專利名稱：部件輸送裝置以及ic處理機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種部件輸送裝置以及ic處理機(jī)。
技術(shù)背景一般情況下，在半導(dǎo)體芯片等電子部件的試驗裝置(IC處理機(jī))中，包括用于搬送電子部件的多個搬送用自動裝置。通過輸送用自 動裝置，將4全查前的電子部件向用于進(jìn)^f亍測量的4企查用插座t般送， 在才企查結(jié)束之后，從4企查用插座耳又回。具體地i兌，例如4全查前的電子部件通過供給自動裝置纟皮吸附保持，然后祐:放開并配置于往復(fù)裝置的供給凹處中之后，通過往復(fù)裝 置將其移動至被測量自動裝置吸附保持的位置。測量自動裝置將檢 查前的電子部件^v往復(fù)裝置分離并配置于4僉查用插座上，在4全查結(jié) 束之后，由測量自動裝置再次吸附^f呆持該電子部件，以-使其乂人;險查 用插座分離并配置于往復(fù)裝置的收回凹處中。然后，由往復(fù)裝置將 檢查后的電子部件移動至收回自動裝置的位置，由收回自動裝置將 該電子部件(從往復(fù)裝置)分離并配置于符合測試結(jié)果的收回托盤 中。在由這些供給自動裝置、測量自動裝置以及收回自動裝置依次 車命送4僉查用插座或各個凹處時，需要將電子部件配置在該才企查用插 座或該各個凹處的^L定位置上。特別是，在將電子部件配置于一企查 用插座上時，需要〗吏;險查用插座的測量端子和電子部件的端子非常合適地進(jìn)行接觸，因此，期望電子部件和4企查用插座之間的相對偏 移非常孩么小。此外，在將電子部件配置于其^f也各個凹處中時，也期 望各個凹處和電子部件之間的相對偏移非常小。作為縮小電子部件和4僉查用插座等之間的相對偏移的方法，有如下所述的方法將由照相機(jī)拍攝的電子部件或檢查用插座等圖像 數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理并計算相對偏移的量，基于該運(yùn)算結(jié)果，只進(jìn)行 相對偏移的量的位置^交正。此外，現(xiàn)有技術(shù)中提出了用于校正插座等和電子部件之間的相 對偏移的一個方法(專利文4牛1 )。專利文〗牛1的IC處理才幾/人4主復(fù) 裝置向測試裝置輸送4企查前的電子部件時，由配置在往復(fù)裝置和測 試插座(測試裝置)之間的照相機(jī)拍攝被輸送裝置的輸送用頭所吸 附保持的該電子部件。此外，由配置于輸送用頭上的照相機(jī)拍攝測 試裝置。IC處理機(jī)的控制裝置對這些拍攝獲得的各圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖 像處理，并計算電子部件和測試裝置的相對偏移，基于計算結(jié)果使 輸送裝置的調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行動作，進(jìn)行輸送用頭的位置調(diào)整，校正電 子部件相對于測試裝置的相對偏移。此外，IC處理機(jī)在從往復(fù)裝置向托盤輸送4企查結(jié)束的電子部件 時，4吏用于吸附保持該電子部件、并乂人往復(fù)裝置向托盤輸送的P&P 自動裝置移動至配置于其可以移動范圍內(nèi)的照相才幾上方，由該照相 才幾拍4聶電子部件的吸附狀態(tài)。IC處理4幾的控制裝置對拍攝獲得的圖 像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，計算電子部件和托盤的相對偏移，基于計算 結(jié)果使自動裝置的調(diào)整才幾構(gòu)動作，4交正電子部件相對于4乇盤的相對 偏移。但是，在專利文件l中，為了計算輸送用頭和測試插座的相對 偏移，需要在各輸送用頭上高精度地安裝照相機(jī)。此外，在因為由于熱導(dǎo)致的伸縮或才展動等，導(dǎo)致llr送用頭和照相才幾的相只于<立置關(guān)系 發(fā)生變化時，無法才企測出該變化，并反映在相對偏移的計算結(jié)果中。于是，提出了直接拍攝電子部件和測試裝置的方法(專利文件2)。專利文件2的IC處理機(jī)是在將輸送裝置所保持的4企查前的電 子部件與測試裝置對置地配置在測試裝置的上方時，由與4竟一才羊安裝在相同支壽義部件上的照相才幾同時拍4聶4竟的鎮(zhèn) 像，該4竟配置成在電 子部4牛和測i式裝置之間，并可以反射電子部4牛和測纟式裝置這兩部分。日本專利文件1:再7>表特許/>才艮WO2003/023430 曰本專利文件2:特許第3063899號公報但是，在專利文件2中，為了在鏡中反射電子部件和測試裝置 這兩部分，鏡的配置以及調(diào)整非常復(fù)雜。此外，用于拍攝其鏡像的 照相^L的配置以及調(diào)整也并不簡單。而且，在拍才聶電子部件和測試 裝置時，由于要在電子部件和測試裝置之間配置鏡，所以，鏡的配 置以及退避都需要時間。發(fā)明內(nèi)容為了解決上述問題點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于才是供一種隨時反映枳j 械性變形或熱導(dǎo)致的伸縮，將電子部件適當(dāng)?shù)嘏渲迷诓遄系牟考?輸送裝置以及IC處理機(jī)。關(guān)于本發(fā)明的包括位置調(diào)整裝置的部件輸送裝置，上述位置調(diào) 整裝置通過在往復(fù)裝置和檢查用插座之間移動的保持裝置中所具 有的按壓裝置保持并輸送電子部件，對拍攝上述電子部件所獲得的 圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，并使上述按壓裝置移動，從而能夠進(jìn)行 上述電子部件的位置校正，上述部件輸送裝置包括插座標(biāo)識，設(shè)置在上述4企查用插座的附近；保持標(biāo)識，以將上述保持裝置移動到 將上述按壓裝置保持的上述電子部件安裝于上述檢查用插座上的 安裝位置時，上述保持標(biāo)識位于上述插座標(biāo)識附近的方式，#^殳置 在上述保持裝置上；第一照相機(jī)，設(shè)置在上述往復(fù)裝置上，將由上 述按壓裝置保持的上述電子部件和設(shè)置在上述保持裝置上的上述 j呆持標(biāo)識拍4聶成一個圖〗象；第二照相才幾，可以將上述插座標(biāo)識和上述檢查用插座拍攝成一個圖像，并且，可以將上述插座標(biāo)識和移動 至上述安裝位置的上述保持裝置的上述〗呆持標(biāo)識拍才聶成一個圖 <象； 第一相對位置計算單元，對將上述插座標(biāo)識和上述4企查用插座拍掘^ 成一個圖像的tt據(jù)進(jìn)行圖^f象處理，求得上述插座標(biāo)識和上述4企查用 插座的第一相對位置；第二相對位置計算單元，對將上述保持標(biāo)識 和配置在上述安裝位置的上述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像的數(shù)據(jù)進(jìn) 4亍圖^f象處理，求得上述插座標(biāo)識和上述〗呆持標(biāo)識的第二相對位置； 以及第三相對位置計算單元，對將上述電子部件和上述保持標(biāo)識拍 攝成一個圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，求得上述保持標(biāo)識和上述電子 部件的第三相對位置，其中，為將上述電子部件;故置于上述;^查用 插座，上述位置調(diào)整裝置基于上述第一相對位置、上述第二相對位 置以及上述第三相對位置進(jìn)行上述電子部件的位置4交正。根據(jù)本發(fā)明的部件輸送裝置，由于在4全查用插座的附近包括有 插座標(biāo)識，通過第二照相機(jī)將檢查用插座和插座標(biāo)識拍攝在一個圖 像中，通過第一相對位置計算單元對該圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理， 乂人而可以求得4企查用插座相對于插座標(biāo)識的第一相對位置。此外， 在將保持裝置配置在安裝位置時，保持裝置所具有的保持標(biāo)識配置 在插座標(biāo)識的附近。因此，通過第二照相才幾將^f呆持標(biāo)識和插座標(biāo)識 拍攝在一個圖像中，通過第二相對位置計算單元對該圖像的數(shù)據(jù)進(jìn) 4亍圖 <象處理，乂人而可以求得4呆持裝置的4呆持標(biāo)識相對于插座標(biāo)識的 第二相對位置，即可以求得相對于保持裝置的相對位置。而且，通 過第一照相機(jī)將電子部件和保持標(biāo)識拍攝在一個圖像中，通過第三相對位置計算單元對該圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，從而可以求得電 子部件相對于保持標(biāo)識的第三相對位置，即電子部件相對于保持裝置的位置。因此，位置調(diào)整裝置基于乂人第一相對位置至第三相對位 置，可以將電子部件移動至適合于檢查用插座的位置上。即、第 一相對位置反映了檢查用插座和插座標(biāo)識之間產(chǎn)生的設(shè) 置導(dǎo)致的變形、或熱導(dǎo)致的伸縮。此外，第二相對位置反映了插座 標(biāo)識和保持標(biāo)識(保持裝置)之間產(chǎn)生的設(shè)置導(dǎo)致的變形、或熱導(dǎo) 致的伸縮。而且，第三相對位置反映了電子部件相對于保持標(biāo)識(保 持裝置)的吸附位置偏移。其結(jié)果是，可以隨時反映部件輸送裝置 中產(chǎn)生的設(shè)置導(dǎo)致的歪曲、或熱導(dǎo)致的伸縮，將電子部件適當(dāng)?shù)匕?裝于檢查用插座上。而且，由于可以隨時反映部件輸送裝置中產(chǎn)生的i殳置導(dǎo)致的變 形、或熱導(dǎo)致的伸縮，所以，無需進(jìn)行用于校正部件輸送裝置中產(chǎn) 生的設(shè)置導(dǎo)致的變形、或熱導(dǎo)致的伸縮的再次校準(zhǔn)(初始設(shè)定)， 因此，可以減少4交準(zhǔn)所需的時間或勞動。該部件輸送裝置也可以是，上述第二照相機(jī)被配置于不能將上 述插座標(biāo)識和上述檢查用插座直接拍攝成一個圖像的位置，并且， 上述第二照相枳4皮配置于不能將上述插座標(biāo)識和配置于上述安裝 位置的上述<呆持標(biāo)識直4妄拍攝成一個圖4象的位置，上述第二照相枳』包括第一4竟，以將上述插座標(biāo)識和配置于上述安裝位置的上述寸呆 持標(biāo)識向上述第二照相機(jī)的方向反射的方式，被設(shè)置于上述保持裝 置；第二鏡，在上述檢查用插座上方的反射位置上，將上述插座標(biāo) 識和上述才全查用插座向上述第二照相^/L的方向反射，其中，上述第 二照相才幾通過配置在上述安裝位置的上述第一4竟將上述插座標(biāo)識 和上述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像，通過配置在上述反射位置的上述 第二鏡將上述插座標(biāo)識和上述檢查用插座拍攝成一個圖像。通過該部件輸送裝置，即使將第二照相機(jī)配置在無法直接拍攝 插座標(biāo)識和檢查用插座、或者插座標(biāo)識和保持標(biāo)識的位置上，也可以通過第一4竟或第二4竟，和直4妄拍4聶上述部件時一樣，將插座標(biāo)識 和沖企查用插座、或者插座標(biāo)識和保持標(biāo)識拍才聶在一個圖^f象中。因此， 在作為第二照相4幾的配置位置的限制較多的l呆持裝置以及4企查用插座周邊位置，可以提高配置第二照相機(jī)的自由度，可以容易地拍 才聶插座標(biāo)識和才全查用插座、或者插座標(biāo)識和保持標(biāo)識。而且，通過4吏用第一4竟或第二4竟，可以利用一個第二照相才幾拍 才聶插座標(biāo)識和4企查用插座、以及插座標(biāo)識和保持標(biāo)識的各自的圖 <象，因此，也可以4吏部件輸送裝置的結(jié)構(gòu)簡單化。