專利名稱：測(cè)量工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)量工具，尤其涉及一種用以測(cè)量晶舟盒的變形尺寸的測(cè)量工具。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造行業(yè)，晶舟盒作為晶片承載器被廣泛應(yīng)用于氧化、擴(kuò)散及氣相沉積(CVD)等工序中，其形狀結(jié)構(gòu)對(duì)半導(dǎo)體晶片質(zhì)量有較大影響。具體請(qǐng)參考圖l，晶舟盒100包括容置部110，所述容置部具有一開口 120，所述容置部110由第一晶舟棒111、第二晶舟棒112以及第三晶舟棒113圍成，所述晶舟棒上開設(shè)有夾持晶片的固定槽(未圖示)，可將晶片放置到所述晶舟盒100的容置部110內(nèi)。在高溫下由于所述晶舟棒非常容易發(fā)生變形，這可導(dǎo)致容置部110的形狀發(fā)生變化，其開口 120的寬度變大，進(jìn)而導(dǎo)致裝載在晶舟盒IOO內(nèi)的晶片破碎損壞，給半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)帶來極大的損失。因此必須對(duì)所有使用的晶舟盒進(jìn)行測(cè)量，以判斷晶舟盒是否變形，以及晶舟盒的變形尺寸是否在可接受的范圍內(nèi)。
現(xiàn)在，常用的測(cè)量工具為直尺，請(qǐng)參考圖2A至圖2B，并結(jié)合圖l，其為現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)量工具的工作原理圖，當(dāng)把直尺200放置在開口 120上時(shí)，可測(cè)量開口 120的尺寸，當(dāng)把直尺200沿開口垂直方向插入到容置部110內(nèi)，可測(cè)量容置部IOO的深度，繼而可判斷出待測(cè)晶舟盒100是否變形，以及變形尺寸是否在可接受的范圍內(nèi)。但是，由于待測(cè)晶舟盒100的變形尺寸較小，直尺200不能精確測(cè)量，無法滿足半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)的精度要求。并且，常因人為誤差，使得不同的測(cè)量人員對(duì)同一待測(cè)晶舟盒進(jìn)行測(cè)量時(shí)，常常會(huì)得到不同的結(jié)果。另外，當(dāng)待測(cè)晶舟盒100放置在制程設(shè)備的高溫爐管內(nèi)時(shí)，無法進(jìn)行測(cè)量工作。
因此，如何研制一種測(cè)量工具，可讓操作人員快速并準(zhǔn)確地檢測(cè)出待測(cè)晶舟盒是否變形，變形尺寸是否在規(guī)定范圍內(nèi)，已經(jīng)成為急需解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種晶舟盒的測(cè)量工具，可解決現(xiàn)有的測(cè)量工具無法精確
測(cè)量待測(cè)晶舟盒是否變形，以及變形尺寸是否在可接受的范圍內(nèi)的問題。 有鑒于此，本發(fā)明提供一種測(cè)量工具，用以測(cè)量晶舟盒相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)形狀的變形尺
寸，所述晶舟盒包括容置部，所述容置部具有一開口 ，所述測(cè)量工具包括第一測(cè)量部，與所
述晶舟盒容置部的標(biāo)準(zhǔn)形狀相匹配，用于測(cè)量所述晶舟盒容置部的變形情況；以及第二測(cè)
量部，與所述第一測(cè)量部連接，用于測(cè)量所述晶舟盒容置部的開口尺寸。 可選的，所述第一測(cè)量部為凸圓形，所述第二測(cè)量部為直角梯形。 可選的，所述直角梯形的下底邊與所述凸圓形的圓徑重合。 可選的，所述第二測(cè)量部上設(shè)有第一基準(zhǔn)線以及第二基準(zhǔn)線。 可選的，所述第一基準(zhǔn)線為所述直角梯形兩腰的連線，所述第一基準(zhǔn)線平行于所述直角梯形的底邊，其長(zhǎng)度為306毫米。 可選的，所述第二基準(zhǔn)線為所述直角梯形兩腰的連線，所述第二基準(zhǔn)線平行于所述直角梯形的底邊，其長(zhǎng)度為312毫米。
