專利名稱：一種籽晶檢距測試儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種測量裝置，具體為一種檢測水晶結(jié)構(gòu)的測試儀。
背景技術(shù)：
目前，隨著電子科技的快速發(fā)展，水晶廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)，水晶結(jié)構(gòu)特性直接影 響到加工后電子產(chǎn)品的性能，水晶結(jié)構(gòu)的測試在產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)過程中成為必不可少的一個環(huán) 節(jié)，測量設(shè)備均利用了水晶對X射線產(chǎn)生相干衍射的原理，來測量水晶材料的幾何表面與 內(nèi)部晶面的角度，現(xiàn)有的國產(chǎn)手搖式設(shè)備及日本同類產(chǎn)品組成一般包括X射線管、豎向測 試臺、計數(shù)器、單片機、數(shù)顯器、控制器等，通過微旋轉(zhuǎn)豎向測試臺，使測試水晶對X射線產(chǎn) 生相干衍射，衍射光線進入計數(shù)器，通過光電轉(zhuǎn)換，光信號被轉(zhuǎn)換成電信號由微安表顯示出 衍射光線的強弱，根據(jù)豎向測試臺的旋轉(zhuǎn)偏角量來測算角度，操作過程過于繁瑣，且被測水 晶方向難易控制，容易產(chǎn)生誤差，影響測試效率，且這類裝置只能測算角度，被測水晶進一 步加工需要的打磨量需要其他裝置進行測算。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的就是要提供一種操作簡便快捷，測試精度高的采用定角定位方 式的籽晶檢距測試儀，且可精確將水晶籽晶規(guī)中，一次性完成磨削量。一種籽晶檢距測試儀，包括固定在機臺上的X射線管箱體、測試臺、探頭、控制器、 指示儀表及機臺內(nèi)的高壓發(fā)生器、穩(wěn)壓器、穩(wěn)壓電源，測量光路依次經(jīng)過X射線管、水晶、探 頭，探頭內(nèi)設(shè)置有計數(shù)器，計數(shù)器與控制器內(nèi)部電路連接，本測試儀還包括有電子顯微鏡及 與其相連接的顯示器，測試臺水平放置，被測水晶放置在水平夾具內(nèi)。所述電子顯微鏡鏡頭橫向?qū)蕼y試水晶的籽晶面的側(cè)面。所述電子顯微鏡鏡頭上設(shè)置有規(guī)中線及刻度。所述的夾具底部設(shè)置校位螺栓，邊側(cè)設(shè)置有夾緊螺栓。所述的水晶測試臺可上下微調(diào)，測試臺中筒與滑動圈螺紋聯(lián)接，滑動圈與臺柱滑 動連接，通過旋轉(zhuǎn)滑動圈調(diào)整測試臺高度。測試臺的臺面可水平旋轉(zhuǎn)，便于操作員調(diào)校被測水晶底部的校位螺栓。所述的X射線發(fā)射管口設(shè)置有圓筒，用以集束，防止X射線散射。籽晶檢距測試儀還包括工作臺罩，工作臺罩設(shè)置在工作臺面上，將整個裝置包圍 起來，僅留一個方向開口供操作人員操作，工作臺罩內(nèi)設(shè)置有照燈，用以加強顯微鏡視野， 便于操作人員觀察。所述的電子顯微鏡鏡頭橫向?qū)蕼y試水晶的籽晶面的側(cè)面。本測試儀的工作過程為將被測水晶水平放置在標準夾具上，打開電子顯微鏡，使 水晶籽晶初步與顯示器中的規(guī)中線重合，打開高壓開關(guān)，χ射線管產(chǎn)生初級X射線，照射水 晶晶體，通過微調(diào)夾具底部的調(diào)節(jié)螺栓，進一步調(diào)整籽晶面的水平，初級X射線在符合布拉 格方程式η λ = 2dsin θ情況下產(chǎn)生相干衍射，則測量光路通路，探頭接收到衍射光線后 進行光電轉(zhuǎn)換，電信號經(jīng)過放大器放大，最終由微安表顯示出X射線的強弱，完成調(diào)整測試過程，水平放置于標準夾具上的被測水晶同時完成籽晶面的規(guī)中過程，通過顯示器可直接 得到需要磨削的數(shù)值。本實用新型的有益效果為1.籽晶檢距測試儀采用定角定位方式測量，角度及衍射發(fā)生位置均已經(jīng)定位，操 作者無需考慮所測試的角度，以及角度的計算，簡化操作步驟，節(jié)省人力物力，提高測量精 度；2.本測試儀配備電子顯微鏡，能夠清楚的觀察到光學(xué)水晶塊、水晶的籽晶與水晶 塊表面的位置和距離，便于水晶籽晶定位，且可精確的計算出下一步的加工量，籽晶面的規(guī) 中，為水晶后續(xù)加工解決了難題，并一次完成磨削量，加工后的產(chǎn)品一次性合格率可達98% 以上，顯著的提高了生產(chǎn)效率；3.配備水平夾具，相比于豎向測試臺夾具結(jié)構(gòu)更加簡單，且調(diào)整方便快捷，固定被 測水晶后，可直接取下，應(yīng)用于下一步打磨操作，無需更換其他固定器件，簡化操作步驟，節(jié) 省人力物力。