該部件輸送裝置也可以是，上述第一照相機(jī)設(shè)置于上述往復(fù)裝 置上；上述保持裝置和上述往復(fù)裝置移動至第一拍攝位置，上述第 一拍才聶位置是通過上述第一照相才幾將上述電子部件和上述^f呆持標(biāo) 識拍攝成一個圖像的位置，上述第一照相機(jī)在上述第一拍攝位置上 將上述電子部件和上述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像。通過該部件輸送裝置，第一照相^L設(shè)置在往復(fù)裝置上。因此， 在作為配置位置的限制4交多的保持裝置以及4企查用插座周邊位置 上，可以沒有必要確^呆用于配置第一照相才幾的位置，可以4吏部件輸 送裝置的結(jié)構(gòu)簡單化。并且，可以容易地配置第一照相才幾。該部件輸送裝置優(yōu)選，上述插座標(biāo)識形成為圓形形狀，上述保 持標(biāo)識形成為大于上述插座標(biāo)識的環(huán)狀，在上述安裝位置上，上述 插座標(biāo)識^皮配置在上述保持標(biāo)識的環(huán)內(nèi)。通過該部件輸送裝置，將圓形形狀的插座標(biāo)識配置在環(huán)狀的保 持標(biāo)識的環(huán)內(nèi)，因此，在用于計算相對位置的圖像處理中，可以容 易進(jìn)行插座標(biāo)識的中心位置和保持標(biāo)識的中心位置的比較。在該部件豸俞送裝置中，上述插座標(biāo)識包4舌兩個以上，上述保持 標(biāo)識分別與各個上述插座標(biāo)識對應(yīng)地設(shè)置。通過該部件l命送裝置，如果采用兩個插座標(biāo)識和兩個^f呆持標(biāo) 識，則可以沖企測出連接兩個^f呆持標(biāo)識的線相對于連接兩個插座標(biāo)識 的線的傾4牛。因此，可以計算連4妻插座標(biāo)識的線和連4妄<呆持標(biāo)識的 線的傾斜，即計算角度偏移。此外，基于連接插座標(biāo)識的線和插座 的邊的傾在+ ，可以計算連4妄插座標(biāo)識的線和插座的邊的角度偏移。 而且，基于連4妄<呆持標(biāo)識的線和電子部件的邊的傾殺牛，可以計算連 接保持標(biāo)識的線和電子部件的邊的角度偏移。其結(jié)果是，求得電子 部件的邊的傾斜和檢查用插座的邊的傾斜，即可以計算電子部件的 邊和檢查用插座的邊的角度偏移量。其結(jié)果是，使電子部件的邊和才企查用插座的邊的角度偏移量為"0", ^吏電子部件的位置和^r查用插座的位置一致，可以將電子部件適當(dāng)?shù)胤胖糜跈z查用插座上。該部件豐lr送裝置也可以是，上述插座標(biāo)識形成為矩形形狀，上 述寸呆持標(biāo)識形成為大于上述插座標(biāo)識的矩形形狀的框狀，在上述安 裝^f立置上，上述插座標(biāo)識配置在上述^f呆持標(biāo)識的沖匡內(nèi)。通過該部件llr送裝置，即佳J呆持標(biāo)識和插座標(biāo)識分別為一個， 也可以比4交保持標(biāo)識以及插座標(biāo)識的各自的矩形形狀的中心位置， 計算相對位置，并且，可以比較保持標(biāo)識以及插座標(biāo)識的各自的矩 形形狀的方向，計算角度偏移。因此，可以減少保持標(biāo)識以及插座 標(biāo)識的lt量。在該部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第一相對位置計算單元基于已 經(jīng)算出的^見定次凄t的第一相對位置的平均值求得上述第一相對位 置，上述第二相對位置計算單元基于已經(jīng)算出的規(guī)定次數(shù)的第二相 對位置的平均值求得上述第二相對位置。通過該部件輸送裝置，在計算急劇變動4交少的、插座標(biāo)識和才企 查用4翁座的第 一相刈M立置以及插座標(biāo)識和4呆持才示識的第二相對^立 置時，利用多次的凄t據(jù)，乂人而可以-使重新計算的各相對位置為穩(wěn)、定 的值。
在該部件輸送裝置中，優(yōu)選在上述第二照相機(jī)將上述插座標(biāo)識 和上述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像時，上述保持裝置使上述保持標(biāo)識 和上述第二照相機(jī)之間的距離與上述插座標(biāo)識和上述第二照相機(jī) 之間的距離為相同距離。
通過該部件輸送裝置，第二照相機(jī)可以拍才聶距第二照相機(jī)的距 離一致的插座標(biāo)識和保持標(biāo)識的圖像。因此，通過使插座標(biāo)識和保 持標(biāo)識距第二照相機(jī)的距離相同以減少在插座標(biāo)識和保持標(biāo)識距 第二照相機(jī)的距離不同的圖像的圖像處理中容易發(fā)生的誤差，可以 更好地進(jìn)行插座標(biāo)識和保持標(biāo)識地相對位置的計算。
在該部件輸送裝置中，優(yōu)選上述保持標(biāo)識形成為比上述插座標(biāo) 識短，上述保持裝置在移動至上述安裝位置之后，移動至上述^f呆持 標(biāo)識和上述第二照相機(jī)的距離與上述插座標(biāo)識和上述第二照相枳i 的距離為相同3巨離的位置。
通過該部件輸送裝置，在第二照相機(jī)進(jìn)行拍攝時，可以使保持 標(biāo)識/人安裝位置離開。因此，可以避免來自于才企查用插座等的熱向 寸呆持標(biāo)識傳導(dǎo)，防止在4呆持標(biāo)識中發(fā)生熱導(dǎo)致的伸縮，可以更好i也 進(jìn)4亍插座標(biāo)識和4呆持標(biāo)識的相對^f立置的計算。
在該部件輸送裝置中，上述第三相對位置計算單元在每次將上 述電子部件放置于上述檢查用插座時求得上述第三相對位置，在每 次4要^見定次H求出上述第三相對位置時，上述第 一相對位置計算單元求得上述第 一相對位置，在每次按失見定次lt求出上述第三相對位 置時，上述第二相對位置計算單元求得上述第二相對位置。
通過該部件輸送裝置，可以減少計算變動4交少的、插座標(biāo)識和 才全查用插座的第一相對位置以及插座標(biāo)識和保持標(biāo)識的第二相對 位置的次凄t， /人而縮短部件，#送裝置將電子部件配置于#企查用插座 所需的時間。
在該部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第三相對位置計算單元在每次
將上述電子部件;故置于上述4全查用插座時求得上述第三相對位置， 上述第二相對位置計算單元在每次將上述電子部件方文置于上述才企
查用插座時求得上述第二相對位置，上述第一相對位置計算單元每 次"1姿*見定次凄史求出上述第三相對位置時求得上述第 一相對位置。
通過該部件llr送裝置，可以減少計算變動最少的、插座標(biāo)識和 斥企查用插座的第一相對位置的次數(shù)，,人而縮短部件輸送裝置將電子 部件配置于才企查用插座所需的時間。
在該部件輸送裝置中，優(yōu)選上述第三相對位置計算單元在每次 將上述電子部件安裝于上述沖企查用插座時求得上述第三相對位置， 上述第 一相對位置計算單元每次按^見定次數(shù)求出上述第三相對位 置時求得上述第一相對位置，上述第二相對位置計算單元在將上述 電子部件輸送至上述安裝位置時求得上述第二相對位置。
通過該部件輸送裝置，可以在將電子部件安裝于4企查用插座時
求4尋"^座標(biāo)識和^f呆持標(biāo)識的第二相只t^f立置，乂人而省略另外求;彈第二 相對位置的動作。
本發(fā)明的IC處理才幾包4舌上述部件l俞送裝置。通過本發(fā)明的IC處理機(jī)，由于插座標(biāo)識設(shè)置于4全查用插座的
附近，通過第二照相才幾將4企查用插座和插座標(biāo)識拍才聶在一個圖4象 中，通過第一相對位置計算單元對該圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，從而
可以求得;險查用插座相對于插座標(biāo)識的第一相對位置。此外，在將 保持裝置配置于安裝位置時，保持裝置所具有的保持標(biāo)識配置于插 座標(biāo)識的附近。因此，通過第二照相4幾將〗呆持標(biāo)識和插座標(biāo)識拍揚(yáng)^ 在一個圖像中，通過第二相對位置計算單元對該圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像 處理，從而可以求得保持裝置的保持標(biāo)識相對于插座標(biāo)識的第二相 對位置，即相對于保持裝置的相對位置。此外，通過第一照相才幾將 電子部件和保持標(biāo)識拍攝在一個圖像中，通過第三相對位置計算單
元對該圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，可以求得電子部件相對于保持標(biāo) 識的第三相對位置，即電子部件相對于保持裝置的位置。因此，位 置調(diào)整裝置可以基于第一至第三相對位置，將電子部件移動至適合 于斗企查用插座的位置上。
即、第 一相對位置反映檢查用插座和插座標(biāo)識之間產(chǎn)生的"i殳置 導(dǎo)致的變形、或熱導(dǎo)致的伸縮。此外，第二相對位置反映插座標(biāo)識 和{呆持標(biāo)識(保持裝置)之間產(chǎn)生的設(shè)置導(dǎo)致的變形、或熱導(dǎo)致的 伸縮。而且，第三相對位置反映電子部件相對于保持標(biāo)識(保持裝 置)的吸附位置偏移。其結(jié)果是，可以隨時反映IC處理才幾中所產(chǎn)
生的設(shè)置導(dǎo)致的變形、或熱導(dǎo)致的伸縮，將電子部件適當(dāng)?shù)胤胖糜?沖企查用插座上。
此外，由于可以隨時反映IC處理才幾中產(chǎn)生的i殳置導(dǎo)致的變形、 或熱導(dǎo)致的伸縮，所以，可以無需進(jìn)4亍用于4交正IC處理才幾中產(chǎn)生 的"i殳置導(dǎo)致的變形、或熱導(dǎo)致的伸縮的再次4交準(zhǔn)(初始i殳定)，因 此，可以減少4交準(zhǔn)所需的時間或勞動。


圖1是表示本實施方式的IC處理機(jī)(handler)的平面結(jié)構(gòu)的 平面圖；圖2示出了該實施方式的往復(fù)裝置的說明圖，圖2 (a)是表示 平面結(jié)構(gòu)的平面圖、圖2 (b)是標(biāo)識正面結(jié)構(gòu)的正面圖；圖3示出了該實施方式的檢查部的說明圖，圖3 (a)是表示平 面結(jié)構(gòu)的平面圖、圖3 (b)是表示正面結(jié)構(gòu)的正面圖；圖4示出了該實施方式的測量自動裝置，圖4(a)是表示平面 結(jié)構(gòu)的平面圖、圖4 (b)是表示底面結(jié)構(gòu)的底面圖、圖4 (c)是 表示左側(cè)面結(jié)構(gòu)的左側(cè)面圖；圖5示出了該實施方式的保持標(biāo)識的說明圖，圖5 (a)是表示 正面結(jié)構(gòu)的正面圖、圖5 (b)是圖5 (a)的5-5截面圖；圖6是表示該實施方式的攝影裝置和反射裝置的正面結(jié)構(gòu)的正 面圖；圖7是說明該實施方式的往復(fù)裝置照相機(jī)的拍攝的說明圖，圖 7(a)是說明拍攝狀態(tài)的說明圖、圖7 (b)是說明拍攝范圍的說明 圖；圖8是i兌明該實施方式的、通過第一反射器的室式照相4幾的拍 攝的說明圖，圖8 (a)是說明拍攝狀態(tài)的說明圖、圖8 (b)是說 明拍才聶范圍的"i兌明圖；圖9是i兌明該實施方式的、通過第二反射器的室式照相才幾的拍 攝的說明圖，圖9 (a)是說明拍攝狀態(tài)的說明圖、圖9 (b)是說 明拍攝范圍的說明圖IO是表示該實施方式的IC處理機(jī)的電氣構(gòu)成的框圖11是i兌明該實施方式的i殳備識別處理的i兌明圖12是i兌明該實施方式的標(biāo)識位置識別處理的i兌明圖13是說明該實施方式的插座識別處理的說明圖14是表示該實施方式的、為了4企查IC芯片T而進(jìn)行輸送的 處J里的;危禾呈圖15是表示該實施方式的IC處理機(jī)的插座識別處理的流禾呈
