的狀態(tài)，所以從第一信號(hào)輸出單元輸出與此對(duì)應(yīng)的信號(hào)，裂紋檢測(cè)單元基于該信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋。此時(shí)，第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)、也就是輸出具有比由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，因此，即使在基板的搬送速度快的情況下、或在裂紋極其微細(xì)的情況下，裂紋檢測(cè)單元也能夠可靠地基于該輸出信號(hào)而檢測(cè)裂紋。
(12)此外，在這些基板裂紋檢測(cè)裝置中，優(yōu)選地，作為上述第一以及第二信號(hào)輸出單元而分別具有多個(gè)信號(hào)輸出單元，這些第一以及第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置設(shè)定在至少包括與基板搬送方向垂直的上述基板寬度方向的兩端的位置。
即，由于在基板的角部容易發(fā)生裂紋，因此，如上所述，若采用各信號(hào)輸出單元的上述照射單元的光照射位置被設(shè)定于至少包括在基板的寬度方向的兩端的位置的結(jié)構(gòu)，則就能夠快速地檢測(cè)出這種在角部的裂紋。
(13)此外，在上述的基板裂紋檢測(cè)裝置中，優(yōu)選地，除了上述第一以及第二信號(hào)輸出單元，另外還具有第三信號(hào)輸出單元，該第三信號(hào)輸出單元包括向放置在上述搬送開始位置的基板照射光的照射單元和該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，并且，該第三信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置被設(shè)定在上述第一信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游側(cè)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第三信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的后端，并在對(duì)放置在上述搬送開始位置的基板的搬送開始之后，基于對(duì)上述后端的檢測(cè)而結(jié)束對(duì)該基板的裂紋檢測(cè)的處理。
若采用該結(jié)構(gòu)，則如在發(fā)明的實(shí)施方式中詳細(xì)說(shuō)明了的那樣，在發(fā)生了基板相對(duì)搬送方向傾斜的狀態(tài)下被搬送的所謂傾斜搬送的情況下，能夠有效地回避對(duì)于基板后端的裂紋的誤檢測(cè)，從而能夠提高裂紋檢測(cè)的可靠性。
(14)并且，作為其他具體的結(jié)構(gòu)，上述的基板裂紋檢測(cè)裝置配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送停止位置，并且具有第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴屯Ｖ刮恢玫幕宓陌崴头较蚯岸瞬空丈涔獾恼丈鋯卧驮摴獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向后端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的上述信號(hào)。
若采用該裝置，則裂紋檢測(cè)單元基于在基板被搬送而被放置在搬送停止位置為止的期間的各信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)來(lái)檢測(cè)裂紋。即，當(dāng)在基板的中間部分或后端存在裂紋時(shí)，在基板被放置在搬送停止位置為止的期間，第一信號(hào)輸出單元的光的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)，并從第一信號(hào)輸出單元輸出由此對(duì)應(yīng)的信號(hào)，由此裂紋檢測(cè)單元檢測(cè)該裂紋。并且，此時(shí)，由于第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)、也就是輸出具有比由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，因此，即使在基板的搬送速度快的情況下、或在裂紋極其微細(xì)的情況下，裂紋檢測(cè)單元也能夠可靠地基于該信號(hào)而檢測(cè)裂紋。然后，當(dāng)繼續(xù)進(jìn)行搬送而使基板完全到達(dá)上述搬送停止位置時(shí)，第二信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)，但此時(shí)，在基板前端存在裂紋時(shí)所對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)不會(huì)發(fā)生變化，由此裂紋檢測(cè)單元檢測(cè)出基板的前端部的裂紋。
(15)并且，作為其他具體的結(jié)構(gòu)，上述基板裂紋檢測(cè)裝置配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送停止位置，并且具有第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴屯Ｖ刮恢玫幕宓陌崴头较蚯岸瞬空丈涔獾恼丈鋯卧驮摴獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向后端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元始終使與該變化對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸出延遲一定期間，從而輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
在采用該裝置的情況下，裂紋檢測(cè)單元也基于在基板被搬送而被放置在搬送停止位置為止的期間的各信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)來(lái)檢測(cè)裂紋。即，當(dāng)在基板的中間部分存在裂紋時(shí)，在基板被放置在搬送停止位置為止的期間，來(lái)自第一信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)變化到存在基板的狀態(tài)后一旦再變化為不存在基板的狀態(tài)、并再次返回到存在基板的狀態(tài)，由此裂紋檢測(cè)單元可檢測(cè)該裂紋。并且，此時(shí)，由于第一信號(hào)輸出單元始終將與該變化(即，從不存在基板的狀態(tài)向存在基板的狀態(tài)的變化)對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸出延遲一定期間，由此輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)、也就是輸出具有比由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，因此，即使在基板的搬送速度快的情況下、或再裂紋極其微細(xì)的情況下，裂紋檢測(cè)單元也能夠可靠地基于該輸出信號(hào)而檢測(cè)裂紋。并且，當(dāng)繼續(xù)進(jìn)行搬送而將基板放置在上述搬送停止位置時(shí)，雖然第二信號(hào)輸出單元的輸出信號(hào)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)，但此時(shí)，在基板前端存在裂紋時(shí)所對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)不會(huì)發(fā)生變化，由此裂紋檢測(cè)單元可檢測(cè)出在基板的前端部的裂紋。
(16)此外，在這些基板裂紋檢測(cè)裝置中，優(yōu)選地，作為上述第一以及第二信號(hào)輸出單元而分別具有多個(gè)信號(hào)輸出單元，這些第一以及第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置被設(shè)定在至少包括與基板搬送方向垂直的上述基板寬度方向的兩端的位置。
即，在基板的角部容易發(fā)生裂紋，因此，如上所述，只要采用由各信號(hào)輸出單元的上述照射單元的光照射位置被設(shè)定于至少包括在基板的寬度方向的兩端的位置的結(jié)構(gòu)，則就能夠快速地檢測(cè)出這種角部的裂紋。
(17)此外，在上述的基板裂紋檢測(cè)裝置中，除了上述第一以及第二信號(hào)輸出單元，另外還具有第三信號(hào)輸出單元，該第三信號(hào)輸出單元包括在基板停止于上述搬送停止位置的狀態(tài)下能夠向該基板照射光的照射單元和該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，并且，該第三信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置設(shè)定于上述第一信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游側(cè)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第三信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的前端，并且基于對(duì)搬送中的基板的上述前端的檢測(cè)而開始對(duì)該基板的裂紋檢測(cè)的處理。
若采用該結(jié)構(gòu)，則如在發(fā)明的實(shí)施方式中詳細(xì)說(shuō)明了的那樣，在發(fā)生了基板相對(duì)搬送方向傾斜的狀態(tài)下被搬送的所謂傾斜搬送時(shí)，能夠回避對(duì)于基板前端的裂紋的誤檢測(cè)，從而能夠提高裂紋檢測(cè)的可靠性。
(18)另一方面，本發(fā)明的基板處理裝置，具有基板的搬送路徑；處理單元，其對(duì)沿著上述搬送路徑被搬送的基板實(shí)施規(guī)定的處理；基板裂紋檢測(cè)裝置，其檢測(cè)沿著上述搬送路徑被搬送的基板的裂紋，而且，上述基板裂紋檢測(cè)裝置配置在上述搬送路徑中的基板的搬送開始位置，并且作為該基板裂紋檢測(cè)裝置而具有上述(10)或(11)所述的基板裂紋檢測(cè)裝置。
若采用該結(jié)構(gòu)，則能夠在由處理單元進(jìn)行處理前快速檢測(cè)出基板的裂紋并將其剔除。
(19)另一方面，本發(fā)明的基板處理裝置，具有基板的搬送路徑；處理單元，其對(duì)沿著上述搬送路徑被搬送的基板實(shí)施規(guī)定的處理；基板裂紋檢測(cè)裝置，其檢測(cè)沿著上述搬送路徑被搬送的基板的裂紋，而且，上述基板裂紋檢測(cè)裝置配置在上述搬送路徑中的基板的搬送停止位置，并且作為該基板裂紋檢測(cè)裝置而具有上述(14)或(15)所述的基板裂紋檢測(cè)裝置。
若采用該結(jié)構(gòu)，則在由處理單元進(jìn)行了處理后、且在該基板被搬出到下一個(gè)工序的裝置之前，能夠檢測(cè)出基板的裂紋并將其快速剔除。
若采用本發(fā)明的上述(1)～(7)的基板裂紋檢測(cè)裝置，則即使在基板搬送速度快的情況下、或者在裂紋微細(xì)的情況下，也能夠可靠地檢測(cè)出裂紋。并且，即使由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度變大，也通過(guò)將從信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)的時(shí)間寬度設(shè)定為比其更大，而能夠可靠地檢測(cè)出微細(xì)的裂紋，因此不必使用可處理微小信號(hào)的高性能的控制裝置等，而能夠以簡(jiǎn)單且廉價(jià)的結(jié)構(gòu)來(lái)檢測(cè)出基板的裂紋。
另外，若采用本發(fā)明的上述(8)以及(9)的基板處理裝置，則由于具有如上所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，所以能夠更加可靠地檢測(cè)出搬送中的基板的裂紋并將其剔除。因此，對(duì)于因存在裂紋的基板被提供到接下來(lái)的工序而發(fā)生事故等情況，能夠防范于未然。
另外，若采用上述(10)～(13)的基板裂紋檢測(cè)裝置，則從外部對(duì)搬送開始位置放置基板，進(jìn)而利用該基板沿著搬送路徑從該搬送開始位置完全搬出為止的期間，而能夠良好地檢測(cè)基板的裂紋。并且，設(shè)置分別具有對(duì)基板照射光的照射單元以及受光單元的第一以及第二信號(hào)輸出單元，并基于其信號(hào)輸出狀態(tài)而檢測(cè)基板的裂紋，從而能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)檢測(cè)基板的裂紋。在此基礎(chǔ)上，從第一信號(hào)輸出單元作為與基板的裂紋對(duì)應(yīng)的信號(hào)而輸出具有始終比由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，所以也能夠以高精度檢測(cè)出基板的裂紋。
另外，若采用本發(fā)明的上述(14)～(17)的基板裂紋檢測(cè)裝置，則利用基板被搬送而被完全放置在搬送停止位置為止的期間，而能夠良好地檢測(cè)基板的裂紋。并且，設(shè)置分別具有對(duì)基板照射光的照射單元以及受光單元的第一以及第二信號(hào)輸出單元，并基于其信號(hào)輸出狀態(tài)而檢測(cè)基板的裂紋，從而能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)檢測(cè)基板的裂紋。在此基礎(chǔ)上，從第一信號(hào)輸出單元作為與基板的裂紋對(duì)應(yīng)的信號(hào)而輸出具有始終比由裂紋檢測(cè)單元可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，所以也能夠以高精度檢測(cè)出基板的裂紋。
另外，若采用本發(fā)明的上述(18)的基板處理裝置，則由于具有如上所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，所以能夠在搬送開始位置快速地檢測(cè)出基板的裂紋并將其剔除。因此，對(duì)于因存在裂紋的基板被提供到接下來(lái)的處理而發(fā)生事故等情況，能夠防范于未然。
另外，若采用本發(fā)明的上述(19)的基板處理裝置，則由于具有如上所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，所以能夠在搬送開始位置快速地檢測(cè)出基板的裂紋并將其剔除。因此，對(duì)于因存在裂紋的基板被提供到接下來(lái)的處理而發(fā)生事故等情況，能夠防范于未然。


圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板處理裝置(具備本發(fā)明的基板裂紋檢測(cè)裝置的基板處理裝置)的示意圖。
