專利名稱：自動光學檢測系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型有關于一種自動光學檢測系統(tǒng)，特別是一種可校正掃描影像位移的自 動光學檢測系統(tǒng)。
背景技術：
自動光學檢測(Automated Optical Inspection, AOI)系統(tǒng)已廣泛應用于外觀檢 測上，例如薄膜晶體管液晶顯示器(TFT IXD)、半導體芯片與印刷電路板(PCB)等工業(yè)工藝 上。自動光學檢測系統(tǒng)是利用光學方式取得待測產品的表面影像后，再以影像處理技術來 檢出異物或圖案異常等缺陷。由于影像擷取裝置的視野小于待測產品的面積，因此，影像擷取裝置需掃描過整 個待測產品，以便將整個待測產品成像。然而，在掃描的過程中，待測產品可能產生晃動，使 所形成的掃描影像有影像位移的情形，因而不利于后續(xù)判定缺陷的程序。綜上所述，如何校正產生影像位移的掃描影像便是目前極需努力的目標。

實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種自動光學檢測系統(tǒng)，其是設置適當?shù)幕鶞蕵擞洠?使掃描待測樣品后所形成的掃描影像中具有相對應的基準標記，再利用基準標記校正所形 成掃描影像，以利后續(xù)判定待測樣品是否存在缺陷。本實用新型的自動光學檢測系統(tǒng)，包含—影像擷取裝置，其用以擷取一待測樣品的影像；一基準標記分析單元，其與該影像擷取裝置電性連接，用以找出該影像中的一基 準標記；一影像校正單元，其與該基準標記分析單元電性連接，用以依據(jù)該基準標記校正 該影像并輸出一校正影像；以及一缺陷分析單元，其與該影像校正單元電性，用以分析該校正影像是否存在缺陷。在上述自動光學檢測系統(tǒng)中，該基準標記包含一基準線，其繪制于該待測樣品的 檢測表面。在上述的自動光學檢測系統(tǒng)中，還包含一檢測平臺，其用以承載該待測樣品，其中 該基準標記設置于該檢測平臺。在上述的自動光學檢測系統(tǒng)中，該基準標記包含直線、刻度或以上的組合。在上述的自動光學檢測系統(tǒng)中，該基準標記包含一光源，其與該影像擷取裝置相 對。在上述的自動光學檢測系統(tǒng)中，該影像擷取裝置包含一線性影像傳感器。在上述的自動光學檢測系統(tǒng)中，該影像擷取裝置包含一電荷耦合組件、互補式金 屬氧化物半導體傳感器或接觸式影像傳感器。在上述的自動光學檢測系統(tǒng)中，該基準標記分析單元、該影像校正單元以及該缺陷分析單元整合成一電子裝置。在上述的自動光學檢測系統(tǒng)中，該待測樣品包含一布料。本實用新型的自動光學檢測系統(tǒng)藉由設置適當?shù)幕鶞蕵擞?，使掃描待測樣品后所 形成的掃描影像中具有相對應的基準標記，后續(xù)影像處理過程即可利用基準標記來校正所 形成掃描影像，并判定待測樣品是否存在缺陷。以下藉由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當更容易了解本實用新型的目 的、技術內容、特點及其所達成的功效。

圖1為一示意圖，顯示本實用新型一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)。圖2a為一示意圖，顯示本實用新型一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)所擷取的原始 掃描影像。圖2b為一示意圖，顯示本實用新型一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)所擷取的校正 掃描影像。圖3為一示意圖，顯示本實用新型另一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)。圖4a為一示意圖，顯示本實用新型另一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)所擷取的原 始掃描影像。圖4b為一示意圖，顯示本實用新型另一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)所擷取的校 正掃描影像。主要組件符號說明10電子裝置11影像擷取裝置12基準標記分析單元13影像校正單元14缺陷分析單元20檢測平臺30待測樣品31、31，基準標記40影像片段420檢測平臺影像430待測樣品影像431、431，基準標記影像
具體實施方式
請參照圖1，本實用新型的一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)包含一影像擷取裝 置11、一基準標記分析單元12、一影像校正單元13以及一缺陷分析單元14。影像擷取 裝置11用以擷取一待測樣品30的一影像。在一實施例中，待測樣品30的待測面積大 于影像擷取裝置11的視野，因此，影像擷取裝置11可為一線性影像傳感器，例如電荷 耦合組件(Charge Coupled Device, CCD)、互補式金屬氧化物半導體(ComplementaryMetal-Oxide-Semiconductor, CMOS)傳感器或接觸式影像傳感器(Contact Image Sensor, CIS)。，使待測樣品30相對于影像擷取裝置11移動，以取得完整的待測樣品30的掃描影 像。在一實施例中，待測樣品30可為一布料等軟性材質；本實用新型的自動光學檢測系統(tǒng) 可包含一檢測平臺20。檢測平臺20用以承載待測樣品30，使待測樣品30可平整地接受影 像擷取裝置11的掃描。接續(xù)上述說明，基準標記分析單元12與影像擷取裝置11電性連接?；鶞蕵擞浄治?單元12用以找出影像擷取裝置11所擷取的掃描影像中的基準標記。如圖1所示的實施例 中，基準標記31可繪制于待測樣品30的待測表面，影像擷取裝置11所擷取的掃描影像中 即有相對的基準標記。