可選的，所述第一測(cè)量部與所述第二領(lǐng)可選的，所述第一測(cè)量部的厚度為3 可選的，所述第二測(cè)量部的厚度為3 可選的，所述測(cè)量工具的材質(zhì)為石英。本發(fā)明所提供的測(cè)量工具的有益效果是
1、可快速并準(zhǔn)確地檢測(cè)出待測(cè)晶舟盒是否變形，以及變形尺寸是否在可接受范圍
內(nèi)。
的測(cè)量
量部為一體結(jié)構(gòu)。4毫米。4毫米。
2、 避免人為因素所造成的誤差，不同的測(cè)量人員測(cè)量同一待測(cè)晶舟盒可得出相同結(jié)論。
3、 不受測(cè)量地點(diǎn)的限制，在制程設(shè)備內(nèi)也可使用所述測(cè)量工具進(jìn)行測(cè)量。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的晶舟盒的截面圖； 圖2A至圖2B為現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)量工具的工作原理圖； 圖3為本發(fā)明的一實(shí)施例的測(cè)量工具的示意圖； 圖4A至圖4D為本發(fā)明的一實(shí)施例的測(cè)量工具的工作原理圖。
具體實(shí)施例方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明所提出的測(cè)量工具作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
請(qǐng)參考圖3，其為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的測(cè)量工具的示意圖，并結(jié)合圖l，該測(cè)量工具300包括第一測(cè)量部310以及第二測(cè)量部320，第一測(cè)量部310與待測(cè)晶舟盒100的容置部110的標(biāo)準(zhǔn)形狀相匹配，為凸圓形，用于測(cè)量待測(cè)晶舟盒100的容置部110的變形情況，第二測(cè)量部320與第一測(cè)量部310連接，為直角梯形，用于測(cè)量待測(cè)晶舟盒100的容置部110的開口尺寸。其中，所述直角梯形的下底邊與所述凸圓的圓徑重合。所述第二測(cè)量部320用于測(cè)量待測(cè)晶舟盒100的容置部110的開口尺寸。第二測(cè)量部320上設(shè)有第一基準(zhǔn)線321以及第二基準(zhǔn)線322，第一基準(zhǔn)線321與第二基準(zhǔn)線322平行。第一測(cè)量部310與第二測(cè)量部320為一體結(jié)構(gòu)。 在本發(fā)明一實(shí)施例中，待測(cè)晶舟盒100的容置部110的標(biāo)準(zhǔn)開口寬度為306毫米，若其開口寬度大于306毫米并小于312毫米，視為待測(cè)晶舟盒100已變形，但在可接受的范圍內(nèi)，可繼續(xù)使用。若待測(cè)晶舟盒100的開口寬度大于等于312毫米即為不符合要求，不能繼續(xù)使用。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一基準(zhǔn)線321為所述直角梯形兩腰的連線，其長(zhǎng)度為待測(cè)晶舟盒100的容置部110的標(biāo)準(zhǔn)開口寬度，為306毫米，所述第一基準(zhǔn)線321平行于所述直角梯形的底邊。第二基準(zhǔn)線322為所述直角梯形兩腰的連線，其長(zhǎng)度為312毫米，第二基準(zhǔn)線322與第一基準(zhǔn)線321平行。第一基準(zhǔn)線321以及第二基準(zhǔn)線322用于測(cè)量容置部110的開口尺寸是否符合標(biāo)準(zhǔn)。 在背景技術(shù)中已經(jīng)提及，待測(cè)晶舟盒100的容置部110由第一晶舟棒111、第二晶舟棒112以及第三晶舟棒113圍成，所述晶舟棒上開設(shè)有夾持晶片的固定槽。其中，所述固定槽的槽寬為6毫米。在本發(fā)明一實(shí)施例中，測(cè)量工具300呈薄片狀，其中，第一測(cè)量部310以及第二測(cè)量部320的厚度為3毫米，小于所述固定槽的槽寬，因此，測(cè)量工具300可插入 到待測(cè)晶舟盒100的晶舟棒的固定槽內(nèi)，可以用于測(cè)量待測(cè)晶舟盒100的容置部110的變 形情況，以及待測(cè)晶舟盒100的容置部110的開口尺寸。