專利名稱：非接觸型單面探測(cè)設(shè)備及測(cè)試開路或短路的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及非接觸型單面探測(cè)設(shè)備及使用該設(shè)備測(cè)試模式電極(pattern electrode)的開路或短路的裝置和方法，并且更進(jìn)一步涉及能夠測(cè)試模式電 極的開路和短路的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，該測(cè)試是通過使用非接觸型單面 探測(cè)設(shè)備來反饋AC電源到每個(gè)模式電極的一端并且感測(cè)電氣變化值，該非 接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括作為獨(dú)立模塊的非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳 感器電極，及使用該設(shè)備測(cè)試模式電極的開路和短路的裝置和方法。
背景技術(shù)：
通常，多線電纜如數(shù)據(jù)傳輸線的開路和短路是通過在每條線與其它線分 幵之后測(cè)量該電纜兩端間的電阻來檢測(cè)的。因此，需要兩個(gè)或更多的操作人 員。在電纜包括大量的線的情況下，有時(shí)候線的編號(hào)丟失并要重新檢測(cè)，由 此降低了檢測(cè)可靠性并增加了操作時(shí)間。
此外，如圖1所示，在平板顯示設(shè)備IO (如LCD和PDP)中，幵路和 短路可以通過給每個(gè)模式電極15的一端通電流且在相應(yīng)的模式電極15的另 一端測(cè)量電壓進(jìn)行檢測(cè)。所述開路和短路也可以通過使用顯微鏡檢査導(dǎo)線及 類似的方法進(jìn)行檢測(cè)。在圖1中，附圖標(biāo)記20指示探測(cè)塊，且附圖標(biāo)記30 指示探針。
因此，為檢測(cè)一個(gè)模式電極的開路和短路需要至少兩根探針。由此，需 要大量的探針而且增加了成本。此外，長(zhǎng)模式電極需要兩個(gè)或更多的操作人 員在不同的位置測(cè)量，由此花費(fèi)大量時(shí)間和人力。
此外，在接觸型探測(cè)的情況下，因?yàn)樘綔y(cè)是與模式電極有壓力接觸的， 所以可能發(fā)生接觸錯(cuò)誤。進(jìn)一步地，模式電極作為測(cè)量目標(biāo)可能產(chǎn)生劃痕，
所以可能發(fā)生接觸錯(cuò)誤。進(jìn)一步地，模式電極作為測(cè)量目標(biāo)可能產(chǎn)生劃痕， 由此引起另一個(gè)錯(cuò)誤。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明針對(duì)上述問題而提出，并且本發(fā)明的目的在于提供能夠測(cè) 試模式電極的開路和短路的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，該測(cè)試是通過使用非接
觸型單面探測(cè)設(shè)備來反饋AC電源到每個(gè)模式電極的一端并且感測(cè)電氣變化
值，該非接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括作為獨(dú)立模塊的非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電 極和傳感器電極，及使用該設(shè)備測(cè)試模式電極的開路和短路的裝置和方法。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，該非接觸型單面探 測(cè)設(shè)備通過包括非接觸探測(cè)電極的一對(duì)激勵(lì)電極和一對(duì)傳感器電極，在所述 激勵(lì)電極對(duì)上施加反相電壓，并且在所述傳感器電極對(duì)上施加差值電壓，以 及使用該設(shè)備測(cè)試模式電極的開路和短路的裝置和方法，由此能夠提高空間 分辨率和信號(hào)噪聲比。
依據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，上述和其它目標(biāo)可以通過規(guī)定非接觸型單面探
測(cè)設(shè)備來實(shí)現(xiàn)，該非接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括非接觸探測(cè)電極，該非接觸 探測(cè)電極饋送電源到在非接觸狀態(tài)下被測(cè)試的模式電極并且感測(cè)電氣變化 值；電源饋送部分，該電源饋送部分向非接觸探測(cè)電極施加AC電源；以及 傳感器，該傳感器測(cè)量非接觸探測(cè)電極的電氣變化值。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以包括用于施加AC電流的AC電流源，并且 傳感器測(cè)量電壓的變化。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極可以包括連接到電源饋送部分的激勵(lì)電極，該 激勵(lì)電極用于施加所述AC電流；以及連接到傳感器的傳感器電極，該傳感
