專利名稱：用于測試分選機的拾放模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體涉及一種用于測試分選機的拾放模塊。術(shù)語‘拾放模塊’是指由拾放裝置構(gòu)成的單一模塊，其被構(gòu)成為在不同的裝載或?qū)式M件之間轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體器件以及裝載、 對準半導(dǎo)體器件。
背景技術(shù)：
制成的半導(dǎo)體器件會用測試儀測試以便區(qū)分良品、不良品，藉此只讓良品上市銷 售。就此情形而言，有一種叫做‘測試分選機’的自動設(shè)備被用于支持使用測試儀的該測 試過程。這樣的測試分選機包括拾放裝置，其用來在不同的裝載或?qū)式M件例如客戶料盤 (customertray)、測試料盤、校準器、緩沖器及分選臺等之間轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體器件。該拾放裝置 具有至少一個拾放模塊。此外，該拾放模塊包括多個拾取器，彼此排成一列以便用真空壓力來完成吸住及 保持半導(dǎo)體器件或釋放所持有的半導(dǎo)體器件的操作。同時，為了儲存半導(dǎo)體器件，客戶料盤用來裝載半導(dǎo)體器件。為此，最好將客戶料 盤構(gòu)形成能盡可能裝載大量的半導(dǎo)體器件。隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的發(fā)展，使得具有相同功 能的半導(dǎo)體器件的尺寸變得愈來愈小，因而可以增加可載入同一客戶料盤(其面積有限) 的半導(dǎo)體器件數(shù)。例如，假設(shè)在單排中的客戶料盤按慣例可裝載8個半導(dǎo)體器件，如果半導(dǎo) 體器件的尺寸因半導(dǎo)體制程技術(shù)的發(fā)展而變小，則有可能在單排的客戶料盤中裝載10個 或12個半導(dǎo)體器件。就此情形而言，10個或12個一排裝在客戶料盤上的半導(dǎo)體器件之間 的間隔將變得比8個一排裝在客戶料盤上的半導(dǎo)體器件之間的間隔窄。因此，在測試分選機提供客戶料盤時，以及在客戶料盤由一排裝8個半導(dǎo)體器件 改成一排裝10個或12個半導(dǎo)體器件或反之時，設(shè)于測試分選機的拾放模塊中的拾取器之 間的間隔也必須調(diào)整。然而，沒有構(gòu)件可用來調(diào)整拾取器之間的間隔以便實現(xiàn)適用于所有 的客戶料盤，盡管它們在相同面積中可裝載半導(dǎo)體器件的個數(shù)方面彼此不同。因此，在提供 容量不同的客戶料盤時，必須更改對應(yīng)的拾放模塊。此外，只有當(dāng)單一拾放模塊設(shè)有與保持成一排地裝在客戶料盤上的所有半導(dǎo)體器 件所需的數(shù)量對應(yīng)的多個拾取器時，才可減少轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體器件所需要的時間。在客戶料盤 一排裝8個半導(dǎo)體器件換成客戶料盤一排裝10個或12個半導(dǎo)體器件或反之的情形下，必 須增加或減少拾取器的數(shù)量。然而，在常規(guī)拾放模塊中，無法增減拾取器的數(shù)量，因此產(chǎn)生 了必須更換整個拾放模塊的問題。上述問題會造成資源的再使用率降低，導(dǎo)致資源浪費，此外，更換成本增加。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，本發(fā)明旨在提供一種能夠只 更換一部分拾放模塊的技術(shù)，從而可實現(xiàn)適用于具有不同裝載量的所有客戶料盤。根據(jù)本發(fā)明的實施方式，提供一種用于測試分選機的拾放模塊，其包括具有N條真空路徑的主體(其中N為大于1的整數(shù))；以及具有M個拾取器的套件，M個拾取器被設(shè)置成分別對應(yīng)于M個真空路徑部件(其中1 < M < N)，M個真空路徑部件被形成為各自對 應(yīng)于形成于該主體中的N條真空路徑的所有路徑或一些路徑，且M個拾取器使用真空壓力 保持半導(dǎo)體器件或釋放所保持的半導(dǎo)體器件；其中該套件可拆卸地安裝于該主體。