專利名稱：用于保持和移動電子器件、特別是IC’s的、具有導(dǎo)熱體的柱塞的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種按權(quán)利要求1的前序部分所述的柱塞，該柱塞用 于保持和移動電子器件、特別是用于將IC，s向與檢測裝置相連的接觸 裝置輸送或者從與檢測裝置相連的接觸裝置移除，包括一個(gè)柱塞頭， 該柱塞頭具有用于吸住器件的至少一個(gè)吸頭和一個(gè)導(dǎo)熱體。
背景技術(shù)：
在將電子器件、例如IC，s (包括集成電路的半導(dǎo)體元件)例如安 裝到電路板上或者以其它方式應(yīng)用之前，通常對其功能性進(jìn)行檢測。 在此，由一通常稱為"操作手(Handler)，，的自動操作裝置使待檢測的 器件與接觸裝置觸點(diǎn)接通，該接觸裝置特別是構(gòu)成為接觸座并且與檢 測裝置的檢測頭電接觸。在檢測過程結(jié)束后，借助于操作手將器件重 新從接觸裝置移開并根據(jù)檢測結(jié)果對其進(jìn)行分揀。
為了對器件進(jìn)行保持和觸點(diǎn)接通，操作手通常具有柱塞，即可^ 向移動的、可活塞式往復(fù)運(yùn)動的保持單元，該保持單元可以特別是通 過借助于真空施加吸力來保持器件。在放置器件之后，在操作手的內(nèi)
部將上述柱塞帶到一個(gè)位置中，所述柱塞在該位置中可以以直線路徑 繼續(xù)向接觸裝置向前移動，直到器件與接觸裝置進(jìn)入接觸。在完成檢 測過程之后，通過柱塞重新將器件從檢測頭上移走，并將其定位成可 以通過一卸載區(qū)從操作手中移除器件，并能夠根據(jù)檢測結(jié)果對其進(jìn)行 分揀。
為了能夠在確定的溫度條件下實(shí)施檢測，此外已知的是，在檢測 過程之前，將所述器件調(diào)溫到確定的溫度。所述溫度可以在例如-60。C 到+20(TC之間的范圍內(nèi)。
對器件的調(diào)溫通常是以對流和/或傳導(dǎo)的方式在一隔熱的調(diào)溫辟中實(shí)現(xiàn)，該調(diào)溫腔可以設(shè)置在操作手的內(nèi)部或者外部。在此，在將器件放置到柱塞上并且由柱塞向接觸裝置進(jìn)給之前，在調(diào)溫腔的內(nèi)部同時(shí)將多個(gè)器件帶到所希望的溫度。這里的缺點(diǎn)是，在加熱和觸點(diǎn)接通之間的時(shí)間或者在器件的觸點(diǎn)接通期間出現(xiàn)熱量損失，這導(dǎo)致了，器件在檢測時(shí)刻不再具有精確的額定溫度。此外， 一起在調(diào)溫腔中調(diào)溫的各單個(gè)器件也可能具有不同的溫度。在這些器件上同樣可能由于電
檢測出現(xiàn)電功率損耗。
由US 5， 977， 785 A已知一種按照權(quán)利要求1前序部分所述的柱塞。該文件中的柱塞具有一帶有多個(gè)抽吸頭的頭部部件和一與吸頭分開設(shè)置的接觸板的形式的導(dǎo)熱體，所述導(dǎo)熱體可以通過熱或冷的流體被加熱或冷卻。被吸住的器件貼靠在接觸板上，并且可以通過該接觸板對其調(diào)溫。將經(jīng)調(diào)溫的流體輸送到接觸板的閉合的循環(huán)中并從所述循環(huán)中重新導(dǎo)出。但這里缺點(diǎn)是，頭部部件必須復(fù)雜地構(gòu)造并且設(shè)計(jì)得較大，因?yàn)橛糜诮?jīng)調(diào)溫的流體的供應(yīng)管道和導(dǎo)出管道要求較多的位置，并且接觸板本身相應(yīng)地也必須具有較大的尺寸。這種已知的柱塞頭是不適合于很小的電子器件或者其中多個(gè)柱塞頭必須緊密地并排設(shè)置的布置形式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明基于的目的是，提供一種開頭所述類型的柱塞，利用這種柱塞能夠以盡可能精確的方式在確定溫度條件下實(shí)現(xiàn)對電子器件的檢測。此外，該柱塞的結(jié)構(gòu)應(yīng)簡單，并且在頭部區(qū)域中具有小的結(jié)構(gòu)尺寸，以便使該柱塞也適用于小的器件。