器電極用于感測(cè)電壓的變化。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器電極可以彼此一體形成。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以包括用于施加AC電壓的AC電壓源，并且 傳感器測(cè)量電壓的變化。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極可以包括連接到電源饋送部分的激勵(lì)電極，該 激勵(lì)電極用于施加所述AC電壓；以及連接到傳感器的傳感器電極，該傳感
器電極用于感測(cè)電壓的變化。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以包括用于施加AC電壓的AC電壓源，并且 傳感器測(cè)量在AC電壓源和非接觸探測(cè)電極間流動(dòng)的電流的變化。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極可以包括用于饋送AC電壓的第一和第二激勵(lì) 電極；以及測(cè)量電壓變化的第一和第二傳感器電極。
優(yōu)選地，第一激勵(lì)電極和第一傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線 上，第二激勵(lì)電極和第二傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線上，第一和 第二激勵(lì)電極可以平行排列，且第一和第二傳感器電極可以平行排列。
優(yōu)選地，第一激勵(lì)電極和第一傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線 上，第二激勵(lì)電極和第二傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線上，第一和 第二激勵(lì)電極和第一和第二傳感器電極可以被分別排列在彼此對(duì)角對(duì)稱的 位置。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以分別饋送具有相同振幅和180度反相關(guān)系的 AC電壓到第一和第二激勵(lì)電極。
優(yōu)選地，傳感器可以測(cè)量通過第一和第二傳感器電極測(cè)量的電壓間的差 值電壓。
依據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，在使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備掃描模式電極 時(shí)提供用于測(cè)量構(gòu)造于面板上的多個(gè)模式電極的開路和短路的裝置，該裝置 包括非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，該設(shè)備通過非接觸探測(cè)電極饋送AC電源到 每個(gè)模式電極的一端并且測(cè)量非接觸探測(cè)電極的電氣變化值；信號(hào)處理部 分，該信號(hào)處理部分通過非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)量到的電氣變化值決定開
路和短路。
優(yōu)選地，非接觸型單面探測(cè)設(shè)備可以包括非接觸探測(cè)電極，該非接觸 探測(cè)電極以非接觸狀態(tài)饋送電源到模式電極并感測(cè)電氣變化值；電源饋送部 分，該電源饋送部分將AC電源施加到非接觸探測(cè)電極；以及傳感器，該傳 感器測(cè)量非接觸探測(cè)電極的電氣變化值。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以包括施加AC電流的AC電流源，并且傳感 器測(cè)量電壓的變化。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極可以包括連接到電源饋送部分，用以施加 AC電流的激勵(lì)電極；以及連接到傳感器，用以感測(cè)電壓變化的傳感器電極。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器電極可以彼此一體形成。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以包括用于施加AC電壓的AC電壓源，并且
傳感器測(cè)量電壓的變化。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極可以包括連接到電源饋送部分的激勵(lì)電極，該
激勵(lì)電極用于施加所述AC電壓；以及連接到傳感器的傳感器電極，該傳感
器電極用于感測(cè)電壓的變化。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以包括用于施加AC電壓的AC電壓源，并且 傳感器測(cè)量在AC電壓源和非接觸探測(cè)電極間流動(dòng)的電流的變化。
優(yōu)選地，非接觸探測(cè)電極可以包括饋送AC電壓的第一和第二激勵(lì)電極; 以及測(cè)量電壓變化的第一和第二傳感器電極。
