專利名稱：：探針卡校正設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是關(guān)于一種校正設(shè)備，尤其是指一種適用于探針卡的校正設(shè)備。
背景技術(shù)：
：探針卡校正，可分成探針的縱向與橫向偏斜的校正、及探針的平均高度校正。進行縱、橫向校正時則以低倍率顯微鏡輔以比對罩進行探針卡的比對。此時，若探針相對于比對罩的比對記號產(chǎn)生縱向或與橫向位置偏斜時，則以人工進行縱、橫向校正，此校正動作持續(xù)到探針正確地對準比對記號為止。若針對探針的平均高度進行校正，則是以高倍率顯微鏡輔以校正，將較平均高度凸出或凹陷的探針進行高度調(diào)整以使整體探針的高度平均一致。于公知技術(shù)中，縱向與橫向偏斜的校正是以一臺專用設(shè)備進行，而探針的平均高度校正則又是另一臺專用設(shè)備。因此，使用者通常需校正探針卡于兩套設(shè)備之間，不僅于使用上不方便，更是耗費人力及時間，而調(diào)校好的探針卡也因來回的搬運與安裝而可能使定位偏移而造成調(diào)校的精準度變差，因而衍生諸多問題。因此，亟待一種能將兩專用機臺合而為一的探針卡校正設(shè)備，以解決上述種種問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種探針卡校正設(shè)備，以便可精準、方便、迅速地于同一調(diào)針機臺完成探針卡校正工作。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的種探針卡校正設(shè)備，包括一基座、一移動平臺(movingtable)、一比對裝置、及一顯微裝置?；ㄓ幸坏谝粚?dǎo)引裝置，第一導(dǎo)引裝置包括有一第一端、及一第二端。移動平臺包括有一第二導(dǎo)引裝置、及一旋轉(zhuǎn)載臺，移動平臺通過第二導(dǎo)引裝置對應(yīng)滑設(shè)于基座的第一導(dǎo)引裝置上、并相對滑移于第一端與第5二端之間，旋轉(zhuǎn)載臺組設(shè)于移動平臺上并能相對旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)載臺上設(shè)置有至少一夾具，用以夾持一探針卡(probecard)。比對裝置組設(shè)于基座上并鄰近第一導(dǎo)引裝置的第一端，比對裝置包括有一比對罩(mask)，比對罩選擇式地移行于一調(diào)針側(cè)與一準備側(cè)之間，比對罩包括有一透明片，透明片上包括有一比對區(qū)，比對區(qū)內(nèi)標記有至少一比對記號，調(diào)針側(cè)是指比對罩移行到以其比對區(qū)對應(yīng)到探針卡的探針位置處，準備側(cè)是指比對罩的比對區(qū)移離開探針卡的探針位置處。顯微裝置包括有一支架、一滑動塊、一低倍顯微鏡、及一影像擷取器，支架固設(shè)于基座上并跨架于第一導(dǎo)引裝置的第一端上方，滑動塊滑設(shè)于支架上，低倍顯微鏡及影像擷取器分別組設(shè)于滑動塊上。高度量測裝置包括有一固定架、一移動塊、及一高度量測器，固定架固設(shè)于基座上并跨架于第一導(dǎo)引裝置的第二端上方，移動塊滑設(shè)于固定架上，高度量測器組設(shè)于移動塊上?？刂蒲b置與高度量測器電性連接。因此，當(dāng)探針卡的探針位于顯微裝置下方位置時，是以比對裝置進行探針的縱向、及橫向的比對與調(diào)針工作；探針卡的探針位于高度量測裝置下方位置時，是以高度量測器進行探針的高度量測，并以控制器紀錄每一探針的高度，再由調(diào)針人員進行高度調(diào)整，并反復(fù)縱向、橫向、及高度的比對直至調(diào)針完成。如此，調(diào)針人員可精準、方便、迅速地于同一調(diào)針機臺完成探針卡校正工作。其中，基座的第一導(dǎo)引裝置可指二滑軌，移動平臺的第二導(dǎo)引裝置可指二滑座，其相對滑移于該二滑軌上。此外，探針卡校正設(shè)備，其可包括有一控制裝置，其與高度量測裝置的高度量測器電性連接。