專利名稱：外觀檢查系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在利用攝像裝置對面板基板等被檢查物的外觀進行攝像，并通過圖像 處理檢查有無缺陷部位時適用的外觀檢查系統(tǒng)。
背景技術：
以往，作為利用攝像部對包括多個液晶顯示用面板的面板基板等被檢查物的外觀 進行攝像，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位(視覺性不良點)的外觀檢查系統(tǒng)，已經公知 由本申請人提出的專利文獻1中公開的基板用自動檢查裝置。該基板用自動檢查裝置(外觀檢查系統(tǒng))具備搬送被檢查基板的搬送部；檢測 所搬送的被檢查基板的視覺性不良點的檢測部；以及根據(jù)來自該檢測部的檢測信息自動地 標記到被檢測基板的視覺性不良點的標記部，其中，具備支撐被檢測基板的下表面的左右 兩側的一對支撐輥機構；與支撐在該支撐輥機構上的被檢測基板的左右的端邊抵接而進行 被檢測基板的左右方向的位置限制的一對限制輥機構；卡合到被檢測基板的前后的端邊而 移送被檢測基板的移送機構；以及具有向所移送的被檢測基板的下表面吹入壓力空氣而限 制被檢測基板向下方彎曲的空氣吹入機構的搬送部，可以實現(xiàn)檢查的高速化并提高產品的 生產性。專利文獻1 日本特開2000-193604號

發(fā)明內容
(本發(fā)明要解決的問題)但是，上述以往的外觀檢查系統(tǒng)(基板用自動檢查裝置)存在下述那樣的應解決 的課題。第一，在來自檢測被檢查基板的視覺性不良點的檢測部的檢測信息中，包括以視 覺性不良點的大小、種類等為首的視覺性不良點的位置信息。從附加設置在搬送機構中的 編碼器等得到該位置信息特別是搬送方向(Y坐標方向)的位置信息，但由于該位置信息成 為所謂間接地檢測被檢查基板的位置而得到的位置信息，所以在得到高精度的位置信息時 存在界限，對于液晶顯示用面板那樣的要求高度的位置精度的被檢查物來說，無法確保充 分的精度。即，在檢查液晶顯示元件用濾色片中的微小著色圖案的缺陷的情況下，通常要求 幾十(Pm)左右的位置精度，所以無法對應于這樣的檢查用途。第二，在要求高度的位置精度的被檢查物中，為了提高檢查精度，在搬送機構中， 要求高精度(高精密)且剛性以及可靠性高的機械部件，搬送機構的成本比率變得相當大。 特別，在如液晶顯示用面板那樣進行著產品的大型化的情況下，搬送機構的成本比率進一 步變大，而無法忽視成本上升。本發(fā)明的目的在于提供一種解決了這樣的背景技術中存在的課題的外觀檢查系 統(tǒng)。(用于解決問題的手段)
本發(fā)明為了解決上述課題，提供一種外觀檢查系統(tǒng)1，利用攝像部V拍攝被檢查物 P的外觀，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位，其特征在于，具備編碼器圖案顯示部2，具 有在被檢查物P上顯示、并且至少顯示與被檢查物P的搬送方向Fy (Y坐標方向)上的Y坐 標位置對應的編碼器圖案的Y坐標圖案部2y ；以及檢查裝置3，具有從在檢測缺陷部位時利 用攝像部V拍攝該編碼器圖案顯示部2而得到的圖案信號Sp中檢測與缺陷部位的位置對 應的至少Y坐標位置的檢測處理部4。在該情況下，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選的方式，可以在被檢查物P中使用包括一個或兩 個以上的平板顯示器Pd...的面板基板Po，并可以在該面板基板Po的空白部位Bp中顯示 編碼器圖案顯示部2。另外，在編碼器圖案顯示部2中，除了 Y坐標圖案部2y以外，還可以 包括顯示與相對Y坐標方向成為垂直的X坐標方向上的X坐標位置對應的編碼器圖案的X 坐標圖案部2x。另一方面，編碼器圖案顯示部2既可以使用能夠通過遞增方式依次檢測的 多個圖案要素2e...，也可以使用能夠通過絕對方式檢測且分別附加了絕對坐標的多個圖 案要素2s...。