優(yōu)選地，第一激勵(lì)電極和第一傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線 上，第二激勵(lì)電極和第二傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線上，第一和 第二激勵(lì)電極可以平行排列，且第一和第二傳感器電極可以平行排列。
優(yōu)選地，第一激勵(lì)電極和第一傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線 上，第二激勵(lì)電極和第二傳感器電極可以被排列在一個(gè)線性軸線上，第一和 第二激勵(lì)電極以及第一和第二傳感器電極可以被分別排列在彼此對(duì)角對(duì)稱
的位置。
優(yōu)選地，電源饋送部分可以分別饋送具有相同振幅和180度反相關(guān)系的
AC電壓到第一和第二激勵(lì)電極。
優(yōu)選地，傳感器可以測(cè)量通過第一和第二傳感器電極測(cè)量的電壓間的差 值電壓。
依據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極 的開路和短路的方法，所述非接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括作為獨(dú)立模塊的非接
觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器電極，所述方法包括通過非接觸單面探測(cè)
設(shè)備的非接觸探測(cè)電極施加AC電源到構(gòu)造于面板上的每個(gè)模式電極的一
端，使用非接觸探測(cè)電極測(cè)量電氣變化值，并測(cè)試模式電極的開路和短路。 依據(jù)本發(fā)明的再一方面，提供使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極 的開路和短路的方法，所述每一個(gè)非接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括作為獨(dú)立模塊
的非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器電極，所述方法包括在構(gòu)造于面板 上的模式電極的兩端排列非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，通過非接觸探測(cè)電極對(duì)模 式電極施加不同的頻率，使用非接觸探測(cè)電極測(cè)量電氣變化值，并且測(cè)試模 式電極的開路和短路。
依據(jù)本發(fā)明的再一方面，提供使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極 的開路和短路的方法，所述每一個(gè)非接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括作為獨(dú)立模塊 的非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器電極，該方法包括在構(gòu)造于面板上 的模式電極的兩端排列非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，對(duì)模式電極施加相同的頻 率，該相同的頻率被施加到彼此分開的模式電極上，使用非接觸探測(cè)電極測(cè) 量電氣變化值，并且測(cè)試模式電極的開路和短路。
依據(jù)本發(fā)明，由于AC電源被應(yīng)施加到使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試 的模式電極的一端，所述非接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括作為獨(dú)立模塊的非接觸 探測(cè)電極的激勵(lì)電極和與該激勵(lì)電極相鄰的傳感器電極，且通過非接觸探測(cè)
電極測(cè)量電氣變化值以便決定模式電極的開路或短路，所以能夠通過僅掃描 模式電極的一端來測(cè)試模式電極的開路和短路。由于包括了一對(duì)激勵(lì)電極和 一對(duì)傳感器電極，反相電壓施加到激勵(lì)電極對(duì)并且使用了傳感器電極對(duì)的電 壓間的差值電壓，所以形成尖銳邊界以區(qū)分相鄰的模式電極，以便增加空間 分辨率并能夠通過共模噪聲提高信號(hào)噪聲比。


本發(fā)明的上述和其它的目的、特征和其它優(yōu)點(diǎn)將從下面結(jié)合附圖的詳細(xì) 說明中變得更易于理解，其中
圖1顯示了測(cè)試模式電極開路和短路的通用方法的視圖； 圖2顯示了依據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視
圖3顯示了依據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視
圖4顯示了依據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視
圖5顯示了依據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視
圖6顯示了依據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視
圖7顯示了依據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視