移動平臺可包括一第一致動器、及一縱向移動開關(guān)，第一致動器、及縱向移動開關(guān)分別電性連接于控制器，觸發(fā)縱向移動開關(guān)致使控制器驅(qū)動第一致動器帶動移動平臺縱向滑移于第一導(dǎo)引裝置上。顯微裝置的支架上設(shè)有一橫向滑槽，滑動塊是對應(yīng)橫向滑移于橫向滑槽內(nèi)。顯微裝置可包括一第二致動器、及一第二致動開關(guān)，第二致動開關(guān)與第二致動器電性連接，觸發(fā)第二致動開關(guān)致使第二致動器帶動滑動塊橫向滑移于支架上。第二致動器包括一馬達、及一螺桿，或可改用氣壓缸、步進馬達、或皮帶、煉條傳動皆可。比對裝置可包括一翻調(diào)裝置、及一轉(zhuǎn)桿，比對罩是固設(shè)于轉(zhuǎn)桿上，翻調(diào)裝置是驅(qū)動轉(zhuǎn)桿旋轉(zhuǎn)以使比對罩選擇式地翻轉(zhuǎn)于調(diào)針側(cè)與準備側(cè)之間，或可改用一升降裝置將比對罩上升下降以選擇式地移行于一位于下方的比對位置、與一位于上方的遠離位置。比對裝置可包括一第三致動開關(guān)、及一第三致動器，第三致動器與第三致動開關(guān)電性連接，觸發(fā)第三致動開關(guān)致使第三致動器帶動轉(zhuǎn)桿旋轉(zhuǎn)。第三致動器是指一旋轉(zhuǎn)式氣壓缸，或可改用氣壓缸、馬達...等皆可。顯微裝置可包括一垂向滑塊、一第四致動器、及一第四致動開關(guān)，垂向滑塊滑設(shè)于該滑動塊上，第四致動器與第四致動開關(guān)電性連接，觸發(fā)第四致動開關(guān)致使第四致動器帶動垂向滑塊垂直滑移于滑動塊上，藉以微調(diào)低倍顯微鏡、及影像擷取器的焦距。第四致動器包括一馬達、及一螺桿，或可改用氣壓缸、馬達...等皆可。高度量測裝置的固定架上可設(shè)有一橫式滑槽，移動塊是對應(yīng)橫向滑移于橫式滑槽內(nèi)。高度量測裝置可包括一第五致動器、及一第五致動開關(guān)，第五致動開關(guān)與第五致動器電性連接，觸發(fā)第五致動開關(guān)致使第五致動器帶動移動塊橫向滑移于固定架上。第五致動器包括一馬達、及一螺桿，或可改用氣壓缸、步進馬達、或皮帶、煉條傳動皆可。高度量測裝置可包括一垂式滑塊、一第六致動器、及一第六致動開關(guān)，垂式滑塊滑設(shè)于移動塊上，第六致動器與第六致動開關(guān)電性連接，觸發(fā)第六致動開關(guān)致使第六致動器帶動垂式滑塊垂直滑移于移動塊上，以微調(diào)高度量測器與探針卡的距離。第六致動器包括一馬達、及一螺桿。圖1是本發(fā)明一較佳實施例的立體圖。圖2是本發(fā)明一較佳實施例比對罩的示意圖。圖3是本發(fā)明一較佳實施例的立體圖。圖46是本發(fā)明一較佳實施例的流程圖。附圖中主要組件符號說明基座l滑軌ll第一端110第二端112移動平臺2第一致動器20歸零開關(guān)201第一位置確認開，第一位置定位開3旋轉(zhuǎn)載臺21滑座22透明片311翻調(diào)裝置32第三致動開關(guān)34橫向滑槽401滑動塊41垂向滑塊44咼度量領(lǐng)!j裝置5第五致動器502高度量測器52第六致動開關(guān)56顯不器62準備側(cè)P2探針71縱向移動開關(guān)202203第二位置確認205第二位置定位夾具211比對裝置3比對區(qū)312轉(zhuǎn)桿321顯微裝置4第二致動器402低倍顯微鏡42第四致動器45'固定架50第五致動開關(guān)503垂式滑塊54控制裝置6原點PO第一位置YO關(guān)204關(guān)206比對罩31比對記號313第三致動器33支架40第二致動開關(guān)403影像擷取器43第四致動開關(guān)46橫式滑槽501移動塊51第六致動器55控制器61調(diào)針側(cè)P1探針卡具體實施例方式請參閱圖l，為本發(fā)明一較佳實施例的立體圖。如圖所示，于本實施例中系有關(guān)于一種探針卡校正設(shè)備，包括一基座l、一移動平臺2、一比對裝置3、一顯微裝置4、及一高度量測裝置5?；鵯包括有一第一導(dǎo)引裝置，第一導(dǎo)引裝置包括有一第一端110、及一第二端112，其中，第一導(dǎo)引裝置是指二滑軌ll。