圖2是表示基板裂紋檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖。
圖3是表示基板裂紋檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖(詳圖)。
圖4是說(shuō)明第一、第二基板檢測(cè)傳感器的各傳感頭的配置的示意圖。
圖5是表示來(lái)自基板檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)的時(shí)序圖。
圖6是表示控制部對(duì)裂紋檢測(cè)動(dòng)作的控制的一個(gè)例子的流程圖。
圖7是表示在是為不存在裂紋的基板的情況下來(lái)自基板檢測(cè)傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖8A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖8B是表示在是為圖8A所示的基板的情況下來(lái)自各基板檢測(cè)傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖9A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖9B是表示在圖9A的情況下來(lái)自各基板檢測(cè)傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖10是表示第二實(shí)施方式的基板處理裝置(基板裂紋檢測(cè)裝置)的結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖。
圖11是說(shuō)明第一、第二基板檢測(cè)傳感器、前端檢測(cè)傳感器、后端檢測(cè)傳感器的各傳感頭的配置的示意圖。
圖12是表示控制部對(duì)裂紋檢測(cè)動(dòng)作的控制的一個(gè)例子的流程圖。
圖13是表示在是為不存在裂紋的基板的情況下來(lái)自基板檢測(cè)傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖14A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖14B是表示在是為圖14A所示的基板的情況下來(lái)自各基板檢測(cè)傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖15A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖15B是表示在圖15A的情況下來(lái)自各基板檢測(cè)傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖16是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的基板處理裝置的示意圖。
圖17是表示上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖。
圖18是表示上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖(詳圖)。
圖19是表示來(lái)自傳感器的輸出信號(hào)的時(shí)序圖。
圖20是表示控制部對(duì)裂紋檢測(cè)動(dòng)作的控制的一個(gè)例子的流程圖。
圖21是表示在將不存在裂紋的基板放置在搬送開始位置的情況下來(lái)自各傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖22A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖22B是表示在將圖22A所示的基板放置在搬送開始位置的情況下來(lái)自各傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖23是表示從搬送開始位置搬送了不存在裂紋的基板時(shí)(基板搬送狀態(tài))的各傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖24A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖24B是表示在搬送了圖24A所示的基板時(shí)來(lái)自各傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖25是表示下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖。
圖26是表示下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖(詳圖)。
圖27是表示控制部對(duì)裂紋檢測(cè)動(dòng)作的控制的一個(gè)例子的流程圖。
圖28是表示在將不存在裂紋的基板從處理部搬送到基板導(dǎo)出部(搬送停止位置)時(shí)來(lái)自各傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖29A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖29B是表示在將圖29A所示的基板搬送到基板導(dǎo)出部(搬送停止位置)時(shí)來(lái)自各傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖30A是表示存在裂紋的基板的一個(gè)例子的俯視圖。
圖30B是表示在將圖30A所示的基板搬送到基板導(dǎo)出部(搬送停止位置)時(shí)來(lái)自各傳感器的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
圖31是表示基板檢測(cè)傳感器的各傳感頭的配置例的示意圖。
圖32是表示基板裂紋檢測(cè)裝置的另外結(jié)構(gòu)的區(qū)塊圖。
具體實(shí)施例方式
<第一實(shí)施方式>
圖1示意性地表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板處理裝置(內(nèi)置有本發(fā)明的基板裂紋檢測(cè)裝置的基板處理裝置)。
如該圖所示，基板處理裝置1以如下方式構(gòu)成以串聯(lián)的方式具備基板導(dǎo)入部2、處理部3(相當(dāng)于本發(fā)明的處理單元)以及基板導(dǎo)出部4，并具有搬送基板B的搬送機(jī)構(gòu)、例如輥式輸送機(jī)5，通過(guò)上述搬送機(jī)構(gòu)對(duì)導(dǎo)入到上述基板導(dǎo)入部2的基板B進(jìn)行搬送，同時(shí)在處理部3中實(shí)施各種處理，然后從基板導(dǎo)出部4導(dǎo)出到下一個(gè)工序。此外，在以下的說(shuō)明中，以基板B的搬送方向?yàn)榛鶞?zhǔn)，針對(duì)該搬送方向的位置關(guān)系使用“上游側(cè)”、“下游側(cè)”，另外，針對(duì)基板B，將搬送方向下游側(cè)稱為前端，將上游側(cè)稱為后端。另外，針對(duì)基板B以及搬送路徑，將與搬送方向垂直的方向稱為寬度方向。
在上述基板導(dǎo)入部2中配置有上游側(cè)接收裝置10、基板裂紋檢測(cè)裝置12。上游側(cè)接收裝置10是一種將基板B導(dǎo)入到基板導(dǎo)入部2的裝置，例如具有如下結(jié)構(gòu)具有機(jī)械手，將通過(guò)輸送機(jī)等從上個(gè)工序搬送過(guò)來(lái)的基板B轉(zhuǎn)載到輥式輸送機(jī)5(以下，簡(jiǎn)稱為輸送機(jī)5)上。此外，在輸送機(jī)5側(cè)以可進(jìn)出(升降)的方式設(shè)置有升降銷，基板B從上述機(jī)械手轉(zhuǎn)載到升降銷上之后，通過(guò)下降升降銷而被裝載到輸送機(jī)5上。
基板裂紋檢測(cè)裝置12是一種檢測(cè)基板B的裂紋的裝置，其具有如下結(jié)構(gòu)以固定的方式配置在規(guī)定的搬送開始地點(diǎn)、即基板B的導(dǎo)入地點(diǎn)與處理部3之間，并對(duì)通過(guò)輸送機(jī)5的驅(qū)動(dòng)而向處理部3被搬送的基板B的裂紋(包括缺損)非接觸地進(jìn)行檢測(cè)。此外，針對(duì)該基板裂紋檢測(cè)裝置12，在后面進(jìn)行詳細(xì)敘述。
在該實(shí)施方式中，上述處理部3由藥洗部3A、水洗部3B以及干燥部3C構(gòu)成，這些各部3A～3B按該順序從上游側(cè)依次被配置。
藥洗部3A是對(duì)由輸送機(jī)5搬送的基板B的上下表面供給規(guī)定的藥液并對(duì)基板B進(jìn)行清洗(藥洗)的部分，而且，隔著輸送機(jī)5而在其上下兩側(cè)具有多個(gè)藥液供給噴嘴21，并且具備刷洗處理用的刷22。
水洗部3B是對(duì)由輸送機(jī)5搬送的基板B供給清洗水并進(jìn)行清洗(水洗)的部分，而且，將其內(nèi)部從上游側(cè)起按順序劃分為低壓水供給部24、高壓水供給部25、超聲波清洗水供給部26以及純水供給部27，并在各供給部24～27中的輸送機(jī)5的上下兩側(cè)，分別配置有清洗水供給用的噴嘴24a～27a等。
干燥部3C是對(duì)從水洗部3B(純水供給部27)所導(dǎo)出的基板B實(shí)施干燥處理的部分，而且，在其內(nèi)部以隔著輸送機(jī)5的方式配置有上下一對(duì)風(fēng)刀28。
此外，在該實(shí)施方式的基板處理裝置1中，雖然處理部3采用主要對(duì)基板B進(jìn)行清洗并干燥的結(jié)構(gòu)，但處理部3的具體的結(jié)果并不僅限定于此，而也可以采用進(jìn)行其他處理的結(jié)構(gòu)。
在上述基板導(dǎo)出部4配置有下游側(cè)接收裝置14、基板裂紋檢測(cè)裝置12。下游側(cè)接收裝置14是一種從基板導(dǎo)出部4導(dǎo)出基板B的裝置，而且具有如下結(jié)構(gòu)與上游側(cè)接收裝置10同樣地具有機(jī)械手，通過(guò)該機(jī)械手拾取輸送機(jī)5上的基板B并將其搬送到下一個(gè)工序。此外，在基板導(dǎo)出部4中的輸送機(jī)5，也以可進(jìn)出(升降)的方式設(shè)置有升降銷，所以基板B先通過(guò)升降銷的上升而從輸送機(jī)5上被提升，然后以通過(guò)機(jī)械手從其下側(cè)支撐的狀態(tài)從輸送機(jī)5上被拾取。
基板裂紋檢測(cè)裝置12是一種對(duì)從干燥部3C導(dǎo)出到基板導(dǎo)出部4的基板B的裂紋進(jìn)行檢測(cè)的裝置，其與設(shè)置在基板導(dǎo)入部2中的基板裂紋檢測(cè)裝置基本上相同?；鍖?dǎo)出部4的基板裂紋檢測(cè)裝置12具有如下結(jié)構(gòu)其以固定的方式配置在干燥部3C與規(guī)定的搬送終點(diǎn)、即利用下游側(cè)接收裝置14的基板B的導(dǎo)出地點(diǎn)之間，并對(duì)從干燥部3C所搬出的基板B的裂紋進(jìn)行檢測(cè)。
在如上所述的基板處理裝置1中，將導(dǎo)入到基板導(dǎo)入部2的基板B由上述輸送機(jī)5搬送，從而依次實(shí)施在藥洗部3A中的藥洗處理、在水洗部3B中的水洗處理、以及在干燥部3C中的干燥處理，然后從基板導(dǎo)出部4搬出到下一個(gè)工序。并且，在這樣的一系列的處理中，由基板導(dǎo)入部2、或者基板導(dǎo)出部4的各基板裂紋檢測(cè)裝置12檢測(cè)出裂紋時(shí)，立即被剔除。
圖2以區(qū)塊圖表示設(shè)置在基板導(dǎo)入部2以及基板導(dǎo)出部4中的上述基板裂紋檢測(cè)裝置12的結(jié)構(gòu)。
如該圖所示，基板裂紋檢測(cè)裝置12具有第一基板檢測(cè)傳感器30A、第二基板檢測(cè)傳感器30B以及控制部38。
各基板檢測(cè)傳感器30A、30B具有如下結(jié)構(gòu)分別具有傳感放大器36、和經(jīng)由光纖35而與其相連接的傳感頭32，并且，對(duì)由輸送機(jī)5所搬送的基板B分別照射光的同時(shí)接收其反射光，并將與其受光狀態(tài)對(duì)應(yīng)的規(guī)定的信號(hào)輸出到上述控制部38。此外，需要區(qū)分各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的傳感頭32時(shí)，分別稱為第一傳感頭32a、第二傳感頭32b。
圖3表示基板檢測(cè)傳感器30A、30B的具體的結(jié)構(gòu)。如該圖所示，在基板檢測(cè)傳感器30A、30B的傳感放大器36上設(shè)置有由LED(Light EmittingDiode發(fā)光二極管)等構(gòu)成的發(fā)光部40和受光部42，并且，經(jīng)由光纖35而將發(fā)光部40的光引導(dǎo)到傳感頭32的同時(shí)照射基板B，并再次經(jīng)由傳感頭32以及光纖35而將由基板B反射的光引導(dǎo)到受光部42而進(jìn)行受光。
傳感頭32由光纖頭部33與光點(diǎn)透鏡(Spot Lens)34構(gòu)成，如該圖所示，對(duì)輸送機(jī)5上的基板B從其正上方以點(diǎn)狀(pinpoint)(在該實(shí)施方式中投光光點(diǎn)直徑為0.5mm左右)照射從發(fā)光部40導(dǎo)出的光。
此外，如圖4所示，第一傳感頭32a以及第二傳感頭32b配置在搬送路徑的寬度方向(在該圖中為上下方向)的兩端，并且在上述方向上排成一列。由此，相對(duì)于被搬送的基板B，光的照射位置分別位于其寬度方向兩端的部分。
返回到圖3，在傳感放大器36中還設(shè)置有信號(hào)輸出電路44。該信號(hào)輸出電路44包括信號(hào)輸出部46與計(jì)時(shí)部48而作為其功能結(jié)構(gòu)。
信號(hào)輸出部46是根據(jù)由受光部42的光的受光狀態(tài)而將信號(hào)輸出到控制部38的部分，在受光部42的受光電平比預(yù)先設(shè)定的受光電平低時(shí)輸出接通信號(hào)，在超過(guò)該受光電平時(shí)輸出斷開信號(hào)。也就是說(shuō)，如圖5(信號(hào)輸出(無(wú)計(jì)時(shí)))所示，在與傳感頭32相對(duì)向的位置若不存在基板B，則輸出接通信號(hào)，在存在基板B時(shí)輸出斷開信號(hào)。
另一方面，計(jì)時(shí)部48例如由單觸發(fā)計(jì)時(shí)器(One-Shot Timer)構(gòu)成，根據(jù)從信號(hào)輸出部46輸出的信號(hào)的變化向控制部38輸出脈沖信號(hào)，具體地說(shuō)，如圖5(信號(hào)輸出(單觸發(fā)計(jì)時(shí)))所示，通常輸出斷開信號(hào)，而在信號(hào)輸出部46的輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)時(shí)，輸出規(guī)定脈沖寬度(時(shí)間寬度)T1的接通信號(hào)。此外，在計(jì)時(shí)部48設(shè)定計(jì)時(shí)器值，以使該接通信號(hào)的脈沖寬度T1比由控制部38可處理的最小時(shí)間寬度大，而且，在該實(shí)施方式中設(shè)定計(jì)時(shí)器值，以使脈沖寬度比控制部38的信號(hào)取樣周期(檢測(cè)周期)更大。