圖8顯示了依據(jù)本發(fā)明的使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極的開 路和短路的裝置的方框圖9顯示了依據(jù)本發(fā)明的使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極的開
路和短路的示例的視圖10顯示了通過依據(jù)本發(fā)明的使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試開路和 短路的裝置測(cè)量出的波形的視圖；以及
圖11顯示了依據(jù)本發(fā)明的使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極的 開路和短路的另一個(gè)示例的視圖。
具體實(shí)施例方式
當(dāng)本發(fā)明參考優(yōu)選實(shí)施例說明和描述時(shí)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解本發(fā) 明可以在不超出本發(fā)明的范圍和精神的前提下，進(jìn)行各種改變和修改。因此， 本發(fā)明的范圍不應(yīng)限于本發(fā)明的實(shí)施例。與現(xiàn)有技術(shù)相同的部分由相同的附 圖標(biāo)記和名稱指示。
圖2顯示了依據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視圖。
如圖所示，依據(jù)本實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40包括非接觸探測(cè) 電極44，該非接觸探測(cè)電極44包括用于饋送AC電流到以非接觸狀態(tài)被測(cè) 試的模式電極15的激勵(lì)電極441和用于感測(cè)模式電極15的電壓變化的傳感 器電極442，用于饋送AC電流到非接觸探測(cè)電極44的激勵(lì)電極441的AC 電流源421，以及用于測(cè)量由非接觸探測(cè)電極44的傳感器電極442感測(cè)的電 壓的變化的傳感器46。
同時(shí)，如圖3所示，非接觸探測(cè)電極44可以包括激勵(lì)電極441和傳感 器電極442，兩者彼此一體形成。
電源饋送部分42包括用于施加AC電流的AC電流源421。 AC電流源 421施加AC電流到非接觸探測(cè)電極44，以便通過由非接觸探測(cè)電極44測(cè) 量的電壓變化檢査模式電極15的開路和短路。
圖4顯示了依據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視圖。
如圖所示，依據(jù)本實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40包括非接觸探測(cè)
電極44，該非接觸探測(cè)電極44包括饋送AC電壓到在非接觸狀態(tài)下被測(cè)試 的模式電極15的激勵(lì)電極441和用于感測(cè)模式電極15的電壓變化的傳感器 電極442，用于饋送AC電壓到非接觸探測(cè)電極44的激勵(lì)電極441的AC電 壓源422，以及用于測(cè)量由非接觸探測(cè)電極44的傳感器電極442感測(cè)到的電 壓變化的傳感器46。
電源饋送部分42包括用于施加AC電壓的AC電壓源422。 AC電壓源 422施加AC電壓到非接觸探測(cè)電極44，以便通過由非接觸探測(cè)電極44測(cè) 量的電壓變化檢査模式電極15的開路和短路。
圖5顯示了依據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視圖。
如圖所示，依據(jù)本實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40包括用于饋送電 源到在非接觸狀態(tài)下被測(cè)試的模式電極15并且感測(cè)模式電極15的電壓變化 的非接觸探測(cè)電極44，用于饋送AC電壓到非接觸探測(cè)電極44的AC電壓 源422，以及用于測(cè)量在AC電壓源422和非接觸探測(cè)電極44間流動(dòng)的電流 的變化的傳感器46。
電源饋送部分42包括用于施加AC電壓的AC電壓源422。傳感器46 測(cè)量在AC電壓源422和非接觸探測(cè)電極44間流動(dòng)的電流的變化，以便檢 査模式電極15的開路或短路。
圖6顯示了依據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視圖。
如圖所示，依據(jù)本實(shí)施例的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40包括非接觸探測(cè) 電極44，該非接觸探測(cè)電極44包括用于饋送AC電壓到在非接觸狀態(tài)下被 測(cè)試的模式電極15的第一和第二激勵(lì)電極443和444以及用于感測(cè)模式電
極15的電氣變化值的第一和第二傳感器電極445和446，用于分別饋送具有 相同振幅和180度反相關(guān)系的AC電壓到第一和第二激勵(lì)電極443和444的 AC電壓源422，以及用于測(cè)量由第一和第二傳感器電極445和446測(cè)量的 電壓間的差值電壓的傳感器46。