移動平臺2包括有一第二導(dǎo)引裝置、及一旋轉(zhuǎn)載臺21，其中，第二導(dǎo)引裝置是指二滑座22，其相對滑移于二滑軌ll上，移動平臺2通過第二導(dǎo)引裝置的二滑座22對應(yīng)滑設(shè)于基座l的第一導(dǎo)引裝置其二滑軌ll上、并相對滑移于該第一端110與第二端112之間，旋轉(zhuǎn)載臺21組設(shè)于移動平臺2上并能相對旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)載臺21上設(shè)置有至少一夾具211，用以夾持一探針卡7。請參閱圖2—并參閱圖1，圖2是本發(fā)明一較佳實施例比對罩的示意圖。如圖所示，比對裝置3組設(shè)于基座1上并鄰近第一導(dǎo)引裝置的第一端110，比對裝置3包括有一比對罩31，比對罩31選擇式地移行于一調(diào)針側(cè)P1與一準備側(cè)P2之間，比對罩31包括有一透明片311，透明片311上包括有一比對區(qū)312，比對區(qū)312內(nèi)標記有至少一比對記號313，調(diào)針側(cè)P1是指比對罩31移行到以其比對區(qū)312對應(yīng)到探針卡的探針位置處，準備側(cè)P2是指比對罩31的比對區(qū)312移離開探針卡的探針位置處。如圖l，比對裝置3包括一翻調(diào)裝置32、及一轉(zhuǎn)桿321，比對罩31是固設(shè)于轉(zhuǎn)桿321上，翻調(diào)裝置32是驅(qū)動轉(zhuǎn)桿321旋轉(zhuǎn)以使比對罩31選擇式地翻轉(zhuǎn)于調(diào)針側(cè)P1與準備側(cè)P2之間。比對裝置3包括一第三致動開關(guān)34、及第三致動器33，第三致動器33與第三致動開關(guān)34電性連接，觸發(fā)第三致動開關(guān)34致使第三致動器33帶動轉(zhuǎn)桿321旋轉(zhuǎn)。于本例中，第三致動器33是指一旋轉(zhuǎn)式氣壓缸。如圖1所示，顯微裝置4包括有一支架40、一滑動塊41、一低倍顯微鏡42、及一影像擷取器43，支架40固設(shè)于基座1上并跨架于第一導(dǎo)引裝置的第一端110上方，滑動塊41滑設(shè)于支架40上，顯微裝置4的支架40上設(shè)有一橫向滑槽401，滑動塊41是對應(yīng)橫向滑移于橫向滑槽401內(nèi)，低倍顯微鏡42及影像擷取器43分別組設(shè)于滑動塊41上。顯微裝置4包括一第二致動器402、及一第二致動開關(guān)403，第二致動開關(guān)403與第二致動器402電性連接，觸發(fā)第二致動開關(guān)403致使第二致動器402帶動滑動塊41橫向滑移至支架40上，于本例中，第二致動器402包括有一馬達、及一螺桿。于本實施例中，顯微裝置4還包括一垂向滑塊44、一第四致動器45、及一第四致動開關(guān)46，垂向滑塊44滑設(shè)于滑動塊41上，第四致動器45與第四致動開關(guān)46電性連接，觸發(fā)第四致動開關(guān)46致使第四致動器45帶動垂向滑塊44垂直滑移于滑動塊41上，以微調(diào)低倍顯微鏡42、及影像擷取器43的焦距。于本例中，第四致動器45包括有一馬達、及一螺桿。如圖l，高度量測裝置5包括有一固定架50、一移動塊51、及一高度量測器52，固定架50固設(shè)于基座1上并跨架于第一導(dǎo)引裝置的第二端112上方，移動塊51滑設(shè)于固定架50上，高度量測裝置5的固定架50上設(shè)有一橫式滑槽501，移動塊51是對應(yīng)橫向滑移于橫式滑槽501內(nèi)，高度量測器52組設(shè)于移動塊51上。請參閱圖3，是本發(fā)明一較佳實施例的立體圖。高度量測裝置5包括一第五致動器502、及一第五致動開關(guān)503，第五致動開關(guān)503與第五致動器502電性連接，觸發(fā)第五致動開關(guān)503致使第五致動器502帶動移動塊51橫向滑移于固定架50上。于本例中，第五致動器502包括一馬達、及一螺桿。