圖16是表示該實施方式的IC處理機(jī)的標(biāo)識位置識別處理的流 程圖17是表示該實施方式的IC處理機(jī)的i殳備識別處理的流程
圖18是表示其他例子中的、為了檢查IC芯片T而進(jìn)行輸送的 處5里的流禾呈圖；以及
圖19是表示另外一個其他例子中的、為了檢查IC芯片T而進(jìn) 4亍輸送的處理的流程圖。
具體實施方式
下面，參照圖1 ~圖17對4巴本發(fā)明具體化的一個實施方式進(jìn)行 說明。圖1是表示構(gòu)成部件輸送裝置的IC處理才幾10的平面圖。IC處理才幾10包4舌基部11、安全罩12、高溫室13、供^會自動 裝置14、收回自動裝置15、第一往復(fù)裝置16、第二往復(fù)裝置17、 以及多個輸送帶C1 C6?；?1在其上表面上安裝有上述各部件。安全罩12覆蓋基部 11的大部分區(qū)域，在其內(nèi)部收容有供給自動裝置14、收回自動裝 置15、第一往復(fù)裝置16以及第二往復(fù)裝置17。在基部11上設(shè)置多個輸送帶C1 C6，以使多個輸送帶C1 C6 的一端部側(cè)位于安全罩12的外側(cè)，另一端部位于安全罩12的內(nèi)側(cè)。 各輸送帶C1 C6將托盤18 乂人安全罩12的外側(cè)，lr送向安全罩12的 內(nèi)側(cè)，或者反過來，將托盤18從安全罩12的內(nèi)側(cè)輸送向安全罩12 的外側(cè)，該4乇盤18 "欠容有多個作為電子部4?；蜷y佳/i殳定用部件的 半導(dǎo)體芯片等IC芯片T。供給自動裝置14包括X軸框架FX、第一 Y軸框架FY1以及 供給側(cè)自動裝置保持(hand )單元20。收回自動裝置15包括該X 軸框架FX、第二 Y軸框架FY2以及收回側(cè)自動裝置保持單元21。 X軸框架FX配置于X方向上。第一 Y軸框架FY1以及第二 Y軸 框架FY2配置為沿Y方向相互平行，并且纟皮保持為相對于上述X 軸框架FX可以在X方向上移動。此夕卜，第一Y軸沖匡架FY1以及 第二 Y軸框架FY2基于設(shè)置于X軸框架FX上的、未圖示的各個 電動才幾，沿該X軸4醫(yī)架FX在X方向上進(jìn)4亍4主返移動。供給側(cè)自動裝置^f呆持單元20以可以在Y方向上移動的方式輛: 保持在第一 Y軸框架FY1的下側(cè)。供給側(cè)自動裝置手動單元20通過"i殳置于第一 Y軸沖匡架FY1的、未圖示的各個電動才幾沿該第一 Y 軸框架FY1在Y方向上往返移動。而且，供給側(cè)自動裝置手動單 元20例如將放置在輸送帶Cl的托盤18上的檢查前的IC芯片T供 給第一往復(fù)裝置16。
]欠回側(cè)自動裝置手動單元21以可以在Y方向上移動的方式被L 寸呆持在第二 Y軸4醫(yī)架FY2的下側(cè)。收回側(cè)自動裝置手動單元21通 過"i殳置于第二 Y軸框架FY2的、未圖示的各個電動機(jī)沿該第二 Y 軸才匡架FY2在Y方向上往返移動。而且，收回側(cè)自動裝置手動單 元21例如將供給第一往復(fù)裝置16的4企查后的IC芯片T供給輸送 帶C6的4乇盤18。
在基部11的上表面，在供給自動裝置14和收回自動裝置15 之間，分別與X軸方向平4亍地配置第 一導(dǎo)專九30A以及第二導(dǎo)專九30B。 在第一導(dǎo)軌30A上包括第一往復(fù)裝置16，該第一往復(fù)裝置16可以 在X方向上進(jìn)4亍往返移動。而且，在第二導(dǎo)4九30B上包括第二往復(fù) 裝置17,該第二往復(fù)裝置17可以在X方向上進(jìn)行往返移動。
第一往復(fù)裝置16具有在X軸方向上呈長方形的大致纟反狀基部 部件16A。在基部部件16A的底面設(shè)置有未圖示的導(dǎo)軌支承件，該 導(dǎo)專九支承件與第一導(dǎo)專九30A滑動^妻觸。而且，第一往復(fù)裝置16通 過設(shè)置于第一往復(fù)裝置16的第一往復(fù)裝置電動才幾M1 (參照圖10) 沿第 一導(dǎo)專九30A #1往返移動。
在基部部件16A的上表面左側(cè)(供給自動裝置14側(cè))，用螺釘 等以可以更換的方式固定有供給側(cè)更換組件(change kit) 31。
在供纟合側(cè)更換組件31的上表面上，凹陷i殳置有四個用于》丈置 從供給自動裝置14供給的IC芯片T的矩形形狀的凹處32。凹處32平穩(wěn)、地嵌入所;故置的IC芯片并4呆持。因此，即4吏在第 一往復(fù)裝置16移動時，IC芯片T也被保持在凹處32的規(guī)定位置。而且，在基部部件16A的上表面右側(cè)(收回自動裝置15側(cè))， 通過螺4丁等可更換地固定有與供癥合側(cè)更4灸組件31同才羊的收回側(cè)更 換組件34，收回側(cè)更換組件34在與供給側(cè)更換組件31同樣的各個 凹處32中^f呆持IC芯片T。第二往復(fù)裝置17具有在X軸方向上呈較長的大致板狀的基部 部件17A。在基部部件17A的底面i殳置有未圖示的導(dǎo)4九支7 c件，該 導(dǎo)軌支承件與第二導(dǎo)軌30B滑動接觸。此外，第二往復(fù)裝置17通 過"i殳置于第二往復(fù)裝置17的第二往復(fù)裝置電動才幾M2 (參照圖10) 沿第二導(dǎo)4九30B進(jìn)4亍往返移動。在基部部件17A的上表面左側(cè)(供給側(cè)自動裝置14側(cè))，用螺 4丁等可更換地固定有與基部部件16A所包括的部件相同的供給側(cè) 更換組件31,在供給側(cè)更換組件31的各個凹處32中保持IC芯片 T。而且，在基部部件17A的上表面右側(cè)(收回自動裝置15側(cè))， 通過螺4丁等可更換:地固定有與供給側(cè)更4奐組件31相同的收回側(cè)更 換組件34，在各個凹處32中保持IC芯片T。如圖2(a)、 (b)所示，在第一往復(fù)裝置16以及第二往復(fù)裝置 17的上表面中央，具有分別構(gòu)成第一照相才幾的第一往復(fù)裝置照相^/L 37以及第二往復(fù)裝置照相機(jī)38，該第一往復(fù)裝置照相機(jī)37以及第 二往復(fù)裝置照相機(jī)38可以拍攝上方。第一往復(fù)裝置照相機(jī)37以及 第二往復(fù)裝置照相機(jī)38從下方拍攝通過后述的測量自動裝置22被 保持在上方的IC芯片T，并輸出其拍攝獲得的圖像數(shù)據(jù)，在測量自 動裝置22的正下方位置上，可以一次拍纟聶4皮<呆持的IC芯片T整體 及其周圍。而且，在本實施方式中，第一往復(fù)裝置照相機(jī)37以及 第二往復(fù)裝置照相機(jī)38是CCD照相機(jī)，但是并不僅限于此。在基部11的上表面，在第一往復(fù)裝置16以及第二往復(fù)裝置17 之間，設(shè)置有檢查部23。如圖3 (a)以及(b)所示，在檢查部23 上凸出i殳置4企查用插座24以及第一插座銷25A以及第二插座銷 25B,在該才企查用插座24上裝入IC芯片T,該第一插座銷25A以 及第二插座銷25B在位于比4企查用插座24更靠近供纟會自動裝置14 側(cè)的、與Y方向平4于的插座銷配置線AY1的線上。而且，第一插 座銷25A設(shè)置在第二往復(fù)裝置17側(cè)(前側(cè))，第二插座銷25B設(shè)置 在第一往復(fù)裝置16側(cè)(后側(cè))，第一插座銷25A以及第二插座銷 25B的中心位置之間的間隔在Y方向(前后方向)上^f又間隔距離 LSy。檢查用插座24是用于對裝入的IC芯片T進(jìn)行電氣檢查的插座， 在檢查用插座24上包括與檢查對象的IC芯片T的各連接端子B(參 照圖4)所對應(yīng)的多個4全查用4妄觸端子24T。而且，沖全查用插座24 可以使IC芯片T的各連接端子B與各接觸端子24T接觸，從而使其電氣連接并進(jìn)行檢查。如圖3 ( b )所示，各4翁座銷25A、 25B形成為直^圣Rl 、高LSz 的圓柱形狀，由4艮色并且基于溫度變化^艮難導(dǎo)致伸縮或變形的部 件、例如金屬等形成。在各插座銷25A、 25B的上部圓形的中央部， 分別i殳置有圖俜^只別用的4翁座才示-i只260、 261。插座標(biāo)識260、 261由圓形黑色并且基于溫度變化很難導(dǎo)致伸 縮或變形的部件、例如金屬等形成。即、使各插座銷25A、 25B和 各插座標(biāo)識260、 261色調(diào)差異加大，在圖像識別處理中，可以非 常^iti也"i只另'W翁J:才示"i只260、 261。 jt匕夕卜，^^翁J^示i口、 260、 261的 中央部配置于4翁座銷配置線AY1的線上。即、在才企查部23中，檢查用插座24和各插座標(biāo)識260、 261 以具有^L定的相對位置關(guān)系的方式進(jìn)4亍配置。在高溫室13內(nèi)側(cè)包括未圖示的導(dǎo)軌。該導(dǎo)軌以片黃^爭第一往復(fù) 裝置16和第二往復(fù)裝置17以及4全查用插座24的上方的方式配置 于Y方向上。導(dǎo)專九的下部支7K測量自動裝置22, -使其可以在Y方向上4主返 移動，通過導(dǎo)軌上具有的Y軸電動機(jī)MY (參照圖10)，使測量自 動裝置22在Y方向上往返移動。即、測量自動裝置22沿導(dǎo)4九移動， 在各往復(fù)裝置16、 17和4企查用插座24之間相互搬送IC芯片T。具體地說，測量自動裝置22取得由各往復(fù)裝置16、 17供給的 IC芯片T,將IC芯片T放置在檢查用插座24的正上方位置上。然 后，測量自動裝置22使IC芯片T向下方移動，使IC芯片T的各 連接端子B /人上方與4企查用插座24的4妄觸端子24T抵接，通過將 彈簧銷向下方壓下，佳:IC芯片T安裝于該;險查用插座24。而且， 在檢查用插座24上所安裝的IC芯片T的電氣檢查結(jié)束后，測量自 動裝置22取出各檢查用插座24上所安裝的IC芯片T，并將其放置 于收回側(cè)更換組件34的正上方位置上。然后，在收回側(cè)更換組件 34的正上方〗立置上，測量自動裝置22 4吏IC芯片T向下方移動，并 使其收容于收回側(cè)更換組件34的身見定的凹處32中。如圖4 (a)所示，測量自動裝置22包括支承部22A、連接部 22B以及構(gòu)成保持裝置的按壓保持部22C。以對于未圖示的導(dǎo)軌可 以在前后方向(Y方向)上往返移動的方式支7 義支岸義部22A的上部。 支壽義部22A的下部以可以對于該支7 義部22A在上下方向(Z方向) 進(jìn)4亍往返移動的方式連4妻支7K連4妄部22B。連4妄部22B通過支壽義部 22A所具有的Z軸電動機(jī)MZ (參照圖10)在上下方向上進(jìn)行往返 移動。在該連接部22B的下端固定有按壓保持部22C。按壓保持部 22C和連接部22B—起在上下方向上進(jìn)行往返移動。即、測量自動 裝置22的按壓保持部22C相對于導(dǎo)軌可以在前后方向(Y方向) 以及上下方向(Z方向)上移動。此夕卜，按壓保持部22C一皮配置成，在沿前后方向(Y方向)移 動測量自動裝置22并配置于第一往復(fù)裝置16以及第二往復(fù)裝置17 的中間位置時，位于沖企查用插座24的正上方位置。在才安壓^f呆持部22C的下部具有與4全查用4翁座24以及各個凹處 32相對的按壓裝置26。按壓裝置26向下方延伸，從作為下降開始 位置的原點(diǎn)位置開始下降，并移動至吸附開始位置或安裝位置。在按壓裝置26下部的中心，i殳置有吸附噴嘴27。即、吸附噴 嘴27在與裝載有IC芯片T的供給側(cè)更換組件31的各個凹處32或 才企查用插座24相對之后，其前端移動至吸附開始位置，并到達(dá)IC 芯片T。此夕卜，吸附噴嘴27在與收回側(cè)更換組件34的各個凹處32 以及4企查用插座24相對之后，4吏其吸附^f呆持有IC芯片T的前端移 動至裝載位置，從而按壓IC芯片T。在吸附噴嘴27的前端包4舌未圖示的吸附孔。