專利名稱：流量計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)定被測(cè)定流體的流量和流速的流量計(jì)。
背景技術(shù)：
關(guān)于現(xiàn)有的流量計(jì)，在由于異常時(shí)的檢査或維護(hù)等從被測(cè)定流體流過的管道取下流量 計(jì)時(shí)，是在使管道內(nèi)的被測(cè)定流體的流動(dòng)停止并開放其壓力之后再進(jìn)行該檢査或維護(hù)的 (例如，參照專利文獻(xiàn)l)。
進(jìn)一步的，用于現(xiàn)有的流量計(jì)中的流路構(gòu)造體，如圖8所示的，包括與在主流管51 的外周面形成副流路的副流路塊52 —體形成的基座50，在中央部有測(cè)定孔53并密封副流 路塊52的開口部的密封板54，下表面具有插入測(cè)定孔53的流量檢測(cè)元件并與密封板54 重疊的電路基板55，覆蓋副流路塊52的開口部的蓋56。又，密封板54和電路基板55通 過螺釘固定在副流路塊52上。
進(jìn)一步的，如圖9和圖10所示的，流路構(gòu)造體的基座50包括使得從導(dǎo)入孔61流 入的流體上升的平面大致為L字形狀的導(dǎo)入縱溝62，與主流管51平行形成的第一副流路 63和第三副流路65，形成于與主流管51正交的方向的第二副流路64和第四副流路66， 將流體從排出口 68排出到主流管51的排出縱溝67。由于導(dǎo)入縱溝62具有平面L字形狀， 因此雖然流入的流體的一部分在與主流管51的流動(dòng)方向的相反方向流動(dòng)，但是由于塵埃 等的質(zhì)量比期待大，因此難以在相反方向流動(dòng)，塵埃等通過第一副流路63流入排出縱溝 67中。流入的流體的一部分在兩個(gè)第二副流路64中流過，合流之后與檢測(cè)流路即第三流 路65連通。以設(shè)置在位于第三流路65兩側(cè)的分隔壁69上的突部69a相對(duì)的形式形成寬 度狹小的檢測(cè)區(qū)域，通過縮小流路來校正流體流動(dòng)的不均一。檢測(cè)后的流體分支為兩條第 四流路66并與排出縱溝67連通。最后通過排出口68與主流管51流通(例如，參考專利 文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-310767號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:日本特開2006-308518號(hào)公報(bào)例如，接插在工場內(nèi)空氣供給設(shè)備的管道上的現(xiàn)有的流量計(jì)，具有下面的問題，艮卩， 為了異常時(shí)的檢查或維護(hù)等，通過斷流閥等封閉所述管道使得所述管道內(nèi)的被測(cè)定流體的 流動(dòng)停止后從管道上取下流量計(jì)，但每次從管道上取下流量計(jì)時(shí)，都不得不停止空氣供給 設(shè)備的工作。即，專利文獻(xiàn)l的流量計(jì)，在異常發(fā)生時(shí)的檢査或維護(hù)之際，需要停止管道 內(nèi)空氣流動(dòng)并停止設(shè)備的工作。
又，即使是由于異常時(shí)的檢查或維護(hù)等取下流量計(jì)，在啟動(dòng)空氣供給設(shè)備工作的情7兄 下，通過在該流量計(jì)的上游側(cè)和下游側(cè)的管道分別設(shè)置斷流閥，并且設(shè)置在進(jìn)一步關(guān)閉兩 個(gè)斷流閥時(shí)使得空氣流動(dòng)迂回的旁路管道，由此可不停止管道內(nèi)的空氣流動(dòng)，而將流量計(jì) 本體取下。但是，由于需要針對(duì)每個(gè)流量計(jì)在管道上設(shè)置所述斷流閥和旁路流路，因此會(huì) 導(dǎo)致管道的構(gòu)成復(fù)雜且設(shè)置空間大型化的問題。
作為其他的方法，在管道內(nèi)部具有使得管道內(nèi)的被測(cè)定流體分流的流路、將傳感器暴 露在該內(nèi)部流路來進(jìn)行計(jì)測(cè)的流量計(jì)，如果該流量計(jì)的流量計(jì)測(cè)部可從流量計(jì)本體上取 下，則通過在流量計(jì)測(cè)部的上游側(cè)和下游側(cè)的流量計(jì)內(nèi)部流路中，設(shè)置將從管道流向內(nèi)部 流路的被計(jì)測(cè)流體切斷的斷流閥，可在保持空氣供給設(shè)備的工作的前提下取下流量計(jì)測(cè) 部。但是，如此結(jié)構(gòu)的流量計(jì)，由于需要斷流閥和開閉這些斷流閥的機(jī)構(gòu)等，因此不僅增 加了部件數(shù)，而且流量計(jì)整體的尺寸也變大，可設(shè)置的設(shè)備受到限制。
又，在上述專利文獻(xiàn)2所揭示的流量計(jì)中，作為傳感器的流量檢測(cè)元件是暴露的，在 維護(hù)或異常時(shí)從副流路塊取下傳感器部分進(jìn)行調(diào)整之際，會(huì)產(chǎn)生對(duì)傳感器造成刮傷或破損 等問題。而且還存在著這樣的問題在流路小型化而形成的情況下，難以確保對(duì)流體進(jìn)行 充分整流的空間，在流量檢測(cè)流路中流體發(fā)生紊流。又，還難以確保在上游側(cè)設(shè)置使流體 整流效果提高的金屬網(wǎng)的空間，即使能夠配置也難以配置得到充分整流效果的金屬網(wǎng)數(shù)。
本發(fā)明是為了解決上述問題所提出的，其目的在于提供一種能夠以簡單的構(gòu)成實(shí)現(xiàn)小 型化、且不需要上述那樣的斷流閥和旁路流路等，在保持空氣供給設(shè)備工作的情況下，也 能夠進(jìn)行異常時(shí)的檢査和維護(hù)的流量計(jì)。
又，旨在提供一種能保護(hù)傳感器部分、使傳感器不受損地取下流體計(jì)測(cè)部的流量計(jì)。
進(jìn)一步的，其目的還在于提供一種即便流路小型化了也具有能夠發(fā)揮充分的整流效果 的流路構(gòu)造體的流量計(jì)。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明提供一種流量計(jì)，其包括主體部，其具有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路、 <吏被測(cè)定流體從主流路分流的第1分流路；使從第1分流路被分流的被測(cè)定流體向主流路^[通的第2分流路；和設(shè)置于第1和所述第2分流路間的主流路上、對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行節(jié)流的節(jié)流部；分流路構(gòu)造部，其設(shè)置有與第1和所述第2分流路連通并使得被測(cè)定流體流通的流路；流體計(jì)測(cè)部，其具有與設(shè)置于分流路構(gòu)造部的流路面對(duì)面配置的傳感器，且根據(jù)該傳感器所檢測(cè)到的從分流路被導(dǎo)入的被測(cè)定流體的檢測(cè)結(jié)果對(duì)被測(cè)定流體進(jìn)4亍計(jì)測(cè)，分流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于主體部裝卸自如。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，第1分流路和第2分流路具有貫通主流路的小孔的節(jié)流部。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，第1分流路和第2分流路具有在主流路側(cè)開口的小孔的節(jié)流部，和與所述節(jié)流部連通并以比該節(jié)流部口徑大的口徑在分流路構(gòu)造部側(cè)開口的孔部。