專利名稱：光學(xué)電壓傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在利用光來測定電壓的光學(xué)電壓測定裝置中所利用的光學(xué)電壓傳感 器(optical voltage sensor)0
背景技術(shù)：
在變電所或發(fā)電所等的電力設(shè)備或電氣系統(tǒng)的周圍，會產(chǎn)生很大的磁場。因此，有 時由于在這樣的變電所或發(fā)電所等處，受到周圍的磁場所產(chǎn)生的影響，所以不能利用電信 號來正確地測定電壓或電流。與此相對，以往，有使用不受磁場的影響的光信號來測定電壓 或電流的技術(shù)(例如，參照專利文獻1)。使用圖1，對用光來測定電壓的裝置(光學(xué)電壓測定裝置)簡單地進行說明。在 圖1所示的光學(xué)電壓測定裝置2中，通過光源驅(qū)動裝置11的控制將從光源12發(fā)光的光經(jīng) 由光纖13a導(dǎo)光到送光準直器(collimator) 14。送光準直器14使從光纖13a入射的光 作為平行光送光到偏振器15。偏振器15對從送光準直器14入射的光進行直線偏振，相 位差板16對由偏振器15直線偏振后的光進行圓偏振以形成成為基準的光。對電光元件 (electro-optical element) 17，施加作為測定對象的電壓，電光元件17基于由施加電壓 17a產(chǎn)生的電光效應(yīng)，對從相位差板16入射的光進行偏振。檢偏器(analyzer) 18光接收 由電光元件17偏振后的光，受光準直器19使從檢偏器18入射的光作為平行光導(dǎo)光到光纖 13b。檢測器21將經(jīng)由光纖13b檢測的光信號轉(zhuǎn)換為電信號。然后，電壓測定部22根據(jù)由 檢測器21轉(zhuǎn)換后的電信號來對測定對象的電壓進行運算。在此，為了在光學(xué)電壓測定裝置2中進行高精度的測定，需要使偏振器15、相位差 板16、電光元件17以及檢偏器18所輸出的光的偏振狀態(tài)穩(wěn)定。但是，各元件15 18通過 振動而產(chǎn)生光彈性效應(yīng)，該光彈性效應(yīng)成為打亂偏振狀態(tài)的原因。另一方面，在作為光學(xué)電 壓測定裝置2的電壓測定的對象的電力設(shè)備等為高壓設(shè)備時，有時在設(shè)置有光學(xué)電壓測定 裝置2的環(huán)境中會產(chǎn)生大的振動。例如，雖然高壓設(shè)備具備在異常產(chǎn)生時截斷電流的斷路 器，但是因該斷路器的通/斷而產(chǎn)生的振動會超過1000G。在設(shè)置于產(chǎn)生這樣大的振動的條 件下的光學(xué)電壓測定裝置2中，難以使偏振狀態(tài)穩(wěn)定。以往，如圖1所示，公知有通過隔著彈性體在基板25上配置各元件14 19，從而 使彈性體吸收振動而防止元件14 19的振動的防振對策。使用圖2 圖4，對于電光元件17的粘合方法和因振動而產(chǎn)生的問題進行說明。 在此，雖然使用電光元件17的情況進行說明，但是其他元件14 16、18、19也與電光元件 17同樣地粘合于基板25上，會產(chǎn)生同樣的問題。電光元件17如圖2 (a)所示利用彈性體的粘合劑23粘合于基板25上。在未從外 部對基板25給予振動的狀態(tài)下，如圖2(a)所示，電光元件17是相對于基板25平行的狀態(tài)。 另一方面，在對基板25給予振動時，如圖2(b)所示，通過對電光元件17起作用的慣性力， 電光元件17相對于基板25會產(chǎn)生傾斜。在未被給予振動的狀態(tài)時，如圖3 (a)所示，電光元件17成為相對于光軸L垂直的狀態(tài)。在電光元件17成為相對于光軸L垂直的狀態(tài)時，由于出射光能夠通過配備于規(guī)定位置的受光準直器19的開口 19a，所以受光準直器19能夠檢測光。另一方面，由于當從外部給予振動時，會在電光元件17產(chǎn)生傾斜，所以如圖3(b) 所示，會在電光元件17產(chǎn)生角度偏移。即，通過在入射光的光軸Ll和出射光的光軸L2產(chǎn) 生δ的角度偏移，從而出射光不能通過開口 19a，會產(chǎn)生受光準直器19無法檢測光的問題。 