吸附孔連通吸附 噴嘴27的內(nèi)部，通過吸附閥VI (參照圖10)與吸引裝置52 (參 照圖10)連接。即、通過吸附閥VI的切換連接吸附噴嘴27和吸 引裝置52時，吸附噴嘴27的吸附孔成為負(fù)壓，基于其負(fù)壓將IC 芯片T吸附于吸附噴嘴27的吸附孔上。反之，通過吸附閥VI的切 換，吸附噴嘴27通過吸引裝置52與大氣連4妄時，吸附噴嘴27的 吸附孔成為大氣壓，/人吸附噴嘴27的吸附孔》文開所吸附的IC芯片 T。在4安壓4呆持部22C的內(nèi)部，與4安壓裝置26對應(yīng)"i殳置有位置調(diào) 整裝置25。位置調(diào)整裝置25可以4吏按壓裝置26 (吸附噴嘴27 )相 ^j"于4姿壓^f呆持部22C在左右方向(X方向)以及前后方向(Y方向) 移動，并且可以相對于水平面(XY平面)、以吸附噴嘴27的中心 軸為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。即、位置調(diào)整裝置25使吸附噴嘴27所吸 附4呆持的IC芯片T在左右方向(X方向)以及前后方向(Y方向)上移動，以及使吸附噴嘴27的中心軸作為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從 而可以對IC芯片T進(jìn)行位置沖交正。此外，測量自動裝置22通過位置調(diào)整裝置25將吸附噴嘴27 的中心位置移動至與預(yù)先失見定的4要壓j呆持部22C的底面中心^立置 一致的規(guī)定初始位置，使吸附噴嘴27的中心軸的旋轉(zhuǎn)角度旋轉(zhuǎn)至 其角度為"0"的規(guī)定初始角度之后，將IC芯片T吸附保持在吸附 噴嘴27上。即、吸附噴嘴27被設(shè)置在相對于按壓保持部22C的規(guī) 定的初始位置以及初始角度之后，吸附保持IC芯片T。如圖4所示，在按壓保持部22C的供給自動裝置14側(cè)的側(cè)面， 固定有一對的支柱28A。 一對的支柱28A被設(shè)置成在Y方向上隔 開^L定間隔并,人該側(cè)面向下方延伸，在其下部包4舌有標(biāo)識形成部^f牛 28B ，由兩個支柱28A 4呆持該標(biāo)識形成部件28B。如圖5所示，標(biāo)識形成部件28B是平面形狀為長方形的部件， 由銀色、且基于溫度變化很難導(dǎo)致伸縮或變形的部件、例如金屬等 形成。并且，高度形成為高度LSz。在標(biāo)識形成部4牛28B上，兩個貫通3L 28H形成在其中心4立置 ^U'司隔3巨離LSy的4立置上。在各貫通孔28H中分別插入有圓柱形 的筒體28C，該筒體28C高度為高度LSz、內(nèi)徑R2大于上述第一 插座銷25A以及第二插座銷25B的直徑Rl。即、標(biāo)識形成部件28B 在與第一纟翁座銷25A以及第二纟翁座銷25B相^J"之后下降時，在各筒 體28C中，分別插入對應(yīng)的第 一插座銷25A以及第二插座銷25B 。 此外，將各貫通孔28H的中心位置、即連接筒體28C的中心位置 的線作為^f呆持標(biāo)識配置線AY2。而且，標(biāo)識形成部件28B以^f呆持標(biāo) 識配置線AY2與Y方向大致平4于的方式配置于4姿壓^f呆持部22C上。筒體28C由黑色、且基于溫度變化^艮難導(dǎo)致伸縮或變形的部 件、例如金屬等形成。此外，將各筒體28C的標(biāo)識形成部件28B 的下表面28D側(cè)的環(huán)狀的面作為環(huán)狀的第一下表面保持標(biāo)識280以 及第二下表面保持標(biāo)識281。而且，將各筒體28C的標(biāo)識形成部件 28B的上表面28E側(cè)的環(huán)狀的面作為環(huán)狀的第一上表面保持標(biāo)識 282以及第二上表面4呆持標(biāo)識283。即、相同形狀的第 一下表面保持標(biāo)識280和第 一上表面保持標(biāo) 識282在Z方向上位于相互離開的位置上。此外，相同形狀的第二 下表面保持標(biāo)識281和第二上表面保持標(biāo)識283也在Z方向上位于 相互離開的位置上。而且，當(dāng)在各筒體28C中分別插入第一插座銷25A以及第二 插座銷25B時，第一上表面保持標(biāo)識282以及第二上表面保持標(biāo)識 283和第一插座標(biāo)識260以及第二插座標(biāo)識260為大致相同高度， 并4吏上表面位置一致。此外，標(biāo)識形成部件28B和各4呆持標(biāo)識280 ~ 283形成的色調(diào)差異4交大，因此，在圖^f象識別處理中，可以非常適 合地識另'J各保持標(biāo)識280 ~ 283。在按壓保持部22C的供給自動裝置14側(cè)的側(cè)面，在支柱28A 的上方位置上具有第一反射器29。第一反射器29包括第一鏡29A， 并以可以在第 一鏡29A中反射標(biāo)識形成部件28B的平面的鎮(zhèn):〗象的方 式保持在按壓保持部22C的供給自動裝置14側(cè)的側(cè)面。即、第一 4竟29A可以從測量自動裝置22向供給自動裝置14的方向(左方向) 上反射標(biāo)識形成部件28B的平面的鎮(zhèn)/泉。如圖6所示，在高溫室13內(nèi)側(cè)包括攝影裝置40。具體地說， 在高溫室13內(nèi)側(cè)的供癥會自動裝置14側(cè)的側(cè)面，包4舌向4企查部23 方向(在圖6中為右方向)延伸的水平導(dǎo)軌41。在水平導(dǎo)軌41的 下部具有垂直導(dǎo)專九42，垂直導(dǎo)4九42通過水平導(dǎo)庫九41具有的水平電動才幾M3X沿著該7K平導(dǎo)4九41在左右方向(X方向)上移動。在垂 直導(dǎo)軌42的前側(cè)(第二往復(fù)裝置17側(cè))具有支承臺43，支承臺 43通過垂直導(dǎo)軌42所具有的垂直電動機(jī)M3Z沿著該垂直導(dǎo)軌42 可以在上下方向(Z方向)上移動。在支渾義臺43上將包4舌構(gòu)成第二 照相才幾的室式照相4幾(chamber camera) 44配置于可以將在4企查部 23上方配置的測量自動裝置22的左側(cè)面置于拍4聶范圍內(nèi)的方向。即、室式照相才幾44由7jc平電動才幾M3X以及垂直電動才幾M3Z 驅(qū)動控制，可以向與測量自動裝置22互不干涉的待機(jī)位置、以及 用于進(jìn)行拍攝的拍攝位置移動。此外，配置于拍攝位置的室式照相 機(jī)44可以將測量自動裝置22的側(cè)面的第一鏡29A置于拍攝范圍 內(nèi)，通過第一4竟29A拍才聶標(biāo)識形成部件28B的平面圖像。在本實施 方式中，室式照相機(jī)44為CCD照相機(jī)，但是，并不僅限于此。如圖6所示，在高溫室13內(nèi)側(cè)包4舌反射裝置45。具體地i兌， 在高溫室13內(nèi)側(cè)的收回自動裝置15側(cè)的側(cè)面，包4舌向才企查部23 方向(在圖6中，為左方向)延伸的水平導(dǎo)專九46。在水平導(dǎo)4九46 的下部具有垂直導(dǎo)4九47,垂直導(dǎo)軌47通過水平導(dǎo)專九46具有的水平 電動4幾M4X沿著該7jc平導(dǎo)專九46在左右方向(X方向)上移動。在 垂直導(dǎo)4九47的前側(cè)(第二往復(fù)裝置17側(cè))的側(cè)面包括有支岸義臺48， 支承臺48通過垂直導(dǎo)軌47所包括的垂直電動機(jī)M4Z沿著該垂直 導(dǎo)軌47可以在上下方向(Z方向)上移動。在支承臺48上包括有 在才企查部23方向上延伸的水平臂部48A。在水平臂部48A的前端 部包括有第二反射器49，在第二反射器49上包括有第二鏡49A, 當(dāng)該第二反射器49移動配置于4企查部23的上方時，該第二鏡49A 向室式照相才幾44的方向(在圖6中，為左方向)反射沖企查部23的 平面的鎮(zhèn) 像。即、當(dāng)測量自動裝置22移動配置于才企查部23的上方時，第二 鏡49A退避至收回自動裝置15方向(在圖6中為右方向)的待避4立置，以4吏與測量自動裝置22互不干4尤。另一方面，當(dāng)測量自動 裝置22未^皮移動配置于4企查部23的上方時， -使第二4竟49A與室式 照相機(jī)44成為相同高度，并移動配置到檢查部23的上方的反射位 置上。然后，當(dāng)?shù)诙R49A移動配置于反射位置時，配置于拍攝位 置的室式照相4幾44通過該第二鏡49A可以拍纟聶一企查部23的檢查用 插座以及第一插座標(biāo)識260以及第二插座標(biāo)識261的平面圖4象。如圖7 (a)所示，IC處理機(jī)10可以將用于保持IC芯片T的 測量自動裝置22和第 一往復(fù)裝置16相對移動至第 一拍掘/f立置CP 1, 該第一拍攝位置CP1是第一往復(fù)裝置照相機(jī)37可以將IC芯片T 和第一下表面保持標(biāo)識280以及第二下表面〗呆持標(biāo)識281置于同一 浮見野中的拍才聶位置。而且，如圖7(b)所示，當(dāng)測量自動裝置22和第一往復(fù)裝置 照相機(jī)37在第一拍攝位置CP1進(jìn)行相對移動時，可以將IC芯片T 和第一下表面保持標(biāo)識280以及第二下表面保持標(biāo)識281置于第一 往復(fù)裝置照相機(jī)37的視野、即拍攝范圍L1內(nèi)，并一次進(jìn)行拍攝。此時所拍攝的圖像數(shù)據(jù)用于作為圖像識別處理的"裝置 (device)識別處理"，該圖l象識別處理用于求得IC芯片T的中心 位置DC (參照圖7(b))相對于第一下表面保持標(biāo)識280的坐標(biāo)、 以及IC芯片T的邊相對于保持標(biāo)識配置線AY2的角度偏移。如圖8 (a)所示，配置于4企查用插座24上部的測量自動裝置 22將所保持的IC芯片T安裝于才企查用插座24。這時，第一插座銷 25A以及第二插座銷25B以活動配合的方式分別插入第一上表面保 持標(biāo)識282以及第二上表面4呆持標(biāo)識283的內(nèi)側(cè)，并且，4吏各上表 面保持標(biāo)識282、 283和插座標(biāo)識260、 261進(jìn)行上表面定位。然后，當(dāng)室式照相機(jī)44配置于通過第一反射器29反射各上表 面保持標(biāo)識282、 283的第二拍攝位置CP2時，如圖8(b)所示， 該室式照相機(jī)44在室式照相機(jī)44的拍攝范圍L2內(nèi)捕捉并拍攝各 上表面保持標(biāo)識282、 283以及各插座標(biāo)識260、 261。此時所拍攝的圖像數(shù)據(jù)用于作為圖像識別處理的"標(biāo)識位置識 別處理，，，該圖像識別處理用于求得第一上表面保持標(biāo)識282的中 心位置相對于第一插座標(biāo)識260的坐標(biāo)、以及保持標(biāo)識配置線AY2 相對于插座銷配置線AY1的角度偏移。而且，如圖9(a)所示，在測量自動裝置22不位于才全查部23 上部的狀態(tài)下，4吏室式照相機(jī)44和第二鏡49A為相同高度。接著， 使第二鏡49A移動至室式照相機(jī)44在同一拍攝范圍L3能夠捕捉檢 查用4翁座24和各4翁座片示i口、 260、 261的反射^f立置RP上。，然后，^口 圖9 (b)所示，通過配置于反射位置RP上的第二鏡49A,可以一 次拍才聶4企查用插座24和各插座標(biāo)識260、 261。此時所拍攝的圖像數(shù)據(jù)用于作為圖像識別處理的"插座識別處 理"，該圖像識別處理用于求得4企查用插座24的中心位置SC相對 于第一插座標(biāo)識260的坐標(biāo)、以及4企查用插座24的邊相對于插座 銷配置線AY1的角度偏移。下面，參照圖10,對用于IC處理^L10將IC芯片T適當(dāng)?shù)匕?裝于4僉查用插座24的電氣構(gòu)成進(jìn)4亍il明。在IC處理機(jī)10中，包括構(gòu)成第一、第二以及第三相對位置計 算單元的控制裝置50。