此外，優(yōu)選地形成于主體上且未與該M個真空路徑部件對應(yīng)的(N-M)個真空路徑 部件當(dāng)套件安裝到主體時能被套件的上表面封閉。此外，在通過使多個拾放模塊相互耦合來形成拾放模塊時，優(yōu)選地，中間拾放模塊 被形成為使其主體與套件呈“ I ”形，配置于該中間拾放模塊兩側(cè)的多個拾放模塊被形成為 使其主體及套件呈“1 ”形或呈“ ?！毙?。此夕卜，M個拾取器被構(gòu)成為即使在N興M或N = M時最外的拾取器之間的間隔也 彼此相同。根據(jù)本發(fā)明另一實施方式，提供一種用于測試分選機的拾放模塊，其包括主體和 套件，該主體包括使用真空壓力保持半導(dǎo)體器件或釋放所保持的半導(dǎo)體器件的N個拾取 器(其中N為大于1的整數(shù))、以及使N個拾取器中的L個拾取器(其中0<L<N)不同 于其余M個拾取器即(N-L)個拾取器且能夠使該L個拾取器分別定位及安裝的安裝構(gòu)件； 該套件可拆卸地安裝于該主體且被構(gòu)成為能夠調(diào)整該M個拾取器之間的橫向間隔。此外，優(yōu)選地，該M個拾取器之間的橫向間隔用以下方式調(diào)整在N個拾取器上分 別形成各自的橫向間隔調(diào)整突出物，且在該套件中形成有插入各橫向間隔調(diào)整突出物的M 個間隔調(diào)整凹穴。此外，優(yōu)選地，在該N個拾取器上分別形成各自的安裝突出物(mounting protrusion)，使得該N個拾取器被安裝至該安裝構(gòu)件，且該安裝構(gòu)件被構(gòu)成為橫向地形成 有長安裝槽(long mounting groove)以供形成于該M個拾取器上的該等安裝突出物插入 其中，且該安裝槽的至少一末端部被形成為橫向延伸至比該安裝槽的橫向部高的位置以使 該L個拾取器不同于該M個拾取器且能夠分別安裝。此外，該套件包括安裝到該主體的安裝板、以及橫向間隔調(diào)整構(gòu)件，橫向間隔調(diào) 整構(gòu)件與該安裝板成一體且被構(gòu)成為能夠調(diào)整該M個拾取器之間的橫向間隔。此外，優(yōu)選地，該橫向間隔調(diào)整構(gòu)件包括插在該M個拾取器之間的隔墻使得該M個 拾取器以一定的間隔相互隔開。此外，優(yōu)選地，該N個拾取器包括各自的彈性構(gòu)件，彈性構(gòu)件對第一隔墻施加彈力 以使該拾取器與第二隔墻緊密接觸并對齊。此外，優(yōu)選地，在該N個拾取器中形成各自的防垂直移動凹穴以防止拾取器垂直 移動，且在該橫向間隔調(diào)整構(gòu)件中形成有插入各防垂直移動凹穴的防垂直移動突出物。此外，優(yōu)選地，在該安裝構(gòu)件中橫向地形成有貫穿該安裝構(gòu)件的長安裝縫(long mounting slot)，在該N個拾取器上形成各自的接合突出物(engaging protrusion)以防 止拾取器向下移動。此外，優(yōu)選地，該安裝構(gòu)件包括多個區(qū)隔安裝器(distinctionmounter)，該區(qū)隔安 裝器使該L個拾取器不同于該M個拾取器且可分別安裝。根據(jù)本發(fā)明的又一實施方式，提供一種用于測試分選機的拾放模塊，其包括主 體、使用真空壓力保持半導(dǎo)體器件或釋放所保持的半導(dǎo)體器件的N個拾取器(其中N為大于1的整數(shù))、以及套件，套件使該N個拾取器中的L個拾取器(其中0<L<N)不同于其 余M個拾取器即(N-L)個拾取器，且使該L個拾取器能夠分別定位及安裝，并且使該M個拾 取器之間的橫向間隔能夠調(diào)整。此外，優(yōu)選地，該套件包括插在該M個拾取器之間的隔墻以使該M個拾取器以一定 的間隔相互隔開。此外，優(yōu)選地，隔墻包括各自的彈性構(gòu)件，彈性構(gòu)件對第一隔墻施加彈力以使該拾 取器與第二隔墻緊密接觸并對齊。此外，優(yōu)選地，在該N個拾取器中形成各自的防垂直移動凹穴以防止拾取器垂直 移動，且在隔墻中形成有插入各防垂直移動凹穴的防垂直移動突出物。此外，優(yōu)選地，該套件包括多個區(qū)隔安裝器，該區(qū)隔安裝器使該L個拾取器不同于 該M個拾取器且能夠分別安裝。