這樣，在光未被受光準直器19檢測出的情況中，就不清楚是因作為測定對象的電壓使光偏 振而無法檢測出光、還是因振動在電光元件17等元件產(chǎn)生角度偏移而無法檢測出光，變得 無法進行正確的電壓測定。這樣，因振動而產(chǎn)生的電光元件17的傾斜有粘合劑23的厚度越變厚該傾斜就越 變大的問題。因此，會引起作為防振對策而加以利用的彈性體的粘合劑23反而會使電光元 件17產(chǎn)生角度偏移的問題。圖4(a)與圖3(a)同樣地表示未被給予振動的狀態(tài)。根據(jù)該狀態(tài)，在通過從外部 給予的振動而如圖4(b)所示使電光元件17進行平移運動的情況下，電光元件17能夠相對 于光軸L保持垂直的狀態(tài)。因此，在如圖4(b)所示電光元件17因振動而進行平移運動的 情況中，通過電光元件17的光，通過配備于規(guī)定位置的開口而由后級的元件進行檢測，能 夠在光學(xué)電壓測定裝置2中進行正確的電壓測定。如上所述，在光學(xué)電壓測定裝置2中，具有如下特征，即，雖然在對各元件14 19 給予振動而使光軸偏移產(chǎn)生時會妨礙正確的電壓測定，但在各元件14 19進行平移運動 時會難以受到振動的影響。然而，在利用粘合劑23將各元件14 19粘合于平面狀的基板25上的方法中，難 以預(yù)測因來自外部的振動而使各元件14 19向哪個方向移動，無法對移動方向進行控制。 因此，例如，在防振對策時在基板25上粘合元件14 19時，只能將粘合劑23的厚度抑制 到不因振動而使元件14 19產(chǎn)生傾斜的最低限度的厚度，有不能實現(xiàn)充分的防振對策的 問題。專利文獻1 日本特開2003-14790號公報

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種即使是在產(chǎn)生大振動的條件下也能夠進行精度高 且穩(wěn)定的電壓測定的光學(xué)電壓測定裝置中所利用的光學(xué)電壓傳感器。涉及本發(fā)明特征的光學(xué)電壓傳感器具備偏振光學(xué)系統(tǒng)，與從光源入射的光的光 軸垂直，并且，將所述光軸配置為中心軸，使入射的所述光偏振到預(yù)定的基準狀態(tài)；電光元 件，與所述光軸垂直，并且，將所述光軸配置為中心軸，當被施加測定對象的電壓時，根據(jù)被 施加的所述電壓，使由所述偏振光學(xué)系統(tǒng)偏振后的光發(fā)生偏振；檢偏器，與所述光軸垂直， 并且，將所述光軸配置為中心軸，當入射由所述電光元件偏振后的光時，將其輸出到檢測
器ο發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，即使是在產(chǎn)生大振動的條件下也能夠進行精度高且穩(wěn)定的電壓測定。


圖1是表示一般的光學(xué)電壓計測裝置的構(gòu)成的功能框圖。圖2是表示一般的電光元件的固定例的圖。 圖3是表示入射到被給予了振動的電光元件的入射光的一個例子的圖。圖4是表示入射到被給予了振動的電光元件的入射光的其他例子的圖。圖5是說明本發(fā)明的光學(xué)電壓傳感器和具備該光學(xué)電壓傳感器的光學(xué)電壓計測 裝置的構(gòu)成的圖。圖6是表示電光元件的固定的一個例子的圖。圖7是說明固定電光元件的框為長方體的情況的一個例子的圖。圖8是說明固定電光元件的框為圓筒形的情況的一個例子的圖。圖9是對于由振動引起的光軸的偏移進行說明的圖。圖10是說明變形例的光學(xué)電壓計測裝置的構(gòu)成的圖。附圖標記說明2a，2b…光學(xué)電壓測定裝置1…光學(xué)電壓傳感器1L···光源驅(qū)動裝置12…光源13a, 13b …光纖14…送光準直器15…偏振器(偏振光學(xué)系統(tǒng))16…相位差板(偏振光學(xué)系統(tǒng))17…電光元件I8…檢偏器19…受光準直器19a...開口20a 20c…框21…檢測器22…電壓測定部23…粘合劑
