專利名稱：一種測量干涉儀波長的裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本技術(shù)方案涉及干涉儀，尤其涉及一種實時測量激光干涉波長的裝置及方法。
背景技術(shù)：
條紋計數(shù)式的干涉儀是以波長為基準(zhǔn)來進(jìn)行長度測量的，其測量原理可以簡單地表達(dá)為
權(quán)利要求
1.一種測量工件臺干涉儀波長的裝置，包括第一干涉儀及第二干涉儀，該第一、第二干涉儀分別位于該工件臺的相對兩側(cè)，該第一干涉儀所發(fā)出的第一測量光束與該第二干涉儀所發(fā)出的第二測量光束組成一波長測量軸， 該第一、第二干涉儀分別獲得該第一、第二測量光束的第一光程及第二光程，該第一、第二干涉儀測量該第一、第二測量光束的光波相對于一測量周期初始時刻的周期變化數(shù)；以及計算模塊，用以依據(jù)該第一、第二干涉儀獲得的第一光程及第二光程計算該波長測量軸的理論長度，并依據(jù)該波長測量軸的理論長度、該工件臺的運(yùn)動參數(shù)計算該波長測量軸的實際長度，以及依據(jù)該波長測量軸的實際長度、該第一、第二測量光束的光波相對于該測量周期初始時刻的周期變化數(shù)，以及該測量周期初始時刻的該第一、第二測量光束的初始波長計算該第一、第二測量光束的實際波長。
2.如權(quán)利要求1所述的測量干涉儀波長的裝置，其特征在于，該工件臺的運(yùn)動參數(shù)包括該工件臺的旋轉(zhuǎn)角度及/或該工件臺的傾斜角度。
3.如權(quán)利要求1所述的測量干涉儀波長的裝置，其特征在于，該第一測量光束束與第二測量光束位于同一直線上。
4.一種測量工件臺干涉儀波長的方法，包括利用位于該工件臺相對兩側(cè)的第一干涉儀與第二干涉儀分別獲得該第一、第二干涉儀分別發(fā)出的第一、第二測量光束的第一光程及第二光程，該第一測量光束與第二測量光束組成一波長測量軸；利用該第一、第二干涉儀測量該第一、第二測量光束的光波相對于一測量周期初始時刻的周期變化數(shù)；依據(jù)該第一光程及第二光程計算該波長測量軸的理論長度；依據(jù)該波長測量軸的理論長度、該工件臺的運(yùn)動參數(shù)計算該波長測量軸的實際長度；以及依據(jù)該波長測量軸的實際長度、該第一、第二測量光束的光波相對于初始時刻的周期變化數(shù)，以及該測量周期初始時刻的該第一、第二測量光束的初始波長計算該第一、第二測量光束的實際波長。
5.如權(quán)利要求4所述的測量干涉儀波長的方法，其特征在于，該第一測量光束與第二測量光束位于同一直線上。
6.如權(quán)利要求4所述的測量工件臺干涉儀波長的方法，其特征在于，該測量周期初始時刻的該第一、第二測量光束的初始波長是透過以下方法獲得利用一定位裝置進(jìn)行兩個標(biāo)記對準(zhǔn)時，該第一、第二干涉儀測量該第一、第二測量光沿該波長測量軸方向的平均變化周期；以及依據(jù)該兩個標(biāo)記在該波長測量軸方向上的相隔距離及該第一、第二測量光束沿該波長測量軸方向的平均變化周期計算該第一、第二測量光束的初始波長。
7.如權(quán)利要求6所述的工件臺測量干涉儀波長的方法，其特征在于，該定位裝置是對準(zhǔn)系統(tǒng)或霍爾傳感器。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種測量工件臺干涉儀波長的裝置，包括分別位于該工件臺相對兩側(cè)的第一、第二干涉儀，該第一、第二干涉儀發(fā)出的第一、第二測量光束組成一波長測量軸，以及計算模塊，用以計算該波長測量軸的理論長度、實際長度以及計算該第一、第二測量光束的實際波長，進(jìn)而通過本發(fā)明之第一、第二干涉儀及計算模塊實現(xiàn)對干涉儀測量光束的波長進(jìn)行實時計算。本發(fā)明同時還公開了一種測量工件臺干涉儀波長的方法。
文檔編號G01J9/02GK102445279SQ201010507220
公開日2012年5月9日 申請日期2010年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月14日
發(fā)明者林彬, 毛方林 申請人:上海微電子裝備有限公司