另外，在攝像部V中，可以使用一個或兩個以上的線傳感器照相機Vc...，特 別，優(yōu)選通過在線傳感器照相機Vc...中使用線(XD而將攝像部V的分辨率設定為5 ( y m) 以上。(發(fā)明效果)根據(jù)具有這樣的結構的本發(fā)明的外觀檢查系統(tǒng)1，起到如下那樣的顯著的效果。(1)由于具備在被檢查物P上顯示的編碼器圖案顯示部2 ；以及具有從在檢測缺 陷部位時利用攝像部V拍攝的編碼器圖案顯示部2的圖案信號Sp中檢測與缺陷部位的位 置對應的至少Y坐標位置的檢測處理部4的檢查裝置3，所以可以從該被檢查物P自身直接 檢測被檢查物P中的缺陷部位的坐標位置。因此，不會受到搬送機構的影響，而可以可靠且 穩(wěn)定地得到高精度的位置信息。(2)在檢查被檢查物P中的缺陷部位的坐標位置時，不會受到搬送機構的影響，所 以在搬送機構中不要求高精度(高精密)且剛性以及可靠性高的機械部件。因此，可以包 括搬送機構的形式選定而實現(xiàn)大幅的成本降低，并且還可以有利于外觀檢查系統(tǒng)1的小型 化、輕量化以及節(jié)能性提高。(3)根據(jù)優(yōu)選的方式，如果在被檢查物P中使用包括一個或兩個以上的顯示器用 平板Pd...的面板基板Po，并在該面板基板Po的空白部位Bp顯示編碼器圖案顯示部2，則 可以與在顯示器用平板Pd...的表面上顯示的黑矩陣圖案等顯示處理一起(同時)顯示 等，可以容易并且低成本地實施。因此，本發(fā)明的外觀檢查系統(tǒng)1適用于這樣的面板基板Po 中。(4)根據(jù)優(yōu)選的方式，如果在編碼器圖案顯示部2中，除了 Y坐標圖案部2y以外， 還包括顯示與相對Y坐標方向成為垂直的X坐標方向中的X坐標位置對應的編碼器圖案的 X坐標圖案部2x，則可以與檢測Y坐標位置的情況同樣地檢測處理以往在攝像部V側進行 的X坐標位置的設定，所以具有如下優(yōu)點對于X坐標，也可以可靠且穩(wěn)定地得到高精度的 位置信息，并且還可以容易且低成本地實施。(5)根據(jù)優(yōu)選的方式，在編碼器圖案顯示部2中，既可以使用能夠通過遞增方式依 次檢測的多個圖案要素2e...，或者也可以使用能夠通過絕對方式檢測的附加了絕對坐標 的多個圖案要素2s...等，可以根據(jù)被檢查物P的大小、形狀(形態(tài))選擇最佳的圖案形態(tài)。
(6)根據(jù)優(yōu)選的方式，如果在攝像部V中，使用一個或兩個以上的線傳感器照相機 Vc...,并且特別通過在線傳感器照相機Vc...中使用線(XD而將攝像部V的分辨率設定為 5(um)以上，則即使在檢查液晶顯示元件用濾色片(液晶顯示用面板)中的微小著色圖案 的缺陷等的情況下，也可以確保充裕的分辨率，所以可以可靠地進行高精度的檢查。


圖1是示出本發(fā)明的最佳實施方式的外觀檢查系統(tǒng)中的主要部分的整體結構圖。圖2是顯示該外觀檢查系統(tǒng)中的編碼器圖案顯示部的面板基板(被檢查物)的俯 視圖。圖3是該外觀檢查系統(tǒng)中的檢查裝置的外觀立體圖。圖4是用于說明該外觀檢查系統(tǒng)的動作(功能)的流程圖。(符號說明)1外觀檢查系統(tǒng)2編碼器圖案顯示部2xX坐標圖案部2yY坐標圖案部2e...圖案要素2s...圖案要素3檢查裝置4檢測處理部P被檢查物Pd...顯示器用平板Po面板基板Bp空白部位V攝像部Vc...線傳感器照相機Fy被檢查物的搬送方向Sp圖案信號