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，其包括流體計(jì)測(cè)部，具有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器，并根據(jù)傳感器的檢測(cè)結(jié)果計(jì)測(cè)被測(cè)定流體的流量；主體部，形成有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路，并具有使被測(cè)定流體分流的第1分流路和第2分流路；板狀的分流路構(gòu)造部，設(shè)置于主體部和流體計(jì)測(cè)部之間，覆蓋傳感器，并與第1分流路和第2分流路連通；分流路構(gòu)造部和、流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于主體部裝卸自如。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，其包括流體計(jì)測(cè)部，具有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器，并根據(jù)傳感器的檢測(cè)結(jié)果計(jì)測(cè)被測(cè)定流體的流量；主體部，形成有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路，并具有使被測(cè)定流體分流的第1分流路和第2分流路；分流構(gòu)造部，其由設(shè)置于主體部和、流體計(jì)測(cè)部之間的板狀部件構(gòu)成，具有通過第l分流路被分流了的被測(cè)定流體所流入的、形成在主體部側(cè)的面的第l流路；形成在流體計(jì)測(cè)部側(cè)的面的第2流路；連通第l流路和第2流路的第1連通孔部；被測(cè)定流體通過第2分流路向主流路流出的、形成在主體部頓U的面的第3流路；連通第2流路和第3流路的第2連通孔部，傳感器面向所述第2流路設(shè)置，分流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于主體部裝卸自如。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，其具有將主體部側(cè)的面分隔為第1流路和第3流路的分隔部件；第1流路和第3流路具有對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整理的整流子；第2流路具有使被測(cè)定流體的流速向量均一化的向量調(diào)整部件。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，其具有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器，和基于傳感器的檢測(cè)結(jié)果對(duì)被測(cè)定流體的流量進(jìn)行計(jì)測(cè)的流體計(jì)測(cè)部，其特征在于，包括分流路構(gòu)造部，其由設(shè)置在被測(cè)定流體流經(jīng)的主體部和流體計(jì)測(cè)部之間的板狀部件構(gòu)成，具有從主體部被分流了的被測(cè)定流體出入的、形成在主體部側(cè)的面的第1和第3流路；連通主體部側(cè)和流體計(jì)壩[l部側(cè)的第1和第2連通孔部；形成在流體計(jì)測(cè)部側(cè)的面的、并將經(jīng)由第1和第3流路以及第1和第2連通孔部出入的被測(cè)定流體暴露于傳感器的第2流路；分流路構(gòu)造部具有^、隔出被測(cè)定流體流動(dòng)的上游側(cè)的第1流路和下游側(cè)的第3流路的分隔部件；由從主體部、流入的被測(cè)定流體停留的凹部所構(gòu)成的緩沖部；以及設(shè)置在第1和第3流路的、對(duì)從所述緩沖部向第1和第2連通孔部流動(dòng)的被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整理的整流子。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，流經(jīng)主體部的主流路的被測(cè)定流體的流速向量與在第2流路中暴露于傳感器的被測(cè)定流體的流速向量大致正交。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)^整流子是從第1和第2連通孔部的開口部延伸的多個(gè)凸部，所述多個(gè)凸部，其從第1和第2連通孔部起的長度越靠近緩沖部越短，來自緩沖部的被測(cè)定流體的流動(dòng)通過凸部之間導(dǎo)向第1和第2連通孔部。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，分流路構(gòu)造部具有對(duì)金屬網(wǎng)進(jìn)行卡止的金屬網(wǎng)卡止片，所述金
屬網(wǎng)對(duì)在傳感器側(cè)流經(jīng)第2流路的被測(cè)定流體進(jìn)行整流。
根據(jù)本發(fā)明，由于流量計(jì)包括主體部，其具有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路、使被測(cè)定流體從主流路分流的第1分流路；使從第1分流路被分流的被測(cè)定流體向主流路流通的第2分流路；和設(shè)置于第1和所述第2分流路間的主流路上、對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行節(jié)、流
的節(jié)流部；分流路構(gòu)造部，其設(shè)置有與第1和所述第2分流路連通并使得被測(cè)定流體流通的流路；流體計(jì)測(cè)部，其具有與設(shè)置于分流路構(gòu)造部的流路面對(duì)面配置的傳感器，且根據(jù)該傳感器所檢測(cè)到的從分流路被導(dǎo)入的被測(cè)定流體的檢測(cè)結(jié)果對(duì)被測(cè)定流體進(jìn)行計(jì)測(cè)，分流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于主體部裝卸自如。因此通過第1分流路和第2分流路抑制了從主流路流出的被測(cè)定流體的流量，因此可以不停止管道內(nèi)的被測(cè)定流體的流動(dòng)，就將
分流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部從主體部上取下。由此，具有這樣的效果不停止管道內(nèi)的被
測(cè)定流體的流動(dòng)，就能夠容易地進(jìn)行異常時(shí)的檢査或維護(hù)，而且還不需要切斷從管道流出的被測(cè)定流體的斷流閥，可以簡單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)小型化。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于第1分流路和第2分流路具有貫通主流路的小孔的節(jié)流，因此具有這樣的效果從主流路流出的被測(cè)定流體的流量受到小孔的節(jié)流部的抑制，可以
不停止管道內(nèi)被測(cè)定流體的流動(dòng)，就將分流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部從主體部上取下。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于第1分流路和第2分流路具有在主流路側(cè)開口的小孔的節(jié)