按照本發(fā)明，該目的通過具有權(quán)利要求1的特征的柱塞來實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明的有利的實(shí)施形式在其他各權(quán)利要求中說明。
按照本發(fā)明，吸頭穿過導(dǎo)熱體。通過按照本發(fā)明的導(dǎo)熱體，通過熱傳導(dǎo)實(shí)現(xiàn)從導(dǎo)熱體到器件的非?？焖俸蛷?qiáng)化的熱傳遞。導(dǎo)熱體本身由于其大的表面和其材料可以通過流體快速地調(diào)溫，該流體優(yōu)選由氣體、特別是由凈化的空氣或者氮?dú)饨M成。在此，該流體可以從操作手的內(nèi)腔或通過柱塞的流體管道被導(dǎo)向?qū)狍w。根據(jù)應(yīng)在低溫、環(huán)境溫度或高溫下測試檢測器件，對導(dǎo)熱體并由此對器件進(jìn)行冷卻、將其保持在環(huán)境溫度或進(jìn)行加熱。通過直接在柱塞頭上進(jìn)行器件的調(diào)溫，可以在將器件遞送向所配設(shè)的接觸裝置期間以及甚至還在檢測過程期間對保持在柱塞頭上的器件調(diào)溫，以便能夠消除在遞送運(yùn)動期間、以及在檢測過程期間的熱量損失或至少使其最小化。因此器件的調(diào)溫能夠以十分精確的方式實(shí)現(xiàn)。此外，頭部部件可以簡單地構(gòu)造并具有小的結(jié)構(gòu)尺寸，從而所述柱塞不僅可以用于大規(guī)格的器件，而是也可以用于小的器件。
按照一種有利的實(shí)施形式，導(dǎo)熱體具有一中心的、軸向的通孔，吸頭穿過該通孔。以這種方式，可以保持在導(dǎo)熱體和器件之間的接觸面積較大，從而能夠以特別有效的方式實(shí)現(xiàn)器件的調(diào)溫。同樣也可以在導(dǎo)熱體中設(shè)置多個(gè)分散的通孔，各一個(gè)抽吸頭分別穿過這些通孔。
按照一個(gè)有利的實(shí)施形式，柱塞頭具有一支承被吸住的器件的保持座，該保持座具有軸向的通道，在所述通道中，導(dǎo)熱體繞所述一個(gè)或多個(gè)吸頭設(shè)置。因此在該實(shí)施形式中，保持體和導(dǎo)熱體是不同的部件，這簡化了制造。此外由此導(dǎo)熱體還可以由與保持座不同的材料構(gòu)成，并由此使它們的材料最佳地適應(yīng)于相應(yīng)的使用目的。例如保持座可由不導(dǎo)電的材料、特別是塑料材料組成，而導(dǎo)熱體可由導(dǎo)熱性能特別好的金屬組成。但除此以外，還可以保持座自身設(shè)計(jì)成導(dǎo)熱體，即，將保持座設(shè)計(jì)成，將保持座與器件進(jìn)入接觸的確定區(qū)域設(shè)計(jì)成可特別好地導(dǎo)熱的。這樣的保持座特別是可以在其背側(cè)具有肋或銷，所述肋或銷擴(kuò)大其表面積并被流體沖流。
按照一個(gè)有利的實(shí)施形式，導(dǎo)熱體相對于保持座彈性地設(shè)置，特別是在軸向方向上可相對于保持座彈性地移動。由此即使在器件有尺寸偏差或幾何形狀偏差時(shí)也可以確保使器件盡量整面地貼靠在導(dǎo)熱體上，以確保良好的導(dǎo)熱。