具體實施例方式接下來，舉出本發(fā)明的最佳實施方式，并根據(jù)附圖進行詳細說明。首先，參照圖1 圖3，對本實施方式的外觀檢查系統(tǒng)1的結構進行說明。另外，在 外觀檢查系統(tǒng)1中，包括檢查裝置3、和在成為該檢查裝置3的檢查對象的被檢查物P上顯 示的編碼器圖案顯示部2。最初，參照圖1以及圖2對被檢查物P進行說明。例示的被檢查物P是包括電 視機顯示器中使用的液晶顯示用面板等顯示器用平板Pd...的面板基板Po，由一張玻璃 板構成。該面板基板Po的整體形成為矩形，在面內排列有六個平板Pd...，并且在各平板 Pd...中，顯示黑矩陣圖案。因此，該面板基板Po在通過外觀檢查系統(tǒng)1的檢查之后，被送 到規(guī)定的切削工序中，而從該面板基板Po得到六個單體的平板Pd...。因此，面板基板Po中的除了各平板Pd...的部位成為空白部位(余白部位)Bp，在該空白部位(余白部位)Bp 中，通常顯示產品序號(條形碼)11、各種注意標記12等。另一方面，在該面板基板Po的表面，按照本發(fā)明顯示編碼器圖案顯示部2。在該編 碼器圖案顯示部2中，包括顯示與面板基板Po的搬送方向Fy(Y坐標方向)上的Y坐標位 置對應的編碼器圖案的Y坐標圖案部2y ；和顯示與相對Y坐標方向成為垂直的X坐標方向 上的X坐標位置對應的編碼器圖案的X坐標圖案部2x。另外，圖1僅示出Y坐標圖案部2y 的顯示狀態(tài)，并且圖2示出使用了 Y坐標圖案部2y和X坐標圖案部2x這兩者的顯示狀態(tài)。Y坐標圖案部2y如圖2 (圖1)所示，在俯視觀察時在左側的空白部位Bpp內，沿著 面板基板Po的左邊Pop隔著一定間隔依次顯示各圖案要素2s...。此時，無需在沿著面板 基板Po的左邊Pop的整體上設置Y坐標圖案部2y。S卩，與各平板Pd...的長度對應地顯示 即可，而無需與各平板Pd...之間的間隔相當?shù)目瞻撞课籅ps...中的顯示。因此，可以在 該空白部位Bps...顯示上述的產品序號11、注意標記12等。如在圖2中用抽取圖所示，所 例示的圖案要素2s在X坐標方向上形成長條狀，X坐標方向長度La選定為1 (mm)前后，并 且Y坐標方向的寬度Lb選定為50 (ym)前后，并且，各圖案要素2s...之間的間隔Lc選定 為50(i!m)前后。而且，對各圖案要素2s...分別附加絕對坐標。即，通過在X坐標方向上 分割圖案要素2s而設為多個點d...的連續(xù)體，通過例如用“黑⑴”或“白(0)”來表示各 點d...，附加至少N位的數(shù)值的絕對坐標。因此，可以通過絕對方式檢測Y坐標圖案部2y。另一方面，在相對面板基板Po中的Y坐標方向垂直的方向上設置X坐標圖案部 2x。即，如圖2所示，在俯視觀察時在搬送方向前側的空白部位Bpf內，沿著面板基板Po的 前邊Pof隔著一定間隔依次顯示各圖案要素2e...。此時，X坐標圖案部2x與上述Y坐標 圖案部2y的情況同樣地，無需與各平板Pd...之間的間隔相當?shù)目瞻撞课籅ps...中的顯 示，但在圖2中，示出在該空白部位Bps...中也顯示的例子。如在圖2中用抽取圖所示，例 示的圖案要素2e在Y坐標方向上形成較長的一個條狀，Y坐標方向長度Ld選定為1 (mm) 前后，并且X坐標方向的寬度Le選定為50 (ym)前后，并且，各圖案要素2e...之間的間隔 Lf選定為50 (ym)前后?？梢酝ㄟ^遞增方式依次檢測X坐標圖案部2x，從最初的圖案要素 2e依次計數(shù)而得到位置坐標。在各平板Pd...中顯示的黑矩陣圖案的顯示處理工序中可以一起顯示這樣的X坐 標圖案部2x以及Y坐標圖案部2y。即，由于在面板基板Po的上表面，經由公知的曝光工 序、顯影工序、蝕刻工序等對該黑矩陣圖案進行顯示處理，所以可以與該黑矩陣圖案的顯示 處理一起(同時)進行顯示處理。這樣，編碼器圖案顯示部2可以與平板Pd...中的黑矩 陣圖案等的顯示處理一起進行顯示，所以可以容易且低成本地實施。因此，本發(fā)明的外觀檢 查系統(tǒng)1最適合用于這樣的面板基板Po中。另外，在例示中，在X坐標圖案部2x中使用了可以通過遞增方式依次檢測的多個 圖案要素2e...，在Y坐標圖案部2y中使用了可以通過絕對方式檢測且分別附加了絕對坐 標的多個圖案要素2s...，但也可以在X坐標圖案部2x中使用可以通過絕對方式檢測的附 加了絕對坐標的圖案要素2s...，也可以在Y坐標圖案部2y中使用可以通過遞增方式檢測 的圖案要素2e...。這樣，在X坐標圖案部2x或Y坐標圖案部2y中，可以選擇與被檢查物 P的大小、形狀(形態(tài))對應的最佳的圖案形態(tài)。另一方面，這樣的編碼器圖案顯示部2也 可以如圖1所示僅由Y坐標圖案部2y構成，也可以由X坐標圖案部2x和Y坐標圖案部2y