流部，和與所述節(jié)流部連通并以比該節(jié)流部口徑大的口徑在分流路構(gòu)造部側(cè)開口的孔部，因此被測(cè)定流體通過孔部向分流路構(gòu)造部側(cè)噴出的力變小，故具有容易從主體部裝卸分、流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部的效果。又，即使在流體計(jì)測(cè)部已安裝于主體部的狀態(tài)下，通過口徑比節(jié)流部的口徑大的孔部，在流體計(jì)測(cè)部側(cè)被分流的被測(cè)定流體的流速下降，因此可緩和流體對(duì)于流體計(jì)測(cè)部的物理性沖擊。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于其包括流體計(jì)測(cè)部，具有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器，并根據(jù)傳感器的檢測(cè)結(jié)果計(jì)測(cè)被測(cè)定流體的流量；主體部，形成有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路，并具有使被測(cè)定流體分流的第1分流路和第2分流路；板狀的分流路構(gòu)造部，設(shè)置于主體部和流體計(jì)測(cè)部之間，覆蓋傳感器，并與第1分流路和第2分流路連通；分流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于主體部裝卸自如，因此即使在流體計(jì)測(cè)部已從主體部取下的情況下，分流部構(gòu)造部對(duì)于傳感器也起到蓋體的作用，能防止傳感器露出造成損傷或破損。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于其包括流體計(jì)測(cè)部，根據(jù)檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器的檢測(cè)結(jié)果計(jì)測(cè)被測(cè)定流體的流量；主體部，形成有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路，并具有使被測(cè)定流體分流的第1分流路和第2分流路；分流構(gòu)造部，其由設(shè)置于主體部和流體計(jì)測(cè)部之間的板狀部件構(gòu)成，具有通過第l分流路被分流了的被測(cè)定流體所流入的、形成在主體部側(cè)的面的第l流路；形成在流體計(jì)測(cè)部側(cè)的面的第2流路；連通第1流路和第2流路的第l連通孔部；被測(cè)定流體通過第2分流路向主流路流出的、形成在主體部側(cè)的面的第3流路；連通第2流路和第3流路的第2連通孔部，傳感器面向所述第2流路設(shè)置，分流路構(gòu)造部和流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于主體部裝卸自如由，因此即使在流體計(jì)測(cè)部已從主體部取下的情況下，分流部構(gòu)造部對(duì)于傳感器也起到蓋體的作用，能防止傳感器露出造成損傷或破損。又，由于設(shè)置了第1流路、第2流路、第3流路、第1連通孔和第2連通孔使得流路折返，被測(cè)定流體的流通流路設(shè)置得較長，因此可以對(duì)被測(cè)定流體進(jìn)行充分整流，能實(shí)現(xiàn)正確的流量測(cè)定，并能進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)流體計(jì)測(cè)部的小型化。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于其具有將分流部構(gòu)造部的主體部的面分隔為所述第1流路和第3流路的分隔部件；和在所述第1流路和所述第3流路對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整理的整理子，因此對(duì)于通過第1流路整流后的被測(cè)定流體流出至第3流路的順流和通過第3流路整流后的被測(cè)定流體流出到第l流路的逆流都可獲得整流效果，能實(shí)施精度良好的被測(cè)定流體的流量測(cè)定。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于設(shè)置第1和第3流路、第1和第2連通孔和第2流路使得流路折返，還進(jìn)一步利用從主體部流入的被測(cè)定流體停留的凹部即緩沖部降低被測(cè)定流體的流速，其后通過整流子對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整理，因此可充分確保被測(cè)定流體流通的流路長度來進(jìn)行整流，能實(shí)現(xiàn)正確的流量測(cè)定，并能進(jìn)一步使流量計(jì)小型化。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于流經(jīng)主體部的主流路的被測(cè)定流體的流速向量與在第2流路中暴露于傳感器的被測(cè)定流體的流速向量大致正交，因此即使是流量計(jì)安裝在垂直管道上等配置主體部使得通過主流路的被測(cè)定流體在重力方向流動(dòng)的情況下，為使與暴露于{專感器的被測(cè)定流體的流速向量平行地設(shè)置于傳感器的上流和下流的電阻的周圍的被測(cè)定流體的溫度分布可以不偏向任何一個(gè)電阻。進(jìn)一步的，可充分確保被測(cè)定流體流通的流路長度。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于整流子是從第1和第2連通孔部的開口部延伸的多個(gè)凸部；所述多個(gè)凸部，其從所述第1和第2連通孔部起的長度越靠近緩沖部越短，因此從緩沖部朝向第1流路或第3流路的流路入口擴(kuò)大，可使通過第1和第3流路的被測(cè)定流體盡量均一化，從而獲得整流效果。
根據(jù)本發(fā)明的流量計(jì)，由于分流路構(gòu)造部具有對(duì)金屬網(wǎng)進(jìn)行卡止的金屬網(wǎng)卡止片，所述金屬網(wǎng)對(duì)在傳感器側(cè)流經(jīng)第2流路的被測(cè)定流體進(jìn)行整流，因此可以在被測(cè)定流體暴露于傳感器之前進(jìn)一步進(jìn)行充分的整^t。


圖1是顯示本發(fā)明的實(shí)施例一的流量計(jì)的結(jié)構(gòu)的圖。，
圖2是顯示以圖1 (b)中的A-A線橫切實(shí)施例一的流量計(jì)1所得到的截面的立體圖。
圖3是顯示圖1中的流體計(jì)測(cè)部及其周邊結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
圖4是顯示本發(fā)明的實(shí)施例一的傳感器結(jié)構(gòu)的圖。
圖5是顯示本發(fā)明的實(shí)施例一的分流路構(gòu)造部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖6是顯示本發(fā)明的實(shí)施例一的分流路構(gòu)造部的被測(cè)定流體的流動(dòng)的圖。
圖7是顯示本發(fā)明的實(shí)施例一的分流路構(gòu)造部的被測(cè)定流體的流動(dòng)的圖。圖8是現(xiàn)有流量計(jì)的分解立體圖。
圖9是現(xiàn)有流量計(jì)的部分截面圖。
圖io是現(xiàn)有流量計(jì)的部分截面圖。
具體實(shí)施例方式
下面，為了對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更加詳細(xì)的說明，根據(jù)說明書附圖對(duì)本發(fā)明的最佳實(shí)施例進(jìn)行說明。
實(shí)施例1