即，在該基板裂紋檢測(cè)裝置12中，傳感頭32以及傳感放大器36相當(dāng)于本發(fā)明(發(fā)明內(nèi)容(4))的第一信號(hào)輸出單元，而且，在傳感頭32以及傳感放大器36中除了計(jì)時(shí)部48以外的部分相當(dāng)于第二信號(hào)輸出單元。
此外，在以下的說(shuō)明中，將從信號(hào)輸出部46輸出的信號(hào)稱為無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)，將從計(jì)時(shí)部48輸出的信號(hào)稱為有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)。
上述控制部38是控制基板裂紋檢測(cè)裝置12的部分，其由執(zhí)行邏輯運(yùn)算的公知的CPU等構(gòu)成，而且，通過(guò)以預(yù)先設(shè)定的取樣周期(檢測(cè)周期)檢測(cè)出從各基板檢測(cè)傳感器30A、30B輸出的信號(hào)，而檢測(cè)出基板B的裂紋。即，在該實(shí)施方式中，該控制部38相當(dāng)于本發(fā)明的裂紋檢測(cè)單元。
此外，控制部38與省略圖示的總體上控制基板處理裝置1的控制器相連接，因此在檢測(cè)出基板B的裂紋時(shí)，可將該信息的信號(hào)(裂紋檢測(cè)信號(hào))輸出到控制器。此時(shí)，控制器控制輸送機(jī)5的驅(qū)動(dòng)而使搬送中的基板B停止，并控制圖外的報(bào)警裝置等的驅(qū)動(dòng)而向操作員報(bào)告。
接著，根據(jù)圖6的流程圖，針對(duì)上述控制部38對(duì)基板的裂紋檢測(cè)的控制進(jìn)行說(shuō)明。此外，這里針對(duì)設(shè)置在基板導(dǎo)入部2中的基板裂紋檢測(cè)裝置12的情況進(jìn)行說(shuō)明，而對(duì)于設(shè)置在基板導(dǎo)出部4中的基板裂紋檢測(cè)裝置12的基本的控制也與其相同。
當(dāng)基板搬入到基板導(dǎo)入部2、且輸送機(jī)5被驅(qū)動(dòng)而開始搬送基板B時(shí)，控制部38等待從各基板檢測(cè)傳感器30A、30B所輸出的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)，并且，若任何一方變?yōu)閿嚅_信號(hào)，則開始監(jiān)視基板B(步驟S1、S2)。也就是說(shuō)，當(dāng)基板B的前端到達(dá)傳感頭32的位置(即、光的照射位置)時(shí)，以上述取樣周期開始對(duì)從各基板檢測(cè)傳感器30A、30B輸出的信號(hào)的檢測(cè)。
接著，判斷各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)是否兩者均為斷開信號(hào)(步驟S3)，并且，在這里被判斷為“否”時(shí)，判斷為在基板B的前端存在裂紋(步驟S7)，并轉(zhuǎn)移至步驟S9而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)。由此停止搬送基板B，并使各種報(bào)警裝置啟動(dòng)而向操作員報(bào)告。
與此相對(duì)，在步驟S3中判斷為“是”時(shí)，進(jìn)一步判斷各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)中的至少一方是否為接通信號(hào)(步驟S4)。然后，在這里被判斷為“否”時(shí)，進(jìn)一步判斷各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)是否兩者均為接通信號(hào)，也就是說(shuō)判斷基板B是否通過(guò)了兩傳感頭32的位置(步驟S5)，在這里被判斷為“是”時(shí)，結(jié)束對(duì)基板B的監(jiān)視(步驟S6)。
與此相對(duì)，在步驟S4中被判斷為“是”時(shí)，判斷為在基板B上存在裂紋(步驟S8)，更詳細(xì)地說(shuō)，判斷為在基板B的除前端以外的部分存在裂紋，并轉(zhuǎn)移至步驟S9而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)。
接著，利用圖7～圖9，針對(duì)基于這種由控制部38的控制的裂紋檢測(cè)動(dòng)作的具體例子，與作用效果一起進(jìn)行說(shuō)明。
圖7是表示在是為不存在裂紋的正?；宓那闆r下來(lái)自各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
如該圖所示，首先，在基板B是正常的基板的情況下，當(dāng)基板B隨著搬送而其前端到達(dá)傳感頭32a、32b的位置時(shí)，各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從接通信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)，由此控制部38開始裂紋監(jiān)視(t1時(shí)刻)。此時(shí)，由于雙方的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)同時(shí)變?yōu)閿嚅_信號(hào)，所以控制部38判斷在基板B的前端不存在裂紋。
然后，接著搬送基板B，當(dāng)基板B通過(guò)各傳感頭32a、32b的位置時(shí)，各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)同時(shí)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，由此控制部38的裂紋監(jiān)視結(jié)束(t2時(shí)刻)。
在這期間(t1時(shí)刻～t2時(shí)刻)，由于無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)均沒(méi)有從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，所以各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)不會(huì)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，因此，控制部38判斷在基板B不存在裂紋。
此外，當(dāng)基板B通過(guò)各傳感頭32a、32b的位置時(shí)，無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，其結(jié)果，雖然各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，但由于在該時(shí)刻對(duì)裂紋的監(jiān)視已被結(jié)束，所以控制部38忽略該信號(hào)。因此，不會(huì)誤檢測(cè)為存在裂紋。
與此相對(duì)，例如在圖8A所示，在既是基板B的中間部分、又是其寬度方向的一端(第二傳感頭32b一側(cè))的位置上存在裂紋的基板B被搬送過(guò)來(lái)時(shí)，如圖8B所示，在控制部38開始裂紋監(jiān)視之后(t1時(shí)刻)，第二基板檢測(cè)傳感器30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)(t2時(shí)刻)。也就是說(shuō)，由于存在裂紋而導(dǎo)致反射光減少，所以受光部42的受光電平下降，因此第二基板檢測(cè)傳感器30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)會(huì)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)。
并且，與此相伴，第二基板檢測(cè)傳感器30B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)(t2時(shí)刻～t3時(shí)刻)，由此控制部38判斷在基板B的中間部分存在裂紋。此時(shí)，如上所述，由于有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)(接通信號(hào))的脈沖寬度T1被設(shè)置為比控制部38的取樣周期大的值，所以即使在裂紋微細(xì)的情況下、或者基板B的搬送速度快的情況下，控制部38也能夠可靠地檢測(cè)出該有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)(接通信號(hào))，因此能夠可靠地檢測(cè)出基板B的裂紋。
另外，作為其他例子，例如如圖9A所示，在既是基板B的前端、又是其寬度方向的一端(第一傳感頭32a一側(cè))的位置上存在裂紋的基板B被搬送過(guò)來(lái)時(shí)，如圖9B所示，第二基板檢測(cè)傳感器30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，從而控制部38開始裂紋監(jiān)視(t1時(shí)刻)。并且，其后，遲延一段時(shí)間而第一基板檢測(cè)傳感器30A的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從接通信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)(t2時(shí)刻)。也就是說(shuō)，由于裂紋部分而導(dǎo)致受光部42的受光電平的下降，其結(jié)果，第一基板檢測(cè)傳感器30A的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)的切換時(shí)間被延遲。因此，控制部38基于該期間(t1時(shí)刻～t2時(shí)刻)的各無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)的信號(hào)狀態(tài)，判斷在基板B的前端存在裂紋。
此外，圖8B中的時(shí)刻t4、圖9B中的t3分別表示控制部38對(duì)基板B的裂紋監(jiān)視結(jié)束的時(shí)刻。
如上所示，在該基板處理裝置1中，在基板導(dǎo)入部2以及基板導(dǎo)出部4設(shè)置基板裂紋檢測(cè)裝置12，而在基板B為存在裂紋的基板時(shí)，檢測(cè)出該裂紋并停止搬送基板B，并且使報(bào)警裝置啟動(dòng)而向操作員報(bào)告，從而能夠在早期檢測(cè)出存在裂紋的基板B而將其剔除。因此，能夠?qū)⒋嬖诹鸭y的基板B被搬入到處理部3、或者在處理部3的處理中產(chǎn)生了裂紋的基板B被搬出到下一個(gè)工序的情況防范于未然，由此能夠?qū)?duì)基板B實(shí)施本來(lái)就不需要的處理、或?qū)е略O(shè)備故障的事故的發(fā)生防范于未然。
特別是，對(duì)于基板裂紋檢測(cè)裝置12，使用反射型基板檢測(cè)傳感器30A、30B而基于基板B的有無(wú)檢測(cè)來(lái)檢測(cè)出基板B的裂紋，并在此基礎(chǔ)上，在基板B存在裂紋時(shí)，從基板檢測(cè)傳感器30A、30B輸出如上所述的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)(接通信號(hào))、即具有始終比控制部38的取樣周期大的脈沖寬度T1的信號(hào)，由此，在基板B的搬送速度快的情況下、或裂紋微細(xì)的情況下，也能夠由控制部38可靠地檢測(cè)出裂紋，所以對(duì)基板檢測(cè)裂紋的可靠性極高。因此，具有能夠更加可靠地防治上述事故的優(yōu)點(diǎn)。
并且，如上所述，使其輸出比控制部38的取樣周期大的脈沖寬度的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)(接通信號(hào))，從而在控制部38中不必將信號(hào)的取樣周期設(shè)定很高而也能夠以高精度檢測(cè)出微細(xì)的裂紋。因此，不必在控制部38上使用例如處理速度快的高性能的CPU等，也能夠檢測(cè)出微細(xì)的裂紋，其結(jié)果，具有能夠使基板裂紋檢測(cè)裝置12采用簡(jiǎn)單且廉價(jià)的結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)。
<第二實(shí)施方式>
第二實(shí)施方式的基板處理裝置1與第一實(shí)施方式的基板處理裝置的基本結(jié)構(gòu)相同，但是，基板裂紋檢測(cè)裝置12的結(jié)構(gòu)在如下幾點(diǎn)上不同。此外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的部分賦予相同的附圖標(biāo)記并省略其說(shuō)明，而主要針對(duì)不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。
圖10以區(qū)塊圖表示第二實(shí)施方式的基板裂紋檢測(cè)裝置12的結(jié)構(gòu)。如該圖所示，基板裂紋檢測(cè)裝置12在第一實(shí)施方式的基礎(chǔ)上還具備前端檢測(cè)傳感器30C、后端檢測(cè)傳感器30D，并且，控制部38基于從這些傳感器30A～30D輸出的信號(hào)而檢測(cè)出基板B的裂紋。此外，在該基板裂紋檢測(cè)裝置12中，前端檢測(cè)傳感器30C相當(dāng)于本發(fā)明(發(fā)明內(nèi)容(6))的第三信號(hào)輸出單元，后端檢測(cè)傳感器30D相當(dāng)于本發(fā)明(發(fā)明內(nèi)容(7))的第四信號(hào)輸出單元。
前端檢測(cè)傳感器30C以及后端檢測(cè)傳感器30D的結(jié)構(gòu)基本上與上述基板檢測(cè)傳感器30A、30B相同，但在傳感放大器36上沒(méi)有設(shè)置計(jì)時(shí)部48的點(diǎn)上與基板檢測(cè)傳感器30A、30B的結(jié)構(gòu)不同。也就是說(shuō)，前端檢測(cè)傳感器30C以及后端檢測(cè)傳感器30D采用從信號(hào)輸出部46只輸出與受光部42的受光狀態(tài)對(duì)應(yīng)的信號(hào)的結(jié)構(gòu)。
如圖11所示，前端檢測(cè)傳感器30C的傳感頭32(根據(jù)需要稱為前端側(cè)傳感頭32c)配置在既是基板檢測(cè)傳感器30A、30B的各傳感頭32a、32b的排列方向的大致中央(搬送路徑的寬度方向的中央)、又是比這些傳感頭32a、32b稍靠下游一側(cè)的位置。另一方面，后端檢測(cè)傳感器30D的傳感頭32(根據(jù)需要稱為后端側(cè)傳感頭32d)與前端側(cè)傳感頭32c同樣地位于上述各傳感頭32a、32b的中央，但配置在比這些傳感頭32a、32b稍靠上游一側(cè)的位置。
接著，根據(jù)圖12的流程圖，針對(duì)上述控制部38對(duì)基板的裂紋檢測(cè)的控制進(jìn)行說(shuō)明。此外，這里雖然對(duì)設(shè)置在基板導(dǎo)入部2中的基板裂紋檢測(cè)裝置12的情況進(jìn)行說(shuō)明，但對(duì)于設(shè)置在基板導(dǎo)出部4中的基板裂紋檢測(cè)裝置12的基本的控制也與其相同。