6這兩者構成。在僅由Y坐標圖案部2y構成的情況下，X坐標的設定使用以往的方法即可。 即，預先搬送與面板基板Po相同形狀的測試基板，并在攝像部V側設定所參照的X坐標即 可。如果在編碼器圖案顯示部2中包括X坐標圖案部2x，則可以與檢測Y坐標位置的情況 同樣地檢測處理以往在攝像部V側進行的X坐標位置的設定，所以具有如下優(yōu)點對于X坐 標，也可以可靠且穩(wěn)定地得到高精度的位置信息，而且還可以容易且低成本地實施。接下來，參照圖1以及圖3對檢查裝置3的結構進行說明。檢查裝置3如圖3所 示，構成為與制造線連接的檢查單元。檢查裝置3具備裝置床21，在該裝置床21的上表面， 配置用于搬送面板基板Po...的搬送機構22。例示的搬送機構22使用依次配置了多個搬 送輥22r...的傳送機構。如上所述，在檢查裝置3中，在對面板基板Po中的缺陷部位的坐 標位置進行檢測時，不會受到搬送機構22的影響，所以在搬送機構22中不要求高精度(高 精密)且剛性以及可靠性高的機械部件。因此，可以包括搬送機構22的形式選定而實現(xiàn)大 幅的成本降低，并且還可以有利于外觀檢查系統(tǒng)1的小型化、輕量化以及節(jié)能性提高。另 外，在圖1中，23表示驅動搬送機構22的搬送驅動部。另一方面，在搬送機構22的前后方向中間位置、且在該搬送機構22的上方，設置 有對由搬送機構22搬送的面板基板Po...的上表面進行攝像的攝像部V。該攝像部V具 備支撐框25 ；和支撐在該支撐框25上，并且在X坐標方向上排列的四臺線傳感器照相機 Vc...。在該情況下，通過在線傳感器照相機Vc...中使用線(XD，將攝像部V的分辨率設定 為5(i!m)以上。由此，特別，即使在檢查液晶顯示元件用濾色片(液晶顯示用面板)中的 微小著色圖案的缺陷等的情況下，也可以確保充裕的分辨率，所以可以可靠地進行高精度 的檢查。另外，在攝像部V的跟前、且搬送機構22的左右兩側，設置有夾具部26p、26p、26q、 26q。各夾具部26p、26p、26q、26q例如具備通過電磁閥等而進退變位的轉動自如的限制輥 26pp、26pp、26qp、26qp，配置于左側的前后一對夾具部26p、26p的限制輥26pp、26pp與面板 基板Po的左邊Pop對置，并且配置于右側的前后一對夾具部26q、26q的限制輥26qp、26qp 與面板基板Po的右邊Poq對置。由此，如果面板基板Po通過搬送機構22被搬送至規(guī)定的 開始位置，則各夾具部26p.、26q.通過使處于后退位置的限制輥26pp.、26qp.前 進變位至規(guī)定的限制位置，可以將面板基板Po的左右方向位置以及相對Y坐標方向的角度 修改為標準的位置以及角度。另一方面，31是控制器?？刂破?1具有計算機功能，通過至少具備處理部32以 及控制部33而執(zhí)行各種運算處理以及各種控制處理(時序控制)，并且另外也可以執(zhí)行一 般的計算機功能中具備的存儲處理、輸入輸出處理等。在該情況下，在處理部32的輸入側， 分別連接了上述線傳感器照相機Vc...。處理部32構成檢測處理部4，該檢測處理部4具 有對利用各線傳感器照相機Vc...攝像而得到的圖像信號進行圖像處理，而檢查有無缺陷 部位的功能，并且特別具有從在檢測缺陷部位時利用攝像部V攝像而得到的編碼器圖案顯 示部2的圖案信號Sp中檢測與缺陷部位的位置對應的X坐標位置以及Y坐標位置的功能。 另外，在控制部33的輸出側連接上述搬送驅動部23以及各夾具部26p、26p、26q、26q?？刂?部33具備管理檢查裝置3中的整體控制的功能。