專利名稱：顯微定位測試裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及LED晶圓檢測用裝置。特別是與定位測試結構有關，采用一體化緊湊結構，是一種完成微晶片測試定位、探針調整、光電檢測等工作的裝置。
背景技術：
中國專利文獻在1996年5月31日公開了一種名稱為"顯微攝影即時定位測試結構"的發(fā)明專利，專利號為200420088008.x，該專利技術是一種顯微攝影即時定位測試結構，它包含一光特性分析模組，其下方設一分析模組固定座，及相鄰處設CCD(影像感知原件)攝影機，其系含有一顯微鏡頭、鏡頭固定座、CCD焦距微調座、CCD角度固定件，而其下方則設有CCDx-y微調座，及一CCD固定基座，而另一相對應處，設一CCD攝影機光源，并含有一光遠固定座第一件、第二件及第三件，藉此，組裝成整組系統(tǒng)結構，并設于檢測機本體上，可供測試LED、 LCD及其他晶圓之使用。所述的裝置顯微攝影即時定位測試機構該方法造成運動機構行程大，結構不緊湊，定位及探針位置準確調整困難，操作無法達到快速要求，有將其進一步改進的必要。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的，根據(jù)上述現(xiàn)有技術的不足之處，提出一種顯微定位測試裝置，達到操作快捷，人機交互好，提高工作效率的目的。本發(fā)明目的實現(xiàn)由以下技術方案完成
本發(fā)明包括基座l，上方放置一平動組件，平動組件包括動力源20、固定座21、第一滑座22、第二滑座23、滾子滑軌構成24，其中動力源為氣缸，執(zhí)行直線運動，平動組件藉由第一滑座22與基座1相連，動力源20通過固定座21固定，并放置于第一滑座22的頂面，第二滑座23置于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23之間設置滾子滑軌24，第二滑座23端部設置通孔231，在通孔處有缺口232，通孔231內放置CCD攝像機、CCD攝像機由CCD，鏡頭31、光源32。
本發(fā)明的優(yōu)點在于結構緊湊，操作方便，人機交互好，一CCD攝像頭即完成定位監(jiān)視功能。本發(fā)明是放置于檢測機上，供測試LED晶圓檢測用。


解示意圖；圖2系本發(fā)明之組合立體示意圖；圖3系本發(fā)明之第二滑座示意圖。
具體實施例方式
如附圖l、 2、 3示，圖中標號分別表示如下
1-基座、2 0 —動力源、2 l—固定座、2 2—第一滑座、2 3—第二滑座、231--通孔、232--缺口、 2 4--滾子滑軌、30--CCD 、 31--鏡頭、32--光源。
參閱圖l、圖2，本發(fā)明一種顯微定位測試結構，系包含一基座l，其上方相連第一滑座22，動力源20通過固定座21固定，并一同放置于第一滑座22頂面，第二滑座23置于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23間放置滾子滑軌24，第二滑座端部通孔，且通孔231處開缺口232，通孔231內容置由CCD30，鏡頭31，光源32組成的組件，藉此，組裝成整套系統(tǒng)。本發(fā)明一種顯微定位測試結構，主要設于檢測機上，用于檢測機對晶粒的識別定位及點測時監(jiān)視，提高工作效率，簡化系統(tǒng)結構。
雖然以上已經(jīng)參照附圖對按照本發(fā)明目的的構思和實施例作了詳盡說明，但本領域普通技術人員可以認識到，在沒有脫離權利要求限定范圍的前提條件下，仍然可以對本發(fā)明作出各種改進和變換，而這種改進和變換仍然應當屬于本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.顯微定位測試裝置，其特征在于它包括一基座(1)，上方放置一平動組件，平動組件包括動力源(20)、固定座(21)、第一滑座(22)、第二滑座(23)、滾子滑軌構成(24)，平動組件藉由第一滑座(22)與基座(1)相連，動力源(20)通過固定座(21)固定，并放置于第一滑座(22)的頂面，第二滑座(23)置于第一滑座(22)頂面，且第一滑座(22)、第二滑座(23)之間設置滾子滑軌(24)，第二滑座(23)端部設置通孔(231)，在通孔處有缺口(232)，通孔(231)內放置CCD攝像機、CCD攝像機由CCD，鏡頭(31)、光源(32)。
全文摘要
本發(fā)明涉及LED晶圓檢測用裝置。特別是與定位測試結構有關，采用一體化緊湊結構，是一種完成微晶片測試定位、探針調整、光電檢測等工作的裝置。本發(fā)明包括基座1，上方放置一平動組件，平動組件包括動力源20、固定座21、第一滑座22、第二滑座23、滾子滑軌構成24，平動組件藉由第一滑座22與基座1相連，動力源20通過固定座21固定，并放置于第一滑座22的頂面，第二滑座23置于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23之間設置滾子滑軌24，第二滑座23端部設置通孔231，在通孔處有缺口232，通孔231內放置CCD攝像機、CCD攝像機由CCD，鏡頭31、光源32。本發(fā)明的優(yōu)點在于結構緊湊，操作方便，人機交互好，一CCD攝像頭即完成定位監(jiān)視功能。本發(fā)明是放置于檢測機上，供測試LED晶圓檢測用。
文檔編號G01B11/00GK101666624SQ20091030754
公開日2010年3月10日 申請日期2009年9月23日 優(yōu)先權日2009年9月23日
發(fā)明者伊文君, 劉鴻飛, 梁 孫, 孫紅三, 杰 徐, 田建明, 堯 肖, 董占民, 賈偵華, 郭金源 申請人:清華大學;北京中拓機械有限責任公司