在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，也可結(jié) 合實(shí)際需要，將所述測(cè)量工具的第一測(cè)量部以及第二測(cè)量部設(shè)置為3 4毫米之間的其它 厚度。 本發(fā)明一實(shí)施例所提供的測(cè)量工具300的工作原理為，請(qǐng)參考圖4A至圖4B，并結(jié) 合圖l，測(cè)量待測(cè)晶舟盒100的容置部110的形狀時(shí)，可將測(cè)量工具300的第一測(cè)量部310 插入到所述容置部110內(nèi)，第二測(cè)量部320卡在晶舟盒100的開口 120上，如圖4A所示，所 述第一測(cè)量部310的形狀恰好和所述容置部110的形狀相吻合，可插入到第三晶舟棒113 的固定槽底部，所述第一測(cè)量部310與第三晶舟棒113之間沒有間隙，則可判斷待測(cè)晶舟盒 100未變形，可繼續(xù)使用。 如圖4B所示，所述第一測(cè)量部310插入到所述容置部110后，其與待測(cè)晶舟盒100 的第三晶舟棒113具有一間隙，無法插入到第三晶舟棒113的固定槽內(nèi)，則判斷待測(cè)晶舟盒 100已變形，且變形尺寸已超出可接受的范圍，待測(cè)晶舟盒100無法繼續(xù)使用。
若第一測(cè)量部310可插入到第三晶舟棒113的固定槽內(nèi)，但未插入到第三晶舟棒 113的固定槽的底部，與第三晶舟棒113的固定槽的底部還具有一定間隙，可判斷待測(cè)晶舟 盒100的容置部110已變形，但在可接受的范圍內(nèi)，可繼續(xù)使用。如此，可通過測(cè)量工具300 測(cè)量出待測(cè)晶舟盒100的容置部110的形狀是否符合標(biāo)準(zhǔn)。 繼續(xù)參考圖4C至圖4D，并結(jié)合圖l，當(dāng)測(cè)量待測(cè)晶舟盒100的容置部110的開口 寬度時(shí)，可將測(cè)量工具300的第二測(cè)量部320放置在待測(cè)晶舟盒100的開口 120上，參見圖 4C，若所述第一基準(zhǔn)線321恰好與所述開口 120的尺寸吻合，則確定待測(cè)晶舟盒100的開口 寬度為306毫米，待測(cè)晶舟盒100未變形。 若待測(cè)晶舟盒100的開口尺寸在所述第一基準(zhǔn)線321和第二基準(zhǔn)線322之間，即 待測(cè)晶舟盒100的開口寬度大于306毫米且小于312毫米，則判斷待測(cè)晶舟盒100已變形， 但在可接受的范圍內(nèi)，可繼續(xù)使用。 參見圖4D，當(dāng)所述第二基準(zhǔn)線322與待測(cè)晶舟盒100的開口尺寸吻合時(shí)，則可確定 此待測(cè)晶舟盒100的開口寬度為312毫米，待測(cè)晶舟盒100已變形，且變形尺寸已超出可接 受的變形范圍，此待測(cè)晶舟盒100不能繼續(xù)使用。 若待測(cè)晶舟盒的開口尺寸已超出第二基準(zhǔn)線322，即大于312毫米，則判斷此待測(cè) 晶舟盒100不符合使用標(biāo)準(zhǔn)。如此，可通過測(cè)量工具300測(cè)量出待測(cè)晶舟盒100的開口寬 度是否符合要求，確保晶片的承載安全。 使用本發(fā)明一實(shí)施例所提供的測(cè)量工具300可直觀的檢測(cè)出待測(cè)晶舟盒110是否 變形，變形尺寸是否在可接受的范圍內(nèi)，快速并準(zhǔn)確的得出測(cè)量結(jié)果，無需讀取數(shù)值，不同 操作人員測(cè)量時(shí)也可得出相同的測(cè)量結(jié)論，不會(huì)受人為誤差影響。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述測(cè)量工具300的材質(zhì)為石英，石英材料成本低廉，并 具有很高的純度，不會(huì)污染半導(dǎo)體制程設(shè)備及晶片，且石英材料耐高溫，待測(cè)晶舟盒100放 置在爐管上時(shí)，也可使用此測(cè)量工具300進(jìn)行測(cè)量。 綜上所述，本發(fā)明所提供的測(cè)量工具，用于測(cè)量待測(cè)晶舟盒相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)形狀的變 形尺寸，所述測(cè)量工具包括第一測(cè)量部以及第二測(cè)量部，所述第一測(cè)量部與待測(cè)晶舟盒容置部的標(biāo)準(zhǔn)形狀相匹配，用于測(cè)量所述待測(cè)晶舟盒容置部的變形情況，所述第二測(cè)量部與 所述第一測(cè)量部連接，用于測(cè)量所述晶舟盒容置部的開口尺寸。