特別有利的是，導(dǎo)熱體可相對于柱塞的縱軸傾斜地設(shè)置。由此，
即使當(dāng)器件的連接引腿(Pins)由于誤差不是完全一致地彎曲，并且器件體略微傾斜離開從其額定位置時(shí)，當(dāng)引腿貼靠在保持座的支承條
(引腳支座(Leadbacker))上時(shí)，也能確保器件體與導(dǎo)熱體整面的接
觸o
按照一個(gè)有利的實(shí)施形式，導(dǎo)熱體由一盤體和突出于盤體的肋組成，其中盤體具有一平坦的前面，可使該前面與器件接觸，而各肋向后突出于盤體。以這種方式可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)熱體的一種特別節(jié)省位置的構(gòu)型，其中同時(shí)可以釆用很長的、向后伸入一流體導(dǎo)向通道中的肋，各所述肋使得可實(shí)現(xiàn)從流體到導(dǎo)熱體的特別良好的熱傳遞。
按照一個(gè)有利的實(shí)施形式，保持座在其背側(cè)具有流體導(dǎo)向槽，所述流體導(dǎo)向槽通入保持座的軸向的通道中，從而有目的地將在背側(cè)被導(dǎo)向保持座的流體向設(shè)置在軸向的通道中的導(dǎo)熱體引導(dǎo)。因此能夠以簡單的方式確保，所供應(yīng)的、必要時(shí)經(jīng)調(diào)溫的流體的盡可能大的部分直接沖流導(dǎo)熱體，從而以特別有效的方式對這部分流體進(jìn)行調(diào)溫。
按照一個(gè)有利的實(shí)施形式，導(dǎo)熱體通過一在軸向方向上延伸的螺栓可移動地被引導(dǎo)，該螺栓在其前部的端部上具有一螺栓頭，該螺栓頭具有一前面，該前面構(gòu)成用于器件的軸向的止擋，所述螺栓頭還具有一后面，該后面構(gòu)成用于導(dǎo)熱體的軸向的止擋。在此，適宜地通過彈簧向前推壓導(dǎo)熱體，各所述彈簧圍繞螺栓設(shè)置。因此可以以較為簡單和節(jié)省位置的方式在保持座中實(shí)現(xiàn)對導(dǎo)熱體彈性的可退讓的保持。


下面借助于附圖示例性地詳細(xì)說明本發(fā)明。附圖中
圖l示出柱塞的透視圖，其中柱塞頭與柱塞的其它部件分開示出；
圖2示出柱塞頭的縱向剖視圖，包括示意性示出的導(dǎo)熱體，但沒
有吸頭；
圖3示出圖2中的導(dǎo)熱體的俯視圖；圖4示出電子器件的俯視圖5示出柱塞頭的另一個(gè)實(shí)施形式斜前方的透視圖；圖6示出圖5中的柱塞頭斜后方的透視圖；圖7示出圖5和圖6中的柱塞頭的分解視圖8示出圖5中的柱塞頭的正視圖9示出沿圖8中的線IX-IX的剖視圖；以及
圖IO示出沿圖8中的線X-X的剖視圖，其中器件是取下示出的。
具體實(shí)施例方式
圖1中可見一個(gè)部分用分解視圖示出的柱塞1。該柱塞1具有一 個(gè)柱塞頭2，該柱塞頭可以在其前端部上通過吸力保持一電子器件3。 在所示實(shí)施例中，所述器件3是具有集成電路的器件，簡稱IC，如在 圖4中可見，所述器件具有一器件體4和在側(cè)面從器件體突出的連接 引腳5。但柱塞1也可以用于保持和移動其它器件，例如BGA-或者 QFN-器件。
柱塞頭2可放置在一長方體形的基體6上，并且在該基體上沿側(cè) 向方向通過彈簧舌片7保持，各所述彈簧舌片通過螺釘8固定在基體 6上，并在軸向方向上向前突出于基體6。以這種方式，當(dāng)柱塞頭2 在柱塞1進(jìn)給時(shí)移入一未示出的設(shè)置在一未被示出的接觸基座附近的 對中裝置中時(shí)，柱塞頭2可以與器件3 —起在側(cè)向方向上略微移動。