高度量測裝置5包括一垂式滑塊54、一第六致動器55、及一第六致動開關(guān)56，垂式滑塊54滑設(shè)于移動塊51上，第六致動器55與第六致動開關(guān)56電性連接，觸發(fā)第六致動開關(guān)56致使第六致動器55帶動垂式滑塊54垂直滑移于移動塊51上，以微調(diào)該高度量測器52與探針卡7的距離。于本例中，第六致動器55包括一馬達、及一螺桿。請翻至圖l，控制裝置6包括一控制器61、及一顯示器62，控制器61分別電性連接至顯示器62、影像擷取器43、及高度量測器52，其中，影像、及量測結(jié)果由影像擷取器43、及高度量測器52分別輸出至控制器61并通過顯示器62顯示。于圖1中，移動平臺2包括有一第一致動器20、一歸零開關(guān)201、一縱向移動開關(guān)202、一第一位置確認開關(guān)203、一第二位置確認開關(guān)204、一第一位置定位開關(guān)205、及一第二位置定位開關(guān)206，其中，第一致動器20、歸零開關(guān)201、縱向移動開關(guān)202、第一位置確認開關(guān)203、第二位置確認開關(guān)204、第一位置定位開關(guān)205、及第二位置定位開關(guān)206分別電性連接于控制器61。如圖l、及圖2，當(dāng)探針卡7的探針71位于顯微裝置4下方位置時，是以比對裝置3進行探針71的縱向、及橫向的比對與調(diào)針工作；探針卡7的探針71位于高度量測裝置5下方位置時，是以高度量測器52進行探針的高度量測，并以控制器6紀錄每一探針71的高度，再由調(diào)針人員進行高度調(diào)整，并反復(fù)縱向、橫向、及高度的比對直至調(diào)針完成。如此，調(diào)針人員可精準、方便、迅速地于同一調(diào)針機臺完成探針卡7校正工作。請參閱圖46再一并參閱圖1、圖2、及圖3，圖46是本發(fā)明一較佳實施例的流程圖。如圖所示，觸發(fā)歸零開關(guān)201致使控制器61驅(qū)動第一致動器20帶動移動平臺2移動至平臺原點P0進行歸零(S01)，將探針卡7固定于移動平臺2上(S02),并將比對罩31由準備側(cè)P2翻至調(diào)針側(cè)P1(S03)，觸發(fā)縱向移動開關(guān)202致使控制器61驅(qū)動第一致動器20帶動移動平臺2縱向滑移于第一導(dǎo)引裝置上，并調(diào)整移動平臺2帶動探針卡7移動定位于比對裝置3的比對罩31下方，以使探針卡7上的復(fù)數(shù)根探針71可大致對應(yīng)于比對罩31的比對記號313(S04)。.再觸發(fā)第一位置確認開關(guān)203以使控制器61紀錄移動平臺2的第一位置Y0(S05)，將比對罩31由調(diào)針側(cè)P1翻至準備側(cè)P2(S06)，以顯微裝置4的影像擷取器43擷取探針卡7上的復(fù)數(shù)根探針71的影像位置并紀錄于控制器61(S07)。觸發(fā)第一位置定位開關(guān)205，此時，移動平臺2先移動至平臺原點P0，再移動至先前紀錄于控制器61的第一位置Y0(S08)，影像擷取器43再次擷取探針卡7上的復(fù)數(shù)根探針71的影像位置并與先前紀錄于控制器61的影像位置比對(S09)，判斷影像位置是否重合(SIO)，若影像位置未重合則觸發(fā)縱向移動開關(guān)202，以調(diào)整移動平臺2的位置(S11)至影像重合為止。其后，將比對罩31由準備側(cè)P2翻至調(diào)針側(cè)P1(S12)，比對每一探針71與比對罩31上每一比對記號313的位置是否重合(S13)。若探針71與比對記號313的位置未重合，則^1每比對罩31由調(diào)針側(cè)P1翻至準備側(cè)P2(S14)，進行探針71的縱向、及橫向位置的調(diào)整(S15)，直至探針卡7的每一探針71的位置均能與比對記號313的位置重合為止。接著，觸發(fā)縱向移動開關(guān)202致使控制器61驅(qū)動第一致動器20帶動移動平臺2縱向滑移并調(diào)整移動平臺2帶動探針卡7移動定位于高度量測裝置5的高度量測器52(S16)下方。