專利名稱：液體濃度檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種液體濃度檢測裝置，特別是指一種用以檢測液體中的微粒或 金屬離子濃度的液體濃度檢測裝置。
背景技術(shù)：
按，濕式制程為目前半導(dǎo)體及印刷電路板制造中不可或缺的一環(huán)(如應(yīng)用于濕蝕 刻或清洗等用涂)，由于濕式制程主要牽涉到化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)過程中，濕式制程溶液中的化 學(xué)成分不斷變化(如濃度、微粒數(shù)等)，而將影響到濕式制程溶液的制程環(huán)境。類似反應(yīng)過程中有一個共同的特點(diǎn)，不管是清洗晶圓表面或是要將晶圓表面的某 些物質(zhì)去除掉，這些被清洗或是被去除掉的物質(zhì)(微粒或金屬離子)會累積在濕式制程溶 液中，進(jìn)而影響制程精確度。因此，如何能夠有效偵測出濕式制程溶液的微粒濃度，并且及時回報與控制管理 系統(tǒng)做流量的對應(yīng)變化，便成為濕式制程溶液供給系統(tǒng)一個非常重要的課題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種可快速偵測液體所含微?；蚪饘匐x 子濃度的液體濃度檢測裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種液體濃度檢測裝置，包括有一透光容器，用以盛 裝受檢測的液體；一光束產(chǎn)生器，用以產(chǎn)生足以通過第受測液體的激光束；一第一光電組 件，設(shè)于透光容器其中一側(cè)的壁面處，并具備光穿透性，用以接收該光束產(chǎn)生器所產(chǎn)生的光 束觸發(fā)進(jìn)而產(chǎn)生一第一啟動訊號；一第二光電組件，設(shè)于該透光容器相對設(shè)有第一光電組 件的另一側(cè)壁面處，用以接收該光束產(chǎn)生器所產(chǎn)生的光束觸發(fā)進(jìn)而產(chǎn)生一第二啟動訊號； 一訊號處理器，供依照不同液體特性輸入相關(guān)的比對數(shù)據(jù)，并與該光束產(chǎn)生器、該第一光電 組件、該第二光電組件電性連接，用以控制光束產(chǎn)生器的動作，并接收第一光電組件及第二 光電組件受光束觸發(fā)而所產(chǎn)生的訊號之后，進(jìn)一步計算出光束通過受測液體內(nèi)部液體的時 間，并經(jīng)與其內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對之后，顯示用以表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值。其中，該透光容器透過一第一電磁閥與連接至受測液體源頭的輸入管路相銜接， 該透光容器底部透過一第二電磁閥與一排放管路相銜接。該訊號處理器內(nèi)建有一運(yùn)算單元用以接收來自第一光電組件及第二光電組件的 啟動訊號；內(nèi)建有一運(yùn)算單元用以計算出其接收到第二啟動訊號及第一啟動訊號的時間 差，并與內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對；內(nèi)建有一變頻單元供依照受測對象的不同而調(diào)變該光束產(chǎn) 生器的電壓/電流強(qiáng)度。該訊號處理器進(jìn)一步設(shè)有一顯示單元，用以供操作者選擇、設(shè)定相關(guān)的操作模式， 并顯示相關(guān)的運(yùn)作狀態(tài)及顯示用以表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值。該訊號處理器進(jìn)一步整合有一訊號輸出單元，使得以透過該訊號輸出單元將所測 得以的數(shù)值回授至受測液體來源的供給系統(tǒng)。[0011]該訊號處理器進(jìn)一步設(shè)有一顯示單元，用以供操作者選擇、設(shè)定相關(guān)的操作模式， 并顯示相關(guān)的運(yùn)作狀態(tài)及顯示用以表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值；該訊號處理器進(jìn)一步整 合有一訊號輸出單元，使得以透過該訊號輸出單元將所測得以的數(shù)值回授至受測液體來源 的供給系統(tǒng)。本實(shí)用新型的有益效果為本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置包含有一透光容器、 一光束產(chǎn)生器、一第一光電組件、一第二光電組件，以及一訊號處理器；其中，第一光電組件 具備光穿透性，其與第二光電組件設(shè)分別于透光容器的兩個相對應(yīng)側(cè)；至于該訊號處理器 用以控制光束產(chǎn)生器的動作，并接收第一光電組件及第二光電組件受光束觸發(fā)而所產(chǎn)生的 訊號。