參照圖1 圖3，并且按照圖4所示的流程圖，對本實施方式的外觀檢查系統(tǒng)1的 動作(功能)進行說明。在進行檢查時，利用搬送機構22在搬送方向Fy(Y坐標方向)上以恒定速度搬送通過制造工序制造出的面板基板Po...(步驟SI)。然后，如果面板基板Po被搬送至攝像 部V的跟前處的規(guī)定的開始位置，則被未圖示的檢測開關檢測到，而對各夾具部26p...、 26q...進行驅動控制，從而處于后退位置的各限制輥26pp. . .、26pq...前進變位至規(guī)定的 限制位置。其結果，面板基板Po的左右方向位置以及相對Y坐標方向的角度被修改為標準 的位置以及角度(步驟S2、S3)。另外，該修改既可以在面板基板Po的搬送中進行，也可以 臨時停止面板基板Po來進行。另一方面，各線傳感器照相機Vc...在X坐標方向上進行掃描，利用各線傳感器照 相機Vc...攝像而得到的圖像信號被賦予給處理部32。現(xiàn)在，假設搬送了位置以及角度被 修改后的面板基板Po，并掃描了 X坐標圖案部2x的情況。由此，基于X坐標圖案部2x的圖 案信號Sp (脈沖信號)被提供給處理部32，所以在處理部32中，讀取該圖案信號Sp而作為 該面板基板Po中固有的X坐標，并且對上次設定的X坐標進行改寫設定(步驟S4)。而且，如果搬送面板基板Po，而掃描了 Y坐標圖案部2y中的圖案要素2s，則基于 該圖案要素2s的圖案信號Sp(位信號)被提供給處理部32中，所以處理部32從該圖案信 號Sp中讀取被附加到圖案要素2s上的絕對坐標，而作為面板基板Po中的規(guī)定的Y坐標 (步驟S5)。另外，還與該圖案要素2s的掃描同步地掃描平板Pd的上表面(步驟S6)。掃 描該平板Pd的上表面而得到的圖像信號被提供給處理部32中，通過圖像處理檢查有無缺 陷部位。此時，如果檢測出缺陷部位，此時讀取的Y坐標圖案部2y中的圖案要素2s的Y坐 標成為該缺陷部位的Y坐標位置，而且，根據(jù)與所設定的X坐標的對照而得到的X坐標成為 該缺陷部位的X坐標位置。因此，如果檢測到缺陷部位，則控制器31向存儲器存儲缺陷部 位以及對應的坐標位置而作為缺陷信息(步驟S7、S8)。以下，對一張面板基板Po進行同樣 的掃描處理(步驟S9、S5...)。另一方面，如果一張面板基板Po的檢查結束，則對接下來 的面板基板Po，也從最初、即從X坐標圖案部2x的檢測起同樣地進行(步驟S10、S1...)。因此，由于根據(jù)這樣的本實施方式的外觀檢查系統(tǒng)1具備檢查裝置3，該檢查裝置 3具有在面板基板Po上顯示的編碼器圖案顯示部2和從在檢測缺陷部位時利用攝像部V 攝像的編碼器圖案顯示部2的圖案信號Sp中檢測與缺陷部位的位置對應的至少Y坐標位 置的檢測處理部4，所以可以從面板基板Po自身直接檢測該面板基板Po中的缺陷部位的坐 標位置。因此，不會受到搬送機構22的影響，而可以可靠且穩(wěn)定地得到高精度的位置信息。 另外，在檢測面板基板Po中的缺陷部位的坐標位置時，不會受到搬送機構22的影響，所以 在搬送機構22中不要求高精度(高精密)且剛性以及可靠性高的機械部件。因此，可以包 括搬送機構22的形式選定而實現(xiàn)大幅的成本降低，并且還可以有利于外觀檢查系統(tǒng)1的小 型化、輕量化以及節(jié)能性提高。以上，對最佳的實施方式進行了詳細說明，但本發(fā)明不限于這樣的實施方式，而在 細部的結構、形狀、手法、材料、數(shù)量、數(shù)值等中，可以在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內，任意 地變更、追加、刪除。例如，作為被檢查物P，例示出包括液晶顯示用面板等多個顯示器用平板Pd...的 面板基板Po，但面板基板Po自身也可以是一張平板Pd。另外，本發(fā)明的外觀檢查系統(tǒng)1也 可以同樣地應用于以僅涂敷了黑矩陣圖案的基板、TFT(薄膜晶體管)基板等例示以外的各 種基板類(面板類)為首的顯示器用平板Pd...