同時(shí)，第一激勵(lì)電極443和第一傳感器電極445被排列在一個(gè)線性軸線 上，并且第二激勵(lì)電極444和第二傳感器電極446被排列在一個(gè)線性軸線上， 第一和第二激勵(lì)電極443和444平行排列，并且第一和第二傳感器電極445 和446平行排列。
如圖7所示，第一激勵(lì)電極443和第一傳感器電極445可以被排列在一 個(gè)線性軸線上，且第二激勵(lì)電極444和第二傳感器電極446可以被排列在一 個(gè)線性軸線上。第一和第二激勵(lì)電極443和444以及第一和第二傳感器電極 445和446可以被分別排列在彼此對(duì)角對(duì)稱的位置。
反相的AC電壓被施加到第一和第二激勵(lì)電極443和444用以在第一和 第二激勵(lì)電極443和444間形成相位邊界，且第一和第二傳感器電極445和 446的電壓間的差值電壓被測(cè)量，使得在第一和第二激勵(lì)電極443和444間 以及第一和第二傳感器電極445和446間形成尖銳邊界。因此，可以提高空 間分辨率并通過去除共模噪聲提高信號(hào)噪聲(S/N)比。因此，可以通過優(yōu) 良的模式電極15的精確的探測(cè)效果以更高的空間分辨率檢査模式電極15的 開路或短路，所述優(yōu)良的模式電極15的精確的探測(cè)效果是通過區(qū)分與模式 電極15相鄰的電壓的變化實(shí)現(xiàn)的。
圖8顯示了依據(jù)本發(fā)明的使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極的開 路和短路的裝置的方框圖。
如圖所示，所述裝置包括非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40，該非接觸型單面探 測(cè)設(shè)備40用于在掃描模式電極15時(shí)通過激勵(lì)電極441以非接觸狀態(tài)施加 AC電源到每個(gè)模式電極15的一端并且通過與激勵(lì)電極441相鄰排列的傳感
器電極442測(cè)量電氣變化值，信號(hào)處理部分50，該信號(hào)處理部分50用于通 過非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40測(cè)量的電氣變化值檢査開路或短路，顯示部分 70，該顯示部分70用于顯示非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40測(cè)量的電氣變化值和 信號(hào)處理部分50的操作狀態(tài)，以及鍵輸入部分60，該鍵輸入部分60用于選 擇信號(hào)處理部分50的操作狀態(tài)。
圖9顯示了依據(jù)本發(fā)明的使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極的開 路和短路的示例的視圖。
非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40包括第一和第二激勵(lì)電極443和444以及第 一和第二傳感器電極445和446以及當(dāng)掃描模式電極15時(shí)在每個(gè)模式電極 的一端以非接觸狀態(tài)測(cè)試模式電極15的開路和短路。
同時(shí)，第一和第二激勵(lì)電極443和444平行排列，且第一和第二傳感器 電極445和446平行排列。第一激勵(lì)電極443和第一傳感器電極445被排列 在一個(gè)線性軸上，且第二激勵(lì)電極444和第二傳感器電極446被排列在一個(gè) 線性軸上。
用于向非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40的第一激勵(lì)電極443和第二激勵(lì)電極 444施加AC電壓的AC電壓源422使用頻率范圍從1千赫茲到小于幾萬赫 茲，從200V到300V的電壓。
如果由AC電壓源422施加的電壓的頻率小于lKHz，那么探測(cè)設(shè)備40 的行進(jìn)速度受到限制且因此是不可實(shí)現(xiàn)的。相反，如果由AC電壓源422施 加的電壓的頻率大于幾萬赫茲，那么模式電極15間的阻抗減小且檢査分辨 率降低。
由于使用了用于施加頻率范圍從1千赫茲到小于幾萬赫茲的AC電壓的 AC電壓源422，所以使用排成一行的防護(hù)同軸電纜或三軸電纜用以連接第 一和第二激勵(lì)電極443和444以及第一和第二傳感器電極445和446，以便 防止信號(hào)泄露。
因此，當(dāng)AC電壓被施加到行進(jìn)在模式電極15上的非接觸型單面探測(cè) 設(shè)備40的第一激勵(lì)電極443上時(shí)，相應(yīng)于AC電壓的水平的電荷被存儲(chǔ)在 模式電極15內(nèi)且由第一傳感器電極445測(cè)量電氣變化值，由此檢査模式電 極15的開路和短路。
在本發(fā)明中，通過第一和第二傳感器電極445和446測(cè)量的電壓間的差 值電壓被讀取并且基于電壓的變化檢測(cè)模式電極15的開路或短路。因此， 饋送電源的模式電極15和不饋送電源的模式電極15間的邊界通過第一和第 二傳感器電極445和446間的差值電壓被清晰的區(qū)分，從而能夠提高靈敏度。 由于當(dāng)開路或短路發(fā)生時(shí)，電壓的變化增加，因此能夠有效檢測(cè)故障。
