專利名稱：用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種用于濃度控制酸儀的光學(xué)偵測(cè)裝置，特別是指一種針對(duì)含金屬離子的溶液進(jìn)行滴定，以析出的金屬離子產(chǎn)生光線強(qiáng)度的變化，并且藉由該變化的程度推測(cè)出當(dāng)量點(diǎn)及金屬離子濃度的光學(xué)偵測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有習(xí)知的酸液供給系統(tǒng)中，對(duì)于用作蝕刻液的酸液供給上，必須控制的變量很多，包含溫度、流量、壓力、濃度、及雜質(zhì)含量等等，其中最重要的參數(shù)，莫過(guò)于蝕刻液濃度的控制，其中又有很多的外部因素會(huì)造成在酸液供給系統(tǒng)中，必須精準(zhǔn)且及時(shí)性的掌控住所供給的酸液或蝕刻液的濃度變化以及供給量，例如在蝕刻過(guò)程中，有可能會(huì)因?yàn)榛灞旧淼牟馁|(zhì)變化，造成蝕刻液被基板本身所吸收或干擾，亦或是由于溫度未保持于恒溫的環(huán)境下，以致于蝕刻液因溫度提高而增加了揮發(fā)的速率，導(dǎo)致蝕刻液的濃度提升，影響制造工藝精確度，亦或是酸液中金屬離子的濃度變化亦會(huì)對(duì)蝕刻的制造工藝產(chǎn)生影響，因此，如何能夠有效地偵測(cè)出待測(cè)酸液的金屬離子濃度，并且及時(shí)回報(bào)給控制管理系統(tǒng)做流量的對(duì)應(yīng)變化，便成為酸液供給系統(tǒng)一個(gè)非常重要的課題。
使用滴定法進(jìn)行待測(cè)酸液中金屬離子的濃度檢測(cè)的同時(shí)，配合PH儀的使用藉以確認(rèn)作為滴定目標(biāo)溶液的待測(cè)酸液其PH值符合所預(yù)定的目標(biāo)，此外，在滴定法進(jìn)行的過(guò)程中，依本實(shí)用新型的概念，實(shí)時(shí)性地不斷取出新鮮的待測(cè)酸液做為檢測(cè)的對(duì)象，亦可以有效地保持該系統(tǒng)中滴定程序的準(zhǔn)確性，進(jìn)而準(zhǔn)確地推知;f寺測(cè)酸液的酸液濃度，在執(zhí)行滴定法以確認(rèn)待測(cè)酸液的金屬離子濃度及酸液濃度的時(shí)候，會(huì)同時(shí)產(chǎn)生不具透光性的金屬離子成分析出，并且在滴定系統(tǒng)中了產(chǎn)生光線強(qiáng)度的變化，在現(xiàn)有習(xí)知的技術(shù)中， 一般而言會(huì)忽略了此一在滴定過(guò)程中金屬離子析出所產(chǎn)生的不透光性
產(chǎn)物，換言之，現(xiàn)有習(xí)知技術(shù)中僅有針對(duì)待測(cè)酸液內(nèi)利用PH儀進(jìn)行酸液濃度檢測(cè)的方法，并沒(méi)有辦法在進(jìn)行酸液濃度檢測(cè)滴定的同時(shí)，針對(duì)因滴定所析出的金屬離子不透光性產(chǎn)物，提供一種有效、便利且具有實(shí)時(shí)性的檢測(cè)其濃度的方法，因此，如何能夠有效地利用酸液供給系統(tǒng)中，在滴定的同時(shí)會(huì)生成金屬離子析出物此一特點(diǎn)，配合適當(dāng)?shù)臋z測(cè)儀器裝置，有效且及時(shí)性地判斷出待測(cè)酸液中各種金屬離子的實(shí)際變化，藉以使操作人員能夠針對(duì)系統(tǒng)中酸液的實(shí)際變化狀況隨時(shí)改變操作條件，將是本實(shí)用新型所
3欲積極揭露之處。
由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的酸液濃度量測(cè)裝置在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問(wèn)題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒(méi)有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上述問(wèn)題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。
有鑒于上述現(xiàn)有的酸液濃度量測(cè)裝置存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類(lèi)產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的酸液濃度量測(cè)裝置，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)過(guò)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用^介值的本實(shí)用新型。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的酸液濃度量測(cè)裝置存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是借著在酸堿滴定中所產(chǎn)生的不透光析出物成分，致使該待測(cè)滴定液的透光率產(chǎn)生明顯的變化，藉由金屬離子析出的程度，可以有效地掌控酸液中濃度的變化，進(jìn)而達(dá)到有效補(bǔ)充酸液的數(shù)量，并減少過(guò)度供給以及供酸初期濃度不穩(wěn)定的缺點(diǎn)，且提高量測(cè)精準(zhǔn)度的目的，非常適于實(shí)用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)