當(dāng)基板搬入到基板導(dǎo)入部2而輸送機(jī)5被驅(qū)動(dòng)并開始搬送基板B時(shí)，控制部38等待由前端檢測(cè)傳感器30C檢測(cè)到基板B，也就是說(shuō)，等待到前端檢測(cè)傳感器30C的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)后開始對(duì)基板B的監(jiān)視(步驟S21、S22)。
接著，判斷各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)是否兩方均都變?yōu)閿嚅_信號(hào)(步驟S3)，在這里被判斷為“否”時(shí)，判斷為在基板B的前端存在裂紋(步驟S27)，并轉(zhuǎn)移至步驟S29而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)，然后，停止搬送基板B，并使各種報(bào)警裝置啟動(dòng)而向操作員報(bào)告。
與此相對(duì)，在步驟S23中被判斷為“是”時(shí)，進(jìn)一步判斷各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)中至少一方是否為接通信號(hào)(步驟S24)。然后，在這里被判斷為“否”時(shí)，判斷由后端檢測(cè)傳感器30D是否檢測(cè)出基板B的后端的通過(guò)、也就是判斷后端檢測(cè)傳感器30D的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)是否兩者均都變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)(步驟S25)，在這里被判斷為“是”時(shí)，結(jié)束對(duì)基板B的監(jiān)視(步驟S26)。
與此相對(duì)，在步驟S24中被判斷為“是”時(shí)，判斷為在基板B中的除了其前端以外的部分存在裂紋(步驟S28)，并轉(zhuǎn)移至步驟S29而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)。
接著，利用圖13～圖15，針對(duì)這種基于控制部38的控制的裂紋檢測(cè)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
圖13是表示在基板B為不存在裂紋的正常的基板的情況下來(lái)自各傳感器30A～30D的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
如該圖所示，在基板B為正常的基板的情況下，隨著基板B的搬送，按后端檢測(cè)傳感器30D、兩個(gè)基板檢測(cè)傳感器30A、30B、前端檢測(cè)傳感器30C的順序而它們的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從接通信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)。并且，在來(lái)自前端檢測(cè)傳感器30C的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)的時(shí)刻，控制部38開始裂紋監(jiān)視(t2時(shí)刻)。此時(shí)，由于基板檢測(cè)傳感器30A、30B雙方的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)都是斷開信號(hào)，所以控制部38判斷在基板B的前端不存在裂紋。
然后，繼續(xù)搬送基板B，當(dāng)基板B通過(guò)后端側(cè)傳感頭32d的位置時(shí)，后端檢測(cè)傳感器30D的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，由此控制部38的裂紋監(jiān)視結(jié)束(t3時(shí)刻)。
在這期間(t2時(shí)刻～t3時(shí)刻)，由于基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)均都沒(méi)有從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，所以各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)不會(huì)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，因此，控制部38判斷在基板B不存在裂紋。
與此相對(duì)，例如如圖14A所示，在既是基板B的中間部分、又是其寬度方向的一端(第二傳感頭32b一側(cè))的位置上存在裂紋的基板B被搬送過(guò)來(lái)時(shí)，如圖14B所示，在控制部38開始裂紋監(jiān)視之后(t2時(shí)刻)，因存在裂紋而第二基板檢測(cè)傳感器30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)(t3時(shí)刻)，與此相伴，第二基板檢測(cè)傳感器30B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)僅在一定期間T1變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)(t3時(shí)刻～t4時(shí)刻)。因此，控制部38判斷在基板B的中間部分存在裂紋。
作為另外其他例子，例如圖15A所示，在既是基板B的前端、又是其寬度方向的一端(第一傳感頭32a一側(cè))的位置上存在裂紋的基板B被搬送過(guò)來(lái)時(shí)，如圖15B所示，例如在控制部38開始裂紋監(jiān)視的時(shí)刻(t2時(shí)刻)之后，第一基板檢測(cè)傳感器30A的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)(t3時(shí)刻)。因此，控制部38基于該期間(t2時(shí)刻～t3時(shí)刻)的各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)的信號(hào)狀態(tài)而判斷在基板B的前端存在裂紋。
此外，圖14B中的時(shí)刻t5、圖15B中的時(shí)刻t4分別表示控制部38對(duì)基板B的裂紋監(jiān)視結(jié)束的時(shí)刻。
如上所示，在第二實(shí)施方式的基板裂紋檢測(cè)裝置12中，基于前端檢測(cè)傳感器30C對(duì)基板B前端的檢測(cè)來(lái)開始控制部38的裂紋監(jiān)視，基于后端檢測(cè)傳感器30D對(duì)基板B的通過(guò)檢測(cè)來(lái)結(jié)束控制部38的裂紋監(jiān)視，在該點(diǎn)上與第一實(shí)施方式的裝置的結(jié)構(gòu)以及控制內(nèi)容不同。并且，由于具有這種不同點(diǎn)，其結(jié)果，若采用第二實(shí)施方式的基板裂紋檢測(cè)裝置12，則具有進(jìn)一步能夠提高對(duì)基板B的前端或后端的裂紋檢測(cè)精度的優(yōu)點(diǎn)。
即，在搬送如圖11所示的矩形基板B時(shí)，通常在以其前端與搬送方向大致垂直的方式保持基板B的姿勢(shì)的狀態(tài)下進(jìn)行搬送，但是，例如如圖11的雙點(diǎn)劃線所示，有時(shí)也會(huì)存在發(fā)生基板B以稍微傾斜的姿勢(shì)被搬送的所謂傾斜搬送的情況。此時(shí)，如果采用第一實(shí)施方式的基板裂紋檢測(cè)裝置12的結(jié)構(gòu)，則隨著基板B的搬送，首先，第二基板檢測(cè)傳感器30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)，然后第一基板檢測(cè)傳感器30A的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)，其結(jié)果，處于與圖9B所示的情況同樣的信號(hào)輸出狀態(tài)，由此控制部38會(huì)誤認(rèn)為在基板B的前端存在裂紋。同樣，也對(duì)于基板B的后端，第二基板檢測(cè)傳感器30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，然后第一基板檢測(cè)傳感器30A的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，其結(jié)果，控制部38會(huì)誤認(rèn)為在基板B的后端存在裂紋。
與此相對(duì)，若采用第二實(shí)施方式的基板裂紋檢測(cè)裝置12，則預(yù)先考慮可能會(huì)發(fā)生的基板B的傾斜，并根據(jù)該傾斜，而使前端側(cè)傳感頭32c的位置相對(duì)兩個(gè)傳感頭32a、32b向下游側(cè)偏移，以使基板的前端始終在該前端到達(dá)兩個(gè)傳感頭32a、32b的位置之后到達(dá)前端側(cè)傳感頭32c，從而能夠防止如上所述的伴隨著基板B的傾斜搬送的裂紋的誤檢測(cè)。這一點(diǎn)，對(duì)于基板B的后端側(cè)也相同。因此，若采用該第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，則能夠提高對(duì)于基板B的前端或后端的裂紋檢測(cè)的精度，從而，相應(yīng)地，能夠進(jìn)一步提高裂紋檢測(cè)的可靠性。
此外，在第二實(shí)施方式中，如上所述，前端側(cè)傳感頭32c以及后端側(cè)傳感頭32d相對(duì)各傳感頭32a、32b而向搬送方向偏移，其結(jié)果，在從各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)被切換為斷開信號(hào)、到開始監(jiān)視基板B之間(例如，圖13的t1時(shí)刻～t2時(shí)刻之間)，在基板B的前端會(huì)產(chǎn)生未監(jiān)視部分。同樣，在從監(jiān)視基板B結(jié)束到各基板檢測(cè)傳感器30A、30B的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)被切換為接通信號(hào)之間(例如，圖13的t3時(shí)刻～t4時(shí)刻之間)，在基板B的后端會(huì)產(chǎn)生未監(jiān)視部分。但是，即使產(chǎn)生這樣的未監(jiān)視部分，只要考慮可能會(huì)在基板B的前端以及后端產(chǎn)生的裂紋的大小而預(yù)先設(shè)定前端側(cè)傳感頭32c以及后端側(cè)傳感頭32d的配置位置，則實(shí)質(zhì)上不會(huì)給檢測(cè)精度帶來(lái)影響。
<第三實(shí)施方式>
圖16示意性地表示第三實(shí)施方式的基板處理裝置。
第三實(shí)施方式的基板處理裝置1與第一實(shí)施方式的基板處理裝置的基本結(jié)構(gòu)相同，但如該圖所示，取代上述基板裂紋檢測(cè)裝置12，而在基板導(dǎo)入部2中配置有上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11，在基板導(dǎo)出部4中配置有下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15。此外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)于與第一實(shí)施方式相同的部分賦予相同附圖標(biāo)記并省略其說(shuō)明，而主要針對(duì)不同點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11是一種檢測(cè)導(dǎo)入到基板導(dǎo)入部2中的基板B的裂紋的裝置，其具有如下結(jié)構(gòu)其以固定的方式配置在既是規(guī)定的搬送開始位置P1、即上述機(jī)械手搬入基板B的位置、又是輸送機(jī)5的下方的位置上，并以非接觸的方式檢測(cè)搬入到搬送開始位置P1的基板B的裂紋(包括缺損)。
另一方面，下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15是一種檢測(cè)從干燥部3C導(dǎo)出到基板導(dǎo)出部4中的基板B的裂紋的裝置，其與上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11類似。下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15具有如下的結(jié)構(gòu)其以固定的方式配置在既是規(guī)定的搬送停止位置P2、即上述機(jī)械手拾取基板B的位置、又是輸送機(jī)5的下方的位置上，并以非接觸的方式檢測(cè)在處理部3中進(jìn)行了處理之后搬入到搬送停止位置P2的基板B的裂紋(包括缺損)。
上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11以及下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15以如下的方式構(gòu)成。
(上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置)圖17以區(qū)塊圖表示上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11的結(jié)構(gòu)。如該圖所示，上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11具有第一前端傳感器60A、第二前端傳感器60B、第一后端傳感器60C、第二后端傳感器60D、結(jié)束傳感器60E以及控制部68A。
各傳感器60A～60E以如下方式構(gòu)成分別具有傳感放大器66、和經(jīng)由光纖65而與其相連接的傳感頭62(根據(jù)需要適當(dāng)使用附圖標(biāo)記62a～62e)，并且，對(duì)由輸送機(jī)5搬送的基板B分別照射光的同時(shí)接收其反射光，并將與其受光狀態(tài)對(duì)應(yīng)的規(guī)定的信號(hào)輸出到上述控制部68A。
圖18表示各傳感器60A～60E的具體的結(jié)構(gòu)。如該圖所示，在各傳感器60A～60E的傳感放大器66設(shè)置有由LED(Light Emitting Diode發(fā)光二極管)等構(gòu)成的發(fā)光部70和受光部72，經(jīng)由光纖75而將來(lái)自發(fā)光部70的光引導(dǎo)到傳感頭62的同時(shí)照射基板B，再次經(jīng)由傳感頭62以及光纖75而將由基板B反射的光引導(dǎo)到受光部72而進(jìn)行受光。
各傳感器60A～60E的傳感頭62具有光纖頭部63，對(duì)輸送機(jī)5上的基板B從其正下方照射從發(fā)光部70導(dǎo)出的光。特別是，如該圖所示，關(guān)于前端傳感器60A、60B的各傳感頭62a、62b，在光纖頭63的前端設(shè)置有光點(diǎn)透鏡64，從而以點(diǎn)狀(在該實(shí)施方式中，投光光點(diǎn)直徑為0.5mm左右)對(duì)基板B照射光。這是由于，如后所述，前端傳感器60A、60B是在搬送開始后伴隨著其移動(dòng)而檢測(cè)基板B的裂紋的傳感器，因此需要提高其檢測(cè)精度。此外，對(duì)于其他傳感器60C～60E的傳感頭62c～62e，也可以采用設(shè)置有光點(diǎn)透鏡64的結(jié)構(gòu)。