在圖10中，控制裝置50中包括CPU(中央運(yùn)算裝置)61、ROM 62、 RAM 63、圖像處理器64以及圖像存儲器65等。控制裝置50 (CPU 61 )才艮據(jù)存4諸在ROM 62或RAM 63中的各種凄t據(jù)以及各種10從供給側(cè)更換組件31的凹處32中 吸附保持才全查前的IC芯片T并取出、然后將其安裝于檢查用插座 24的處5里等。在本實施方式中，RAM 63包4舌用于存卞者IC芯片T 的檢查個數(shù)的檢查個數(shù)計數(shù)用存儲器?？刂蒲b置50與輸入輸出裝置70電氣連接。輸入輸出裝置70 包括各種開關(guān)和狀態(tài)顯示器，向控制裝置50輸出用于開始執(zhí)行上 述各處理的指令信號、用于執(zhí)行各處理的初始值數(shù)據(jù)等?？刂蒲b置50分別與Y軸電動才幾驅(qū)動電路71以及Z軸電動機(jī)驅(qū) 動電^各72電氣連4妄。Y軸電動才幾驅(qū)動電^各71輸入來自于控制裝置50的控制信號 CMY，并通過基于該控制信號CMY所生成的驅(qū)動信號DMY驅(qū)動 控制Y軸電動沖幾MY。而且，控制裝置50通過Y軸電動4幾驅(qū)動電 ^各71 l命入由Y軸電動才幾編石馬器EMY所4僉測出的Y軸電動才幾MY 的旋轉(zhuǎn)量SMY。然后，控制裝置50基于旋轉(zhuǎn)量SMY把握測量自 動裝置22的位置。即、控制裝置50驅(qū)動控制Y軸電動機(jī)MY,將 ，接壓^f呆持部22C配置于4企查用插座24的上方^f立置以及第一往復(fù)裝 置16和第二往復(fù)裝置17的上方位置。Z軸電動機(jī)驅(qū)動電路72輸入來自于控制裝置50的控制信號 CMZ,并通過基于該控制信號CMZ所生成的驅(qū)動信號DMZ驅(qū)動 控制Z軸電動4幾MZ。而且，控制裝置50通過Z軸電動才幾驅(qū)動電 ^各72輸入由Z軸電動才幾編石馬器EMZ所4全測出的Z軸電動才幾MZ的 旋轉(zhuǎn)量SMZ。然后，控制裝置50基于旋轉(zhuǎn)量SMZ把握測量自動裝 置22的位置。即、控制裝置50驅(qū)動控制Z軸電動機(jī)MZ,通過連 接部22B將按壓保持部22C (吸附噴嘴27 )配置于作為下降開始位 置的原點(diǎn)位置。4空制裝置50與閥驅(qū)動電^各73電氣連4妄。閥驅(qū)動電路73基于 從控制裝置50輸入的控制信號CV1,驅(qū)動控制吸附用閥VI 。然后， 控制裝置50驅(qū)動控制吸附用閥VI,將吸附噴嘴27的吸附孔切換 至吸引裝置52和大氣中的任一個。當(dāng)吸附孔與吸引裝置52連接時， 將IC芯片T吸附保持在吸附噴嘴27的開口端?？刂蒲b置50與電空(electro-pneumatic )調(diào)整電i^各74電氣連4妄， 該電空調(diào)整電^各74與按壓裝置26對應(yīng)i殳置。各電空調(diào)整電路74 基于從控制裝置50輸入的控制信號C26,用空壓力使按壓裝置26 (吸附噴嘴27)從相對于按壓保持部22C作為下降開始位置的原 點(diǎn)位置移動至下方的吸附開始位置或安裝位置。控制裝置50與設(shè)置于按壓保持部22C的位置調(diào)整裝置25電氣 連接。位置調(diào)整裝置25基于從控制裝置50輸入的控制信號C25控 制移動按壓裝置26 (吸附噴嘴27 )，使其相對于按壓保持部22C在 左右方向(X方向)以及前后方向(Y方向)上移動，并且，相對 于水平面(XY平面)，以吸附噴嘴27的中心軸為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)控制?？刂蒲b置50分別與第一往復(fù)裝置驅(qū)動電路75以及第二往復(fù)裝 置驅(qū)動電3各76電氣連4妄。第一往復(fù)裝置驅(qū)動電路75輸入來自于控制裝置50的控制信號 CM1，通過基于該控制信號CM1所生成的驅(qū)動信號DM1驅(qū)動控制 第一往復(fù)裝置電動機(jī)M1。然后，控制裝置50驅(qū)動第一往復(fù)裝置電 動才幾Ml, 4吏第一往復(fù)裝置16沿導(dǎo)軌30A移動。而且，控制裝置 50通過第一往復(fù)裝置驅(qū)動電路75 f俞入由第一往復(fù)裝置編碼器EM1 檢測出的第一往復(fù)裝置電動機(jī)M1的旋轉(zhuǎn)量SM1。然后，控制裝置 50基于^走轉(zhuǎn)量SM1 4巴握第一往復(fù)裝置16的位置。路76輸入來自于控制裝置50的控制信號 CM2,通過基于該控制信號CM2所生成的驅(qū)動信號DM2驅(qū)動控制 第二往復(fù)裝置電動才幾M2。然后，控制裝置50驅(qū)動第二往復(fù)裝置電 動機(jī)M2,使第二往復(fù)裝置17沿導(dǎo)軌30B移動。而且，控制裝置 50通過第二往復(fù)裝置驅(qū)動電^各76 llr入由第二往復(fù)裝置編碼器EM2 檢測出的第二往復(fù)裝置電動機(jī)M2的旋轉(zhuǎn)量SM2。而且，控制裝置 50基于旋轉(zhuǎn)量SM2對巴握第二往復(fù)裝置17的位置?？刂蒲b置50分別與第一往復(fù)裝置照相機(jī)驅(qū)動電路77、第二往 復(fù)裝置照相機(jī)驅(qū)動電^各78以及室式照相機(jī)驅(qū)動電^各79電氣連4妄。第一往復(fù)裝置照相^4區(qū)動電^各77基于來自于控制裝置50的控 制信號C37驅(qū)動控制第一往復(fù)裝置照相機(jī)37。然后，控制裝置50 驅(qū)動控制第一往復(fù)裝置照相才幾37,取得第一往復(fù)裝置照相才幾37所 拍攝的"裝置識別處理"用的圖像數(shù)據(jù)GD1。控制裝置50通過圖 像處理器64，使用所取得的圖像數(shù)據(jù)GDI,進(jìn)行吸附在吸附噴嘴 27的IC芯片T和、第一下表面保持標(biāo)識280以及第二下表面保持 標(biāo)識281的圖^f象識別處理(裝置識別處理)。如圖11所示，裝置識別處理以第一下表面保持標(biāo)識280的中 心位置280C為原點(diǎn)，相對于該原點(diǎn)計算構(gòu)成IC芯片T的中心4立置 DC的第三相對位置的相對坐標(biāo)(x3, y3)。而且，裝置識別處理以 吸附噴嘴27的中心位置27C為原點(diǎn)，計算IC芯片T的中心位置 DC相^"于該原點(diǎn)的吸附^f立置偏移(x31， y31)。而且，裝置識別處理計算構(gòu)成IC芯片T的邊相對于^f呆持標(biāo)識 配置線AY2的第三相對位置的角度偏移6 3即、運(yùn)算IC芯片T與 保持標(biāo)識配置線AY2對應(yīng)的邊只旋轉(zhuǎn)了多少。控制裝置50將計算的相對坐標(biāo)(x3， y3)、吸附位置偏移(x31， y31 )以及角度偏移6 3保存在RAM63中。此夕卜，為了運(yùn)算方l更， 相對坐標(biāo)(x3, y3)以及角度偏移6 3的各值都^皮賦予基于從上面 7見察測量自動裝置22時的坐標(biāo)系的值。而且，因為測量自動裝置 22相對于第 一下表面4呆持標(biāo)識280和第 一上表面^f呆持標(biāo)識282的相 只于<立置相同，所以，第一上表面4呆持才示i口、 282的中心為中心^立置 280C,相對坐標(biāo)(x3， y3)不論是對于第一下表面保持標(biāo)識280、 還是對于第 一上表面保持標(biāo)識282都為相同的值。第二往復(fù)裝置照相機(jī)驅(qū)動電路78基于來自于控制裝置50的控 制信號C38,驅(qū)動控制第二往復(fù)裝置照相機(jī)38。然后，控制裝置 50驅(qū)動控制第二往復(fù)裝置照相機(jī)38，取得第二往復(fù)裝置照相機(jī)38 所拍4聶的"裝置識別處理"用的圖傳3t據(jù)GDl?？刂蒲b置50通過 圖像處理器64，使用所取得的圖像數(shù)據(jù)GDI,進(jìn)行吸附在吸附噴 嘴27的IC芯片T和第一下表面保持標(biāo)識280以及第二下表面保持 標(biāo)識281的圖l象識別處理(裝置識別處理)。如圖ll所示，雖然進(jìn) 行了 "裝置識別處理"，但是，由于和上述內(nèi)容相同，所以省略對 其的"i兌明。室式照相機(jī)驅(qū)動電^各79基于來自于控制裝置50的控制信號 C44,馬區(qū)動4空制室式照相才幾44。 4空制裝置50驅(qū)動4空制室式照相才幾 44，取得室式照相沖幾44所拍4聶的"標(biāo)識位置識別處理"用的圖傳_ 凄t據(jù)GD2或"插座識別處理，，用的圖傳4t據(jù)GD3?？刂蒲b置50通過圖^f象處理器64， 4吏用"標(biāo)識位置識別處理" 用的圖 <象數(shù)據(jù)GD2 ，進(jìn)行第 一插座標(biāo)識260以及第二插座標(biāo)識261 和第 一上表面保持標(biāo)識282以及第二上表面保持標(biāo)識283的圖像識 別處理(標(biāo)識4立置識別處理)。如圖12所示，標(biāo)識位置識別處理以第 一插座標(biāo)識260的中心 位置260C為原點(diǎn)，計算構(gòu)成第一上表面保持標(biāo)識282的中心位置 280C相對于該原點(diǎn)的第二相對位置的相對坐標(biāo)(x2, y2)，即、運(yùn) 算該第一上表面^f呆持標(biāo)識282相對于第一插座標(biāo)識260的位置偏 移。而且， 一示識4立置識別處理計算構(gòu)成{呆持才示識配置線AY2相只于于 插座銷配置線AY1的相對位置的角度偏移6 2。而且，控制裝置50 將運(yùn)算出的相對坐標(biāo)(x2, y2)以及角度偏移6 2保存在RAM 63 中?？刂蒲b置50通過圖^(象處理器64^f吏用"插座識別處理"用的圖 <象數(shù)據(jù)GD3，進(jìn)4亍第一插座標(biāo)識260以及第二插座標(biāo)識261和才全查 用插座24的圖像識別處理(插座識別處理)。如圖13所示，插座識別處理以第一插座標(biāo)識260的中心位置 260C為原點(diǎn)，計算構(gòu)成沖企查用插座24的中心^立置SC相對于該原 點(diǎn)的第一相對位置的相對坐標(biāo)(xl， yl )。而且，插座識別處理計 算構(gòu)成4企查用插座24的邊相對于插座銷配置線AY1的第一相對位 置的角度偏移6 1即、計算才企查用插座24與插座銷配置線AY1所 只于應(yīng)的邊相乂十于X方向以及Y方向只礎(chǔ):專爭了多少。然后，4空制裝 置50將計算的相對坐標(biāo)(xl, yl )以及角度偏移6 1保存在RAM 63 中。即、控制裝置50通過角度偏移6 2對IC芯片T的中心位置DC 的相對坐標(biāo)(x3, y3 )進(jìn)行旋轉(zhuǎn)沖交正之后，再分別加上第一上表面 寸呆持才示"i只282的中'乜M立置280C的才目乂于坐才示(x2, y2 ), i十算IC芯 片T才目只于于第一4翁座才示i口、 260的才目只于<立置坐才示(x23, y23 )。而且， 控制裝置50將IC芯片T的角度偏移6 3與保持標(biāo)識配置線AY2的角度偏移6 2相加，計算出相對于插座銷配置線AY1的相對角度偏 移6 23。而且，控制裝置50 乂人沖全查用插座24的中心位置SC的相對坐 標(biāo)(xl， yl )減去上述計算出的相對位置坐標(biāo)(x23， y23),計算 出IC芯片T的中心位置DC相對于4企查用插座24的中心位置SC 的位置偏移量(Ax， Ay)。而且，控制裝置50 /人斥企查用插座24 的角度偏移ei減去上述計算出的相對角度偏移623，從而計算出 IC芯片T相對于^r查用插座24的角度偏移量△ 6 ?？刂蒲b置50基于位置偏移量(Ax， Ay)、角度偏移量A6以 及吸附位置偏移(x31, y31),使IC芯片T的中心位置DC與檢查 用插座24的中心位置SC—致，同時計算使角度偏移量A 6為"0" 的、吸附噴嘴27的X方向、Y方向以及旋轉(zhuǎn)角度的各移動量(各 校正量)。