本發(fā)明所提供的測(cè)量工 具，可快速并準(zhǔn)確地檢測(cè)出待測(cè)晶舟盒是否變形，變形尺寸是否在可接受范圍內(nèi)，并且不受 人為誤差以及測(cè)量地點(diǎn)的影響，不同的測(cè)量人員測(cè)量同一待測(cè)晶舟盒可得出相同的測(cè)量結(jié) 論，并可在制程設(shè)備內(nèi)進(jìn)行測(cè)量可縮短測(cè)量工時(shí)，提高了測(cè)量效率。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
一種測(cè)量工具，用以測(cè)量晶舟盒相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)形狀的變形尺寸，所述晶舟盒包括容置部，所述容置部具有一開口，其特征在于，包括第一測(cè)量部，與所述晶舟盒容置部的標(biāo)準(zhǔn)形狀相匹配，用于測(cè)量所述晶舟盒容置部的變形情況；以及第二測(cè)量部，與所述第一測(cè)量部連接，用于測(cè)量所述晶舟盒容置部的開口尺寸。
2. 如權(quán)利要求l所述的測(cè)量部為直角梯形。
3. 如權(quán)利要求2所述的測(cè)的圓徑重合。
4. 如權(quán)利要求l所述的測(cè)及第二基準(zhǔn)線。
5. 如權(quán)利要求4所述的測(cè)量工具，其特征在于，所述第一基準(zhǔn)線為所述直角梯形兩腰的連線，所述第一基準(zhǔn)線平行于所述直角梯形的底邊，其長(zhǎng)度為306毫米。
6. 如權(quán)利要求4所述的測(cè)量工具，其特征在于，所述第二基準(zhǔn)線為所述直角梯形兩腰的連線，所述第二基準(zhǔn)線平行于所述直角梯形的底邊，其長(zhǎng)度為312毫米。:工具，其特征在于，所述直角梯形的下底邊與所述凸圓形:工具，其特征在于，所述第二測(cè)量部上設(shè)有第一基準(zhǔn)線以
7. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)l-體結(jié)構(gòu)。
8. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量
9. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量
10. 如權(quán)利要求l所述的測(cè)::工具，其特征在于，所述第一測(cè)量部與所述第二測(cè)量部為工具，其特征在于，所述第一測(cè)量部的厚度為3 4毫米。工具，其特征在于，所述第二測(cè)量部的厚度為3 4毫米。險(xiǎn)工具，其特征在于，其材質(zhì)為石英。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測(cè)量工具，用于測(cè)量晶舟盒相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)形狀的變形尺寸，所述晶舟盒包括一容置部，所述容置部具有一開口，所述測(cè)量工具包括第一測(cè)量部以及第二測(cè)量部，所述第一測(cè)量部與所述晶舟盒容置部的標(biāo)準(zhǔn)形狀相匹配，用于測(cè)量所述晶舟盒容置部的變形情況，所述第二測(cè)量部與所述第一測(cè)量部連接，用于測(cè)量所述晶舟盒容置部的開口尺寸。本發(fā)明所提供的測(cè)量工具，可快速并準(zhǔn)確地檢測(cè)出所述晶舟盒是否變形，變形尺寸是否在可接受范圍內(nèi)，并且不受人為誤差以及測(cè)量地點(diǎn)的影響，不同的測(cè)量人員測(cè)量同一待測(cè)晶舟盒可得出相同的測(cè)量結(jié)論，且可在制程設(shè)備內(nèi)進(jìn)行測(cè)量，提高了測(cè)量效率。
文檔編號(hào)G01B5/30GK101750004SQ20081020477
公開日2010年6月23日 申請(qǐng)日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者任曉棟, 張衛(wèi)民, 施訓(xùn)志, 馬彪 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司