通過結(jié)合以下附圖的詳細說明可更加明白本發(fā)明以上及其它的目標、特征及優(yōu)
；^^，I.圖1為根據(jù)本發(fā)明第一實施方式的拾放模塊的示意立體圖；圖2為圖1的拾放模塊拆掉一部分時從方向‘A’觀察到的側(cè)面概念圖；圖3為圖1的拾放模塊沿著線I-I剖開并從方向‘B’觀察到的示意剖視圖以顯示 真空壓力的活動路徑；圖4為示出另一套件應(yīng)用于圖1的拾放模塊的主體的實施例的視圖；圖5為示出3個拾放模塊的配置的側(cè)視圖；圖6與圖7為示出根據(jù)本發(fā)明第二實施方式的拾放模塊的示意圖；圖8與圖9為示出另一套件應(yīng)用于圖6及7的拾放模塊的主體的實施例的視圖；圖10為示出根據(jù)本發(fā)明第三實施方式的拾放模塊的示意圖；以及圖11為示出根據(jù)本發(fā)明第四實施方式的拾放模塊的示意圖。
具體實施例方式以下參照附圖詳述本發(fā)明用于測試分選機的拾放模塊(下文稱作‘拾放模塊’)的 優(yōu)選實施方式。為了便于說明，若可能則省略或概述重復(fù)的描述。<第一實施方式>圖1為根據(jù)本發(fā)明第一實施方式的拾放模塊100的示意立體圖，圖2為圖1的拾 放模塊100拆掉一部分時從方向‘A’觀察到的側(cè)面概念圖，以及圖3為示出圖1的拾放模 塊100沿著線I-I剖開并從方向‘B’觀察到的示意剖視圖以顯示真空壓力的活動路徑。請參考圖1，本實施方式的拾放模塊100包括安裝于X-Y機器人(未圖示)的主體 110、以及可拆卸地安裝于主體110的套件120。請參考圖3，被連接以分別對應(yīng)于12條真空線路(未圖示)的12條真空路徑IllA 至IllL為形成于主體110中的管體以呈“1”形(請參考圖2)。請參考圖1，12個連接塊 (connection block) 112A至112L被設(shè)置使得12條真空線路可被連接成分別對應(yīng)于12條 真空路徑IllA至111L。
請參考圖2及圖3，10個真空路徑部件121A至121J垂直地形成于套件120上，該 10個真空路徑部件121A至121J對應(yīng)于12條真空路徑IllA至IllL中的10條真空路徑 IllA至IllE與IllH至111L。10個拾取器122A至122J被設(shè)置成與10個真空路徑部件 121A至121J對應(yīng)并起到使用經(jīng)由真空壓力傳輸路徑(真空線路_連接塊_真空路徑_真 空路徑部件)傳送的真空壓力保持半導(dǎo)體器件或解除所持有的半導(dǎo)體器件的作用。在此， 在使用螺栓V將套件120安裝到主體110時，12條真空路徑IllA至IllL中除與10個真空 路徑部件121A至121J相通的10條真空路徑IllA至IllE與IllH至IllL以外的其余兩 個真空路徑IllF與IllG將被套件120的上表面封閉。 盡管圖1至圖3示出具有10個拾取器122A至122J的套件120，但由此可見，根據(jù) 實施方式具有1至12個拾取器的任何套件均可應(yīng)用于的主體110。例如，圖4示出了總共 有12個拾取器122'的套件120'應(yīng)用于主體110的情形。作為參考，圖5示出了根據(jù)本實施方式配置3個拾放模塊100'、100"及100"‘ 的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。典型的拾放裝置包括一或更多拾放模塊。因此，當(dāng)具有3個拾放模塊 100' ,100"及100"‘的拾放裝置被構(gòu)成時，如圖5所示，如果中間拾放模塊100"的主 體及套件配置成呈“I”形和旁邊的拾放模塊100'或100"‘的主體及套件配置成呈"Π “ 形或“ Γ"形，那么無論連接塊的尺寸如何均可適當(dāng)?shù)嘏渲眠@3個拾放模塊100' ,100"及 100"‘。