再觸發(fā)第二位置定位開關(guān)206以使控制器61紀錄移動平臺2的第二位置Y1(S17)，觸發(fā)第二位置定位開關(guān)206，此時，移動平臺2先移動至平臺原點PO，再移動至先前紀錄于控制器61的第二位置Y1(S18)，以高度量測器52進行探針卡7上的每一探針71的高度掃瞄，并將每一高度紀錄于控制器61(S19)，其后，控制器61將不符合高度標準的探針71，例如，探針71的高度高于標準高度或低于標準高度，顯示于顯示器62(S20)。觸發(fā)第一位置定位開關(guān)205將移動平臺2移出至第一位置Y0(S21)，并根據(jù)顯示器62所顯示，以調(diào)整不符合標準高度的探針71高度位置(S22)，并反復(fù)調(diào)整至探針71的高度完全達到標準高度為止。最后，再確認探針卡7的每一探針71的位置均能與比對記號313的位置重合(S23)，若否則重新進行S12S15的步驟(S24)，若是則完成探針卡7的調(diào)針作業(yè)(S25)。上述實施例僅是為了方便說明而舉例而己，本發(fā)明所主張的權(quán)利保護范圍自應(yīng)以申請的權(quán)利要求范圍所述為準，而非僅限于上述實施例。權(quán)利要求1、一種探針卡校正設(shè)備，包括一基座，包括有一第一導(dǎo)引裝置，該第一導(dǎo)引裝置包括有一第一端、及一第二端；一移動平臺，包括有一第二導(dǎo)引裝置、及一旋轉(zhuǎn)載臺，該移動平臺通過該第二導(dǎo)引裝置對應(yīng)滑設(shè)于該基座的該第一導(dǎo)引裝置上、并相對滑移于該第一端與第二端之間，該旋轉(zhuǎn)載臺組設(shè)于移動平臺上并能相對旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)載臺上設(shè)置有至少一夾具；一比對裝置，組設(shè)于該基座上并鄰近該第一導(dǎo)引裝置的該第一端，該比對裝置包括有一比對罩，該比對罩選擇式地移行于一調(diào)針側(cè)與一準備側(cè)之間，該比對罩包括有一透明片，該透明片上包括有一比對區(qū)，該比對區(qū)內(nèi)標記有至少一比對記號；一顯微裝置，包括有一支架、一滑動塊、一低倍顯微鏡、及一影像擷取器，該支架固設(shè)于該基座上并跨架于該第一導(dǎo)引裝置的該第一端上方，該滑動塊滑設(shè)于該支架上，該低倍顯微鏡及該影像擷取器分別組設(shè)于該滑動塊上；以及一高度量測裝置，包括有一固定架、一移動塊、及一高度量測器，該固定架固設(shè)于該基座上并跨架于該第一導(dǎo)引裝置的該第二端上方，該移動塊滑設(shè)于該固定架上，該高度量測器組設(shè)于該移動塊上。2、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該基座的該第一導(dǎo)引裝置是指二滑軌，該移動平臺的該第二導(dǎo)引裝置是指二滑座，其相對滑移于該二滑軌上。3、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其更包括有一控制裝置，其與該高度量測裝置的該高度量測器電性連接。4、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該移動平臺包括一第一致動器、及一縱向移動開關(guān)，該第一致動器、及該縱向移動開關(guān)電性連接，觸發(fā)該縱向移動開關(guān)致使該第一致動器帶動該移動平臺縱向滑移于該第一導(dǎo)引裝置上。5、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該顯微裝置的該支架上設(shè)有一橫向滑槽，該滑動塊是對應(yīng)橫向滑移于該橫向滑槽內(nèi)。6、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該顯微裝置包括一第二致動器、及一第二致動開關(guān)，該第二致動開關(guān)與該第二致動器電性連接，觸發(fā)該第二致動開關(guān)致使該第二致動器帶動該滑動塊橫向滑移于該支架上。