具體實施例方式下面，使用附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的光學(xué)電壓傳感器進行說明。如圖5所示，本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的光學(xué)電壓傳感器1具備作為使入射的光發(fā) 生偏振的偏振光學(xué)系統(tǒng)的偏振器15和相位差板16、根據(jù)施加電壓17a對由偏振器15和相 位差板16偏振后的光的相位進行調(diào)制的電光元件17、以及對透過電光元件17的光進行檢 測的檢偏器18。此外，光學(xué)電壓傳感器1具備兩端開放的圓筒形的框20a 20c。在此，偏 振器15是對從送光準直器14入射的光進行直線偏振的元件。此外，相位差板16是對由偏 振器15直線偏振后的光進行圓偏振以形成成為基準的光的元件。在圖5所示的例子中，光學(xué)電壓傳感器1嵌入于光學(xué)電壓測定裝置2a中。該光學(xué)電壓測定裝置2a具備光源驅(qū)動裝置11、由光源驅(qū)動裝置11驅(qū)動的光源12、將從光源12 發(fā)光的光導(dǎo)光到送光準直器14的光纖13a、使入射的光成為平行光并將其送光到光學(xué)電壓 傳感器1的偏振器15的送光準直器14、光接收透過光學(xué)電壓傳感器1的檢偏器18并通過 開口 19a的光且使其成為平行光的受光準直器19、將從受光準直器19入射的光導(dǎo)光到檢測 器21的光纖13b、對從光纖13b入射的光進行檢測并將其轉(zhuǎn)換為電信號的檢測器21、以及 根據(jù)由檢測器21轉(zhuǎn)換后的電信號來測定施加于電光元件17的電壓的電壓測定部22。
偏振器15是對入射光進行直線偏振的元件，相位差板16是對由偏振器15直線偏 振后的光進行圓偏振的1/4波長板。該偏振器15和相位差板16使從光源12發(fā)光并經(jīng)由 送光準直器14輸入的光偏振為預(yù)定的基準狀態(tài)。偏振器15和相位差板16分別為長方體 元件，利用吸收從外部給予的振動的彈性體的粘合劑而固定于框20a的內(nèi)部空間。此時，偏 振器15和相位差板16與入射的光的光軸L垂直，并且將光軸L配置為中心軸。電光元件17是使用了 BGO(Bil2GeO2O)等的單晶體的電光元件(普克耳斯效應(yīng)元 件)。該電光元件17通過電光效應(yīng)，根據(jù)被施加的測定對象的電壓，對從相位差板16入射 的光的相位進行調(diào)制。即，該電光元件17由于以與被施加的電壓強度相對應(yīng)的橢圓率被進 行橢圓偏振，使光量發(fā)生變化，所以，輸出與被測定電壓相對應(yīng)的光量的光。電光元件17與偏振器15和相位差板16同樣，是長方體，利用吸收從外部給予的 振動的彈性體的粘合劑而固定于框20b的內(nèi)部空間。此外，電光元件17也與入射的光的光 軸L垂直，并且將光軸L配置為中心軸?？梢詫﹄姽庠?7設(shè)置電極，施加測定對象的電 壓，使入射的光發(fā)生偏振，也可以通過在電光元件17的周圍產(chǎn)生的電場，使入射的光發(fā)生 偏振。檢偏器18是對由電光元件17根據(jù)被測定電壓使光量變化的光進行檢測的元件。 檢偏器18也與其他元件15 17同樣，是長方體，利用吸收從外部給予的振動的彈性體的 粘合劑而固定于框20c的內(nèi)部空間。此外，檢偏器18也與入射的光的光軸L垂直，并且將 光軸L配置為中心軸。在圖5所示的例子中，送光準直器14和受光準直器19均為圓筒形，該送光準直器 14、受光準直器19和各框20a 20c的直徑相同。此外，雖然在圖5所示的例子中，送光準 直器14、框20a 20c和受光準直器19在各自獨立的狀態(tài)下進行配置，但是送光準直器14、 各框20a 20c和受光準直器19是以各自的中心軸為基準，固定為一個筒型的。另外，光學(xué)電壓測定裝置2a的電壓測定部22能夠通過將檢測器21所檢測的光的 光量與由光源12發(fā)光的光的光量進行比較，從而求出電光元件17中的根據(jù)被測定電壓的 光量的損失，測定施加于電光元件17的電壓。S卩，電壓測定部22能夠?qū)墓庠?2發(fā)光的 光量、以及由偏振器15和相位差板16偏振后的光的狀態(tài)作為基準，根據(jù)檢測器21所檢測 的光量，求出施加于電光元件17的電壓。接下來，使用圖6對利用粘合劑23將電光元件17粘合于框20b的方法進行說明。 