基體6通過兩個(gè)平行于柱塞1的縱軸線設(shè)置的導(dǎo)向桿9與一后部 的端部段10相連。由圖l中可見螺釘ll，利用這些螺釘導(dǎo)向桿9可 以在其前部的端部上固定旋擰在基體6上。
柱塞1通過兩個(gè)導(dǎo)向桿9可縱向移動地保持在一導(dǎo)向裝置12上， 該導(dǎo)向裝置具有未詳細(xì)示出的導(dǎo)向套，導(dǎo)向桿9可移動地在該導(dǎo)向套 中被引導(dǎo)。導(dǎo)向裝置12能夠以未詳細(xì)示出的方式例如固定在一環(huán)行車 上或一擺動裝置上，利用所述環(huán)行車或擺動裝置，可將柱塞l連同已 放置的器件3帶到一個(gè)位置中，在該位置中，柱塞l可以直線地(在 圖1中向左)進(jìn)給到一接觸位置中，在該接觸位置中，器件3的引腳 5 (圖4)放置在接觸架的相應(yīng)的、未示出的各連接觸點(diǎn)上。在此，所 述向前運(yùn)動通過一未示出的進(jìn)給裝置實(shí)現(xiàn)，該進(jìn)給裝置對后部的端部 段的后部的端面13進(jìn)推壓。可通過一未示出的復(fù)位彈簧實(shí)現(xiàn)將柱塞l導(dǎo)回其初始位置，該復(fù)位彈簧以其后端部固定在柱塞導(dǎo)向裝置12上， 并以其前端部固定在基體11上。
如圖1和圖2中可見，柱塞頭2具有一保持座14，該保持座由一 長方體形的座區(qū)段15和一直徑減小的前部的座區(qū)段16組成，所述前 部的區(qū)段在軸向方向上突出于座區(qū)段15。前部的基座區(qū)段16具有四 個(gè)腿形支承條17(引腳支座)，這些腿形支承條在四個(gè)側(cè)面限定保持 座14的一中心的軸向通道18。當(dāng)器件3被保持在柱塞頭2上時(shí)，器 件3的連接引腳5貼靠在腿形支承條17的前端面上。
如在圖2中示意性示出的那樣，在中心的通道18中設(shè)置一導(dǎo)熱體 19。該導(dǎo)熱體的前端側(cè)20設(shè)置在前部的座區(qū)段16的前端部附近。導(dǎo) 熱體19由一具有多個(gè)肋21的盤形體組成，這些肋既在徑向方向上向 外，也向后、即與流體流動方向相反地延伸。此外，導(dǎo)熱體19由導(dǎo)熱 良好的材料組成。導(dǎo)熱體19的前端面20構(gòu)造成平的并設(shè)置成，即當(dāng) 器件3放置在柱塞頭2上時(shí)，器件體4可整面地與前端面20進(jìn)入接觸。
導(dǎo)熱體19的外直徑只略小于通道18的直徑。如果從后面、即在 圖2中從右面將具有確定溫度的流體導(dǎo)入通道18，則由此只有流體很 小的一部分可以不與導(dǎo)熱體接觸地流過導(dǎo)熱體19。更多的是強(qiáng)制使流 體在肋21之間的中間空間和縫隙中流過，由此確保流體與導(dǎo)熱體19 強(qiáng)烈的接觸。
為了確保，當(dāng)不是器件3所有的連接引腳都具有最佳的定向時(shí)， 器件3也平坦地貼靠在導(dǎo)熱體19上，如在圖2中示意性示出的那樣， 導(dǎo)熱體19通過一彈簧裝置22彈性地支承在通道18中。該彈簧裝置 22設(shè)計(jì)成使導(dǎo)熱體19在通道18的內(nèi)部略微傾斜，即可使其處于傾斜 位置中，以便與器件體4可能的傾斜位置匹配并由此獲得與器件體4 的緊湊接觸。
為了將器件3牢固地吸在保持座14上，柱塞頭2具有一柔性的吸 頭，該吸頭可以構(gòu)造成如在圖7中所示的吸頭23相同。這個(gè)吸頭2$ 由一前部的抽吸(漲伸)盒(Saugbalg) 24和一連接在抽吸盒上的軟 管接頭25組成。在圖l中示出的實(shí)施例處，吸頭23與一中心的抽吸通道26相連，該抽吸通道穿過基體6并與一抽吸管道27相連，該抽 吸管道平行地并且在導(dǎo)向桿9之間通向后部的端部段10，并在這里與 一未示出的真空管道相連，該真空管道通向一低壓生成裝置。