然后，控制裝置50基于各校正量將運(yùn)計算的控制信號 C25輸入位置調(diào)整裝置25,使吸附噴嘴27旋轉(zhuǎn)和在X方向、Y方 向上移動，乂人而4吏IC芯片T的中心zf立置DC與才企查用4翁座24的中 心4立置SC —致，即、進(jìn)4亍IC芯片T的位置才交正。控制裝置50分別與攝影裝置驅(qū)動電路80以及反射裝置驅(qū)動電 3各81電氣連4妄。攝影裝置驅(qū)動電路80基于來自于控制裝置50的控制信號C40, 生成左右方向(X方向)的馬區(qū)動〗言號D3X和上下方向(Z方向)的 驅(qū)動信號D3Z。然后，基于驅(qū)動信號D3X驅(qū)動控制水平電動機(jī)M3X, 以佳::懾影裝置40 (室式照相才幾44)在左右方向上移動。而且，基 于驅(qū)動信號D3Z驅(qū)動控制垂直電動機(jī)M3Z,以使攝影裝置40 (室 式照相才幾44)在上下方向上移動。而且，控制裝置50通過:t聶影裝 置馬區(qū)動電if各80 l!r入由7jc平電動才幾編石馬器E3X才企測出的7K平電動枳j M3X的旋轉(zhuǎn)量S3X。然后，控制裝置50基于旋轉(zhuǎn)量S3X對巴握室式照相機(jī)44的左右方向(X方向)的位置。而且，控制裝置50通過 才聶影裝置驅(qū)動電^各80 ，命入由垂直電動才幾編;馬器E3Z所4企測的垂直 電動機(jī)M3Z的旋轉(zhuǎn)量S3Z。然后，控制裝置50基于旋轉(zhuǎn)量S3Z把 4屋室式照相4幾44的上下方向(Z方向)的^f立置。反射裝置驅(qū)動電路81基于來自控制裝置50的控制信號C45， 生成左右方向(X方向)的馬區(qū)動4言號D4X和上下方向(Z方向)的 驅(qū)動4言號D4Z。而且，基于驅(qū)動信號D4X驅(qū)動控制水平電動才幾M4X, 以使反射裝置45 (第二鏡49A)在左右方向上移動。而且，基于驅(qū) 動信號D4Z驅(qū)動控制垂直電動機(jī)M4Z,在上下方向上移動反射裝 置45 (第二鏡49A)。而且，控制裝置50通過反射裝置驅(qū)動電i 各 81 llr入由7jc平電動才幾編碼器E4X所4全測的水平電動才幾M4X的 量S4X。然后，控制裝置50基于旋轉(zhuǎn)量S4X把握第二鏡49A的左 右方向(X方向)的位置。而且，控制裝置50通過反射裝置驅(qū)動 電^各81輸入由垂直電動才幾編碼器E4Z所4企測的垂直電動才幾M4Z的 旋轉(zhuǎn)量S4Z。然后，控制裝置50基于旋轉(zhuǎn)量S4Z把握第二鏡49A 的上下方向(Z方向)的位置。下面，參照圖14 ~圖17,對用IC處理才幾10從第一往復(fù)裝置 16吸附保持IC芯片T并安裝于檢查用插座24的順序進(jìn)行說明。這 里，由此開始4企查IC芯片T，并且IC芯片T沒有凈皮吸附保持在測 量自動裝置22上。首先，當(dāng)開始IC芯片T的檢查時，控制裝置50將存儲有檢查 IC芯片T次數(shù)的檢查個數(shù)計數(shù)器的存儲器清除為"0"(步驟S1)。 當(dāng)將計數(shù)器的存儲器清除為"0"時，控制裝置50進(jìn)行插座識別用 的處理(步艱《S2)。如圖15所示，在插座識別用的處理中，控制裝置50使第二銷: 49A移動至反射位置RP (步驟S2-l )，使室式照相機(jī)44移動至第二拍攝位置CP2 (步驟S2-2 )。當(dāng)室式照相4幾44移動至第二拍掘/f立 置CP2時，4空制裝置50 4吏室式照相才幾44拍才聶第一4翁座才示識260以 及第二插座標(biāo)識261和檢查用插座24，取得插座識別處理用的圖像 數(shù)據(jù)GD3 (步驟S2-3 )。當(dāng)取得插座識別處理用的圖像數(shù)據(jù)GD3后，控制裝置50進(jìn)行 插座識別處理，計算相對坐標(biāo)(xl, yl)以及角度偏移ei (步驟52- 4),并將計算的相對坐標(biāo)(xl， yl )以及角度偏移6 1存儲在 RAM 63中(步艱朵S2-5)。當(dāng)^夸相^j"坐才示(xl， yl )以及角度^扁移 6 1存儲在RAM63中后，控制裝置50使室式照相機(jī)44移動至待 機(jī)位置(步驟S2-6)，使第二鏡49A移動至退避位置(步驟S2-7)， 4翁座識別用的處理結(jié)束。插座識別用的處理結(jié)束后，控制裝置50進(jìn)^f于標(biāo)識位置識別用 的處理(步艱《S3 )。如圖16所示，在標(biāo)識位置識別用的處理中，控制裝置50在佳: 測量自動裝置22向一全查用插座24的上方位置移動之后(步驟53- l ), ^f吏測量自動裝置22下降(步驟S3-2 )。在測量自動裝置22 下降之后，各插座銷25A、 25B插入對應(yīng)的各筒體28C中。然后， 測量自動裝置22將按壓保持部22C壓至原點(diǎn)位置后，使與各插座 標(biāo)識260、 261對應(yīng)的各上表面4呆持標(biāo)識282、 283進(jìn)4亍上表面定位(步驟S3-3 )。在4吏各插座標(biāo)識260、 261與各上表面^f呆持標(biāo)識282、 283進(jìn)行上表面定位后，控制裝置50使室式照相機(jī)44移動至第二 拍攝位置CP2 (步驟S3-4 )。當(dāng)室式照相才幾44移動至第二拍才聶位置 CP2后，控制裝置50通過測量自動裝置22的左側(cè)面的第一鏡29A, 4吏室式照相機(jī)44拍才聶與各插座標(biāo)識260、 261對應(yīng)的各上表面保持 標(biāo)識282、 283，取得標(biāo)識位置識別處理用的圖像數(shù)據(jù)GD2 (步驟 S3-5 )。當(dāng)取得了標(biāo)識位置識別處理用的圖傳4丈才居GD2后，控制裝置 50進(jìn)行標(biāo)識位置識別處理，計算相對坐標(biāo)(x2， y2)以及角度偏移62(步驟S3-6)，并將計算的相對坐標(biāo)(x2， y2)以及角度偏移6 2存儲在RAM 63中(步驟S3-7)。當(dāng)將相對坐標(biāo)(x2, y2 )以及 角度偏移6 2存儲在RAM 63中后，控制裝置50使室式照相才幾44 移動至待機(jī)位置(步驟S3-8 )，使測量自動裝置22移動至規(guī)定位置(步驟S3-9 ),標(biāo)識位置識別處理用的處理結(jié)束。標(biāo)識位置識別處理用的處理結(jié)束后，控制裝置50向第一往復(fù) 裝置16的供給側(cè)更換組件31的各個凹處32供給IC芯片T，將IC 芯片T輸送至測量自動裝置22吸附保持的位置(步驟S4 )。將IC 芯片T輸送至測量自動裝置22吸附保持的位置后，控制裝置50進(jìn) 行裝置識別用的處理(步驟S5 )。在裝置識別用的處理中，使吸附噴嘴27相對于測量自動裝置 22為身見定的初始位置以及規(guī)定的初始角度之后，如圖17所示，使 測量自動裝置22的吸附噴嘴27下降至吸附位置，4吏IC芯片T吸 附保持于測量自動裝置22上(步驟S5-l )。當(dāng)IC芯片T被吸附保 持于測量自動裝置22上后，控制裝置50使測量自動裝置22上升 (步驟S5-2)，然后，^使測量自動裝置22移動至第一往復(fù)裝置照相 才幾37拍才聶IC芯片T和各下表面保持標(biāo)識280、 281的第一拍才聶位 置CP1 (步驟S5-3)。當(dāng)測量自動裝置22移動至第一拍攝位置CP1 后，移動第一往復(fù)裝置16,使第一往復(fù)裝置照相機(jī)37移動至第一 拍才聶位置CP1 (步驟S5-4 )。當(dāng)測量自動裝置22以及第一往復(fù)裝置 照相才幾37移動至第一拍4聶位置CP1后，控制裝置50使第一往復(fù)裝 置照相4幾37拍4聶IC芯片T和各下表面保持標(biāo)識280、 281，取得裝 置識別處理用的圖傳4t據(jù)GDI (步驟S5-5 )。在取得裝置識別處理用的圖像數(shù)據(jù)GDI后，控制裝置50進(jìn)行 裝置識別處理。在裝置識別處理中，控制裝置50計算吸附位置偏移(x31， y31)、相對坐標(biāo)(x3, y3)以及角度偏移63(步驟S5-6), 并3夸計算的p及附^f立置偏移(x31, y31)、相對坐標(biāo)(x3， y3)以及 角度偏移6 3存l諸在RAM63中(步驟S5-7 )。在將吸附位置偏移 (x31, y31)、相對坐標(biāo)(x3， y3)以及角度偏移6 3存儲在RAM63 中后，為了將IC芯片T;^丈置在^r查用插座24上，控制裝置50開 始移動測量自動裝置22 (步驟S5-8 )。在開始測量自動裝置22的移 動后，控制裝置50開始將往復(fù)裝置16移動至用于收回IC芯片T 的位置的移動(步艱《S5-9)，裝置識別用的處理結(jié)束。在裝置識別用的處理結(jié)束后，控制裝置50基于RAM 63中存 4諸的各相只t坐才示(xl, yl)、 (x2， y2)、 (x3、 y3 )以及各角度偏移 61、 62、 63,計算用于4吏IC芯片T的中心位置DC與才全查用插 座24的中心位置SC —致的沖交正量(步驟S6 )。在校正量的計算中，控制裝置50基于吸附位置偏移、各相對 坐標(biāo)以及各角度偏移使IC芯片T的中心位置DC和檢查用插座24 的中心位置SC—致，并且，計算設(shè)角度偏移量A6為"0"的、吸 附噴嘴27的X方向、Y方向以及旋轉(zhuǎn)角度的各移動量(各校正量)。 在計算各校正量后，控制裝置50通過測量自動裝置22將IC芯片T 拍殳送至一企查用插座24的上方(步驟S7 )。在IC芯片T ,皮拍《送至4企查用插座24的上方后，控制裝置50 基于計算的各校正量使位置調(diào)整裝置25移動，使IC芯片T的中心 位置DC與才企查用插座的中心位置SC—致，同時，進(jìn)行使IC芯片 T的邊的傾斜與檢查用插座的邊的傾斜一致的位置校正(步驟S8 )。在IC芯片T被位置校正后，控制裝置50將IC芯片T放置于 檢查用插座24 (步驟S9),進(jìn)行IC芯片T的電氣檢查。IC芯片T 的電氣檢查結(jié)束之后，控制裝置50設(shè)吸附噴嘴27相對于測量自動 裝置22為規(guī)定的初始位置以及規(guī)定的初始角度之后，由測量自動裝置22將IC芯片T從檢查用插座24取出，將IC芯片T收回于第 一往復(fù)裝置16的收回側(cè)更換組件34的凹處32中(步驟SIO )。在將IC芯片T收回于收回側(cè)更換組件34后，控制裝置50移 動第一往復(fù)裝置16，使收回自動裝置15收回IC芯片T。在4吏收回 自動裝置15收回了 IC芯片T后，控制裝置50判斷接下來是否有 要才企查的部件(步驟S12 )。接下來，在沒有要4全查的部件時(在步驟S12中為NO)，控制 裝置50結(jié)束IC芯片T的4企查。另一方面，在4妻下來有要沖全查的部 件時(在步驟S12中為YES ),控制裝置50在4僉查個數(shù)計數(shù)器上加 1 (步驟S13),然后，判斷是否檢查了規(guī)定個數(shù)(步驟S14)。在未檢查規(guī)定個數(shù)時(在步驟S14中為NO ),控制裝置50返 回到步艱《S4，重復(fù)IC芯片T的纟般送和4企查。在這種情況下，雖然 基于裝置識別處理重新計算相對坐標(biāo)(x3， y3)以及角度偏移63， 4旦是，因為沒有進(jìn)4亍插座識別處理以及沖示iM立置識別處理，所以， ^!夸以前計算的、存4諸于RAM63中的各相只于坐才示(x2, y2 )、 ( xl, yl )以及各角度偏移6 1、 62用于校正值的運(yùn)算。另一方面，在檢 查了規(guī)定個數(shù)時(在步驟S14中，為YES)，控制裝置50返回步驟 Sl，進(jìn)行插座識別處理以及標(biāo)識位置識別處理和裝置識別處理，進(jìn) 行校正值的運(yùn)算，重復(fù)IC芯片T的檢查。