通過第一和第二激勵(lì)電極443和444施加具有不同相的電壓到相鄰的模 式電極15，可以區(qū)分模式電極15從而提高靈敏度。
圖IO顯示了當(dāng)掃描模式電極15時(shí)饋送AC電壓之后測(cè)量的電壓。
這時(shí)，通過非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40對(duì)常規(guī)的模式電極15施加AC電 壓后測(cè)量的電壓值為VPP—N，如圖10A所示。如圖10B所示，如果模式電極 15為開路，那么模式電極15的整個(gè)區(qū)域減小且模式電極15附近的周圍表面 形成的寄生電容45的電容減小。因此，在這種情況下，由于在一個(gè)小的區(qū) 域內(nèi)形成相同數(shù)量的電荷用以增加電壓，那么模式電極15測(cè)量的電壓值是 VPP—o，該VPP—o大于常規(guī)的模式電極15的電壓值VPP_N。
同時(shí)，如圖10C所示，如果模式電極15對(duì)一個(gè)相鄰的模式電極15短路， 那么模式電極15的整個(gè)區(qū)域增加且模式電極15附近的周圍表面形成的寄生 電容45的電容增加。因此，在這種情況下，由于在一個(gè)大的區(qū)域內(nèi)形成相 同數(shù)量的電荷以便減小電壓，那么模式電極15的測(cè)量的電壓值是Vpp一s，該 Vpp一s小于常規(guī)的模式電極15的電壓值VPP—N。
當(dāng)使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40掃描每個(gè)模式電極15的一端時(shí)，施加 AC電壓，之后通過測(cè)量電壓的變化，當(dāng)模式電極15的龜壓值高于常規(guī)的模
式電極15的電壓值時(shí)，模式電極15被確定為開路并且該確定的結(jié)果被顯示， 且如果模式電極15的電壓值低于常規(guī)的模式電極15的電壓值，那么模式電 極15被確定為短路并且該確定的結(jié)果被顯示。
控制命令通過鍵輸入部分60輸入用以控制信號(hào)處理部分50的處理狀態(tài)。
當(dāng)僅掃描每個(gè)模式電極15的一端且開路發(fā)生在臨近該模式電極15的另 一端時(shí)，使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40測(cè)量電壓的變化，區(qū)域減小的少了， 電壓升高效果降低并且因此無法檢測(cè)到開路。為了解決這個(gè)問題，如圖11 所示，使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備40同時(shí)對(duì)模式電極15的兩端進(jìn)行掃描以 便提高測(cè)試的準(zhǔn)確性。
這時(shí)，所述模式電極15可以使用不同頻率被測(cè)試或者不同的模式電極 15可以使用相同的頻率被同時(shí)測(cè)試以便相同的頻率被施加到彼此分離的非 接觸探測(cè)電極上。
如上所述，依據(jù)本發(fā)明，模式電極的開路和短路能夠被測(cè)試，該測(cè)試是 通過饋送電源到每個(gè)模式電極的一端的掃描過程以及使用包括激勵(lì)電極和 傳感器電極的作為獨(dú)立模塊的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備感測(cè)電氣變化值完成 的。
由于使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極的開路和短路，所以模式 電極能夠避免由于接觸故障或加壓接觸而被損壞，并且對(duì)比接觸型探測(cè)設(shè) 備，所述探測(cè)設(shè)備的使用周期能夠增加。
由于當(dāng)掃描模式電極的一端時(shí)開路和短路被測(cè)試，所以所述設(shè)備的結(jié)構(gòu) 是簡(jiǎn)單的并且所述測(cè)試能夠通過相同模式電極的比較被輕易地執(zhí)行，即使是 具有非線性形狀的模式電極。
測(cè)試靈敏度能夠通過使用反相的激勵(lì)電極對(duì)間的差值電壓的傳感器電 極對(duì)提高。
盡管本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例以示例的目的公開，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以意識(shí) 到在不背離本發(fā)明所附權(quán)利要求公開的本發(fā)明的范圍和精神的前提下，可以 進(jìn)行各種修改，添加和替換。
權(quán)利要求
1、一種非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，該設(shè)備包括非接觸探測(cè)電極，該非接觸探測(cè)電極饋送電源到以非接觸狀態(tài)被測(cè)試的模式電極并且感測(cè)電氣變化值；電源饋送部分，該電源饋送部分施加AC電源到所述非接觸探測(cè)電極；以及傳感器，該傳感器測(cè)量所述非接觸電極的電氣變化值。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述電源饋送 部分包括用于施加AC電流的AC電流源，并且傳感器測(cè)量電壓變化。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述非接觸探測(cè)電極包括激勵(lì)電極，該激勵(lì)電極連接到所述電源饋送部分，用以施加所述AC電 流；以及傳感器電極，該傳感器電極連接到所述傳感器，用以感測(cè)所述電壓的變化。