圖1是顯示本發(fā)明的實(shí)施例一的流量計(jì)的結(jié)構(gòu)的圖，圖1 (a)為側(cè)面圖，圖1 (b)為從圖1 (a)中的b方向觀察的箭頭方向視圖，圖l (c)為從圖l (a)中的a方向觀察的箭頭方向視圖。如圖l (a)所示的，根據(jù)實(shí)施例一的流量計(jì)1具有主體部2和流體計(jì)測(cè) 部3。主體部2為安裝在被測(cè)定流體流過的未圖示的管道上的構(gòu)成部件，如圖1 (b)所示， 設(shè)置有被測(cè)定流體流過的主流路7，該流路中形成孔(節(jié)流部)8。又，在主流路7的兩4瑞 設(shè)置有形成有螺紋槽的安裝部7a，例如通過氣密密封部與管道的端部進(jìn)行螺紋結(jié)合，由此 保證氣密封地將其設(shè)置在管道上。
流體計(jì)測(cè)部3容納有執(zhí)行被測(cè)定流體的流量等的計(jì)測(cè)運(yùn)算的微機(jī)等的計(jì)測(cè)處理部，設(shè) 置有用于進(jìn)行該計(jì)測(cè)處理部和外部裝置之間的信號(hào)交換的連接器5的框體與安裝板部3a 形成為一體，并通過容納有圖2中所述的分流路構(gòu)造部的基板3b安裝在主體部2上。流 體計(jì)測(cè)部3至主體部2的安裝，通過使螺絲6與設(shè)置在主體部2上的未圖示的螺紋孔螺紋 結(jié)合來進(jìn)行，流體計(jì)測(cè)部3相對(duì)于主體部2裝卸自如。這樣，由于流體計(jì)測(cè)部3和分流路 構(gòu)造部11相對(duì)于主體部2裝卸自如，因此即使沒有現(xiàn)有技術(shù)中說明的斷流閥或旁路流路， 也可以取下，從而可以在空氣供給設(shè)備保持工作的情況下進(jìn)行異常時(shí)的調(diào)查或維護(hù)。又， 在流體計(jì)測(cè)部3和分流路構(gòu)造部U從主體部2取下的狀態(tài)下，主流路7通過后述的分、流 部(第l分流路)9和分流部(第2分流路)IO與大氣連通。
又，流體計(jì)測(cè)部3中，如圖1 (c)所示安裝有具有顯示部4a和設(shè)定輸入部4b的顯示 設(shè)定部4。顯示部4a顯示從計(jì)測(cè)處理部輸入的被測(cè)定流體的流量等計(jì)測(cè)結(jié)果。設(shè)定輸入部 4b是向計(jì)測(cè)處理部、顯示部4a輸入設(shè)定信息的構(gòu)成部件，例如通過按下設(shè)定按鈕輸入替 換顯示部4a的顯示內(nèi)容的切換設(shè)定信息等。又，在圖1的實(shí)例中，雖然顯示了流體計(jì)泖J 部3具有顯示部4a的情況，但是即使是沒有顯示部的結(jié)構(gòu)也是可以的。
圖2是顯示以圖1 (b)中的A-A線切斷實(shí)施例1的流量計(jì)1所得到的截面的立體圖。 如圖2所示，在基板3b上，其中央部形成有孔部，該孔部上配置有分流路構(gòu)造部11和橡 膠襯墊12，該橡膠襯墊12的斷裂面為橢圓，包圍著該分流路構(gòu)造部ll。分流路構(gòu)造部ll 是在主體部2側(cè)和流體計(jì)測(cè)部3側(cè)兩面形成有流路的板狀部材。在容納有該分流路構(gòu)造部 11的狀態(tài)下，通過使螺釘6與設(shè)置在主體部2上的螺紋孔螺紋結(jié)合，橡膠襯墊12與安裝 板部3a的傳感器15側(cè)的面和主體部2的安裝面相抵接，從而將分流路構(gòu)造部11密封。
又，主體部2中，形成有形成在孔8前后的與主流路7連通的分流部(第l分流路) 9和分流部(第2分流路)10。基于孔8所生成的差壓，被測(cè)定流體經(jīng)由分流部9分流至U 分流路構(gòu)造部11，通過了分流路構(gòu)造部11的被測(cè)定流體經(jīng)由分流部10向主流路7流出。 又，通過分流部9、 10在主體部2和流體計(jì)測(cè)部3之間流入流出的被測(cè)定流體，通過配置 于分流路構(gòu)造部11的過濾部13a、 13b除塵。又，根據(jù)需要，也可以是沒有過濾部13a、13b的結(jié)構(gòu)。
分流部9、 10具有貫通主流路7的小口徑(直徑D)的節(jié)流部9a、 10a，以及與節(jié)流 部9a、 10a連通的且口徑(直徑E)比其要大的孔部％、 10b。從主流路7被分流的被測(cè) 定流體在小口徑的節(jié)流部9a處流速上升，但在比限制部9a 口徑大的孔部9b處流速下降 并被導(dǎo)入分流路構(gòu)造部ll。例如節(jié)流部9a、 10a為Olmm左右，或者在不脫離本發(fā)明主旨 的范圍內(nèi)由口徑比其小的細(xì)孔構(gòu)成，孔部9b、 10b只要是能緩和通過節(jié)流部9a、 10a提高 了的被測(cè)定流體的流速的口徑即可。
這樣，本實(shí)施例l的流量計(jì)l中，通過具有小孔節(jié)流部9a、 10a的分流部9、 10， 4每 被測(cè)定流體從主流路7分流到分流路構(gòu)造部11。 g卩，分流部具有由貫通主流路7的孔形成 的節(jié)流部9a、 10a，和與節(jié)流部9a、 10a連通、并在流體計(jì)測(cè)部3側(cè)以比節(jié)流部9a、 10a 口徑大的口徑開口的孔部9b、 10b，由于通過節(jié)流部9a、 10a和孔部9b、 10b被分流至、流 體計(jì)測(cè)部3側(cè)的被測(cè)定流體的流速下降，因此被測(cè)定流體的噴出力變小，流體計(jì)測(cè)部3可 以容易地從主體部2裝卸。
例如，在工場內(nèi)的空氣供給設(shè)備等中，即便為了異常時(shí)的檢査或維護(hù)而暫時(shí)從主體部 2取下流體計(jì)測(cè)部，由于僅有少量的空氣從微小口徑的節(jié)流部9a、 10a漏出，故沒有必要 停止管道內(nèi)的空氣流動(dòng)。又，如果只是這樣泄漏少量的空氣，那么即使暫時(shí)將流體計(jì)測(cè)部 3從主體部2上取下，由于可快速進(jìn)行安裝，因此也不需要將從主流路7流向分流部9、 IO的被測(cè)定流體切斷的斷流閥，因此不但能以簡易的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，還能實(shí)現(xiàn)小型化。
又，在上述說明中雖然顯示了分流部9、 10具有由節(jié)流部9a、 10a和孔部9b、 10b構(gòu) 成的兩段孔的結(jié)構(gòu)，但是也可以利用在主流路7側(cè)和流體計(jì)測(cè)部3側(cè)開口 口徑相等的連通 孔(以節(jié)流部9a、 10a的口徑從主流路側(cè)7貫通到流體計(jì)測(cè)部3側(cè)的孔)來構(gòu)成分流部9、 10。通過這樣的結(jié)構(gòu)，即使不需要切斷管道內(nèi)的被測(cè)定流體的流動(dòng)的斷流閥也可取下流體 計(jì)測(cè)部，并可以在維持空氣供給設(shè)備工作的狀態(tài)下進(jìn)行異常時(shí)的檢査和維護(hù)。
圖3是顯示圖1中的流體計(jì)測(cè)部和其周邊結(jié)構(gòu)的分解立體圖。如圖3所示，流體計(jì)測(cè)J 部3的主體部2側(cè)的面上設(shè)置有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器15，傳感器15的流體檢測(cè)部面 對(duì)著形成于分流路構(gòu)造部11的流體計(jì)測(cè)部3側(cè)的面的流路。傳感器15的檢測(cè)信號(hào)從導(dǎo)線 (未圖示)等輸出到流體計(jì)測(cè)部3。
分流路構(gòu)造部11在主體部2側(cè)和流體計(jì)測(cè)部3側(cè)的兩面都形成有流路，通過分流部9 從主流路7被分流的被測(cè)定流體從形成在主體部2側(cè)的面的流路流入形成在流體計(jì)測(cè)部3 側(cè)的面的流路，在傳感器15暴露于被測(cè)定流體之后，再次回到形成在主體部2側(cè)的面的流路，并通過分流部10向主流路7流出。分流路構(gòu)造部ll是一種調(diào)節(jié)體，它降低了從主 體部2側(cè)被導(dǎo)入的被測(cè)定流體的流速，同時(shí)對(duì)被測(cè)定流體的偏流、紊流進(jìn)行整流并將其導(dǎo) 至傳感器15。