盡管在圖2中沒有示出，抽吸頭23在中央設(shè)置在通道18的內(nèi)部， 其中，抽吸盒24延伸穿過導(dǎo)熱體19 (圖3)的一中心的通孔28。在 此，抽吸盒24的前端部在軸向方向上向前略微突出于導(dǎo)熱體19的前 端面20。因此通過使抽吸盒24縮短，被吸住的器件3的器件體4可 以與吸頭23接觸并由吸頭拉向?qū)狍w19。由于吸力，器件3與導(dǎo)熱 體19 一起被向后拉動，直到器件3的連接引腳5貼靠到腿形支承條 17上，所述導(dǎo)熱體由于彈簧裝置22在軸向方向上可退讓地和彈性地 支承。
為了將器件3調(diào)溫到一個(gè)確定的例如可以在-60。C和+20(TC之間 的溫度，圖1中所示的柱塞l還具有一流體輸送管29，通過一背側(cè)的 連接接頭30給該流體輸送管供應(yīng)流體。用于所輸送的流體的加熱裝置 或冷卻裝置可位于流體輸送管29的內(nèi)部。對于加熱裝置的情況，適宜 地涉及一螺旋加熱器，流過的流體通過該螺旋加熱器被加熱到希望的 溫度。但是除此以外，也已經(jīng)可以通過連接接頭30供應(yīng)已處于希望的 溫度或在一定程度上被預(yù)先調(diào)溫的流體、特別是已凈化和調(diào)溫的空氣，' 并將其導(dǎo)入流體輸送管29。
流體輸送管29通過其前端部連接到一流體輸送通道31上，該流 體輸送通道穿過基體11。流體輸送通道31與一流體分配腔32 (圖2) 相連，該流體分配腔位于柱塞頭2中。這個(gè)流體分配腔32由一錐形向 后擴(kuò)展的空間組成，基體6的流體輸送通道31通入該空間中。流體分 配腔32構(gòu)成中心的通道18的后部區(qū)段。
如果器件3應(yīng)調(diào)溫，則將相應(yīng)地調(diào)溫的流體通過流體輸送管29 導(dǎo)向中心的通道18，由此導(dǎo)熱體19,皮強(qiáng)烈地沖流，并相應(yīng)地蜂皮調(diào)溫。 流體的一部分也穿過在導(dǎo)熱體19的肋21之間的縫隙和中間空間直接 到達(dá)器件3。因此該器件3通過流體和通過在導(dǎo)熱體21和器件體4之 間的熱傳導(dǎo)快速和強(qiáng)烈地被帶到流體的溫度。
10下面參照圖5到IO說明柱塞頭2，的第二實(shí)施例。 柱塞頭2，具有一個(gè)保持座14，，該保持座與第一實(shí)施形式的保持 座14非常相似地構(gòu)造，但是能夠通過四個(gè)位于長方體形的座區(qū)段15， 的角部區(qū)域中的固定孔33固定在一未示出的保持裝置中，該保持裝置 又固定在與圖1中的導(dǎo)向桿9相似的導(dǎo)向桿上或由導(dǎo)向桿9本身構(gòu)成。 在保持座14，的中心的通道18中裝入一導(dǎo)熱體19，，該導(dǎo)熱體基 本上構(gòu)成為長方體形的，但是也可是其它形狀、特別是圓柱體型。如 圖7中可見，導(dǎo)熱元件19，具有平的前端面20和背側(cè)的肋21。導(dǎo)熱體 19，的一個(gè)中心的、軸向的通孔28也穿過結(jié)合第一實(shí)施例已經(jīng)說明的 抽吸頭23。
導(dǎo)熱體19，以小的側(cè)向距離裝入保持座14，的中心通道18中。
一保持元件34通過螺釘35被擰緊在保持座14，的背側(cè)上，各螺 釘穿透保持座14，的孔36，并且可擰入保持元件34的螺釘孔37。保 持元件34覆蓋保持座14，的中心的通道18。