各傳感器60A～60E的傳感頭62a～62e的配置如圖17所示。即，在基板B被放置在搬送開始位置P1的狀態(tài)下、也就是在由上述機(jī)械手搬入了基板B并通過(guò)升降銷的下降而將基板B裝載到輸送機(jī)5上的狀態(tài)下，前端傳感器60A、60B的各傳感頭62a、62b以向?qū)挾确较蚺懦梢涣械姆绞脚渲迷诩仁腔錌的前端、又是與其寬度方向的兩端對(duì)應(yīng)的位置上。另外，后端傳感器60C、60D的各傳感頭62c、62d以向?qū)挾确较蚺懦梢涣械姆绞脚渲迷诩仁腔錌的后端、又是與其寬度方向的兩端對(duì)應(yīng)的位置上。由此，傳感頭62a～62d的各光的照射位置位于基板B的角部。此外，結(jié)束傳感器60E的傳感頭60e配置在既是基板B的前端中央、又是在基板B的搬送方向上比前端傳感器60A、60B的各傳感頭62a、62b稍靠上游一側(cè)(在圖17中為左側(cè))的位置上。
返回到圖18，在各傳感器60A～60E的傳感放大器66中還設(shè)置有信號(hào)輸出部76。該信號(hào)輸出部76根據(jù)受光部72的受光狀態(tài)向控制部68A輸出信號(hào)。
這里，關(guān)于在各傳感器60A～60E中的后端傳感器60C、60D以及結(jié)束傳感器60E的各傳感放大器66，信號(hào)輸出部76如以下方式構(gòu)成在受光部72的受光電平比預(yù)先設(shè)定的受光電平低時(shí)輸出接通信號(hào)，在超過(guò)該受光電平時(shí)輸出斷開信號(hào)。也就是說(shuō)，如圖19(信號(hào)輸出(無(wú)計(jì)時(shí)))所示，在與傳感頭62相對(duì)向的位置不存在基板B時(shí)輸出接通信號(hào)，而存在基板B時(shí)輸出斷開信號(hào)。
與此相對(duì)，關(guān)于前端傳感器60A、60B的各傳感放大器66，在信號(hào)輸出部76內(nèi)置有斷開延遲計(jì)時(shí)器(off delay timer)，而在受光部72的受光電平比預(yù)先設(shè)定的受光電平低時(shí)輸出接通信號(hào)、在超過(guò)該受光電平時(shí)輸出斷開信號(hào)的這一點(diǎn)上與其他傳感器相同，但與其他傳感器不同而僅使從接通信號(hào)向斷開信號(hào)的變化延遲一定時(shí)間。也就是說(shuō)，如圖19(信號(hào)輸出(斷開延遲計(jì)時(shí)))所示，在與傳感頭62相對(duì)向的位置不存在基板B時(shí)輸出接通信號(hào)，而存在基板B時(shí)輸出斷開信號(hào)，同時(shí)在從不存在基本B的狀態(tài)向存在基板的狀態(tài)變化時(shí)使其信號(hào)輸出的時(shí)刻延遲一定期間T1。此外，該一定期間T1即斷開延遲計(jì)時(shí)器78的計(jì)時(shí)器設(shè)定值被設(shè)定成因基板B存在裂紋而被輸出的信號(hào)的時(shí)間寬度比由控制部68A可處理的最小時(shí)間寬度大，并且，在該實(shí)施方式中被設(shè)定為時(shí)間寬度例如比處理部68A的信號(hào)的取樣周期(檢測(cè)周期)大。
即，在該實(shí)施方式中，前端傳感器60A、60B相當(dāng)于本發(fā)明(發(fā)明內(nèi)容(10))的第一信號(hào)輸出單元，后端傳感器60C、60D相當(dāng)于第二信號(hào)輸出單元。另外，結(jié)束傳感器60E相當(dāng)于本發(fā)明發(fā)明內(nèi)容(13)的第三信號(hào)輸出單元。此外，在以下的說(shuō)明中，將從后端傳感器60C、60D以及結(jié)束傳感器60E的各傳感放大器66輸出的信號(hào)稱為無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)，將從前端傳感器60A、60B的各傳感放大器66輸出的信號(hào)稱為有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)。
上述控制部68A是控制上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11的部分，其由執(zhí)行邏輯運(yùn)算的公知的CPU等構(gòu)成，并且，通過(guò)以預(yù)先設(shè)定的取樣周期(檢測(cè)周期)而檢測(cè)出從各傳感器60A～60E輸出的信號(hào)，從而檢測(cè)出基板B的裂紋。
該控制部68A與圖外的控制器相連接，而在檢測(cè)出基板B的裂紋時(shí)，將該信息的信號(hào)(裂紋檢測(cè)信號(hào))輸出到控制器。此時(shí)，控制器控制輸送機(jī)5的驅(qū)動(dòng)而使基板B的搬送停止，并控制圖外的報(bào)警裝置等的驅(qū)動(dòng)而向操作員報(bào)告。
接著，根據(jù)圖20的流程圖，針對(duì)上述控制部68A對(duì)基板的裂紋檢測(cè)的控制進(jìn)行說(shuō)明。
首先，等待由上游側(cè)接收裝置10的機(jī)械手將基板B搬入到基板導(dǎo)入部2的上述搬送開始位置P1，而當(dāng)基板B被搬入時(shí)，僅待機(jī)前端傳感器60A、60B的上述斷開延遲計(jì)時(shí)器78的計(jì)時(shí)器設(shè)定值(一定的時(shí)間T1)，并利用該時(shí)間進(jìn)行規(guī)定的搬入結(jié)束確認(rèn)、例如進(jìn)行關(guān)于機(jī)械手的退避、或者升降銷的下降完畢的確認(rèn)(步驟S31、S32)。若經(jīng)過(guò)了該時(shí)間，則在維持靜止?fàn)顟B(tài)的情況下開始對(duì)基板B的裂紋監(jiān)視(即裂紋的檢測(cè)處理)(步驟S33)。具體地說(shuō)，控制部68A以上述取樣周期開始檢測(cè)從前端傳感器60A、60B以及后端傳感器60C、60D輸出的信號(hào)。
然后，判斷各傳感器60A～60D的輸出信號(hào)是否全部均為斷開信號(hào)(步驟S34)，在這里被判斷“為”否時(shí)，判斷在基板B的角部存在裂紋(步驟S39)，并轉(zhuǎn)移至步驟S41而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)。由此停止基板B的搬送，并使各種報(bào)警裝置啟動(dòng)而向操作員報(bào)告。
與此相對(duì)，在步驟S34中被判斷為“是”時(shí)，結(jié)束在靜止?fàn)顟B(tài)下的對(duì)基板B的裂紋檢測(cè)，并等待輸送機(jī)5的驅(qū)動(dòng)而開始在搬送狀態(tài)下對(duì)基板B的裂紋檢測(cè)(步驟S35)。
然后，判斷前端傳感器60A、60B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)中的至少一方是否為接通信號(hào)(步驟S36)，在這里被判斷為“否”時(shí)，進(jìn)一步判斷基板B的后端是否通過(guò)了結(jié)束傳感器60E的傳感頭62e的位置、即結(jié)束傳感器60E的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)是否從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)(步驟S37)，在這里被判斷為“是”時(shí)，結(jié)束對(duì)基板B的監(jiān)視(步驟S38)。
與此相對(duì)，在步驟S36中被判斷為“是”時(shí)，判斷在基板B上存在裂紋(步驟S40)，也就是說(shuō)，判斷在基板B的除了角部以外的部分存在裂紋，并轉(zhuǎn)移至步驟S41而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)。
接著，利用圖21～圖24，針對(duì)這種基于控制部68A的控制的裂紋檢測(cè)動(dòng)作的具體例子，與作用效果一起進(jìn)行說(shuō)明。
圖21是表示由機(jī)械手將不存在裂紋的正?；錌放置在搬送開始位置P1時(shí)的前端傳感器60A、60B以及后端傳感器60C、60D的各信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
如該圖所示，在基板B是正常的基板的情況下，當(dāng)基板B搬送到搬送開始位置P1時(shí)，后端傳感器60C、60D的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)大致同時(shí)從接通信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)(t1時(shí)刻)。然后，從此僅延遲一定時(shí)間T1而前端傳感器60A、60B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)大致同時(shí)從接通信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)(t2時(shí)刻)，然后，所有的輸出信號(hào)均都維持為斷開信號(hào)，直到開始搬送基板B為止。因此，當(dāng)基板B被放置在搬送開始位置P1并經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間后開始裂紋監(jiān)視時(shí)(圖20的步驟S33)，如上所述，任一輸出信號(hào)均都是斷開信號(hào)，所以控制部68A判斷在基板B的角部不存在裂紋。
與此相對(duì)，在基板B是存在裂紋的基板時(shí)，例如如圖22A所示，在既是前端又是其一側(cè)的角部(第二前端傳感器60B的傳感頭62b一側(cè))、以及既是后端又是其一側(cè)的角部(第一后端傳感器60C的傳感頭62c一側(cè))存在裂紋的基板B被搬入到搬送開始位置P1時(shí)，如圖22B所示，第二前端傳感器60B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)以及第一后端傳感器60C的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)均都沒(méi)有變?yōu)閿嚅_信號(hào)而維持接通信號(hào)。也就是說(shuō)，因存在裂紋而不會(huì)反射光，所以第二前端傳感器60B以及第一后端傳感器60C仍維持原來(lái)的狀態(tài)而輸出接通信號(hào)。因此，控制部68A判斷在基板B的前端角部(傳感頭62b一側(cè))以及后端角部(傳感頭62c一側(cè))存在裂紋。
接著，圖23是表示在對(duì)被放置在搬送開始位置P1的不存在裂紋的正常的基板B開始了搬送后的前端傳感器60A、60B以及結(jié)束傳感器60E的各信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
在基板B被放置在搬送開始位置P1后的t3時(shí)刻開始搬送時(shí)，基板B向下游側(cè)移動(dòng)，并伴隨著該移動(dòng)而結(jié)束傳感器60E以及各前端傳感器60A、60B的輸出信號(hào)依次從斷開信號(hào)切換成接通信號(hào)(t4、t5時(shí)刻)，而在基板B從搬送開始位置P1完全送出的時(shí)刻、也就是結(jié)束傳感器60E的輸出信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)的時(shí)刻，控制部68A結(jié)束對(duì)裂紋的監(jiān)視(t4時(shí)刻)。
在這期間(t3時(shí)刻～t4時(shí)刻)，由于輸出信號(hào)均都不會(huì)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，所以控制部68A判斷在基板B的除了角部以外的部分也不存在裂紋。此外，當(dāng)在t3時(shí)刻開始搬送基板B時(shí)，雖然隨著基板B的移動(dòng)而后端傳感器60C、60D的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，但在該圖中將其省略。
與此相對(duì)，例如如圖24A所示，在既是基板B的中間部分、又是其寬度方向的一端(第二前端傳感器60B的傳感頭62b一側(cè))的位置上存在裂紋時(shí)，如圖24B所示，在開始搬送基板B之后，當(dāng)該裂紋的部分通過(guò)傳感頭62b的位置時(shí)，第二前端傳感器60B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)根據(jù)該裂紋而變化(t4時(shí)刻～t6時(shí)刻)。也就是說(shuō)，因存在裂紋而會(huì)導(dǎo)致反射光的減少，因此會(huì)導(dǎo)致受光部72的受光電平暫時(shí)下降，其結(jié)果，第二基板檢測(cè)傳感器60B的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)會(huì)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)之后再次變?yōu)閿嚅_信號(hào)，由此控制部68A判斷在基板B的中間部分存在裂紋。
此時(shí)，在從不存在基板B的狀態(tài)變?yōu)榇嬖诨宓臓顟B(tài)的情況下，如上所述，第二前端傳感器60B使信號(hào)輸出的時(shí)刻延遲一定期間T1，并將該期時(shí)間T1設(shè)定為使伴隨基板B的裂紋而輸出的信號(hào)的時(shí)間寬度(t4時(shí)刻～t6時(shí)刻)比由控制部68A可處理的最小時(shí)間寬度大，因此，即使在裂紋微細(xì)的情況下、或者基板B的搬送速度快的情況下，控制部68A也能夠可靠地檢測(cè)出該有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)(接通信號(hào))，從而能夠可靠地檢測(cè)出位于基板B的該中間部分的裂紋。
此外，在該圖中，t5時(shí)刻表示基板B的裂紋部分通過(guò)了第二前端傳感器60B的傳感頭62b的時(shí)刻。
如上所述，上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11以如下方式構(gòu)成在由上游側(cè)接收裝置10(機(jī)械手)放置在搬送開始位置P1的基板B為存在裂紋的基板時(shí)，首先，在靜止?fàn)顟B(tài)下檢測(cè)出在基板B的角部的裂紋之后，在到基板B從搬送開始位置P1完全被送出為止的期間，可檢測(cè)出在基板B的除了角部以外的部分的裂紋。并且，在檢測(cè)出裂紋時(shí)，向基板處理裝置1的上述控制器輸出檢測(cè)信號(hào)而停止基板B的搬送，并使報(bào)警裝置啟動(dòng)而向操作員報(bào)告，從而能夠在早期剔除該基板B。