4、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述非接觸探 測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器電極彼此一體形成。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述電源饋送 部分包括用于施加AC電壓的AC電壓源，并且傳感器測(cè)量電壓變化。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述非接觸探 測(cè)電極包括 激勵(lì)電極，該激勵(lì)電極連接到所述電源饋送部分，用以施加所述AC電 壓；以及傳感器電極，該傳感器電極連接到所述傳感器，用以感測(cè)所述電壓的變化。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述電源饋送 部分包括用于施加AC電壓的AC電壓源，并且傳感器測(cè)量在所述AC電壓 源與所述非接觸探測(cè)電極間流動(dòng)的電流的變化。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述非接觸探 測(cè)電極包括第一和第二激勵(lì)電極，該第一和第二激勵(lì)電極饋送所述AC電壓；以及 第一和第二傳感器電極，該第一和第二傳感器電極測(cè)量所述電壓的變化。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述第一激勵(lì) 電極和所述第一傳感器電極被排列在一個(gè)線性軸線上，所述第二激勵(lì)電極和 所述第二傳感器電極被排列在一個(gè)線性軸上，所述第一和第二激勵(lì)電極平行 排列，且所述第一和第二傳感器電極平行排列。
10、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述第一激勵(lì) 電極和所述第一傳感器電極被排列在一個(gè)線性軸上，所述第二激勵(lì)電極和所 述第二傳感器電極被排列在一個(gè)線性軸上，并且所述第一和第二激勵(lì)電極和 所述第一和第二傳感器電極被分別排列在彼此對(duì)角對(duì)稱的位置。
11、 根據(jù)權(quán)利要求8 — 10中任一項(xiàng)所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中 所述電源饋送部分分別饋送具有相同振幅和180度反相關(guān)系的AC電壓到所 述第一和第二激勵(lì)電極。
12、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，其中所述傳感器測(cè) 量由所述第一和第二傳感器電極測(cè)量的電壓間的差值電壓。
13、 一種用于使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備在掃描模式電極時(shí)測(cè)試構(gòu)造于 面板上的多個(gè)模式電極的開路和短路的裝置，該裝置包括-非接觸型單面探測(cè)設(shè)備，該非接觸型單面探測(cè)設(shè)備通過非接觸探測(cè)電極 饋送AC電源到每個(gè)所述模式電極的一端并且測(cè)量所述非接觸探測(cè)電極的電 氣變化值；信號(hào)處理部分，該信號(hào)處理部分通過由所述非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)量 的所述電氣變化值來確定所述開路和短路。
14、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述非接觸型單面探測(cè)設(shè)備包括非接觸探測(cè)電極，該非接觸探測(cè)電極以非接觸狀態(tài)饋送電源到模式電極 并感測(cè)所述電氣變化值；電源饋送部分，該電源饋送部分施加所述AC電源到所述非接觸探測(cè)電 極；以及傳感器，該傳感器測(cè)量所述非接觸探測(cè)電極的電氣變化值。
15、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述電源饋送部分包括用于施 加AC電流的AC電流源，并且所述傳感器測(cè)量電壓的變化。
16、 根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述非接觸探測(cè)電極包括激勵(lì)電極，該激勵(lì)電極連接到所述電源饋送部分，用以施加所述AC電 流；以及傳感器電極，該傳感器電極連接到所述傳感器，用以感測(cè)電壓的變化。
17、 根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其中所述非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電 極和傳感器電極彼此一體形成。