圖6是將粘合了電光元件17的框20b沿電光元件17的中心軸切斷的橫剖視圖。在使用圖 2進行如上描述的元件的粘合方法中，是粘合于平面形的基板25上。與此相對，在本發(fā)明的 光學(xué)電壓傳感器1中，是將各個元件15 18粘合于使用圖5進行如上描述那樣的圓筒形 的框20a 20c中所形成的內(nèi)部空間中。此時，在各元件15 18與框20a 20c之間填 充吸收振動的彈性體的粘合劑23，使各元件15 18的中心軸與各框20a 20c的中心軸一致。在光學(xué)電壓傳感器1中各元件15 18所粘合的框20a 20c的形狀，即使是圓筒形以外的形狀，也能夠防止振動，但是在是圓筒形的情況下，防振效果最高。對于該理由， 將使用圖7和圖8進行說明。圖7是假設(shè)使框20b為長方體的筒型的情況的一個例子，圖7 (a)表示粘合電光元 件17之前的狀態(tài)，圖7(b)表示在內(nèi)部粘合了電光元件17之后的狀態(tài)。如圖7(a)所示，在框20b的內(nèi)側(cè)，形成有配置電光元件17的空間，在該框20b的 內(nèi)部配置有電光元件17，通過粘合劑23進行粘合。在圖7(b)所示的例子中，電光元件17 固定于固定框24，該固定框24與框20b粘合，但是將電光元件17直接粘合于框20b，也是 同樣的。在此，電光元件17的中心軸與框20b的中心軸是一致的，在下面將該中心軸記作 中心軸C。如果像這樣利用彈性體的粘合劑23對框20b與電光元件17 (在圖7的例子中，為 固定框24)之間進行填充，則周圍的粘合劑23會吸收從外部給予的振動，能夠防止電光元 件17的傾斜，能夠防止角度偏移。特別是，在以中心軸C為基準引對角線至框20b時，如圖 7 (b)所示的框20b那樣，在距中心軸C的框20b上的各點都成為線對稱時，從外部給予的振 動被粘合劑23均勻地吸收，難以引起使電光元件17產(chǎn)生傾斜的旋轉(zhuǎn)運動，能夠提高利用圖 3(b)如上所述那樣的角度偏移的防止效果。但是，在粘合電光元件17和框20b時，即使在電光元件17與框20b之間均勻地填 充粘合劑23，也例如會產(chǎn)生氣泡的混入或固化狀態(tài)的不均勻。因此，將電光元件17粘合于 框20b的粘合劑23的硬度在各位置處不均勻。當像這樣地粘合劑23的硬度變得不均勻時， 例如如圖7(b)所示，通過軟的部分23a和硬的部分23b來構(gòu)成。此外，在框20b的形狀為 長方體時，如圖7(b)所示，其剖面為四角形。在像這樣框20b的剖面為四角形時，框20b的 各邊的中點距離中心軸C近，框20b的各頂點距離中心軸C最遠，從框20b的各邊上的點到 中心軸C的距離不同。如上所述，當在粘合劑23中分布存在軟的部分23a和硬的部分23b、而且從中心 軸C到框20b上的各點的距離不同的情況下，從外部給予的振動不會被粘合劑23均勻地吸 收。因此，使用了多角形的框20b的情況下容易引起電光元件17等部件的旋轉(zhuǎn)運動，容易 產(chǎn)生角度偏移。另一方面，在使從中心軸C到框20b上的各點的距離相等的情況下，即使在粘合劑 23中分布有軟的部分23a和硬的部分23b，約束旋轉(zhuǎn)運動的力也在軸的兩側(cè)大致均等地分 布。因此，能夠防止電光元件17等部件的旋轉(zhuǎn)運動、即角度偏移的產(chǎn)生。因此，如圖5所示， 在光學(xué)電壓傳感器1中，最優(yōu)選利用圓筒形的框20a 20c。具體地說，利用如圖8(a)所示的圓筒形的框20b。在該框20b的內(nèi)側(cè)，如圖8(b) 所示，粘合對電光元件17進行固定的固定框24。通過這樣利用圓筒形的框20b從而能夠使 從中心軸C到框20b上的各點的距離相等。另外，中心軸C配置成與光軸L相一致。只要能夠?qū)㈦姽庠?7形成為圓柱形，就能夠不使用固定框24而利用粘合劑23 將電光元件17直接粘合于框20b。但是，實際的電光元件17多是容易制造成長方體。此 夕卜，電光元件17等部件實際上也有時僅以長方體進行制品提供。因此，如上所述，在將長方 體的電光元件17固定于圓筒形的固定框24之后，利用粘合劑23將該固定框24粘合于框20b。另外，對于將電光元件17粘合于固定框24的方法，只要電光元件17能夠不動地固定于固定框24，其方法就為何均可。