(下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15)圖25以區(qū)塊圖表示下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15的結(jié)構(gòu)。如該圖所示，下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15采用與上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11類似的結(jié)構(gòu)，具有第一前端傳感器60F、第二前端傳感器60G、第一后端傳感器60H、第二后端傳感器60I、開始傳感器60J以及控制部68B。
各傳感器60A～60J的結(jié)構(gòu)分別與上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11的各傳感器60A～60E基本相同，但其結(jié)構(gòu)在以下幾點(diǎn)上不同(此外，在以下的說(shuō)明中，為了避免重復(fù)說(shuō)明而對(duì)于與上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11相同的結(jié)構(gòu)要素賦予相同的附圖標(biāo)記并省略其說(shuō)明)。
首先，如圖26所示，在下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15中的前端傳感器60F、60G的信號(hào)輸出部76(傳感放大器66)中沒(méi)有內(nèi)置計(jì)時(shí)器，并且，各前端傳感器60F、60G只輸出無(wú)計(jì)時(shí)信號(hào)，即在與傳感頭62相對(duì)向的位置不存在基板B時(shí)輸出接通信號(hào)，而存在基板B時(shí)輸出斷開信號(hào)(參照?qǐng)D19的信號(hào)輸出(無(wú)計(jì)時(shí)))。另外，在各前端傳感器60F、60G的傳感頭62f、62g上也沒(méi)有設(shè)置光點(diǎn)透鏡64。
另一方面，在后端傳感器60H、60I的信號(hào)輸出部76(傳感放大器66)內(nèi)置有單觸發(fā)計(jì)時(shí)器79，通常輸出斷開信號(hào)，而僅在受光部72的受光電平從比預(yù)先設(shè)定的受光電平高的狀態(tài)變化為低的狀態(tài)時(shí)輸出一定期間的接通信號(hào)。也就是說(shuō)，如圖19(信號(hào)輸出(單觸發(fā)計(jì)時(shí)))所示，只有在從在與傳感頭62相對(duì)向的位置存在基板B的狀態(tài)切換為不存在基板B的狀態(tài)時(shí)輸出規(guī)定脈沖寬度T2的接通信號(hào)。單觸發(fā)計(jì)時(shí)器79的計(jì)時(shí)器設(shè)定值、即上述脈沖寬度T2被設(shè)定成比由控制部68B可處理的最小時(shí)間寬度大，而且，在該實(shí)施方式中被設(shè)定成至少比控制部68B中的信號(hào)的取樣周期(檢測(cè)周期)大的脈沖寬度。
此外，如后所述，下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15的各后端傳感器60H、60I伴隨著基板B的移動(dòng)而檢測(cè)出其裂紋，因此，為了提高檢測(cè)精度而在傳感頭62h、62i上設(shè)置有光點(diǎn)透鏡64。
各傳感器60F～60J的傳感頭62f～62j的配置如圖25所示。即，在基板B被放置在搬送停止位置P2的狀態(tài)下、也就是在處理部3中處理結(jié)束了的基板B搬入到搬送停止位置P2而靜止的狀態(tài)下，前端傳感器60F、60G的各傳感頭62f、62g以向?qū)挾确较蚺懦梢涣械姆绞脚渲迷诩仁腔錌的前端、又是與其寬度方向的兩端對(duì)應(yīng)的位置上。另外，后端傳感器60H、60I的各傳感頭62h、62i以向?qū)挾确较蚺懦梢涣械姆绞脚渲迷诩仁腔錌的后端、又是與其寬度方向的兩端對(duì)應(yīng)的位置上。由此，傳感頭62f～62i的各光的照射位置位于基板B的角部。此外，開始傳感器60J的傳感頭60j配置在既是基板B的后端中央、又是在基板B的搬送方向上比后端傳感器60H、60I的各傳感頭62h、62i稍靠下游一側(cè)(在圖25中為右側(cè))的位置。
此外，在該實(shí)施方式中，前端傳感器60F、60G相當(dāng)于本發(fā)明(發(fā)明內(nèi)容(14))的第二信號(hào)輸出單元，后端傳感器60H、60I相當(dāng)于第一信號(hào)輸出單元，開始傳感器60J相當(dāng)于本發(fā)明(發(fā)明內(nèi)容(17))的第三信號(hào)輸出單元。
控制部68B是控制下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15的部分，其與上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11同樣而由執(zhí)行邏輯運(yùn)算的公知的CPU等構(gòu)成，并且，通過(guò)以預(yù)先設(shè)定的取樣周期(檢測(cè)周期)檢測(cè)出從各傳感器60F～60J輸出的信號(hào)，從而檢測(cè)出基板B的裂紋，并在檢測(cè)出基板B的裂紋時(shí)，將其信息的信號(hào)(裂紋檢測(cè)信號(hào))輸出到上述控制器。
接著，根據(jù)圖27中的流程圖，針對(duì)上述控制部68B對(duì)基板的裂紋檢測(cè)的控制進(jìn)行說(shuō)明。
首先，當(dāng)清洗以及干燥處理結(jié)束了的基板B從處理部3搬送到基板導(dǎo)入部2時(shí)，控制部68B等待開始傳感器60J的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從接通信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)，并在搬送狀態(tài)下開始對(duì)基板B的裂紋監(jiān)視(步驟S51～S53)。
然后，首先判斷各后端傳感器60H、60I的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)中的至少一方是否為接通信號(hào)(步驟S54)，在這里被判斷為“是”時(shí)，判斷在基板B的除了前端角部以外的部分存在裂紋(步驟S59)，并轉(zhuǎn)移至步驟S61而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)。由此停止搬送基板B，并使各種報(bào)警裝置啟動(dòng)而向操作員報(bào)告。
與此相對(duì)，在步驟S54中被判斷為“否”時(shí)，進(jìn)一步等待前端傳感器60F、60G的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)中的至少一方變?yōu)閿嚅_信號(hào)、也就是等待基板B完全放置在搬送停止位置P2，然后結(jié)束在搬送狀態(tài)下對(duì)基板B的裂紋監(jiān)視，并開始在靜止?fàn)顟B(tài)下對(duì)基板B的裂紋監(jiān)視(步驟S56)。
然后，判斷兩個(gè)前端傳感器60F、60G的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)是否均都是斷開信號(hào)(步驟S57)，在這里被判斷為“是”時(shí)，在經(jīng)過(guò)了預(yù)先設(shè)定的一定時(shí)間后結(jié)束對(duì)基板B的監(jiān)視(步驟S58)。
與此相對(duì)，在步驟S57中被判斷為“否”時(shí)，判斷為在基板B的前端存在裂紋(步驟S60)、也就是判斷在基板B的前端角部部分存在裂紋，并轉(zhuǎn)移至步驟S61而向上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)。
接著，利用圖28～圖30，針對(duì)這種基于控制部68B的控制的裂紋檢測(cè)動(dòng)作的具體例子，與作用效果一起進(jìn)行說(shuō)明。
圖28是表示在不存在裂紋的基板B從處理部3被搬出時(shí)的各傳感器60F～60J的信號(hào)輸出狀態(tài)的時(shí)序圖。
如該圖所示，在基板B為正常的基板的情況下，當(dāng)伴隨著基板B的搬送而其前端到達(dá)搬送停止位置P2時(shí)，首先，開始傳感器60J的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從接通信號(hào)變?yōu)閿嚅_信號(hào)，由此控制部68開始裂紋監(jiān)視(t2時(shí)刻)。此外，在該圖中的t1時(shí)刻表示基板B的前端通過(guò)了各后端傳感器60H、60I的傳感頭62h、62i的位置的時(shí)刻。
然后，繼續(xù)搬送基板B，當(dāng)基板B完全搬入到搬送停止位置P2時(shí)，各前端傳感器60F、60G的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從接通信號(hào)大致同時(shí)變?yōu)閿嚅_信號(hào)(t3時(shí)刻)，并在經(jīng)過(guò)了預(yù)先設(shè)定的一定時(shí)間后結(jié)束控制部68B對(duì)基板B的監(jiān)視(t4時(shí)刻)。
在這期間(t2時(shí)刻～t4時(shí)刻)，在正常的基板B的情況下，由于后端傳感器60H、60I的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)均都沒(méi)有從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，另外在t4時(shí)刻前端傳感器60F、60G的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)均都沒(méi)有被切換為斷開信號(hào)，由此控制部68B判斷在基板B不存在裂紋。
此外，其后，當(dāng)搬送停止位置P2的基板B被基板處理裝置14的機(jī)械手拾取時(shí)(t5時(shí)刻)，雖然在該時(shí)刻后端傳感器60H、60I的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)，但在該時(shí)刻裂紋監(jiān)視已被結(jié)束，所以控制部68B忽略該信號(hào)。因此，不會(huì)誤檢測(cè)為存在裂紋。
與此相對(duì)，例如如圖29A所示，在既是基板B的中間部分、又是其寬度方向的一端(第二后端傳感器60I的傳感頭62i一側(cè))的位置上存在裂紋時(shí)，如圖29B所示，在開始搬送基板B之后，該裂紋部分通過(guò)傳感頭62b的位置時(shí)，第二后端傳感器60I的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)由于該裂紋而變化(t3時(shí)刻～t5時(shí)刻)。也就是說(shuō)，因存在裂紋而會(huì)導(dǎo)致反射光的減少，從而導(dǎo)致受光部72的受光電平暫時(shí)下降，其結(jié)果，第二后端傳感器60I的有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)(t3時(shí)刻～t5時(shí)刻)，由此控制部68B判斷在基板B的中間部分存在裂紋。此時(shí)，如上所述，由于有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)(接通信號(hào))的脈沖寬度T2被設(shè)定為比控制部38的取樣周期大的值，所以即使在裂紋微細(xì)的情況下、或者基板搬送速度快的情況下，控制部68B也能夠可靠地檢測(cè)出該有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)(接通信號(hào))，從而能夠可靠地檢測(cè)出在基板B的該中間部分的裂紋。
此外，在該圖中，t4時(shí)刻表示基板B的裂紋部分通過(guò)了第二前端傳感器60B的傳感頭62b的時(shí)刻，t6時(shí)刻表示控制部68B結(jié)束監(jiān)視的時(shí)刻。
另外，作為其他例子，而例如如圖30A所示，在既是基板B的前端、又是其寬度方向的一端(第一前端傳感器60F的傳感頭62f一側(cè))的位置上存在裂紋的基板B被搬送過(guò)來(lái)時(shí)，如圖30B所示，即使在基板B完全被搬入到搬送停止位置P2的時(shí)刻(t2時(shí)刻)，第一前端傳感器60F的無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)也沒(méi)有被切換為斷開信號(hào)，由此控制部68B判斷在基板B的前端角部存在裂紋。此外，在該圖中，t3時(shí)刻表示控制部68B對(duì)基板B的裂紋監(jiān)視的結(jié)束時(shí)刻。
如上所述，下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15以如下方式構(gòu)成在從處理部3搬送到基板導(dǎo)出部4(搬送停止位置P2)的基板B存在裂紋時(shí)，首先，在搬送狀態(tài)下檢測(cè)出在基板B的除了前端角部以外的裂紋，然后，當(dāng)基板B完全被放置到搬送停止位置P2時(shí)，對(duì)前端角部的裂紋進(jìn)行檢測(cè)。并且，在檢測(cè)出裂紋時(shí)，向基板處理裝置1的上述控制器輸出裂紋檢測(cè)信號(hào)而停止對(duì)基板B的搬送，并使報(bào)警裝置啟動(dòng)而向操作員報(bào)告，由此，在處理部3中進(jìn)行了處理后在基板B發(fā)生有裂紋時(shí)，能夠在早期檢測(cè)出該基板B并將其剔除。
關(guān)于這樣的第三實(shí)施方式的基板處理裝置1，也通過(guò)上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11檢測(cè)出在位于搬送開始位置P1的基板B的裂紋，另一方面，通過(guò)下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15檢測(cè)出在位于搬送停止位置P2的基板B的裂紋，因此，與第一以及第二實(shí)施方式同樣，能夠?qū)⒋嬖诹鸭y的基板B被搬入到處理部3、或者在處理部3的處理中產(chǎn)生了裂紋的基板B被搬出到下一個(gè)工序的情況防范于未然。
并且，關(guān)于該第三實(shí)施方式的基板處理裝置1，也在搬送開始位置P1或搬送停止位置P2，在基板B移動(dòng)的情況下，作為與基板B的裂紋對(duì)應(yīng)的信號(hào)而輸出具有始終比由控制部68A、68B可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，由此，即使在搬送速度快的情況下、或者在裂紋微細(xì)的情況下，也能夠可靠地檢測(cè)裂紋，所以能夠以高精度檢測(cè)出基板的裂紋。
另外，關(guān)于上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11，如上所述那樣設(shè)置結(jié)束傳感器60E，并基于該結(jié)束傳感器60E對(duì)基板后端的檢測(cè)而結(jié)束控制部68A的裂紋監(jiān)視，另一方面，關(guān)于下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15，如上所述那樣設(shè)置開始傳感器60J，并基于該開始傳感器60J對(duì)基板前端的檢測(cè)而開始控制部68B的裂紋監(jiān)視，因此，與第二實(shí)施方式的裝置同樣，也具有能夠有效地回避對(duì)在基板B的前端或后端的裂紋的誤檢測(cè)的優(yōu)點(diǎn)。