又，進(jìn)一步的，當(dāng)從主體部2取下了流體計(jì)測(cè)部3時(shí)，該分流路構(gòu)造部11作為覆蓋 傳感器15的蓋體而起作用，因此可防止傳感器15露出并破損。又，分流路構(gòu)造部11伊J 如使用雙面膠或粘接劑等進(jìn)行安裝以使得其不容易從安裝板部3a脫落。這樣，雖然分流 路構(gòu)造部11以及流體計(jì)測(cè)部3可以相對(duì)于主體部2裝卸，但是分流路構(gòu)造部11不會(huì)容易 地從流體計(jì)測(cè)部3脫落。
又，分流路構(gòu)造部ll中除了在主體部2側(cè)的面能裝卸地設(shè)置除塵用的過濾器13a、13b， 也可如圖3所示在流體計(jì)測(cè)部3側(cè)的面上設(shè)置金屬網(wǎng)14。該金屬網(wǎng)14通過配置在形成于 分流路構(gòu)造部11的流體計(jì)測(cè)部3側(cè)的面的流路中的傳感器15的上游側(cè)，可對(duì)導(dǎo)入傳感器 15之前的被測(cè)定流體的偏流或紊流進(jìn)行整流。又，金屬網(wǎng)14雖然以一定間隔多個(gè)設(shè)置， 但是也可考慮被測(cè)定流體的流速等，對(duì)配置的數(shù)量、網(wǎng)格粗細(xì)或者配置間隔進(jìn)行適當(dāng)變更。
下面，對(duì)以使用熱式流量傳感器的流量計(jì)來實(shí)現(xiàn)實(shí)施例1的流量計(jì)1的情況進(jìn)行說明。 該流量計(jì)中，使用熱式流量傳感器來檢測(cè)流體的流速，將流路的截面積與該檢測(cè)到的流速 相乘求得流體的流量。作為傳感器15，例如可以使用專利文獻(xiàn)1所公開的半導(dǎo)體膜片(7 ^ ^ 7 ，厶)構(gòu)成的熱式流量傳感器。 (參考文獻(xiàn)l):專利3096820號(hào)
圖4是顯示實(shí)施例一的傳感器的結(jié)構(gòu)的圖，顯示了參考文獻(xiàn)1所公開的傳感器構(gòu)成及 其原理。又，圖4 (a)顯示了傳感器的立體圖，圖4 (b)是沿著圖4 (a)的箭頭方向切 去的截面圖。圖4所示的傳感器15具有由一邊為1.7mm、厚0. 5mm的硅片等基材構(gòu)成的基 臺(tái)16，基臺(tái)16的上表面周緣部形成有周圍溫度傳感器20和電極墊P廣P6。又，基臺(tái)16 中央的膜片部17上，加熱器18、上游側(cè)溫度傳感器20U、下游側(cè)溫度傳感器20D使用鈾 等電路配線形成薄膜，并由絕緣膜層17a覆蓋。又，白金薄膜對(duì)應(yīng)于溫度其電阻值發(fā)生變 化，作為測(cè)溫電阻使用。
加熱器18配置在基臺(tái)16的中央，相對(duì)于圖4 (a)中箭頭所示的流體的流動(dòng)方向在力口 熱器18的上游側(cè)配置有上游側(cè)溫度傳感器20U，在相反側(cè)的下游側(cè)配置有下游側(cè)溫度傳感 器20D。又，在基臺(tái)16的中央部通過異向性蝕刻等步驟，如圖4 (b)所示除去基材的一 部分形成空腔21 。通過將設(shè)置有貫穿至空腔21的貫通孔19的膜片部17形成在空腔21上， 使得加熱器18、上游側(cè)溫度傳感器20U、下游側(cè)溫度傳感器20D與基臺(tái)16熱隔絕。傳感器15的作動(dòng)原理是利用加熱器18對(duì)被測(cè)定流體進(jìn)行加熱使其產(chǎn)生規(guī)定的溫度
分布，使得比周圍溫度傳感器20所計(jì)測(cè)到的流體溫度高出一定溫度例如幾十。C的溫度通 過上游側(cè)溫度傳感器20U和下游側(cè)溫度傳感器20D計(jì)測(cè)該溫度分布，以計(jì)測(cè)被測(cè)定流體的 流速。
例如，在被測(cè)定流體靜止的情況下，雖然上游側(cè)溫度傳感器20U和下游側(cè)溫度傳感器 20D得到的溫度分布為對(duì)稱的，如果被測(cè)定流體上產(chǎn)生流動(dòng)，則該對(duì)稱性將被打破，與上 游側(cè)溫度傳感器20U相比下游側(cè)溫度傳感器20D所得到的溫度更高。通過利用電橋電路檢 測(cè)該溫度差，可以根據(jù)被測(cè)定流體的熱傳導(dǎo)率等物理性質(zhì)計(jì)算流速。
又，上述的熱式流量傳感器不僅尺寸小，由于其采用熱絕緣的極薄的膜片結(jié)構(gòu)，因此 具有高感度分析、高速應(yīng)答和低消耗功率等特點(diǎn)。例如，即使是被測(cè)定流體為lcm/秒左右 的超低流速，也能被計(jì)測(cè)到。從而，該熱式流量傳感器，適用于通過分流部9的微小口徑 的節(jié)流部9a分流被測(cè)定流體使其在流體計(jì)測(cè)部3內(nèi)為低流速的流量計(jì)1。
又，由于上游側(cè)溫度傳感器20U和下游側(cè)溫度傳感器20D夾住加熱器18呈左右對(duì)稱 地配置，因此不僅可以測(cè)定順流且可測(cè)定逆流。例如，即使被測(cè)定流體以與圖4 (a)中的 箭頭方向相反的方向逆流的時(shí)候，通過使用上述傳感器，也能測(cè)定逆流了的被測(cè)定流體。
下面，對(duì)分流部構(gòu)造部11進(jìn)行詳細(xì)說明。圖5為顯示實(shí)施例1的流量計(jì)的分流路構(gòu) 造部的構(gòu)成的立體圖，圖5 (a)為主體部側(cè)面的結(jié)構(gòu)，圖5 (b)為流體計(jì)測(cè)部側(cè)面的結(jié) 構(gòu)，圖5 (c)顯示分流路構(gòu)造部已安裝于基板時(shí)的結(jié)構(gòu)。又，以下將從分流部9流向分流 路構(gòu)造部11的被測(cè)定流體的流動(dòng)稱為順流，將從分流部10流向分流路構(gòu)造部11的被測(cè) 定流體的流動(dòng)稱為逆流。
分流構(gòu)造部11通過采用樹脂等的起模成形或金屬切削成形等構(gòu)成。圖5 (a)示出的 主體部側(cè)面(第1流路、第3流路)lla,其中央部分設(shè)置有大致S字形的分隔壁(分隔 部件)30，由通過該分隔壁30分隔的上游側(cè)流路(第1流路)31、下游側(cè)流路(第3流 路)32和緩沖用凹部(緩沖部)33、 34構(gòu)成主體部側(cè)面lla。又，在主體部側(cè)面lla的外 周部分形成有與分隔壁30連接設(shè)置的外周壁35，當(dāng)流體計(jì)測(cè)部3已安裝到主體部2的時(shí) 候，外周壁35與主體部2抵接從而將密閉主體部側(cè)面lla密封，防止被測(cè)定流體漏出。
又，在圖5 (a)中下游側(cè)流路32的面積形成為比上游側(cè)流路31的要小。這是因?yàn)楫?dāng) 測(cè)定逆流的被測(cè)定流體時(shí)，雖然被導(dǎo)入的被測(cè)定流體在下游側(cè)流路32被整流后導(dǎo)入到傳 感器15,但是導(dǎo)入下游側(cè)流路32的被測(cè)定流體的量與順流方向的測(cè)定相比要少。又，也 可以構(gòu)成為上游側(cè)流路31的面積和下游側(cè)流路32的面積均等，也可對(duì)上游側(cè)流路31和下游側(cè)流路32的面積進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?br> 在上游側(cè)流路31中形成有長度各異的3根整流片(整流構(gòu)件)31a、 31b、 31c和將豐皮 測(cè)定流體從主體部側(cè)面lla導(dǎo)入流體計(jì)測(cè)部側(cè)面(第2流路)lib的流路彎折孔(第1連 通孔部)31d。整流片31a與外周壁35連接設(shè)置，為了提高緩沖用凹部33的緩沖效果， 整流片31a的高度構(gòu)成為比整流片31b和31c高。又，為了使得被測(cè)定流體能在各整流片 31a、 31b、 31c之間連通，各整流片的長度形成為31a<31b<31c。由于整流片31a的長 度為最短，從緩沖用凹路33開始朝向流路彎折孔31d的流路入口擴(kuò)大，能夠使被測(cè)定、流 體分別在由形成在上游側(cè)流路31的整流片31a、 31b和31c所分隔的3條流路中盡量均一 地流動(dòng)，從而可獲得整流效果。