只要偏振器15、相位差板16和檢偏器18均同樣地為圓柱形，就可不使用固定框而 利用粘合劑23直接粘合于框20a、20c。另一方面，在不能獲得圓柱形的元件15、16、18的情 況中，將長方體的元件15、16、18分別固定于圓筒形的固定框并粘合于框20a、20c。接下來，使用圖9，對圖8所示的利用粘合劑23固定于框20b的電光元件17與振 動的方向的關(guān)系進行說明。在圖9中，省略圖8所示的固定框24進行說明。電光元件17在 利用粘合劑23粘合于框20b時，光軸L與電光元件17和框20b的中心軸C均一致，并且， 是相對于該中心軸C呈線對稱的構(gòu)造。在沒有振動的情況中，如圖9(a)所示，光軸L相對于電光元件17垂直，與電光元 件17的中心軸C相一致。在如圖9(a)所示進行粘合的狀態(tài)下，在光軸方向的振動加入的情況下，如圖9(b) 所示，電光元件17不會發(fā)生傾斜而是相對于光軸L在水平方向上進行移動。因此，即使在 光軸方向加入了振動，電光元件17也只是進行平移運動，因此光軸L相對于電光元件17垂 直，與電光元件17的中心軸C相一致。另一方面，在與光軸L正交的方向加入了振動情況中，如圖9 (C)所示，有時在電光 元件17中會產(chǎn)生傾斜。在這種情況下，光相對于電光元件17傾斜地入射，入射光的光軸Ll 與出射光的光軸L2不一致，此外，光軸L1、L2與電光元件17的中心軸C不一致。因此，在設(shè)置具備光學(xué)電壓傳感器1的光學(xué)電壓測定裝置時，需要相對于這樣的 預(yù)先把握的成為振動源的位置，進行配置，以便從與光軸方向相同的方向?qū)Ω髟?4 19 進行作用。接著，對粘合各元件15 18的情況的粘合劑23的理想的厚度進行說明。在光學(xué) 電壓傳感器1中，在使用彈性體的粘合劑23的情況下，有使用圖2(b)如上所述地電光元件 17發(fā)生振動而使角度偏移增大的問題，因此，彈性體的厚度抑制到必要最低限度。但是，如 使用圖7和8如上所述的那樣，在本發(fā)明的光學(xué)電壓傳感器1中，使光軸L與中心軸C 一致， 在做成將電光元件17粘合于相對于該中心軸C呈線對稱的框20b內(nèi)的構(gòu)造的情況下，使作 為彈性體的粘合劑23的厚度變厚更能抑制角度偏移。在具備光學(xué)電壓傳感器1的光學(xué)電壓測定裝置的測定對象的電力設(shè)備中，有時設(shè) 置有用于瞬時截斷事故時的高壓大電流的斷路器。該斷路器由于不能當高速動作時截斷電 流，所以斷路器所產(chǎn)生的振動大，有時最大還會到達1000G。因此，在電力設(shè)備的電壓測定中 使用的光學(xué)電壓傳感器1即使在1000G的振動條件下也需要能正確地進行測定。為了抑制 該1000G的振動所需的粘合劑23的厚度，如通過式1所求出的那樣，最低需要0. 5mm的厚 度。即，需要粘合劑23的厚度為0. 5mm以上，是根據(jù)由振動引起的振幅為0. 5mm左右而決 定的。在式(1)中，設(shè)D為振動的位移，設(shè)G為振動加速度[G]，設(shè)F為振動頻率[Hz]。D = G. 500/F2…(1)作為振動頻率，為IkHz左右，因此，加入1000G的振動時的振動振幅變?yōu)?. 5mm。 為了吸收該振動，在通常的橡膠等粘合劑23中需要振幅以上的厚度，因此，優(yōu)選使粘合劑 23的厚度為0. 5mm以上。當該粘合劑23的厚度薄時，因失去彈性而無法吸收振動，此外，當失去彈性的定時在中心軸的左右離散時，就成為了角度偏移的原因。因此，為了防止角度偏移，也需要充 分確保粘合劑23的厚度。如上所述，本發(fā)明的光學(xué)電壓傳感器1利用彈性體的粘合劑23將各元件15 18 粘合于形成在框20a 20c的內(nèi)側(cè)的空間中。因此，在上述的光學(xué)電壓傳感器1中，粘合劑 23吸收從外部給予的振動，能夠防止振動的影響。另外，在上述的說明中，將各元件15 18配置于各個框20a 20c內(nèi)，然后，將該多個框20a 20c固定于一個筒型，但是即使以 在一個筒形狀的框中配置全部元件15 18的方式構(gòu)成也能獲得相同的效果。此外，在上述的光學(xué)電壓傳感器1中，通過使框20a 20c的形狀成為相對于中心 軸呈線對稱的筒型、特別是圓筒形，從而能夠提高防振效果。進而，在上述的光學(xué)電壓傳感器1中，通過使成為彈性體的粘合劑23的厚度為 0. 5mm以上，從而即使在被給予1000G的振動的情況下，也能夠吸收該振動。(變形例)對于利用光學(xué)電壓傳感器1的光學(xué)電壓測定裝置的變形例，使用圖10進行說明。