7、如權(quán)利要求6所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該第二致動器包括一馬達、及一螺桿。8、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該比對裝置包括一翻調(diào)裝置、及一轉(zhuǎn)桿，該比對罩是固設(shè)于該轉(zhuǎn)桿上，該翻調(diào)裝置是驅(qū)動該轉(zhuǎn)桿旋轉(zhuǎn)以使該比對罩選擇式地翻轉(zhuǎn)于該調(diào)針側(cè)與該準備側(cè)之間。9、權(quán)如利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該比對裝置包括一第三致動開關(guān)、及一第三致動器，該第三致動器與該第三致動開關(guān)電性連接，觸發(fā)該第三致動開關(guān)致使該第三致動器帶動該轉(zhuǎn)桿旋轉(zhuǎn)。10、如權(quán)利要求9所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該第三致動器是指一旋轉(zhuǎn)式氣壓缸。11、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該顯微裝置包括一垂向滑塊、一第四致動器、及一第四致動開關(guān)，該垂向滑塊滑設(shè)于該滑動塊上，該第四致動器與該第四致動開關(guān)電性連接，觸發(fā)該第四致動開關(guān)致使該第四致動器帶動該垂向滑塊垂直滑移于該滑動塊上。12、如權(quán)利要求ll所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該第四致動器包括一馬達、及一螺桿。13、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該高度量測裝置的該固定架上設(shè)有一橫式滑槽，該移動塊是對應(yīng)橫向滑移于該橫式滑槽內(nèi)。14、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該高度量測裝置還包括一第五致動器、及一第五致動開關(guān)，該第五致動開關(guān)與該第五致動器電性連接，觸發(fā)該第五致動開關(guān)致使該第五致動器帶動該移動塊橫向滑移于該固定架上。15、如權(quán)利要求14所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該第五致動器包括一馬達、及一螺桿。16、如權(quán)利要求l所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該高度量測裝置包括一垂式滑塊、一第六致動器、及一第六致動開關(guān)，該垂式滑塊滑設(shè)于該移動塊上，該第六致動器與該第六致動開關(guān)電性連接，觸發(fā)該第六致動開關(guān)致使該第六致動器帶動該垂式滑塊垂直滑移于該移動塊上。17、如權(quán)利要求16所述的探針卡校正設(shè)備，其中，該第六致動器包括一馬達、及一螺桿。全文摘要本發(fā)明為一種探針卡校正設(shè)備，其中，移動平臺可通過基座上的第一導(dǎo)引裝置以滑移于顯微裝置、及高度量測裝置二處的下方，探針卡則夾固于移動平臺上。本發(fā)明可先利用顯微裝置與比對裝置以對移動平臺上的探針卡先進行縱向、及橫向的校正與調(diào)針工作；繼而，將移動平臺沿著第一導(dǎo)引裝置移動至高度量測裝置下方，再以高度量測器對探針卡繼續(xù)進行高度量測，更可以控制器紀錄每一探針的高度，如此周而復(fù)始，調(diào)針人員便可精準、方便、迅速地于同一調(diào)針機臺完成探針卡校正工作。文檔編號G01B11/02GK101629808SQ20081013581公開日2010年1月20日申請日期2008年7月14日優(yōu)先權(quán)日2008年7月14日發(fā)明者劉尚達,黃鈞鴻申請人:京元電子股份有限公司