保持元件34—方面用作用于吸頭23的連接元件，另一方面用于 彈性地保持導(dǎo)熱體19'。保持元件34具有一前部的抽吸接管38，吸頭 23的軟管接頭25可套插在該抽吸接管上。 一條或多條抽吸管39 (圖 7)從抽吸接管38延伸到一后部的抽吸接管40。該抽吸接管40通過 一未示出的抽吸管與一低壓生成裝置相連。
為了彈性地保持導(dǎo)熱體19，，保持元件34具有四個(gè)螺釘孔41，四 個(gè)長形的螺栓42可以檸入后面的螺紋區(qū)段中。螺栓42彼此平行地沿 柱塞l的軸向方向延伸。此外螺栓42穿過軸向通孔43，各所述通孔 位于導(dǎo)熱體19，的角部區(qū)域中并具有明顯比螺栓42大的直徑。螺栓42 在其前端部上具有一螺栓頭44，.該螺栓頭設(shè)置在導(dǎo)熱體19，的前部的 端部區(qū)域中的凹部45中。在此，螺栓體44的高度略小于凹部45的深 度。
特別是如圖10中所示，導(dǎo)熱體19，由壓力彈簧的形式的彈簧46 向前壓迫，各所述彈簧是圍繞螺栓42設(shè)置的并由螺栓42引導(dǎo)。彈簧 46在其后端部上支承在保持元件34上，同時(shí)彈簧在其前端部上支承在導(dǎo)熱體19，的一前部的區(qū)域中。'導(dǎo)熱體19，的向前的移動路程通過螺 栓頭44限定，所述螺栓頭由此起軸向止擋的作用。只要沒有器件3 放置在柱塞頭2，上，如圖10中所示，螺栓頭44的前端側(cè)相對于導(dǎo)熱 體19，的前端側(cè)略微回縮。如果，與此相反， 一個(gè)器件3被放置在吸 頭23上并被其吸住，器件4將導(dǎo)熱體19，壓回，直到器件體4觸碰到 螺栓頭44的前端面上。因此螺栓22起用于器件3的軸向止擋的作用， 其中，該止擋的位置可以通過將螺栓42或多或少獰入螺釘孔41中而 調(diào)整。
如特別是由圖9中可見，柱塞頭2'還具有一軸向延伸的頂出針47， 該頂出針在中心延伸穿過抽吸頭23,并且在后端部上被支承在一頂出 彈簧48上。如過沒有器件3被放置在柱塞頭2，上，則如圖IO中所示， 頂出針47向前略微突出于抽吸頭23。如放置了一器件3，則如圖9 中所示，器件體4克服彈簧48的預(yù)緊力將頂出針47壓回。當(dāng)器件3 應(yīng)在檢測過程結(jié)束之后從柱塞頭2'被移除，并且不再通過抽吸頭23 施加吸力時(shí)，頂出針47通過頂出彈簧48的預(yù)緊力輔助器件3從柱塞 頭2，的抬起。
在圖5至10中示出的實(shí)施形式中，導(dǎo)熱體19，不會或者只略微向 后突出于保持座14，，其中，它在背側(cè)部分地由保持元件34覆蓋。但 是為了確保導(dǎo)熱體19，能夠有效地通過調(diào)溫的流體沖流，保持座14，在 其背側(cè)具有流體導(dǎo)向槽49 (圖6)，所述流體導(dǎo)向槽從中心的通道18 側(cè)向向外延伸到保持座14，的兩個(gè)相對的邊界區(qū)域的附近。由于所述 流體導(dǎo)向槽49使肋21的一部分露出，從而其可以被流體更好的流入 并相應(yīng)地jf皮調(diào)溫，該流體凈皮向保持座14，的背側(cè)引導(dǎo)，并且通過流體 導(dǎo)向槽49被導(dǎo)向?qū)狍w19，。
權(quán)利要求
1.柱塞，該柱塞用于保持和移動電子的器件，特別是用于向與檢測裝置相連的接觸裝置輸送或從該接觸裝置移除IC’s，該柱塞具有一柱塞頭(2、2’)以及一個(gè)導(dǎo)熱體(19、19’)，該柱塞頭具有至少一個(gè)用于吸住所述器件(3)的抽吸頭(23)，所述導(dǎo)熱體能夠通過流體調(diào)溫并設(shè)置成使被吸住的器件(3)貼靠在導(dǎo)熱體(19、19’)上，其特征在于，抽吸頭(23)被引導(dǎo)穿過導(dǎo)熱體(19、19’)。