本發(fā)明提出的一種用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其包含一滴定裝置，其包含 一感測(cè)電極、 一用以存放待測(cè)蝕刻液的滴定管主體、及一上下端分別連接于供酸系統(tǒng)與回收槽的滴定管線； 一光源端，其中包含激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的發(fā)射器； 一感測(cè)端，其中包含可感測(cè)激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的傳感器，其是固定于一固定架上與光源端相對(duì)應(yīng)的位置；同時(shí)可選擇性地裝置反射鏡或傳感器；以及， 一固定架，其是用于固定光學(xué)感測(cè)裝置的光源端及感測(cè)端。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可釆用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。前述的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其中所述的光源端可為激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的發(fā)射器，或同時(shí)在光源端附加有傳感器。
前述的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其中所述的感測(cè)端可為感測(cè)激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的傳感器，或可替換為反射鏡。前述的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其中所迷的光學(xué)感測(cè)裝置亦可與PH儀的感測(cè)電極配合使用。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有扶術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。經(jīng)由以上可知，為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種用于濃度控制酸儀的光學(xué)偵測(cè)裝置，其包含 一滴定裝置l，其包含有作為酸液濃度量測(cè)的PH感測(cè)電極、滴定管主體、上下端分別連接于供酸系統(tǒng)的取樣管與回收槽的滴定管線4; 一光源端2,其中包含利用激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的發(fā)射器，以及視感測(cè)端構(gòu)造而選擇性添加的另一傳感器； 一感測(cè)端3,其中包含可感測(cè)激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的傳感器，并固定于一固定架5上與光源端2相對(duì)應(yīng)的位置，同時(shí)可選擇性地裝置反射鏡或傳感器。利用本實(shí)用新型結(jié)合光學(xué)偵測(cè)裝置的金屬離子濃度量測(cè)裝置，可以有效地掌控酸液中金屬離子濃度的變化，在金屬離子濃度過(guò)高，超過(guò)正常的酸液可使用范圍值的時(shí)候，藉由本實(shí)用新型裝置，可以有效確認(rèn)酸液的終點(diǎn)壽命，做會(huì)客戶換酸或委外再生的依據(jù)。
借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果
本實(shí)用新型可以更為迅速以及實(shí)時(shí)性方便的偵測(cè)結(jié)果，因此可以有效地利用于各種不同的酸液供應(yīng)裝置中。
綜上所述，本實(shí)用新型是有關(guān)于一種用于濃度控制儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其中該金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置是架設(shè)于具有高精密度的濃度控酸儀中，該高精密度濃度控酸儀是利用滴定系統(tǒng)作為偵測(cè)酸液濃度變化的方法，以藉此有效控制酸液的濃度，其中該滴定系統(tǒng)的作用為有效地藉由當(dāng)量點(diǎn)滴定，分析各種酸液原料，例如硝酸、醋酸或磷酸的滴定終點(diǎn)，藉此有效量測(cè)出不同批次酸液原料所可能產(chǎn)生的濃度變化，并且利用本實(shí)用新型的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，針對(duì)滴定過(guò)程中金屬離子的逐漸析出，藉由光線偵測(cè)金屬離子析出的散射濃度，進(jìn)而推論出金屬離子的濃度。本實(shí)用新型具有上述諸多優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，其不論在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的酸液濃度量測(cè)裝置具有增進(jìn)的突出功效，從而更加適于實(shí)用，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)"^兌明如下。

圖1是本實(shí)用新型用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置較佳具 體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
1 :滴定裝置 2 :光源端
3:感測(cè)端 4:滴定管線
5:固定架
具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及 功效，
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的濃度控制酸儀 的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置其具體實(shí)施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō) 明如后。
有關(guān)本實(shí)用新型的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，在以下配合參 考圖式的較佳實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明中將可清楚的呈現(xiàn)。通過(guò)具體實(shí)施方式
的
加深入ii體的5解'，然而所附圖式僅是提供參考與說(shuō)明之用，并非用來(lái) 對(duì)本實(shí)用新型加以限制。