而且，采用IC處理機(jī)10從第二往復(fù)裝置17吸附保持IC芯片 T，并力文置于^r查用插座24上，且其順序與/人第二往復(fù)裝置16吸 附保持IC芯片T，并》文置于4會查用插座24的順序相同，因此，省 略^"其的i兌明。如上述說明，通過本發(fā)明的部件輸送裝置以及IC處理機(jī)，可 以獲得下面列舉的效果。(1) 在本實施方式中，設(shè)置有第一插座標(biāo)識260以及第二插 座標(biāo)識261 。因此，通過進(jìn)行拍4聶了第 一插座標(biāo)識260以及第二插 座標(biāo)識261和檢查用插座24的圖像數(shù)據(jù)GD3的圖像識別處理，可 以求得4企查用插座24相對于第一插座標(biāo)識260的相對坐標(biāo)(xl, yl)，求得相對于插座銷配置線AY1的角度偏移ei。其結(jié)果是，即 4吏發(fā)生了 IC處理才幾10的"i殳置導(dǎo)致的變形或者熱導(dǎo)致的伸縮，也可 以求得4全查用插座24相對于第一插座標(biāo)識260的相對位置關(guān)系， 該第一插座標(biāo)識260反映了變形和伸縮。(2) 在本實施方式中，在第一插座標(biāo)識260以及第二插座標(biāo) 識261上，分別插入設(shè)置有第一上表面保持標(biāo)識282以及第二上表 面保持標(biāo)識283。因此，通過進(jìn)行拍4聶了與各第一插座標(biāo)識260以 及第二插座標(biāo)識261對應(yīng)的各第一上表面^f呆持標(biāo)識282以及第二上 表面4呆持標(biāo)識283的圖<象#:|居GD2的圖4象識別處J里，可以求-得第 一上表面^f呆持才示i口、 282 ^目只于于第一4翁座才示i口、 260的才目只于坐才示(x2， y2),求得〗呆持標(biāo)識配置線AY2相對于插座銷配置線AY1的角度偏 移6 2。其結(jié)果是，即使發(fā)生了 IC處理機(jī)10的設(shè)置導(dǎo)致的變形或 者熱導(dǎo)5丈的伸縮，也可以求-得正確的、第一上表面^f呆持標(biāo)識282相 對于第一插座標(biāo)識260的相對位置關(guān)系即、與測量自動裝置22的 相對位置關(guān)系。(3) 在本實施方式中，基于"插座識別處理"用的圖像數(shù)椐 GD3求得相對坐標(biāo)(xl, yl)以及角度偏移ei，基于"標(biāo)識位置 識別處理"用的圖像數(shù)據(jù)GD2求得相對坐標(biāo)(x2, y2)以及角度 偏移6 2，基于"裝置識別處理"用的圖像數(shù)據(jù)GD3求得相對坐標(biāo)(x3, y3)以及角度<扁牙多63。因J:匕，基于各才目只于坐才示(xl, yl )、 (x2, y2)、 (x3， y3)和角度偏移62計算4企查用4翁座24的中心4立 置SC和IC芯片T的中心位置DC的位置偏移量(Ax， Ay)。而 且，基于各角度偏移ei、 6 2、 6 3計算檢查用插座24的邊和IC 芯片T的邊的角度偏移量A 6。其結(jié)果是，可以使檢查用插座24和IC芯片T的相對位置一致，進(jìn)行使角度偏移量為"0"的IC芯 片T的位置調(diào)整。(4) 在本實施方式中，在第一插座標(biāo)識260以及第二插座標(biāo) 識261上，分別插入設(shè)置有第一上表面保持標(biāo)識282以及第二上表 面保持標(biāo)識283,并且使上述插座標(biāo)識和保持標(biāo)識為相同高度。因 此，可以通過室式照相機(jī)44進(jìn)行一次拍4聶，并且，在如果高度方 向上存在差異則導(dǎo)致誤差增大的圖《象識別處理中，可以高精度地識 另'j各上表面^f呆持片示i只282、 283的才目只于于各4翁座才示i口、 260、 261的才目 對位置關(guān)系，計算相對位置和角度偏移。(5) 在本實施方式中，由室式照相機(jī)44拍攝"才示識^f立置識別 處理"用的圖傳^t據(jù)GD2以及"插座識別處理"用的圖^f象凄t據(jù)GD3。 因此，通過共用一個照相才幾來進(jìn)^亍兩個圖〗象ft據(jù)的拍才聶，可以減少 照相才幾的數(shù)量。而且，因為室式照相才幾44是通過第一4竟29A以及 第二4竟49A來拍4聶圖^f象，所以可以在對照相才幾的配置位置限制專交多 的測量自動裝置22或檢查部23的周邊部，容易地進(jìn)行照相才幾的設(shè) 置。(6) 在本實施方式中，對每一個IC芯片T進(jìn)行"裝置識別處 理"。4旦是，在每次對IC芯片T進(jìn)^f亍失見定個凄史4全查時，進(jìn)行"標(biāo)識 位置識別處理，，以及"插座識別處理"。因此，可以減少IC芯片T 的才全查工序中的圖^f象識別處理，縮短沖企查所需要的時間。而且，即 使在IC處理機(jī)IO中發(fā)生了設(shè)置導(dǎo)致的變形或熱導(dǎo)致的伸縮，也可 以在每次進(jìn)行規(guī)定個數(shù)檢查時在校正值的計算結(jié)果中反映出來。(其4也實施方式)而且，上述各實施方式例如也可以通過下面的方式進(jìn)4于實施。-在上述實施方式中，室式照相才幾44通過第一鏡29A以及第 二鏡49A分別拍攝"標(biāo)識位置識別處理"用的圖^f象以及"插座識別" 用的圖像。但是，也可以通過照相機(jī)直接拍攝"標(biāo)識位置識別處理" 用的圖^象以及"插座識別"用的圖4象。-在上述實施方式中，室式照相才幾44在第二拍才聶位置CP2分 別拍才聶"標(biāo)識位置識別處理"用的圖〗象以及"插座識別"用的圖<象。 但是，也可以在分別不同的位置進(jìn)行拍攝。 在上述實施方式中，爿尋室式照相4幾44用于"標(biāo)i口J立置識別 處理"用的圖^f象以及"插座識別"用的圖像的兩種拍攝。但是，也 可以分別i殳置專用的照相才幾。-在上述實施方式中，i殳置了兩個插座標(biāo)識260、 261以及兩 個筒體28C。但是，插座標(biāo)識或筒體(保持標(biāo)識)的數(shù)量不僅限于 兩個。.在上述實施方式中，各插座標(biāo)識260、 261以及各4呆持標(biāo)識 280 ~ 283為圓形。^f旦是，插座標(biāo)識或4呆持標(biāo)識也可以是橢圓形或多 角形、十字形。若采用橢圓形或多角形、十字形的標(biāo)識，也可以基 于一個沖示"i只求4尋角度<扁移。-在上述實施方式中，各插座銷25A、 25B插入各筒體28C中。 但是，如果插座銷和筒體配置于相同照相機(jī)的視野中，可以是排列 配置或分離配置。而且，高度不僅限于高度LSz。-在上述實施方式中，各插座銷25A、 25B或各筒體28C是由 金屬形成的。但是，若構(gòu)成可以從上下側(cè)確認(rèn)保持標(biāo)識280-283, 也可以設(shè)置于玻璃上。在將保持標(biāo)識設(shè)置于玻璃上時，即使在插座 標(biāo)識和保持標(biāo)識重疊時，也可以通過照相才幾拍4聶兩者的標(biāo)識。而且， 可以容易地描繪適合于圖像識別處理的保持標(biāo)識。.在上述實施方式中，以第一插座標(biāo)識260作為相對坐標(biāo)中的基準(zhǔn)點(diǎn)。但是，基準(zhǔn)點(diǎn)可以設(shè)置在任何位置。.在上述實施方式中，計算了位置偏移量(Ax, Ay)以及角 度偏移量A6。但是，也可以僅計算X方向的位置偏移量、Y方向 的位置偏移量、角度偏移量中所需要的偏移量。-在上述實施方式中，通過"插座識別處理"直4妻計算出相對 坐標(biāo)(xl, yl )以及角度偏移ei,通過"標(biāo)識位置識別處理"直 4妄計算出相對坐標(biāo)(x2， y2)以及角度偏移6 2,并基于這些計算 結(jié)果計算出位置偏移量(Ax, Ay)以及角度偏移量A 6。但是， 并不4又限于此，也可以通過以下方式計算相對坐標(biāo)對通過"插座 識別處理，，計算的坐標(biāo)實施規(guī)定的處理，例如、進(jìn)行保存多次的值、 并求將^見定次凄t的平均值的處理，并作為相對坐標(biāo)(xl, yl)進(jìn)4亍 計算。而且，也可以通過以下方式計算角度偏移6 1:對通過"插 座識別處理，，計算的角度實施規(guī)定的處理，例如、進(jìn)行保存多次的 值、并求得規(guī)定次數(shù)的平均值的處理，并作為角度偏移6 1進(jìn)行計 算。而且，計算相對坐標(biāo)(x2， y2)、各角度偏移6 2、位置偏移量 (Ax， Ay )或角度偏移量A 6時，同樣;也，也可以實施^見定的處 理來求得這些值。-在上述實施方式中，測量自動裝置22將一個IC芯片T搬送 至一個4全查用插座24上。^f旦是，測量自動裝置也可以配置為擁殳送 多個IC芯片T到多個4全查用插座。在這種情況下，往復(fù)裝置照相 才幾37、38或攝影裝置40、反射裝置45既可以是一臺也可以是多臺。-在上述實施方式中，在圖像識別處理中，將下表面保持標(biāo)識 280、 281和IC芯片T作為一組進(jìn)4亍圖^f象識別處理。^f旦是，也可以 一次處理多組的圖傳H據(jù)。而且，關(guān)于上表面^f呆持標(biāo)識282、 283禾口只t應(yīng)的才翁座才示"i只260、 261、以及才翁座才示"i只260、 261和才企查用才翁座24的圖^f象識別處理，也是相同的情況。 在上述實施方式中，當(dāng)上表面4呆持標(biāo)識282、 283 4妻觸到才企 查部23后，4吏上表面<呆持標(biāo)識282、 283和各插座標(biāo)識260、 261 的上表面位置一致。但是，并不僅限于此，也可以在離開檢查部23 的位置上， -使上表面^f呆持標(biāo)識282、 283和各插座標(biāo)識260、 261的 上表面位置一致。這樣，可以減少筒體28C受到檢查部23的溫度 的影響。 在這種情況下，例如一旦4吏測量自動裝置22下降至上表面 保持標(biāo)識282、 283與檢查部23接觸的位置(安裝位置)后，只要 上升失見定距離即可。這樣，可以消除測量自動裝置22和才企查部23 的相對距離的變化的影響，在離開檢查部23 ^見定距離的位置上配 置上表面^f呆持才示"i只282、 283。-在上述實施方式中，在將IC芯片T纟般送至才企查用插座24時， 每次都進(jìn)行"裝置識別處理"，每隔規(guī)定次數(shù)同時進(jìn)行"插座識別 處理"和"標(biāo)識位置識別處理"。但是，對于進(jìn)行"插座識別處理" 和"標(biāo)識位置識別處理"的間隔沒有特別的限制，而且，也可以不 是同時進(jìn)4亍"插座識別處理"和"標(biāo)識位置識別處理"。例如，如圖18所示，也可以在每次"裝置識別處理"之后進(jìn) 4亍"標(biāo)識位置識別處理"。而且，例如如圖19所示，在將IC芯片T放置于4全查用插座24 時，取得"標(biāo)識位置識別處理"用的圖像，進(jìn)行"標(biāo)識位置識別處 理"，接著，也可以在將IC芯片T放置于檢查用插座24時，基于 通過該"標(biāo)識位置識別處理"計算的相對坐標(biāo)，進(jìn)行位置偏移量(△ x， Ay)、角度偏移量A6的計算。