如圖10所示，變形例的光學(xué)電壓測定裝置2b與圖5的光學(xué)電壓測定裝置2b不同， 不具有光纖13a、13b、送光準直器14和受光準直器19。因此，在光學(xué)電壓測定裝置2b中， 將由光源12發(fā)光的光直接導(dǎo)入偏振器15，此外，將由檢偏器18檢測的光直接導(dǎo)入檢測器 21，但對于其他方面均是相同的，故省略說明。上述的光學(xué)電壓測定裝置2b沒有使光通過光纖，因此，能夠不考慮光纖中的光損 失地進行電壓測定。此外，光學(xué)電壓測定裝置2b不具備光纖、送光準直器和受光準直器，因 此，能夠構(gòu)成為小型。因此，光學(xué)電壓測定裝置2b在能將光源12和檢測器21配置于其他 元件14 19附近的情況下是有效的。這樣，光學(xué) 電壓傳感器1除了利用圖5進行如上所述的光學(xué)電壓測定裝置2a之 夕卜，還能夠在利用光對電壓進行測定的各種裝置或系統(tǒng)中加以利用。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)電壓傳感器，其特征在于，具備偏振光學(xué)系統(tǒng)，與從光源入射的光的光軸垂直，并且，將所述光軸配置為中心軸，使入 射的所述光偏振到預(yù)定的基準狀態(tài)；電光元件，與所述光軸垂直，并且，將所述光軸配置為中心軸，當被施加測定對象的電 壓時，根據(jù)被施加的所述電壓，使由所述偏振光學(xué)系統(tǒng)偏振后的光發(fā)生偏振；以及檢偏器，與所述光軸垂直，并且，將所述光軸配置為中心軸，當入射由所述電光元件偏 振后的光時，將其輸出到檢測器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)電壓傳感器，其特征在于，具備在內(nèi)側(cè)形成有空間的筒型的、以一直線為中心呈線對稱的框， 所述偏振光學(xué)系統(tǒng)、所述電光元件和所述檢偏器以各自的所述中心軸與所述直線一致 的方式經(jīng)由彈性體固定于所述框的內(nèi)側(cè)的空間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)電壓傳感器，其特征在于，所述框為圓筒形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)電壓傳感器，其特征在于，所述彈性體的厚度為0.5mm以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)電壓傳感器，其特征在于，以使所述光軸的方向與從外 部給予的振動的方向一致的方式，具備所述偏振光學(xué)系統(tǒng)、所述電光元件和所述檢偏器。
全文摘要
本發(fā)明提供的光學(xué)電壓傳感器具備偏振光學(xué)系統(tǒng)(15、16)，與從光源(12)入射的光的光軸垂直，并且，將光軸(12)配置為中心軸，使入射的光偏振到預(yù)定的基準狀態(tài)；電光元件(17)，與光軸垂直，并且，將光軸配置為中心軸，當被施加測定對象的電壓時，根據(jù)被施加的所述電壓，使由偏振光學(xué)系統(tǒng)(15、16)偏振后的光發(fā)生偏振；以及檢偏器(18)，與光軸垂直，并且，將光軸配置為中心軸，檢測由電光元件(17)偏振后的光，對將入射的光信號轉(zhuǎn)換為電信號的檢測器(21)照射光。
文檔編號G01R15/24GK102037366SQ20098011855
公開日2011年4月27日 申請日期2009年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月28日
發(fā)明者佐藤純一, 宮部崇, 桑原豪, 梅村時博, 高橋正雄 申請人:東芝產(chǎn)業(yè)機器制造株式會社, 株式會社東芝