2. 如權(quán)利要求1所述的柱塞，其特征在于，導(dǎo)熱體(19、 19，) 具有中心的、軸向的通孔(28)，抽吸頭(23)穿過該通孔。
3. 如權(quán)利要求l所述的柱塞，其特征在于，導(dǎo)熱體具有多個(gè)的通 孔(28),各一個(gè)抽吸頭(23)分別穿過各所述通孔。
4. 如權(quán)利要求1到3之一所述的柱塞，其特征在于，柱塞頭(2、 2，)具有支承被吸住的器件(3)的保持座(14、 14，)，該保持座具有 一軸向的通道(18)，導(dǎo)熱體(19、 19，)在該通道中圍繞吸頭(23) 設(shè)置。
5. 如權(quán)利要求4所述的柱塞，其特征在于，導(dǎo)熱體(19、 19，) 相對于保持座(14、 14，)彈性地設(shè)置。
6. 如權(quán)利要求4或5所述的柱塞，其特征在于，導(dǎo)熱體(19、 19，) 可相對于柱塞(1)的縱軸傾斜地設(shè)置。
7. 如權(quán)利要求1到6之一所述的柱塞，其特征在于，導(dǎo)熱體(19、 19，)由一盤形體和突出于該盤形體的肋(21)組成，其中盤形體具有 平的前端面(20),該前端面能與器件(3)接觸，肋(21)向后突出 于該盤形體。
8. 如權(quán)利要求4到7之一所述的柱塞，其特征在于，保持座(14，) 在其背側(cè)上具有流體導(dǎo)向槽(49)，該流體導(dǎo)向槽通入保持座(14，) 的軸向的通道(18)中，以便在背側(cè)有目的地將被向保持座(14，)引 導(dǎo)的流體引導(dǎo)到設(shè)置在軸向的通道(18)中的導(dǎo)熱體(19，)。
9. 如權(quán)利要求5到8之一所述的柱塞，其特征在于，導(dǎo)熱體(19，)通過在軸向方向上延伸的螺栓(42)能移動地被引導(dǎo)，該螺栓在其前 端部上具有螺栓頭(44)，該螺栓頭具有前部的表面和后部的表面，前 部的表面構(gòu)成用于器件(3)的軸向止擋，而后部的表面構(gòu)成用于導(dǎo)熱 體(19，)的軸向止擋。
10. 如權(quán)利要求9所述的柱塞，其特征在于，通過彈簧(46)向 前推壓導(dǎo)熱體(19，)，各所述彈簧繞所述螺栓(42)設(shè)置。
11. 如權(quán)利要求1到3之一所述的柱塞，其特征在于，柱塞頭(2、 2，)具有一保持座(14、 14，)，該保持座構(gòu)成為導(dǎo)熱體。
12. 如權(quán)利要求ll所述的柱塞,其特征在于，保持座(14、 14，) 在其背側(cè)上具有肋，這些肋擴(kuò)大了保持座的表面，并由此改善了從流 體到保持座(14、 14，)的熱傳遞。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種柱塞，該柱塞用于保持和移動電子的器件，特別是用于向與檢測裝置相連的接觸裝置輸送或從該接觸裝置移除IC’s，該柱塞包括一柱塞頭(2)以及一個(gè)導(dǎo)熱體(19)，該柱塞頭具有至少一個(gè)用于吸住所述器件(3)的抽吸頭(23)，該導(dǎo)熱體能夠通過流體調(diào)溫并設(shè)置成使被吸住的器件(3)貼靠在導(dǎo)熱體(19)上，其中，抽吸頭(23)被引導(dǎo)穿過導(dǎo)熱體(19)。
文檔編號G01R31/28GK101680930SQ200880017147
公開日2010年3月24日 申請日期2008年10月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月5日
發(fā)明者E·瓦羅爾, G·耶澤爾 申請人:馬爾帝電子系統(tǒng)有限公司