下游側(cè)流路32也同樣地形成有長度各異的3根整流片(整流構(gòu)件)32a、 32b、 32c和 將被測(cè)定流體從計(jì)測(cè)部側(cè)面llb導(dǎo)入主體部側(cè)面lla的流路彎折孔(第2連通孔部)32d。 整流片32a與外周壁35連接設(shè)置，為了提高緩沖用凹部34的緩沖效果，整流片32a的高 度構(gòu)成為比整流片32b和32c高。又，為了使得被測(cè)定流體能在各整流片32a、 32b、 32c 之間連通，各整流片的長度形成為32a<32b<32c。由于整流片32a的長度為最短，從緩 沖用凹路34開始朝向流路彎折孔32d的流路入口擴(kuò)大，能夠使被測(cè)定流體分別在由形成 在下游側(cè)流路32的整流片32a、 32b和32c所分隔的3條流路中盡量均一地流動(dòng)，從而可 獲得整流效果。雖然流路彎折孔31d、 32d不通過各整流片分隔更能提高被測(cè)定流體的整 流效果，但是也可以如圖5 (a)所示的，在對(duì)順流方向的被測(cè)定流體的流量測(cè)定影響小的 下游側(cè)流路32中，以橫跨流路彎折孔32d的形式形成整流片32b和32c，將流路彎折孔 32d分割為3個(gè)。
從分流部9、 10流入緩沖用凹部33、 34的被測(cè)定流體暫時(shí)滯留在緩沖部用凹部33、 34中(被緩沖)。這樣，由于被測(cè)定流體的流速下降了，過濾部13a、 13b所捕捉到的塵量 增加。即，通過利用緩沖用凹部33、 34降低被測(cè)定流體的流速，與維持被測(cè)定流體的流 速的情況相比，提高了過濾部13a、 13b的防塵效果。
下面，采用圖5 (b)對(duì)流體計(jì)測(cè)部側(cè)面llb的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。在流體計(jì)測(cè)部側(cè)面llb 的兩端形成有如圖5 (a)所示的流路彎折孔31d、 32d。又，在中央部，設(shè)置有卡止金屬 網(wǎng)14的4個(gè)金屬網(wǎng)卡止片36、 2個(gè)壁部(向量調(diào)整部件)37a、 37b和2個(gè)門限片(敷居 片)(向量調(diào)整部件)38a、 38b。在該實(shí)施例1中，由于順流的流體計(jì)測(cè)的計(jì)測(cè)范圍比逆 流的流體計(jì)測(cè)的計(jì)測(cè)范圍大，因此顯示的是為獲得進(jìn)一步的整流效果而設(shè)置金屬網(wǎng)14的 結(jié)構(gòu)。通過將金屬網(wǎng)14插入門限片38a、 38b的流路彎折孔31d側(cè)的端部和4個(gè)金屬網(wǎng)卡止 片36之間，如圖5 (c)所示在傳感器15的上游側(cè)以一定間隔設(shè)置有多片金屬網(wǎng)14。壁 部37a、 37b和門限片38a、 38b將導(dǎo)入傳感器15的被測(cè)定流體的流速向量調(diào)整為均一， 提高整流效果。門限片38a、 38b跨過流路彎折孔32d而形成。
又，在依據(jù)參考文獻(xiàn)2所揭示的內(nèi)容構(gòu)成流量計(jì)的情況下，該實(shí)施例l中涉及的流量 計(jì)1的傳感器15和與該傳感器15相對(duì)的流體計(jì)測(cè)部側(cè)面lib之間的距離為1mm左右?？?通過縮小被測(cè)定流體流過的流路寬度獲得整流效果，從而能精度更好地進(jìn)行流體計(jì)測(cè)。 (參考文獻(xiàn)2):日本特開2007-121036號(hào)公報(bào)
圖6為顯示實(shí)施例1的流量計(jì)的被測(cè)定流體的順流的流動(dòng)的圖。圖6 (a)顯示主體部 側(cè)面的被測(cè)定流體的流動(dòng)，圖6 (b)顯示流體計(jì)測(cè)部側(cè)面的被測(cè)定流體的流動(dòng)。在圖6中， 實(shí)線箭頭顯示流量測(cè)定前的被測(cè)定流體的流動(dòng)，虛線箭頭顯示流量測(cè)定后的被測(cè)定流體的 流動(dòng)。
圖6 (a)的實(shí)線箭頭所示的從分流部9導(dǎo)入緩沖用凹部33的被測(cè)定流體以一定的擴(kuò) 展角度導(dǎo)入到上游側(cè)流路31。由于分隔壁30和整流片31a之間的間隔構(gòu)成為較寬，因此 被測(cè)定流體的流速被抑制，并且被測(cè)定流體以一定的擴(kuò)展角度被導(dǎo)入。導(dǎo)入到上游側(cè)流路 31中的被測(cè)定流體通過分隔壁30改變其流動(dòng)方向，并通過各整流片31a、 31b和31c之間 被整流，同時(shí)其流速向量也漸漸變化。進(jìn)一步的，流動(dòng)的方向在流路彎折孔31d被改變， 被導(dǎo)入流體計(jì)測(cè)部側(cè)面llb。
導(dǎo)入流體計(jì)測(cè)部側(cè)面lib的被測(cè)定流體如圖6 (b)的實(shí)線箭頭所示，被金屬網(wǎng)14整 流之后，通過壁部37a、 37b限定流入的面積，通過門限片38a、 38b使暴露于傳感器15 部分的被測(cè)定流體的流速向量均一化，并通過傳感器15檢測(cè)流速。流入傳感器15的被測(cè) 定流體的流速向量變化為與流經(jīng)主流路7的被測(cè)定流體的流速向量大致正交的方向。
之后，被測(cè)定流體再次通過流路彎折孔32d改變流動(dòng)方向，導(dǎo)入下游側(cè)流路32。被導(dǎo) 入下游側(cè)流路32的被測(cè)定流體如圖6 (a)的虛線箭頭所示，通過各整流片32a、 32b和 32c之間被整流，并經(jīng)過緩沖用凹部34和過濾部13b從分流部10與主流路7的氣體流合 流。
接著，對(duì)測(cè)定逆流方向的被測(cè)定流體的流量的流量計(jì)的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖7是顯示實(shí) 施例1的流量計(jì)的被測(cè)定流體的逆流流動(dòng)的圖。圖7 (a)顯示主體部側(cè)面的被測(cè)定流體的 流動(dòng)，圖7(b)顯示流體計(jì)測(cè)部側(cè)面的被測(cè)定流體的流動(dòng)。'在圖7中，實(shí)線箭頭表示流量 測(cè)定之前被測(cè)定流體的流動(dòng)，虛線箭頭表示流量測(cè)定之后被測(cè)定流體的流動(dòng)。圖7 (a)的實(shí)線箭頭所示的從分流部10導(dǎo)入緩沖用凹部34的被測(cè)定流體以一定的擴(kuò) 展角度被導(dǎo)入下游側(cè)流路32。這是由于分隔壁30和整流片32a之間的間隔構(gòu)成為較寬， 因此被測(cè)定流體的流速得到抑制，并且被測(cè)定流體以一定的擴(kuò)展角度被導(dǎo)入。導(dǎo)入到下游 側(cè)流路32的被測(cè)定流體通過分隔壁30改變其流動(dòng)方向，通過各整流片32a、 32b和32c 之間被整流，同時(shí)其流速向量也漸漸變化。進(jìn)一步的，流動(dòng)的方向在流路彎折孔32d被改 變，被導(dǎo)入流體計(jì)測(cè)部側(cè)面llb。
被導(dǎo)入流體計(jì)測(cè)部側(cè)面lib的被測(cè)定流體如圖7 (b)的實(shí)線箭頭所示，通過壁部37a、 37b和門限片38a、 38b使暴露于傳感器15部分的被測(cè)定流體的流速向量均一化，并通過 傳感器15檢測(cè)流速。流入傳感器15的被測(cè)定流體的流速向量變化為與流經(jīng)主流路7的被 測(cè)定流體的流速向量大致正交的方向。