特別是，在本實施方式中，套件120均由主體110下表面向上接合至各個主體110， 藉此，即使3個拾放模塊100'、100"及100"‘被配置，也可通過只卸下套件來完成套件 的更換。<第二實施方式>圖6為示出根據(jù)本發(fā)明第二實施方式拾放模塊的套件被去除的狀態(tài)的后視圖，圖 7為示出根據(jù)本發(fā)明第二實施方式拾放模塊600的套件620被安裝的狀態(tài)的前視圖。請參考圖6與圖7，根據(jù)本實施方式的拾放模塊600包括主體610和套件620。主體610包括板狀安裝構(gòu)件611和12個拾取器612A至612L。請參考圖6，在安裝構(gòu)件611中橫向地形成有長安裝槽611a。此外，安裝槽611a 的兩末端部被形成以延伸至高于安裝槽611a橫向部的各自位置，因而每個末端部可分別 安置一對拾取器612A、612B與612K、612L。12個安裝突出物612a在安裝構(gòu)件611的向后方向上分別形成于各拾取器612A至 612L上以插入安裝槽611a。因此，當(dāng)這些安裝突出物612a插入安裝槽611a時，拾取器612A 至612L都安裝到安裝構(gòu)件611。此外，如圖6所示，當(dāng)安裝突出物612a都插入安裝槽611a 時，安裝槽611a的兩末端部各插入一對拾取器612A、612B與612K、612L。因此，這兩對拾取 器612A、612B與612K、612L不同于配置于安裝槽611a橫向部的拾取器612C至612J，并分 別處于較高的位置。此外，請參考圖7，12個橫向間隔調(diào)整突出物612b在安裝構(gòu)件611的 向前方向上形成于各拾取器612A至612L上。作為參考，由真空泵(未圖示)提供的真空 線路(未圖示)均直接連接至各拾取器612A至612L。8個橫向間隔調(diào)整突出物612b分別插入其中的8個橫向間隔調(diào)整凹穴621形成在 套件620中以與安裝槽611a的橫向部相通。因此，當(dāng)套件620安裝到安裝構(gòu)件611時，這 8個拾取器612C至612J的橫向間隔能夠調(diào)整及維持。
圖6與圖7示出了在需要使用8個拾取器612C至612J但不需要使用其余4個拾取器612A、612B、612K及612L時應(yīng)用安裝到主體610的套件620的情形。反之，圖8與圖 9為示出了在需要使用10個拾取器612B至612K但不需要使用其余兩個拾取器612A、612L 時應(yīng)用安裝到主體610的套件620'情形的后視圖和前視圖。亦即，根據(jù)本實施方式，通過只更換套件620即可改變拾放模塊600的保持容量。<第三實施方式>圖10為根據(jù)本發(fā)明第三實施方式的拾放模塊800的分解立體圖。請參考圖10，根據(jù)本實施方式的拾放模塊800包括主體810與套件820。主體810包括安裝構(gòu)件811和12個拾取器812A至812L。安裝縫811a橫向地形成在安裝構(gòu)件811中并貫穿安裝構(gòu)件811下半部。劃分安 裝器(division m0unter)811-R與811-L設(shè)置在主體810的兩末端部中使得未使用的拾取 器812A、812B、812K及812L可不同于被使用的拾取器812C至812J并能夠分別安裝到相對 較高的位置。12個接合突出物812a分別形成于各拾取器812A至812L上以防止拾取器812A至 812L向下移動，從而使被安裝成貫穿安裝縫811a的拾取器812A至812L能與接合突出物 812a接合。此外，12個防垂直移動凹穴812b分別形成于各拾取器812A至812L以防止拾 取器812A至812L垂直移動。此外，彈性構(gòu)件812c分別安裝到各拾取器812A至812L。套件820包括板狀安裝板821和橫向間隔調(diào)整構(gòu)件822。安裝板821使用螺栓V接合至主體810。橫向間隔調(diào)整構(gòu)件822與安裝板821為一體或與安裝板821 —體成形，且被設(shè)置 成可調(diào)整8個拾取器812C至812J之間的橫向間隔。插在8個拾取器812C至812J之間使 得這8個拾取器812C至812J能以一定間隔相互隔開的隔墻822a形成于橫向間隔調(diào)整構(gòu) 件822中。