18、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述電源饋送部分包括用于施 加AC電壓的AC電壓源，并且所述傳感器用于測(cè)量電壓變化的。
19、 根據(jù)權(quán)利要求18所述的裝置，其中所述非接觸探測(cè)電極包括-激勵(lì)電極，該激勵(lì)電極連接到所述電源饋送部分，用以施加所述AC電壓；以及傳感器電極，該傳感器電極連接到所述傳感器，用以感測(cè)所述電壓變化。
20、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述電源饋送部分包括用于施 加AC電壓的AC電壓源，并且所述傳感器測(cè)量在所述AC電壓源和所述非 接觸探測(cè)電極間流動(dòng)的電流的變化。
21、 根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述非接觸探測(cè)電極包括 用于饋送所述AC電壓的第一和第二激勵(lì)電極；以及 用于測(cè)量所述電壓變化的第一和第二傳感器電極。
22、 根據(jù)權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述第一激勵(lì)電極和所述第一 傳感器電極被排列在一個(gè)線性軸上，所述第二激勵(lì)電極和所述第二傳感器電 極被排列在一個(gè)線性軸上，所述第一和第二激勵(lì)電極平行排列，所述第一和第二傳感器電極平行排列。
23、 根據(jù)權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述第一激勵(lì)電極和所述第一 傳感器電極被排列在一個(gè)線性軸上，所述第二激勵(lì)電極和所述第二傳感器電 極被排列在一個(gè)線性軸上，所述第一和第二激勵(lì)電極和所述第一和第二傳感 器電極被分別排列在彼此對(duì)角對(duì)稱的位置。
24、 根據(jù)權(quán)利要求21—23中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述電源饋送部 分分別饋送具有相同振幅和180度反相關(guān)系的AC電壓到所述第一和第二激 勵(lì)電極。
25、 根據(jù)權(quán)利要求21所述的裝置，其中所述傳感器測(cè)量由所述第一和 第二傳感器電極測(cè)量的電壓間的差值電壓。
26、 一種使用包括作為獨(dú)立模塊的非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器 電極的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備來測(cè)試模式電極的開路和短路的方法，該方法 包括通過所述非接觸型單面探測(cè)設(shè)備的非接觸探測(cè)電極施加AC電源到構(gòu)造 于面板上的每個(gè)所述模式電極的一端，使用所述非接觸探測(cè)電極測(cè)量電氣變 化值，并且測(cè)試所述模式電極的開路和短路。
27、 一種使用各自包括作為獨(dú)立模塊的非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳 感器電極的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備來測(cè)試模式電極的開路和短路的方法，該 方法包括在構(gòu)造于面板上的所述模式電極的兩端排列所述非接觸型單面探測(cè)設(shè) 備，通過所述非接觸探測(cè)電極對(duì)所述模式電極施加不同的頻率，使用所述非接觸探測(cè)電極測(cè)量電氣變化值，并且測(cè)試所述模式電極的開路和短路。
28、 一種使用各自包括作為獨(dú)立模塊的非接觸探測(cè)電極的激勵(lì)電極和傳感器電極的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備來測(cè)試模式電極的開路和短路的方法，該方法包括在構(gòu)造于面板上的所述模式電極的兩端排列所述非接觸型單面探測(cè)設(shè) 備，對(duì)所述模式電極施加相同的頻率，使得該相同的頻率被施加到彼此分開 的所述模式電極上，使用所述非接觸探測(cè)電極測(cè)量電氣變化值，并且測(cè)試所 述模式電極的開路和短路。
全文摘要
此處公開的是非接觸單面探測(cè)以及用于測(cè)試模式電極的開路和短路的裝置和方法。通過饋送電源到每個(gè)模式電極的一端并且使用作為獨(dú)立模塊的包括激勵(lì)電極和傳感器電極的非接觸型單面探測(cè)設(shè)備感測(cè)電氣變化值，模式電極的開路和短路能夠通過一個(gè)掃描處理被測(cè)試。由于使用非接觸型單面探測(cè)設(shè)備測(cè)試模式電極的開路和短路，所以模式電極能夠避免由于接觸故障或加壓接觸而被損壞，并且對(duì)比接觸型探測(cè)設(shè)備所述探測(cè)設(shè)備的使用周期能夠增加。
文檔編號(hào)G01R31/02GK101109782SQ20071013058
公開日2008年1月23日 申請(qǐng)日期2007年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月20日
發(fā)明者崔熙德, 樸鐘印, 李東俊, 琸 殷, 趙宇徹, 金圣振 申請(qǐng)人:微探測(cè)株式會(huì)社