圖i是本實(shí)用新型用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置較佳具 體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
請(qǐng)參閱圖i所示，本實(shí)用新型的滴定裝置i經(jīng)由取樣管線將蝕刻液的 成分導(dǎo)入滴定裝置i中，在本實(shí)用新型中，所使用的蝕刻液可以為硝酸、醋 酸、磷酸或其它常見(jiàn)于蝕刻液中的有機(jī)及無(wú)機(jī)酸與乙二醇的任意比例混合 物，由于一般工業(yè)用酸液本身在制造過(guò)程中即會(huì)存在有鋁離子、鐵離子、銅 離子或其它種類(lèi)的金屬離子雜質(zhì)的存在，因此將待測(cè)的蝕刻液(硝酸、醋
酸、磷酸的特定比例混合，視蝕刻液的需要而調(diào)整)取出1毫升并加入50
毫升的乙二醇，進(jìn)行三分鐘的攪拌，再于滴定裝置i內(nèi)利用酸堿滴定的方
法，配合本實(shí)用新型的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置或PH儀將硝酸、醋酸、磷酸 三種酸的金屬離子濃度及當(dāng)量點(diǎn)分別測(cè)出，進(jìn)而換算出該蝕刻液中三種酸 的不同金屬離子濃度及酸液濃度，在此一過(guò)程中，由于使用酸堿滴定法，利 用當(dāng)量濃度1N的氫氧化鈉進(jìn)行滴定，其中蝕刻液本身所存在的金屬離子，如 鋁離子、鐵離子或銅離子等，會(huì)因?yàn)闅溲趸c而產(chǎn)生白色的氧化析出物，如 鋁成分所形成的三氧化二鋁白色成分，即可于蝕刻液中形成于不透光的白 色粉末，再配合本光源端2及感測(cè)端3,藉由滴定裝置1中蝕刻液所產(chǎn)生的 金屬離子濃度變化，預(yù)先制作出不同酸液成分及不同酸液濃度下的光穿透 率比對(duì)圖，藉此換算出目標(biāo)待測(cè)蝕刻液中，含有多少濃度的硝酸、醋酸、磷酸成分，再藉由光學(xué)偵測(cè)裝置連接于控制端的線路，將酸液濃度的變化狀 況有效地實(shí)時(shí)回報(bào)于控制系統(tǒng)的操作人員，由于本實(shí)用新型的金屬離子光 學(xué)偵測(cè)裝置可以提供較一般現(xiàn)有習(xí)知技術(shù)的酸液金屬離子濃度檢測(cè)裝置更 為迅速以及實(shí)時(shí)性方便的偵測(cè)結(jié)果，因此可以有效地利用于各種不同的酸 液供應(yīng)裝置中。
以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作 任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非 用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技 術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同 變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí) 用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均 仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其特征在于其包含一滴定裝置，其中包含一感測(cè)電極、一用以存放待測(cè)蝕刻液的滴定管主體、及一上下端分別連接于供酸系統(tǒng)與回收槽的滴定管線；一光源端，其中包含激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的發(fā)射器；一感測(cè)端，其中包含可感測(cè)激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的傳感器，其是固定于一固定架上與光源端相對(duì)應(yīng)的位置；同時(shí)可選擇性地裝置反射鏡或傳感器；以及，一固定架，其是用于固定光學(xué)感測(cè)裝置的光源端及感測(cè)端。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其特征在于其中所 述的光源端可為激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的發(fā)射器，或同時(shí)在光源端附 加有傳感器。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其特征在于其中所 述的感測(cè)端可為感測(cè)激光、紅外線或其它可見(jiàn)光的傳感器，或可替換為反 射鏡。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其特征在于其中所 述的光學(xué)感測(cè)裝置亦可與PH儀的感測(cè)電極配合使用。
專利摘要本實(shí)用新型是有關(guān)于一種用于濃度控制酸儀的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，其中該光學(xué)偵測(cè)裝置是架設(shè)在具有高精密度的濃度控酸儀中，該高精密度濃度控酸儀是利用滴定系統(tǒng)作為偵測(cè)酸液濃度變化的方法，以藉此有效控制酸液的濃度，其中該滴定系統(tǒng)的作用為有效地藉由當(dāng)量點(diǎn)滴定，分析各種酸液原料，例如硝酸、醋酸或磷酸的滴定終點(diǎn)，藉此有效量測(cè)出不同批次酸液原料所可能產(chǎn)生的濃度變化，并且利用本實(shí)用新型的金屬離子光學(xué)偵測(cè)裝置，針對(duì)滴定過(guò)程中金屬離子的逐漸析出，藉由光線偵測(cè)金屬離子析出的散射濃度，進(jìn)而推論出金屬離子的濃度。
文檔編號(hào)G01N21/77GK201266172SQ20082011559
公開(kāi)日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2008年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月30日
發(fā)明者陳志行 申請(qǐng)人:浩碩科技股份有限公司