其后，被測(cè)定流體被金屬網(wǎng)14整流之后，再次通過流路彎折孔31d改變流動(dòng)方向， 被導(dǎo)入上游側(cè)流路31。被導(dǎo)入上游側(cè)流路31的被測(cè)定流體如圖7 (a)的虛線箭頭所示， 通過各整流片31a、 31b和31c之間被整流，并經(jīng)過緩沖用凹部33和過濾部13a從分流部 9與主流路7的氣體流合流。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施例l，設(shè)置有主體部2、分流路構(gòu)造部ll以及流體計(jì)測(cè)部3， 主體部2具有被測(cè)定流體流過的主流路7、使被測(cè)定流體從主流路7分流的分流部9、 {吏 從分流部9被分流的被測(cè)定流體流通到主流路7的分流部10、和設(shè)置在分流部9、 10之間 的主流路7上的對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行節(jié)流(絞3 )的孔'8，分流路構(gòu)造部11設(shè)置有與 分流部9、 10連通并使被測(cè)定流體流通的流路，流體計(jì)測(cè)部3具有與設(shè)置于分流構(gòu)造部11 上的流路面對(duì)面配置的傳感器15，并根據(jù)該傳感器15檢測(cè)到的由分流部9、 IO導(dǎo)入的豐皮 測(cè)定流體的檢測(cè)結(jié)果計(jì)測(cè)被測(cè)定流體。由于分流路構(gòu)造部11和流體計(jì)測(cè)部3相對(duì)于主體 部2裝卸自如，被測(cè)定流體的流通被節(jié)流，即使被測(cè)定流體暫時(shí)有少量從管道漏出，也可 不停止管道內(nèi)被測(cè)定流體的流動(dòng)，將流體計(jì)測(cè)部3從主體部2上取下。這樣，不需要停止 管道內(nèi)被測(cè)定流體的流動(dòng)，就能容易地進(jìn)行異常時(shí)的檢査或維護(hù)，此外，由于不需要切斷 管道內(nèi)的被測(cè)定流體的斷流閥，因此還可以簡單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)小型化。
又，根據(jù)本實(shí)施例1，構(gòu)成為在覆蓋傳感器15的位置設(shè)置分流路構(gòu)造部11，并使從 主體部側(cè)導(dǎo)入的被測(cè)定流體折返并提供給傳感器15，進(jìn)一步的，分流路構(gòu)造部11和流體 計(jì)測(cè)部3能相對(duì)于主體部2裝卸，但是由于分流路構(gòu)造部11構(gòu)成為不容易從流體計(jì)測(cè)部3 脫落，即使在將流體計(jì)測(cè)部3從主體部2取下的情況下，分流路構(gòu)造部11相對(duì)于傳感器 15起到蓋體的作用，可防止傳感器15露出造成刮傷或破損。進(jìn)一步的，根據(jù)該實(shí)施例l，由于在分流路構(gòu)造部ll的主體部側(cè)面lla設(shè)置有多個(gè)整 流片，在從主體部2的分流部9被導(dǎo)入的被測(cè)定流體的流速下降之后，再通過各整流片對(duì) 被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整流，因此可對(duì)穩(wěn)定了的被測(cè)定流體的流量進(jìn)行測(cè)定。又，由于整 流片的長度越靠近緩沖用凹部33、 34越短，因此在從緩沖用凹部朝向第1整流部或者第2 整流部的流路其入口擴(kuò)大，能夠使被測(cè)定流體分別在由多個(gè)整流片分隔的各流路中盡量均 一地流動(dòng)，從而獲得整流效果。
進(jìn)一步的，根據(jù)實(shí)施例1，由于構(gòu)成為在分流路構(gòu)造部'11設(shè)置流路彎折孔31d、 32d 使得流路折返，因此能夠確保對(duì)被測(cè)定流體進(jìn)行充分整流的流路，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)流量測(cè)定部 分的小型化。
進(jìn)一步的，根據(jù)本實(shí)施例l，由于在分流路構(gòu)造部ll設(shè)置主體部側(cè)面lla、流體計(jì)測(cè) 部側(cè)面11b和流路彎折孔31d、 32d，使被測(cè)定流體的流路折返，再通過緩沖用凹部33、 34使被測(cè)定流體的流速下降后，通過整流片對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整理，因此可充分確 保定被測(cè)定流體流通的流路長度來進(jìn)行整流，并可以進(jìn)行正確的流量測(cè)定。且可使流量計(jì) 小型化。
己知的是，在將流量計(jì)安裝于垂直管道等將設(shè)置主體部2配置成流經(jīng)主流路7的被測(cè) 定流體在重力方向流動(dòng)的情況下，如果流經(jīng)主流路7的被測(cè)定流體的流速向量和暴露于傳 感器15的被測(cè)定流體的流速向量相同的話，與暴露于傳感器15的被測(cè)定流體的流速向量 平行地設(shè)置于傳感器的上流和下流的電阻其周圍的被測(cè)定流體的溫度分布偏向于垂直上 方側(cè)的電阻。此時(shí)，特別是低流量或流量為零的時(shí)候，測(cè)定誤差或零點(diǎn)的漂移的產(chǎn)生比較 明顯，但是根據(jù)本實(shí)施例l，由于流經(jīng)主流路7的被測(cè)定流體的流速向量與在流體計(jì)測(cè)部 側(cè)面lib流入傳感器15的被測(cè)定流體的流速向量大致正交，因此可將暴露于傳感器15的 被測(cè)定流體的流速向量構(gòu)成為與重力方向正交，從而與暴露于傳感器15的被測(cè)定流體的 流速向量平行地設(shè)置于傳感器15的上游和下游的電阻其周圍的被測(cè)定流體的溫度分布可 以不偏向任何一方的電阻。并可抑制低流量時(shí)的測(cè)定誤差或流量為零時(shí)的零點(diǎn)的漂移。并 可充分地確保被測(cè)定流體流通的流路長度。
又，根據(jù)本實(shí)施例l,在分流路構(gòu)造部ll的主體部側(cè)面lla的下游側(cè)流路32設(shè)置有 多個(gè)整^1片和流路彎折孔32d，并進(jìn)一步設(shè)置左右對(duì)稱結(jié)構(gòu)的傳感器15，因此可對(duì)從下游 側(cè)流路32朝向傳感器15的被測(cè)定流體的流動(dòng)即逆流的流量進(jìn)行精度良好的測(cè)定。
又，在本實(shí)施例l中，雖然示出的分流路構(gòu)造部ll、橡膠襯墊12和基板3b的孔部形 成為橢圓形，但是不限于橢圓形，只要與導(dǎo)入被測(cè)定流體的主體部2的分流部9、 10的形狀吻合即可。
又，在上述實(shí)施例1中，雖然示出了在流路彎折孔31d附近設(shè)置金屬網(wǎng)14的結(jié)構(gòu)，
也可在流路彎折孔32d的正后方進(jìn)一步設(shè)置金屬網(wǎng)14，通過該金屬網(wǎng)14對(duì)從下游側(cè)流路 32導(dǎo)入的逆流的被測(cè)定流體進(jìn)行整流之后供給傳感器15。 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
如上所述，本發(fā)明所涉及的流量計(jì)，可廣泛適用于需要對(duì)管道內(nèi)進(jìn)行異常時(shí)的檢査或 維護(hù)的設(shè)備等。
權(quán)利要求