即，在基板導(dǎo)入部2中從搬送開始位置P1搬送基板B時(shí)，有時(shí)會(huì)發(fā)生基板B以稍微傾斜的姿勢(shì)被搬送的所謂傾斜搬送的情況。此時(shí)，如果在上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11沒(méi)有設(shè)置結(jié)束傳感器60E，則基板B的后端通過(guò)前端傳感器60A、60B的各傳感頭62a、62b的時(shí)刻會(huì)發(fā)生偏差，而導(dǎo)致控制部68A誤認(rèn)為在基板B的后端存在裂紋。與此相對(duì)，設(shè)置結(jié)束傳感器60E，并基于該結(jié)束傳感器60E對(duì)基板后端的檢測(cè)而結(jié)束控制部68A的裂紋監(jiān)視，則可預(yù)先考慮可能會(huì)發(fā)生的基板B的傾斜，并使該傳感頭62e的位置相對(duì)兩個(gè)傳感頭62a、62b向上游側(cè)偏移，從而使基板后端在基板后端通過(guò)前端傳感器60A、60B的傳感頭62a、62b中的任一方之前始終都會(huì)通過(guò)結(jié)束傳感器60E的傳感頭62e，因此能夠有效地防止伴隨著基板B的傾斜搬送的、如上所述的對(duì)于基板后端的裂紋的誤檢測(cè)。同樣地，在基板B被搬送到基板導(dǎo)出部4(搬送停止位置P2)時(shí)，若基板B被傾斜搬送，則基板B的前端通過(guò)后端傳感器60H、60I的各傳感頭62h、62i的時(shí)刻也會(huì)發(fā)生偏差，其結(jié)果，導(dǎo)致控制部68B誤認(rèn)為在基板B的前端存在裂紋，但通過(guò)預(yù)先考慮可能會(huì)發(fā)生的基板B的傾斜而設(shè)定開始傳感器60J的位置，而能夠有效地防止伴隨著基板B的傾斜搬送的對(duì)于基板前端的裂紋的誤檢測(cè)。
此外，關(guān)于上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11，結(jié)束傳感器60E的傳感頭62e相對(duì)前端傳感器60A、60B的各傳感頭62a、62b向搬送方向上游側(cè)偏移，其結(jié)果，在從對(duì)基板B的監(jiān)視結(jié)束到基板后端通過(guò)各傳感頭62a、62b的位置為止的期間(例如，圖23的t4時(shí)刻～t5時(shí)刻)，在基板B的后端會(huì)產(chǎn)生未監(jiān)視部分。同樣地，關(guān)于下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15，開始傳感器60J的傳感頭62j相對(duì)后端傳感器60H、60I的各傳感頭6j、62i而向搬送方向的下游側(cè)偏移，其結(jié)果，在從基板前端通過(guò)了各傳感頭62j、62i的位置到對(duì)基板B的監(jiān)視開始為止的期間(例如，圖28的t1時(shí)刻～t2時(shí)刻)，在基板B的前端會(huì)產(chǎn)生未監(jiān)視部分。但是，由于在上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11中通過(guò)后端傳感器60C、60D能夠檢測(cè)基板B的后端，而在下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15中通過(guò)前端傳感器60F、60G能夠檢測(cè)基板B的前端，所以實(shí)質(zhì)上不會(huì)受到影響。
<變形例>
此外，針對(duì)以上說(shuō)明的各實(shí)施方式的基板處理裝置1，例如可以采用如下的結(jié)構(gòu)來(lái)作為其變形例。
(1)在第一實(shí)施方式的基板裂紋檢測(cè)裝置12中，設(shè)置有兩個(gè)基板檢測(cè)傳感器30A、30B，并將它們的傳感頭32a、32b配設(shè)在基板B的寬度方向的兩端相對(duì)向的位置(即，使各傳感頭32a、32b的光的照射位置位于寬度方向的兩端)，但是這是由于基板B的裂紋多為發(fā)生在其寬度方向的兩端，所以這是出于能夠以較少的基板檢測(cè)傳感器的數(shù)目高效地檢測(cè)基板B的裂紋的想法，因此，理所當(dāng)然地，如圖31所示，也可以設(shè)置更多的基板檢測(cè)傳感器，并使這些傳感頭32排列在基板的寬度方向。在這一點(diǎn)上，關(guān)于第二實(shí)施方式也相同。另外，關(guān)于第三實(shí)施方式中的上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11以及下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15的各傳感器60A～60D、傳感器60F～60I的傳感頭62也相同。
(2)在第一以及第二實(shí)施方式中，采用反射型的傳感器而作為基板檢測(cè)傳感器30A、30B，但例如如圖32所示，也可以采用具備經(jīng)由光纖35而與發(fā)光部40相連接的投光側(cè)頭部32a(32b)、和同樣經(jīng)由光纖35而與受光部42相連接的受光側(cè)頭部32a’(32b’)的透過(guò)型傳感器。在這一點(diǎn)上，關(guān)于第三實(shí)施方式的上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11的各傳感器60A～60E、以及下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15的各傳感器60F～60J也相同。
(3)在第一以及第二實(shí)施方式中，以基于受光部42的受光狀態(tài)而輸出無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)與有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)的雙方的方式構(gòu)成基板檢測(cè)傳感器30A、30B，但是，理所當(dāng)然地，也可以設(shè)置具有光的照射單元以及受光單元(傳感頭32、發(fā)光部40、受光部42)、且只輸出有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)的專用傳感器，另一方面，另外設(shè)置具有光的照射單元以及受光單元、且只輸出無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)的專用傳感器。但是，如上所述，若輸出無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)與有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)的單元采用共用照射單元以及受光單元的結(jié)構(gòu)，則具有能夠合理且廉價(jià)地構(gòu)成基板裂紋檢測(cè)裝置12的優(yōu)點(diǎn)。
(4)在第一以及第二實(shí)施方式的基板檢測(cè)傳感器30A、30B中，計(jì)時(shí)部48由單觸發(fā)計(jì)時(shí)器構(gòu)成，并基于從信號(hào)輸出部46輸出的信號(hào)的變化(從斷開信號(hào)向接通信號(hào)的變化)而輸出規(guī)定脈沖寬度T1的接通信號(hào)，但也可以例如由斷開延遲計(jì)時(shí)器構(gòu)成計(jì)時(shí)部48，并經(jīng)由計(jì)時(shí)部48而輸出從信號(hào)輸出部46輸出的信號(hào)，從而生成僅使無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從接通信號(hào)向斷開信號(hào)變化的時(shí)刻延遲規(guī)定時(shí)間的信號(hào)(有計(jì)時(shí)輸出信號(hào))并進(jìn)行輸出。也就是說(shuō)，例如若在基板B的中間部分(搬送方向的中間部分)存在裂紋，則與該裂紋對(duì)應(yīng)而無(wú)計(jì)時(shí)輸出信號(hào)從斷開信號(hào)變?yōu)榻油ㄐ盘?hào)之后再次變?yōu)閿嚅_信號(hào)(參照?qǐng)D8B)，因此，使其經(jīng)由以斷開延遲計(jì)時(shí)器構(gòu)成的計(jì)時(shí)部48，而使在與該裂紋對(duì)應(yīng)部分的信號(hào)中從接通信號(hào)向斷開信號(hào)變化的時(shí)刻延遲。此時(shí)，只要設(shè)定上述延遲時(shí)間(即計(jì)時(shí)部48的計(jì)時(shí)器值)而使與裂紋對(duì)應(yīng)部分的信號(hào)的時(shí)間寬度成為始終比由控制部38可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度，則就與上述實(shí)施方式同樣，控制部38能夠可靠地檢測(cè)出在有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)中與裂紋對(duì)應(yīng)部分的信號(hào)，其結(jié)果，能夠更加可靠地檢測(cè)出微細(xì)的裂紋。
(5)在第三實(shí)施方式中，采用在信號(hào)輸出部76內(nèi)置有斷開延遲計(jì)時(shí)器78的傳感器而作為上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11的前端傳感器60A、60B，由此，在不存在基板B時(shí)輸出接通信號(hào)，在存在基板B時(shí)輸出斷開信號(hào)的同時(shí)，當(dāng)從不存在基板B的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，使該信號(hào)輸出的時(shí)刻延遲一定期間，但也可以例如在前端傳感器60A、60B的信號(hào)輸出部76中，取代上述斷開延遲計(jì)時(shí)器78而內(nèi)置單觸發(fā)計(jì)時(shí)器。也就是說(shuō)，在從不存在基板B的狀態(tài)切換到存在基板B的狀態(tài)時(shí)，輸出規(guī)定脈沖寬度的接通信號(hào)、也就是輸出具有比由控制部68A可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的脈沖信號(hào)也可。
但是，如上述實(shí)施方式所述，若采用內(nèi)置有斷開延遲計(jì)時(shí)器78的結(jié)構(gòu)，則在基板B上存在裂紋時(shí)，在存在該裂紋的部分，有計(jì)時(shí)輸出信號(hào)立即會(huì)從斷開信號(hào)切換為接通信號(hào)(參照?qǐng)D24B的t4時(shí)刻)，所以有利于響應(yīng)性。因此，作為上游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置11的各前端傳感器60A、60B的信號(hào)輸出部76，而內(nèi)置有斷開延遲計(jì)時(shí)器78的信號(hào)輸出部是有效的。
(6)在第三實(shí)施方式中，采用在信號(hào)輸出部76內(nèi)置有單觸發(fā)計(jì)時(shí)器79的傳感器而作為下游側(cè)裂紋檢測(cè)裝置15的后端傳感器60H、60I，由此，在從存在基板B的狀態(tài)切換為不存在基板B的狀態(tài)時(shí)，輸出規(guī)定脈沖寬度T2的接通信號(hào)、也就是輸出具有比由控制部68B可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，但也可以例如在后端傳感器60H、60I的信號(hào)輸出部76中，取代上述單觸發(fā)計(jì)時(shí)器79而內(nèi)置斷開延遲計(jì)時(shí)器，從而在不存在基板B時(shí)輸出接通信號(hào)，在存在基板B時(shí)輸出斷開信號(hào)，同時(shí)，在從不存在基板B的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，使該信號(hào)輸出的時(shí)刻延遲一定期間，并在該結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，設(shè)定其延遲時(shí)間，而使伴隨著基板B的裂紋而輸出的信號(hào)的時(shí)間寬度比由控制部68B可處理的最小時(shí)間寬度大。
(7)雖然在實(shí)施方式中沒(méi)有特別進(jìn)行說(shuō)明，但在各傳感器30A、30B、60A～60E、傳感器60F～60J的傳感放大器36、66中，例如內(nèi)置對(duì)受光部42、72的受光電平的變化量(微分值)進(jìn)行計(jì)算的計(jì)算電路，在其變化量超過(guò)一定值時(shí)，輸出一定的脈沖信號(hào)、即輸出具有比由控制部38、68A、68B可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的脈沖信號(hào)也可。即，當(dāng)向細(xì)裂紋等還沒(méi)完全變成裂紋或缺損的損傷部位照射光時(shí)，由于光的受光電平在短時(shí)間內(nèi)大幅度變化，所以若采用如上所述的結(jié)構(gòu)，則對(duì)于細(xì)裂紋等損傷也能夠提高其檢測(cè)精度。
(8)在第三實(shí)施方式中，為了作為與基板B的裂紋對(duì)應(yīng)的信號(hào)而輸出如上所述的信號(hào)、即為了輸出具有比由控制部68A、68B可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)，而在信號(hào)輸出部76內(nèi)置了斷開延遲計(jì)時(shí)器78或單觸發(fā)計(jì)時(shí)器79，但是，通過(guò)在信號(hào)輸出部76中內(nèi)置例如接通延遲計(jì)時(shí)器(on delay timer)而輸出同樣的信號(hào)也可。
(9)各實(shí)施方式的傳感器30A～30D、60A～60E、60F、60G、60J等的輸出信號(hào)，均被邏輯設(shè)定為在“不存在”基板B的狀態(tài)下輸出接通信號(hào)、在“存在”的狀態(tài)下輸出斷開信號(hào)，但是，理所當(dāng)然地，也可以進(jìn)行相反的邏輯設(shè)定。即，在“存在”基板的狀態(tài)下輸出接通信號(hào)，在“不存在”的狀態(tài)下輸出斷開信號(hào)也可。
(10)各實(shí)施方式的傳感器30A～30D、60A、60B、60H、60I均都在傳感頭32(32a～32d)、62(62a、62b、62h、62i)上具有光點(diǎn)透鏡34、64，但這并不是必須的。但是，為了更加可靠地檢測(cè)微細(xì)的裂紋，而優(yōu)選設(shè)置光點(diǎn)透鏡34、64。
(11)在各實(shí)施方式中，采用控制部38、68A、68B與基板處理裝置1的控制器相互獨(dú)立的結(jié)構(gòu)，但是，理所當(dāng)然地，基板處理裝置1的控制器兼有控制部38、68A、68B的功能也可。也就是說(shuō)，采用上述控制器作為本發(fā)明的裂紋檢測(cè)單元而發(fā)揮功能的結(jié)構(gòu)也可。