插入拾取器812C至812J的防垂直移動凹穴812b中的防垂直移動突出物822b 形成于橫向間隔調(diào)整構(gòu)件822上。在拾取器812C至812J被安裝成通過隔墻822a以一定間隔相互隔開的情形下，彈 性構(gòu)件812c對形成于彈性構(gòu)件812c第一側(cè)的隔墻822a施加彈力，因而能夠使拾取器812C 至812J與形成于彈性構(gòu)件812c第二側(cè)的隔墻822a緊密接觸并對齊。在根據(jù)本實施方式的上述拾放模塊800的情況下，通過只更換套件820即可改變 拾放模塊800的保持容量?！吹谒膶嵤┓绞健祱D11為根據(jù)本發(fā)明第四實施方式的拾放模塊900的分解圖。請參考圖11，根據(jù)本發(fā)明的拾放模塊900包括主體910、12個拾取器920A至920L、 以及套件930。主體910被提供為呈板狀。12個防垂直移動凹穴920a形成于拾取器920A至920L中以防止拾取器920A至 920L垂直移動。套件930用螺栓安裝到主體910且被提供為呈板狀。在套件930上形成隔墻931 使得被使用的8個拾取器920C至920J能以一定的間隔相互隔開。彈性構(gòu)件932安裝于各 隔墻931且被構(gòu)成為可順著一個方向?qū)κ叭∑?20C至920J施加彈力，從而使拾取器920C至920J與第一隔墻931緊密接觸并對齊。此外，插入防垂直移動凹穴920a中的防垂直移動突出物931a形成于隔墻931上，從而可限制拾取器920C至920J的垂直移動。此外，劃 分安裝器933-R與933-L分別設(shè)置在套件930的各末端部使得未使用的其余4個拾取器 920A、920B、920K及920L分成兩組并能夠被安裝。如上所述，根據(jù)本發(fā)明用于測試分選機的拾放模塊通過只更換套件可應(yīng)用于具有 不同裝載量的客戶料盤，由此可增加資源的再使用率，可防止資源浪費，此外，可減少更換 成本。盡管為了說明目的已公開了本發(fā)明優(yōu)選實施方式，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理 解，在不脫離如所附權(quán)利要求書所記載的本發(fā)明精神與范疇的情況下還可做出各種修改、 增添及替換。
權(quán)利要求
一種用于測試分選機的拾放模塊，包括具有N條真空路徑的主體，其中N為大于1的整數(shù)；以及具有M個拾取器的套件，所述M個拾取器被設(shè)置成分別對應(yīng)于M個真空路徑部件，其中1≤M≤N，所述M個真空路徑部件被形成為分別與形成于所述主體中的N條真空路徑的所有路徑或一些路徑對應(yīng)，且所述M個拾取器使用真空壓力保持半導(dǎo)體器件或釋放所保持的半導(dǎo)體器件，其中所述套件可拆卸地安裝到所述主體。
2.如權(quán)利要求1所述的拾放模塊，其中形成于所述主體上未與所述M個真空路徑部件 對應(yīng)的N-M個真空路徑當(dāng)所述套件安裝到所述主體時被所述套件的上表面封閉。
3.如權(quán)利要求1所述的拾放模塊，其中，當(dāng)通過使多個拾放模塊相互耦合來形成拾放 模塊時，中間拾放模塊被形成以使其主體和套件呈“ I ”形，配置于該中間拾放模塊兩側(cè)的多 個拾放模塊被形成以使其主體及套件呈“"1 ”形或呈“ ?！毙?。
4.如權(quán)利要求1所述的拾放模塊，其中所述M個拾取器被構(gòu)成為即使N興M或N= M 時最外的拾取器之間的間隔也彼此相同。
5.一種用于測試分選機的拾放模塊，包括主體，包括使用真空壓力保持半導(dǎo)體器件或釋放所保持的半導(dǎo)體器件的N個拾取器， 其中N為大于1的整數(shù)；以及使所述N個拾取器中的L個拾取器不同于其余的M個拾取器 即N-L個拾取器且能夠使L個拾取器分別定位及安裝的安裝構(gòu)件，其中O < L < N ；以及套件，其可拆卸地安裝到所述主體且被構(gòu)成為能夠調(diào)整所述M個拾取器之間的橫向間隔。