以外的各種被檢查物P中。另外，由于即使 是TFT基板也在其上載置較厚的絕緣層或在TFT元件上形成濾色片或覆蓋層，所以可以同樣地應用。另一方面，例示出在攝像部V中使用了一個或兩個以上的線傳感器照相機(線 (XD)Vc...的情況，但并不排除包括一般的視頻照相機的(XD、CM0S等成像傳感器。在該情 況下，不僅限于從被檢查物P (玻璃基板)的膜形成面(表面)的攝影，而還可以從背面攝 影而確定表面中的圖案的異物、缺陷。而且，本發(fā)明中的外觀檢查系統(tǒng)1不限于其名稱，而 包括再檢查系統(tǒng)、修改系統(tǒng)等包括同樣的功能的所有系統(tǒng)(裝置)。
權利要求
一種外觀檢查系統(tǒng)，利用攝像部拍攝被檢查物的外觀，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位，其特征在于，具備編碼器圖案顯示部，具有在上述被檢查物上顯示、并且至少顯示與上述被檢查物的搬送方向(Y坐標方向)上的Y坐標位置對應的編碼器圖案的Y坐標圖案部；以及檢查裝置，具有從在檢測缺陷部位時利用上述攝像部拍攝該編碼器圖案顯示部而得到的圖案信號中檢測與上述缺陷部位的位置對應的至少上述Y坐標位置的檢測處理部。
2.根據(jù)權利要求1所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，在上述被檢查物中使用包括一 個或兩個以上的顯示器用平板的面板基板，在該面板基板的空白部位顯示上述編碼器圖案 顯示部。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，在上述編碼器圖案顯示部 中，除了上述Y坐標圖案部以外，還具有顯示與相對上述Y坐標方向成為垂直的X坐標方向 上的X坐標位置對應的編碼器圖案的X坐標圖案部。
4.根據(jù)權利要求1、2或3所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述編碼器圖案顯示部使 用能夠通過遞增方式依次檢測的多個圖案要素。
5.根據(jù)權利要求1、2或3所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述編碼器圖案顯示部使 用能夠通過絕對方式檢測、并且分別附加了絕對坐標的多個圖案要素。
6.根據(jù)權利要求1所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，在上述攝像部中，使用一個或兩 個以上的線傳感器照相機。
7.根據(jù)權利要求6所述的外觀檢查系統(tǒng)，其特征在于，通過在上述線傳感器照相機中 使用線(XD而將上述攝像部的分辨率設定為5 y m以上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種外觀檢查系統(tǒng)，不會受到搬送機構的影響而可靠且穩(wěn)定地得到高精度的位置信息，并且有利于降低成本以及小型化、輕量化以及節(jié)能性提高。該外觀檢查系統(tǒng)(1)利用攝像部(V)拍攝被檢查物(P)的外觀，并通過圖像處理檢查有無缺陷部位，其特征在于，具備編碼器圖案顯示部(2)，具有在被檢查物(P)上顯示、并且至少顯示與被檢查物(P)的搬送方向(Fy)(Y坐標方向)上的Y坐標位置對應的編碼器圖案的Y坐標圖案部(2y)；以及檢查裝置(3)，具有從在檢測缺陷部位時利用攝像部(V)拍攝該編碼器圖案顯示部(2)而得到的圖案信號(Sp)中檢測與缺陷部位的位置對應的至少Y坐標位置的檢測處理部(4)。
文檔編號G01N21/956GK101858873SQ200910134040
公開日2010年10月13日 申請日期2009年4月8日 優(yōu)先權日2009年4月8日
發(fā)明者增田良太, 小田切章, 戶田好實, 長野勝一 申請人:日商鷹野株式會社