影像校正單元13與基準標記分析單元12電性連接，用以依據(jù)影像 中的基準標記來校正影像并輸出一校正影像。缺陷分析單元14與影像校正單元13電性。 缺陷分析單元14即可分析經影像校正單元13所校正的校正影像中是否存在缺陷。需注意 者，依據(jù)待測樣品及/或缺陷的形式的不同，操作者可選用不同的影像處理方法以分析影 像中的缺陷。此外，于一實施例中，基準標記分析單元11、影像校正單元12以及缺陷分析單 元13可整合成一電子裝置10，例如一計算機或影像處理系統(tǒng)。圖2a為影像擷取裝置11依據(jù)圖1所示的實施例所擷取到的部份掃描影像。掃描 影像是由多個影像片段40所組成。每一影像片段40包含檢測平臺20的相對應檢測平臺 影像420、待測樣品30的相對應待測樣品影像430以及基準標記31的相對應基準標記影 像431。如圖2a所示，待測樣品30(例如布料)可能在相對于影像擷取裝置11移動產生晃 動，使待測樣品30產生影像位移的現(xiàn)象?；鶞蕵擞浄治鰡卧?2則找出影像片段40中相對 應于基準標記31的基準標記影像431，使影像校正單元13可依據(jù)基準標記31來校正掃描 影像，校正后的掃描影像如圖2b所示。如此，后續(xù)的缺陷分析單元14即可在預定的影像區(qū) 域內分析是否存在缺陷。請參照圖3，本實用新型另一實施例的自動光學檢測系統(tǒng)與圖1所示的實施例的 差別在于基準標記31’設置于檢測平臺20。待測樣品30放置于檢測平臺20時將遮蔽部分 基準標記31’。在一實施例中，基準標記31’可為直線、刻度或以上的組合。如圖4a所示， 依據(jù)影像片段40中基準標記31’的相對應基準標記影像431的長度，影像校正單元13可 判斷待測樣品影像430位移的方向以及距離，并加以校正，如圖4b所示。同理，以標示出距 離的刻度的基準標記31’實現(xiàn)上述目的。或者，基準標記31’可為相同大小的黑白相間圖 案，使后續(xù)影像處理過程中可用以判斷距離。在另一實施例中，基準標記31’可為一光源， 其與影像擷取裝置11相對。如此，在后續(xù)影像處理過程中，影像校正單元13可較為容易的 判斷待測樣品影像430的邊界，并加以校正對齊。或者，影像校正單元13依據(jù)高亮度的基 準標記影像431，的長度來校正待測樣品影像430。綜合上述，本實用新型的自動光學檢測系統(tǒng)藉由設置適當?shù)幕鶞蕵擞?，使掃描?測樣品后所形成的掃描影像中具有相對應的基準標記，后續(xù)影像處理過程即可利用基準標 記來校正所形成掃描影像，并判定待測樣品是否存在缺陷。以上所述的實施例僅是為說明本實用新型的技術思想及特點，其目的在使熟悉本 技術領域者能夠了解本實用新型的內容并據(jù)以實施，當不能以的限定本實用新型的專利范 圍，即凡依本實用新型所揭示的精神所作的均等變化或修飾，仍應涵蓋在本實用新型的專 利范圍內。
權利要求一種自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，包含一影像擷取裝置，其用以擷取一待測樣品的影像；一基準標記分析單元，其與該影像擷取裝置電性連接，用以找出該影像中的一基準標記；一影像校正單元，其與該基準標記分析單元電性連接，用以依據(jù)該基準標記校正該影像并輸出一校正影像；以及一缺陷分析單元，其與該影像校正單元電性，用以分析該校正影像是否存在缺陷。
2.如權利要求1所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，該基準標記包含一基準線，其 繪制于該待測樣品的檢測表面。
3.如權利要求1所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，還包含一檢測平臺，其用以承 載該待測樣品，其中該基準標記設置于該檢測平臺。
4.如權利要求3所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，該基準標記包含直線、刻度或 以上的組合。
5.如權利要求3所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，該基準標記包含一光源，其與 該影像擷取裝置相對。
6.如權利要求1所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，該影像擷取裝置包含一線性 影像傳感器。
7.如權利要求1所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，該影像擷取裝置包含一電荷 耦合組件、互補式金屬氧化物半導體傳感器或接觸式影像傳感器。
8.如權利要求1所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，該基準標記分析單元、該影像 校正單元以及該缺陷分析單元整合成一電子裝置。
9.如權利要求1所述的自動光學檢測系統(tǒng)，其特征在于，該待測樣品包含一布料。專利摘要本實用新型涉及一種自動光學檢測系統(tǒng)，包含一影像擷取裝置、一基準標記分析單元、一影像校正單元以及一缺陷分析單元。影像擷取裝置用以擷取一待測樣品的影像?；鶞蕵擞浄治鰡卧c影像擷取裝置電性連接，用以找出影像中的基準標記。影像校正單元與基準標記分析單元電性連接，用以依據(jù)基準標記校正影像并輸出一校正影像。缺陷分析單元與影像校正單元電性，用以分析校正影像是否存在缺陷。上述自動光學檢測系統(tǒng)可改善因待測樣品晃動所造成的影像位移的問題。
文檔編號G01N21/88GK201673124SQ201020187070
公開日2010年12月15日 申請日期2010年5月7日 優(yōu)先權日2010年5月7日
發(fā)明者吳金來, 林君諺, 金山 申請人:上海中晶科技有限公司