圖1為本發(fā)明實施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中夾具結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如附圖中所示的一種籽晶檢距測試儀，包括固定在機臺上的X射線管箱體1、測試 臺2、探頭3、控制器、指示儀表及機臺內(nèi)的高壓發(fā)生器、穩(wěn)壓器、穩(wěn)壓電源，測量光路依次經(jīng) 過X射線管、水晶、探頭3，探頭內(nèi)設(shè)置有計數(shù)器，計數(shù)器與控制器內(nèi)部電路連接，本測試儀 還包括有電子顯微鏡4及與其相連接的顯示器5，測試臺2水平放置，被測水晶放置在水平 夾具6內(nèi)。所述電子顯微鏡4鏡頭橫向?qū)蕼y試水晶的籽晶面的側(cè)面。所述電子顯微鏡4鏡頭上設(shè)置有規(guī)中線及刻度。所述的夾具6底部設(shè)置校位螺栓7，用以調(diào)整被測水晶的水平方位，邊側(cè)設(shè)置有夾 緊螺栓8，用以固定調(diào)整后的晶體。所述的水晶測試臺2可上下微調(diào)，測試臺2中筒與滑動圈螺紋聯(lián)接，滑動圈與臺柱 滑動連接，通過旋轉(zhuǎn)滑動圈調(diào)整測試臺高度。測試臺2的臺面可水平旋轉(zhuǎn)，便于操作員調(diào)校被測水晶底部的校位螺栓7。所述的X射線發(fā)射管口設(shè)置有圓筒9，用以集束，防止X射線散射。籽晶檢距測試儀還包括工作臺罩12，工作臺罩12設(shè)置在工作臺面上，將整個裝置 包圍起來，僅留一個方向開口供操作人員操作，探頭3及電子顯微鏡4被罩在其中，僅留視 野口，工作臺罩12上設(shè)置有照燈10，用以加強顯微鏡視野，便于操作人員觀察。本裝置將布拉格公式測量與電子顯微鏡觀察結(jié)合到一起，籽晶面的規(guī)中，為水晶 后續(xù)加工解決了難題，并一次完成磨削量，加工后的產(chǎn)品一次性合格率可達98%以上，且節(jié) 省人力物力，顯著的提高了生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求一種籽晶檢距測試儀，包括固定在機臺上的X射線管箱體(1)、測試臺(2)、探頭(3)、控制器、指示儀表及機臺內(nèi)的高壓發(fā)生器、穩(wěn)壓器、穩(wěn)壓電源，測量光路依次經(jīng)過X射線管、水晶、探頭(3)，探頭內(nèi)設(shè)置有計數(shù)器，其特征在于還包括有電子顯微鏡(4)及與其相連接的顯示器(5)，測試臺(2)水平放置，被測水晶放置在夾具(6)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶檢距測試儀，其特征在于所述電子顯微鏡(4)鏡頭橫 向?qū)蔍彳試水晶的籽晶面的側(cè)面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的籽晶檢距測試儀，其特征在于電子顯微鏡(4)鏡頭上 設(shè)置有規(guī)中線及刻度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶檢距測試儀，其特征在于所述的夾具(6)底部設(shè)置校 位螺栓(7)，邊側(cè)設(shè)置有夾緊螺栓(8)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶檢距測試儀，其特征在于水晶測試臺(2)可上下微調(diào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的籽晶檢距測試儀，其特征在于測試臺(2)臺面可旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶檢距測試儀，其特征在于X射線發(fā)射管口設(shè)置有圓筒(9)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶檢距測試儀，其特征在于還包括工作臺罩(12)，工作臺 罩(12)上設(shè)置有照燈(10)。
專利摘要本實用新型提供了一種籽晶檢距測試儀，涉及一種測量裝置，包括X射線管箱體(1)、測試臺(2)、探頭(3)、控制器、指示儀表及機臺內(nèi)的高壓發(fā)生器、穩(wěn)壓器、穩(wěn)壓電源，測量光路依次經(jīng)過X射線管、水晶、探頭(3)，探頭內(nèi)設(shè)置有計數(shù)器，還包括有電子顯微鏡(4)及與其相連接的顯示器(5)，測試臺(2)水平放置，被測水晶放置在夾具(6)內(nèi)，本測試儀采用定角定位測試，被測水晶水平放置，無需測算水晶幾何表面與籽晶面的角度，并可通過電子顯微鏡(4)直接得到水晶籽晶面位置及其與表面的距離值，為下一步打磨加工做好準備，相比與現(xiàn)有的單晶測試儀，操作更加簡便快捷，測量精度高，節(jié)省人力物力，顯著提高了水晶產(chǎn)品生產(chǎn)效率。
文檔編號G01N23/207GK201653940SQ20102016325
公開日2010年11月24日 申請日期2010年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月16日
發(fā)明者孟范洪, 謝加地 申請人:謝加地