權(quán)利要求
1.一種基板裂紋檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)沿著搬送路徑被搬送的基板的裂紋，其特征在于，具有第一信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；裂紋檢測(cè)單元，其在上述基板通過(guò)上述照射單元照射光的照射位置的期間，基于對(duì)應(yīng)于此而從上述信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在裂紋檢測(cè)開始之后上述受光單元的受光狀態(tài)變化時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有始終比由上述裂紋檢測(cè)單元能夠處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的上述信號(hào)。
2.如權(quán)利要求1所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，在上述受光單元的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
3.如權(quán)利要求2所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，具有多個(gè)上述第一信號(hào)輸出單元，并且，這些第一信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置排列在上述搬送路徑的寬度方向上。
4.如權(quán)利要求2或3所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，除了上述第一信號(hào)輸出單元，另外還具有多個(gè)第二信號(hào)輸出單元，該第二信號(hào)輸出單元包括能夠?qū)ρ刂崴吐窂奖话崴偷幕逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出與基板的有無(wú)對(duì)應(yīng)的信號(hào)，這些第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置排列在上述搬送路徑的寬度方向上，從而上述裂紋檢測(cè)單元基于從第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)上述裂紋。
5.如權(quán)利要求4所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，作為上述第一信號(hào)輸出單元以及第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元以及受光單元，設(shè)置有共用的照射單元以及受光單元。
6.如權(quán)利要求4所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，具有第三信號(hào)輸出單元，該第三信號(hào)輸出單元包括能夠?qū)ρ刂鲜霭崴吐窂奖话崴偷幕逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出與基板的有無(wú)對(duì)應(yīng)的信號(hào)，該第三信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置位于上述搬送路徑的寬度方向的中央、并且處在上述第二信號(hào)輸出單元的各照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向下游側(cè)的位置，上述裂紋檢測(cè)單元基于從第三信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)而檢測(cè)基板的前端，并在進(jìn)行該檢測(cè)后，基于從第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)上述裂紋。
7.如權(quán)利要求4所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，具有第四信號(hào)輸出單元，該第四信號(hào)輸出單元包括能夠?qū)ρ刂崴吐窂奖话崴偷幕逭丈涔獾恼丈鋯卧蜕鲜龉獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出與基板的有無(wú)對(duì)應(yīng)的信號(hào)，該第四信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置被設(shè)定在上述搬送路徑的寬度方向的中央、并且處在上述第二信號(hào)輸出單元的各照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向上游側(cè)的位置，上述裂紋檢測(cè)單元基于從第四信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)而檢測(cè)基板的后端，并在進(jìn)行該檢測(cè)后，忽略從第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)。
8.如權(quán)利要求1所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送開始位置，并且具有上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送開始位置的基板的搬送方向前端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴烷_始位置的基板的搬送方向后端部照射光的照射單元與該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)上述裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元始終使與該變化對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸出延遲一定期間，從而輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
9.如權(quán)利要求1所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送開始位置，并且具有上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送開始位置的基板的搬送方向前端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴烷_始位置的基板的搬送方向后端部照射光的照射單元與該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
10.如權(quán)利要求8或9所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，作為上述第一以及第二信號(hào)輸出單元而分別具有多個(gè)信號(hào)輸出單元，這些第一以及第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置設(shè)定在至少包括與基板搬送方向垂直的上述基板寬度方向的兩端的位置。
11.如權(quán)利要求8或9所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，除了上述第一以及第二信號(hào)輸出單元，另外還具有第三信號(hào)輸出單元，該第三信號(hào)輸出單元包括向放置在上述搬送開始位置的基板照射光的照射單元和該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，并且，該第三信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置被設(shè)定在上述第一信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向的上游側(cè)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第三信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的后端，并在對(duì)放置在上述搬送開始位置的基板的搬送開始之后，基于對(duì)上述后端的檢測(cè)而結(jié)束對(duì)該基板的裂紋檢測(cè)的處理。
12.如權(quán)利要求1所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送停止位置，并且具有第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴屯Ｖ刮恢玫幕宓陌崴头较蚯岸瞬空丈涔獾恼丈鋯卧驮摴獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向后端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元輸出具有上述時(shí)間寬度的上述信號(hào)。
13.如權(quán)利要求1所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，配置在沿著搬送路徑將基板從規(guī)定的搬送開始位置搬送到搬送停止位置的裝置的上述搬送停止位置，并且具有第二信號(hào)輸出單元，其包括能夠?qū)Ψ胖迷谏鲜霭崴屯Ｖ刮恢玫幕宓陌崴头较蚯岸瞬空丈涔獾恼丈鋯卧驮摴獾氖芄鈫卧?，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)；上述第一信號(hào)輸出單元，其對(duì)放置在上述搬送停止位置的基板的搬送方向后端部照射光，并基于該光的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第一以及第二信號(hào)輸出單元輸出的上述信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋，在上述受光單元的受光狀態(tài)從不存在基板的狀態(tài)變化為存在基板的狀態(tài)時(shí)，上述第一信號(hào)輸出單元始終使與該變化對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸出延遲一定期間，從而輸出具有上述時(shí)間寬度的信號(hào)。
14.如權(quán)利要求12或13所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，作為上述第一以及第二信號(hào)輸出單元而分別具有多個(gè)信號(hào)輸出單元，這些第一以及第二信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置被設(shè)定在至少包括與基板搬送方向垂直的上述基板寬度方向的兩端的位置。
15.如權(quán)利要求12或13所述的基板裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于，除了上述第一以及第二信號(hào)輸出單元，另外還具有第三信號(hào)輸出單元，該第三信號(hào)輸出單元包括在基板停止于上述搬送停止位置的狀態(tài)下能夠向該基板照射光的照射單元和該光的受光單元，而且基于該受光單元的受光狀態(tài)而輸出信號(hào)，并且，該第三信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置設(shè)定于上述第一信號(hào)輸出單元的上述照射單元照射光的照射位置的基板搬送方向的下游側(cè)，上述裂紋檢測(cè)單元基于從上述第三信號(hào)輸出單元輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的前端，并且基于對(duì)搬送中的基板的上述前端的檢測(cè)而開始對(duì)該基板的裂紋檢測(cè)的處理。
16.一種基板處理裝置，具有基板的搬送路徑；處理單元，其對(duì)沿著上述搬送路徑被搬送的基板實(shí)施規(guī)定的處理；基板裂紋檢測(cè)裝置，其檢測(cè)沿著上述搬送路徑被搬送的基板的裂紋，其特征在于，作為上述基板裂紋檢測(cè)裝置而具有權(quán)利要求2所述的基板裂紋檢測(cè)裝置。
17.如權(quán)利要求16所述的基板處理裝置，其特征在于，上述基板裂紋檢測(cè)裝置設(shè)置在開始搬送基板的搬送開始地點(diǎn)與上述處理單元之間、或者上述處理單元與處理后的基板的搬送結(jié)束地點(diǎn)之間的至少一方。
18.一種基板處理裝置，具有基板的搬送路徑；處理單元，其對(duì)沿著上述搬送路徑被搬送的基板實(shí)施規(guī)定的處理；基板裂紋檢測(cè)裝置，其檢測(cè)沿著上述搬送路徑被搬送的基板的裂紋，其特征在于，上述基板裂紋檢測(cè)裝置配置在上述搬送路徑中的基板的搬送開始位置，并且作為該基板裂紋檢測(cè)裝置而具有權(quán)利要求8或9所述的基板裂紋檢測(cè)裝置。
19.一種基板處理裝置，具有基板的搬送路徑；處理單元，其對(duì)沿著上述搬送路徑被搬送的基板實(shí)施規(guī)定的處理；基板裂紋檢測(cè)裝置，其檢測(cè)沿著上述搬送路徑被搬送的基板的裂紋，其特征在于，上述基板裂紋檢測(cè)裝置配置在上述搬送路徑中的基板的搬送停止位置，并且作為該基板裂紋檢測(cè)裝置而具有權(quán)利要求12或13所述的基板裂紋檢測(cè)裝置。
全文摘要
本發(fā)明的基板裂紋檢測(cè)裝置能夠以簡(jiǎn)單且廉價(jià)的結(jié)構(gòu)更加可靠地檢測(cè)搬送中的基板的裂紋。該裝置是一種檢測(cè)由輸送機(jī)(5)搬送的基板(B)的裂紋的裝置，具有基板檢測(cè)傳感器(30A、30B)以及控制部(38)?；鍣z測(cè)傳感器(30A、30B)具有傳感頭(32)以及傳感放大器(36)，由上述頭部(32)對(duì)基板(B)照射光，同時(shí)接收其反射光，并從傳感放大器輸出與該受光狀態(tài)對(duì)應(yīng)的信號(hào)。在基板通過(guò)光照射位置期間，控制部基于從傳感放大器輸出的信號(hào)來(lái)檢測(cè)基板的裂紋。此外，在光的受光狀態(tài)從存在基板的狀態(tài)變化為不存在基板的狀態(tài)時(shí)，傳感放大器作為信號(hào)而輸出具有始終比由控制部可處理的最小時(shí)間寬度大的時(shí)間寬度的信號(hào)。
文檔編號(hào)G01N21/896GK101026115SQ200710084128
公開日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2007年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月21日
發(fā)明者中原雅尚, 中田宏幸 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社