1.一種流量計(jì)，其特征在于，其包括主體部，其具有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路、使被測(cè)定流體從所述主流路分流的第1分流路；使從所述第1分流路被分流的被測(cè)定流體向主流路流通的第2分流路；和設(shè)置于所述第1和所述第2分流路間的所述主流路上、對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行節(jié)流的節(jié)流部；分流路構(gòu)造部，其設(shè)置有與所述第1和所述第2分流路連通并使得被測(cè)定流體流通的流路；流體計(jì)測(cè)部，其具有與設(shè)置于所述分流路構(gòu)造部的流路面對(duì)面配置的傳感器，且根據(jù)該傳感器所檢測(cè)到的從所述分流路被導(dǎo)入的被測(cè)定流體的檢測(cè)結(jié)果對(duì)所述被測(cè)定流體進(jìn)行計(jì)測(cè)，所述分流路構(gòu)造部和所述流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于所述主體部裝卸自如。
2. 如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第1和第2分流路具有貫通主流路的小孔的節(jié)流部。
3. 如權(quán)利要求2所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第1分流路和第2分流路具有在所述主流路側(cè)開口的小孔的節(jié)流部，和與所述節(jié)流部連通并以比該節(jié)流部口徑大的口徑在所述分流路構(gòu)造部側(cè)開口的孔部。
4. 一種流量計(jì)，其特征在于，其包括流體計(jì)測(cè)部，具有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器，并根據(jù)所述傳感器的檢測(cè)結(jié)果計(jì)測(cè)被測(cè)定流體的流量；主體部，形成有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路，并具有使被測(cè)定流體分流的第1分流路和第2分流路；板狀的分流路構(gòu)造部，設(shè)置于所述主體部和所述流體計(jì)測(cè)部之間，覆蓋所述傳感器，并與所述第1分流路和所述第2分流路連通；所述分流路構(gòu)造部和所述流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于所述主體部裝卸自如。
5. —種流量計(jì)，其特征在于，其包括流體計(jì)測(cè)部，具有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器，并根據(jù)所述傳感器的檢測(cè)結(jié)果計(jì)測(cè)被測(cè)定流體的流量；主體部，形成有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路，并具有使被測(cè)定流體分流的第1分流路和第2分流路；分流構(gòu)造部，其由設(shè)置于所述主體部和所述流體計(jì)測(cè)部之間的板狀部件構(gòu)成，具有通過所述第1分流路被分流了的被測(cè)定流體所流入的、形成在所述主體部側(cè)的面的第1 、流路；形成在所述流體計(jì)測(cè)部側(cè)的面的第2流路；連通所述第1流路和所述第2流路的第1連通孔部；被測(cè)定流體通過所述第2分流路向所述主流路流出的、形成在所述主體部側(cè)的面的第3流路；連通所述第2流路和所述第3流路的第2連通孔部，所述傳感器面向所述第2流路設(shè)置，所述分流路構(gòu)造部和所述流體計(jì)測(cè)部相對(duì)于所述主體部裝卸自如。
6. 如權(quán)利要求5所述的流量計(jì)，其特征在于，具有將所述主體部側(cè)的面分隔為所述第1流路和第3流路的分隔部件；所述第1流路和所述第3流路具有對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整理的整流子；所述第2流路具有使被測(cè)定流體的流速向量均一化的向量調(diào)整部件。
7. —種流量計(jì)，其具有檢測(cè)被測(cè)定流體的傳感器，和基于所述傳感器的檢測(cè)結(jié)果對(duì)被測(cè)定流體的流量進(jìn)行計(jì)測(cè)的流體計(jì)測(cè)部，其特征在于，包括分流路構(gòu)造部，其由設(shè)置在被測(cè)定流體流經(jīng)的主體部和所述流體計(jì)測(cè)部之間的板狀部件構(gòu)成，具有從所述主體部被分流了的被測(cè)定流體出入的、形成在主體部側(cè)的面的第1和第3流路；連通所述主體部側(cè)和所述流體計(jì)測(cè)部側(cè)的第1和第2連通孔部；形成在所述流體計(jì)測(cè)部側(cè)的面的、并將經(jīng)由所述第1和第3流路以及所述第1和第2連通孔部出入的被測(cè)定流體暴露于所述傳感器的第2流路，所述分流路構(gòu)造部具有分隔出被測(cè)定流體流動(dòng)的上游側(cè)的第1流路和下游側(cè)的第3流路的分隔部件；由從所述主體部流入的被測(cè)定流體停留的凹部所構(gòu)成的緩沖部；以及設(shè)置在所述第1和第3流路的、對(duì)從所述緩沖部向所述第1和第2連通孔部流動(dòng)的牟皮測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行整理的整流子。
8. 如權(quán)利要求7所述的流量計(jì)，其特征在于，流經(jīng)所述主體部的主流路的被測(cè)定、流體的流速向量與在第2流路中暴露于傳感器的被測(cè)定流體的流速向量大致正交。
9. 如權(quán)利要求7所述的流量計(jì)，其特征在于，所述整流子是從所述第1和第2連通孔部的開口部延伸的多個(gè)凸部，所述多個(gè)凸部，其從所述第1和第2連通孔部起的長度越靠近緩沖部越短，來自所述緩沖部的被測(cè)定流體的流動(dòng)通過所述凸部之間導(dǎo)向所述第1和第2連通孔部。
10. 如權(quán)利要求7所述的流量計(jì)，其特征在于，分流路構(gòu)造部具有對(duì)金屬網(wǎng)進(jìn)行卡止的金屬網(wǎng)卡止片，所述金屬網(wǎng)對(duì)在傳感器側(cè)流經(jīng)所述第2流路的被測(cè)定流體進(jìn)行整流。
全文摘要
本發(fā)明提供一種流量計(jì)，其包括主體部(2)，具有被測(cè)定流體流經(jīng)的主流路(7)、使被測(cè)定流體從主流路(7)的分流的分流路(9)、使從分流路(9)被分流的被測(cè)定流體向主流路流通的分流路(10)、和設(shè)置于分流路(9)和分流路(10)間的主流路上的對(duì)被測(cè)定流體的流動(dòng)進(jìn)行節(jié)流的節(jié)流部(9a、10a)；與分流路(9、10)連通并使得被測(cè)定流體流通的流路的分流構(gòu)造部(11)；流體計(jì)測(cè)部(3)，其具有與設(shè)于分流路構(gòu)造部(11)的流路面對(duì)面配置的傳感器(15)，且根據(jù)該傳感器(15)所檢測(cè)到的從分流路(9、10)被導(dǎo)入的被測(cè)定流體的檢測(cè)結(jié)果對(duì)所述被測(cè)定流體進(jìn)行計(jì)測(cè)；分流路構(gòu)造部(11)和流體計(jì)測(cè)部(3)相對(duì)于主體部(2)裝卸自如。
文檔編號(hào)G01F1/00GK101680789SQ20088001795
公開日2010年3月24日 申請(qǐng)日期2008年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月8日
發(fā)明者安西正憲, 村岡學(xué), 松田順一, 瀨尾雅已 申請(qǐng)人:株式會(huì)社山武