附圖標(biāo)記B連4妻端子T IC芯片△ e角度偏移量6 1, 6 2， 6 3角度偏移DC中心^立置FX X軸框架Ll、 L2、 L3拍才聶范圍Ml第一往復(fù)電動枳iM2第二往復(fù)電動枳』MY Y軸電動機(jī)MZ Z軸電動機(jī)Rl直徑R2 內(nèi)徑RP反射位置SC中心^f立置6 23相對角度偏移AY1插座銷配置線AY2 ^f呆持標(biāo)識配置線CP1第一拍^聶位置CP2第二拍掘j立置E3X 7K平電動片幾編;碼器E3Z垂直電動才幾編；馬器E4X 7K平電動才幾編；馬器E4Z垂直電動4幾編石馬器EM1第一往復(fù)裝置編碼器EM2第二往復(fù)裝置編碼器EMY Y軸電動才幾編；馬器EMZ Z4由電動才幾編；馬器FY1第一Y4由才匡架FY2第二Y軸才匡架GD1、 GD2、 GD3圖像數(shù)據(jù)LSy距離LSz高度M3X 7JC平電動才幾M3Z垂直電動枳^M4X 7jc平電動積^M4Z垂直電動才幾C1 C6輸送帶10 IC處理枳』11基部12安全罩13高溫室14供給自動裝置15收回自動裝置16第一往復(fù)裝置16A基部部件17第二往復(fù)裝置17A基部部件18托盤20供給側(cè)自動裝置保持單元21收回側(cè)自動裝置^f呆持單元22測量自動裝置22A支承部22B連4妄部22C按壓保持部23檢查部24 4企查用4翁座24T 4妻觸端子25位置調(diào)整裝置25A第一插座銷25B第二4翁座銷26 4安壓裝置27吸附噴嘴27C中心4立置28A支柱28B標(biāo)識形成部件28C筒體28D下表面28E上表面28H貫通孑L29第一反射器29A第一鏡30A第一導(dǎo)專九30B第二導(dǎo)軌31供給側(cè)更換組件32凹處34收回側(cè)更換組件37第一往復(fù)裝置照相枳^38第二往復(fù)裝置照相機(jī)40攝影裝置41水平導(dǎo)專九42垂直導(dǎo)軌43支承臺44室式照相機(jī)45反射裝置46水平導(dǎo)專九47垂直導(dǎo)4九48支承臺48A臂部49第二反射器49A第二鏡50控制裝置52吸引裝置61 CPU62 ROM63 RAM64圖^f象處理器65圖像存儲器70輸入輸出裝置71 Y軸電動才幾馬區(qū)動電^各72 Z軸電動片幾驅(qū)動電3各73閥馬區(qū)動電贈-74電空調(diào)整電^各75第一往復(fù)裝置驅(qū)動電路76第二往復(fù)裝置驅(qū)動電游-77第一往復(fù)裝置照相才幾驅(qū)動電^各78第二往復(fù)裝置照相L驅(qū)動電^各79室式照相才幾驅(qū)動電^各80才聶影裝置驅(qū)動電if各81反射裝置驅(qū)動電路260第一插座標(biāo)識260C中心位置261第二插座標(biāo)識280第一下表面保持標(biāo)識280C中心^立置281第二下表面保持標(biāo)識282第一上表面保持標(biāo)識283第二上表面保持標(biāo)識
權(quán)利要求
1.一種部件輸送裝置，包括位置調(diào)整裝置，所述位置調(diào)整裝置通過在往復(fù)裝置和檢查用插座之間移動的保持裝置中所具有的按壓裝置保持并輸送電子部件，對拍攝所述電子部件所獲得的圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，并使所述按壓裝置移動，從而能夠進(jìn)行所述電子部件的位置校正，所述部件輸送裝置其特征在于，包括插座標(biāo)識，設(shè)置在所述檢查用插座的附近；保持標(biāo)識，以將所述保持裝置移動到將所述按壓裝置保持的所述電子部件安裝于所述檢查用插座上的安裝位置時，所述保持標(biāo)識位于所述插座標(biāo)識附近的方式，被設(shè)置在所述保持裝置上；第一照相機(jī)，設(shè)置在所述往復(fù)裝置上，將由所述按壓裝置保持的所述電子部件和設(shè)置在所述保持裝置上的所述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像；第二照相機(jī)，可以將所述插座標(biāo)識和所述檢查用插座拍攝成一個圖像，并且，可以將所述插座標(biāo)識和移動至所述安裝位置的所述保持裝置的所述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像；第一相對位置計算單元，對將所述插座標(biāo)識和所述檢查用插座拍攝成一個圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，求得所述插座標(biāo)識和所述檢查用插座的第一相對位置；第二相對位置計算單元，對將所述插座標(biāo)識和配置在所述安裝位置的所述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，求得所述插座標(biāo)識和所述保持標(biāo)識的第二相對位置；以及第三相對位置計算單元，對將所述電子部件和所述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理，求得所述保持標(biāo)識和所述電子部件的第三相對位置，其中，為將所述電子部件放置于所述檢查用插座，所述位置調(diào)整裝置基于所述第一相對位置、所述第二相對位置以及所述第三相對位置進(jìn)行所述電子部件的位置校正。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的部件輸送裝置，其特征在于，所述第二照相枳4皮配置于不能將所述插座標(biāo)識和所述才企 查用插座直接拍攝成一個圖像的位置，并且，所述第二照相機(jī) 被配置于不能將所述插座標(biāo)識和配置于所述安裝位置的所述 保持標(biāo)識直接拍攝成一個圖像的位置，所述第二照相才幾包4舌第一4竟，以將所述4翁座標(biāo)識和配 置于所述安裝位置的所述保持標(biāo)識向所述第二照相機(jī)的方向 反射的方式，被設(shè)置于所述保持裝置；第二鏡，在所述4企查用 插座上方的反射位置上，將所述插座標(biāo)識和所述4全查用插座向 所述第二照相4幾的方向反射，其中，所述第二照相才幾通過配置在所述安裝位置的所述 第一4竟將所述插座標(biāo)識和所述保持標(biāo)識拍4聶成一個圖 <象，通過 配置在所述反射4立置的所述第二4竟一夸所述插座標(biāo)識和所述才全 查用插座拍才聶成一個圖^f象。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的部件輸送裝置，其特征在于，所述第一照相枳3殳置于所述往復(fù)裝置上；所述保持裝置和所述往復(fù)裝置移動至第一拍攝位置，所 述第一拍攝位置是通過所述第一照相機(jī)將所述電子部件和所述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像的位置，所述第 一照相機(jī)在所述第 一拍^f菱位置上將所述電子部件和所述保持標(biāo)識拍攝成一個圖像。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，所述插座標(biāo)識形成為圓形形狀，所述^f呆持標(biāo)識形成為大于所述插座標(biāo)識的環(huán)狀，在所述安裝位置上，所述插座標(biāo)識纟皮配置在所述保持標(biāo) i口、的^不內(nèi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，所述插座標(biāo)識包纟舌兩個以上，所述^f呆持標(biāo)識分別與各個所述插座標(biāo)識對應(yīng)地i殳置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，所述4翁座標(biāo)識形成為矩形形習(xí)犬，所述保持標(biāo)識形成為大于所述插座標(biāo)識的矩形形狀的框狀，在所述安裝位置上，所述插座標(biāo)識配置在所述保持標(biāo)識 的才匡內(nèi)。
7. #4居^=又利要求1至6中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，所述第一相對位置計算單元基于已經(jīng)算出的規(guī)定次數(shù)的 第 一相對位置的平均值求得所述第 一相對位置，所述第二相對位置計算單元基于已經(jīng)算出的規(guī)定次數(shù)的 第二相對位置的平均值求得所述第二相對位置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，在所述第二照相機(jī)將所述插座標(biāo)識和所述保持標(biāo)識拍攝 成一個圖像時，所述保持裝置使所述保持標(biāo)識和所述第二照相 機(jī)之間的距離與所述插座標(biāo)識和所述第二照相機(jī)之間的距離 為相同3巨離。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的部件輸送裝置，其特征在于，所述保持標(biāo)識形成為比所述插座標(biāo)識短，所述保持裝置在移動至所述安裝位置之后，移動至所述 4呆持標(biāo)識和所述第二照相才幾的距離與所述插座標(biāo)識和所述第 二照相機(jī)的距離為相同距離的位置。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，所述第三相對位置計算單元在每次將所述電子部件放置 于所述4企查用插座時求得所述第三相對位置，所述第 一相對位置計算單元每次按規(guī)定次數(shù)求出所述第 三相對位置時求得所述第 一相對位置，所述第二相對位置計算單元每次按規(guī)定次數(shù)求出所述第 三相對〗立置時求得所述第二相對^f立置。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，所述第三相對位置計算單元在每次將所述電子部件放置 于所述4全查用插座時求得所述第三相對位置，所述第二相對位置計算單元在每次將所述電子部件放置 于所述4企查用插座時求得所述第二相對位置，所述第一相對位置計算單元每次按規(guī)定次數(shù)求出所述第 三相對位置時求得所述第 一相對位置。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的部件輸送裝置，其特征在 于，所述第三相對位置計算單元在每次將所述電子部件安裝 于所述4企查用插座時求得所述第三相對位置，所述第一相對位置計算單元每次按規(guī)定次數(shù)求出所述第 三相對位置時求得所述第 一相對位置，所述第二相對位置計算單元在將所述電子部件輸送至所 述安裝位置時求得所述第二相對位置。
13. —種IC處理才幾，其4爭;f正在于，包括權(quán)利要求1至12中任一項所述的部件輸送裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種部件輸送裝置及IC處理機(jī)，可隨時反映機(jī)械性變形或熱導(dǎo)致的伸縮，將電子部件適當(dāng)配置于插座。IC處理機(jī)包括各往復(fù)裝置照相機(jī)(37)、(38)，將在各往復(fù)裝置(16)、(17)上自動裝置(22)保持的IC芯片T和保持標(biāo)識拍攝在設(shè)備識別處理用的一個圖像中；及攝影裝置(40)，包含可將插座標(biāo)識和檢查用插座拍攝在插座識別處理用的一個圖像中、并可將插座標(biāo)識和保持標(biāo)識拍攝在標(biāo)識位置識別處理用的一個圖像中的室式照相機(jī)。對設(shè)備識別處理用、插座識別處理用、標(biāo)識位置識別處理用的各圖像數(shù)據(jù)分別進(jìn)行圖像處理，求得檢查用插座及保持標(biāo)識對于插座標(biāo)識的各相對坐標(biāo)，IC芯片T對于保持標(biāo)識的相對坐標(biāo)，基于各相對坐標(biāo)，進(jìn)行用于將IC芯片T放置于檢查用插座的位置校正。
文檔編號G01R31/28GK101329362SQ20081012698
公開日2008年12月24日 申請日期2008年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月22日
發(fā)明者中村敏, 前田政己, 前田直久, 山崎孝, 桐原大輔, 藤森廣明 申請人:精工愛普生株式會社