6.如權(quán)利要求5所述的拾放模塊，其中所述M個拾取器之間的橫向間隔用以下方式調(diào) 整在N個拾取器上分別形成各自的橫向間隔調(diào)整突出物，且在所述套件中形成有插入各 橫向間隔調(diào)整突出物的M個間隔調(diào)整凹穴。
7.如權(quán)利要求5所述的拾放模塊，其中在所述N個拾取器上分別形成各自的安裝突出物，使得所述N個拾取器被安裝至所述 安裝構(gòu)件；以及所述安裝構(gòu)件被構(gòu)成為橫向地形成有長安裝槽以供形成于所述M個拾取器上的所述 安裝突出物插入其中，且所述安裝槽的至少一末端部被形成為橫向延伸至比所述安裝槽的 橫向部高的位置以使所述L個拾取器不同于所述M個拾取器且能夠被分別安裝。
8.如權(quán)利要求5所述的拾放模塊，其中所述套件包括安裝到所述主體的安裝板；以及橫向間隔調(diào)整構(gòu)件，其與所述安裝板成一體且被構(gòu)成為能夠調(diào)整所述M個拾取器之間 的橫向間隔。
9.如權(quán)利要求8所述的拾放模塊，其中所述橫向間隔調(diào)整構(gòu)件包括多個插在所述M個 拾取器之間的隔墻以使所述M個拾取器以一定的間隔相互隔開。
10.如權(quán)利要求9所述的拾放模塊，其中所述N個拾取器包括各自的彈性構(gòu)件，所述彈 性構(gòu)件對第一隔墻施加彈力以使所述拾取器與第二隔墻緊密接觸并對齊。
11.如權(quán)利要求8所述的拾放模塊，其中在所述N個拾取器中形成有各自的防垂直移動凹穴以防止所述拾取器垂直移動；以及在所述橫向間隔調(diào)整構(gòu)件中形成有插入各防垂直移動凹穴中的防垂直移動突出物。
12.如權(quán)利要求5所述的拾放模塊，其中在所述安裝構(gòu)件中橫向地形成有貫穿該安裝構(gòu)件的長安裝縫；以及在所述N個拾取器上形成有各自的接合突出物以防止所述拾取器向下移動。
13.如權(quán)利要求5所述的拾放模塊，其中所述安裝構(gòu)件包括區(qū)隔安裝器，所述區(qū)隔安裝 器使所述L個拾取器不同于所述M個拾取器且使所述L個拾取器能夠分別安裝。
14.一種用于測試分選機的拾放模塊，包括主體；使用真空壓力保持半導(dǎo)體器件或釋放所保持的半導(dǎo)體器件的N個拾取器，其中N為大 于1的整數(shù)；以及套件，使所述N個拾取器中的L個拾取器不同于其余的M個拾取器即N-L個拾取器，其 中O < L < N，且使所述L個拾取器能夠分別定位及安裝，并且使所述M個拾取器之間的橫 向間隔能夠調(diào)整。
15.如權(quán)利要求14所述的拾放模塊，其中所述套件包括插在所述M個拾取器之間的隔 墻以使所述M個拾取器以一定的間隔相互隔開。
16.如權(quán)利要求15所述的拾放模塊，其中所述隔墻包括各自的彈性構(gòu)件，所述彈性構(gòu) 件對第一隔墻施加彈力以使所述拾取器與第二隔墻緊密接觸并對齊。
17.如權(quán)利要求15所述的拾放模塊，其中在所述N個拾取器中形成有各自的防垂直移動凹穴以防止所述拾取器垂直移動；以及在所述隔墻中形成有插入各防垂直移動凹穴的防垂直移動突出物。
18.如權(quán)利要求14所述的拾放模塊，其中所述套件包括區(qū)隔安裝器，所述區(qū)隔安裝器 使所述L個拾取器不同于所述M個拾取器且能夠被分別安裝。
全文摘要
一種用于測試分選機的拾放模塊包括主體與套件。該主體有N條真空路徑(其中N為大于1的整數(shù))。該套件有M個拾取器。該M個拾取器被設(shè)置以分別對應(yīng)于M個真空路徑部件(其中1≤M≤N)，該M個真空路徑部件被形成為分別與形成于該主體中的該N條真空路徑的一些路徑或所有路徑對應(yīng)；以及，使用真空壓力來保持數(shù)個半導(dǎo)體器件或釋放持有的半導(dǎo)體器件。該套件可拆卸地安裝于該主體。
文檔編號G01R31/26GK101821639SQ200880111230
公開日2010年9月1日 申請日期2008年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月23日
發(fā)明者呂東鉉, 宋炫 申請人:泰克元有限公司