本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置于使用時，主要利用光束產(chǎn)生器所產(chǎn)生的光束依 序通過第一光電組件、透光容器液所盛裝的液體，再到達(dá)第二光電組件的路徑照射，使得以 在第一光電組件受光束觸發(fā)而產(chǎn)生一第一啟動訊號，并在光束通過液體之后觸發(fā)第二光電 組件使第二光電組件產(chǎn)生一第二啟動訊號，再該訊號處理器依照其接收到第二啟動訊號及 第一啟動訊號的時間差，計算出光束通過受測液體的時間，并與內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對之后， 即可快速取得用以表示透光容器內(nèi)部液體的微粒或金屬離子濃度狀態(tài)的數(shù)值。

圖1為本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置組成架構(gòu)方塊示意圖。圖2為本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置使用配置參考圖。圖號說明:10透光容器；20光束產(chǎn)生器；31第一光電組件；32第二光電組件；40 訊號處理器；41訊號接收單元；42運(yùn)算單元；43變頻單元；44顯示單元；45訊號輸出單元； 51第一電磁閥；52第二電磁閥；61輸入管路；62排放管路；70反應(yīng)槽。
具體實(shí)施方式
如圖1本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置組成架構(gòu)方塊示意圖、圖2本實(shí)用新型的 液體濃度檢測裝置使用配置參考圖所示；本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置基本上包含有 一透光容器10、一光束產(chǎn)生器20、一第一光電組件31、一第二光電組件32，以及一訊號處理 器40 ；其中該透光容器10以由玻璃或石英所制成，主要用以盛裝受檢測的液體。該光束產(chǎn)生器20用以產(chǎn)生足以通過第受測液體的激光束，以及可以利用改變電 壓/電流強(qiáng)度的方式，控制其所產(chǎn)生的激光束波長。該第一光電組件31設(shè)于透光容器10其中一側(cè)的壁面處，并具備光穿透性，主要用 以接收該光束產(chǎn)生器20所產(chǎn)生的光束觸發(fā)進(jìn)而產(chǎn)生一第一啟動訊號。該第二光電組件32設(shè)于該透光容器10相對設(shè)有第一光電組件31的另一側(cè)壁面 處，主要用以接收該光束產(chǎn)生器20所產(chǎn)生的光束觸發(fā)進(jìn)而產(chǎn)生一第二啟動訊號。至于，該訊號處理器40供依照不同液體特性輸入相關(guān)的比對數(shù)據(jù)，并與該光束產(chǎn) 生器20、該第一光電組件31、該第二光電組件32電性連接，主要用以控制光束產(chǎn)生器20的 動作，并接收第一光電組件31及第二光電組件32受光束觸發(fā)而所產(chǎn)生的訊號之后，進(jìn)一步 計算出光束通過受測液體10內(nèi)部液體的時間，并與其內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對之后，顯示用以表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值。具體而言，本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置于使用時，主要利用光束產(chǎn)生器20所 產(chǎn)生的光束依序通過第一光電組件31、透光容器液10所盛裝的受測液體，再到達(dá)第二光電 組件32，使得以在第一光電組件31受光束觸發(fā)而產(chǎn)生一第一啟動訊號之后，繼續(xù)通過受測 液體，并且落于第二光電件32上，藉以觸發(fā)第二光電組件32產(chǎn)生一第二啟動訊號，再由該 訊號處理器40依照其接收到第二啟動訊號及第一啟動訊號的時間差，計算出光束通過受 測液體的時間，并與內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對之后，即可快速取得用以表示透光容器內(nèi)部液體 的微?；蚪饘匐x子濃度狀態(tài)的數(shù)值。于實(shí)施時，該透光容器10的上方可透過一第一電磁閥51與連接至受測液體源頭 的輸入管路61相銜接，該透光容器10底部則可透過一第二電磁閥52供與一排放管路62 相銜接，使得以經(jīng)由自動控制第一電磁閥51及第二電磁閥52開啟或關(guān)閉的方式更換透光 容器10內(nèi)部的受測液體。俾可進(jìn)一步將輸入管路61接續(xù)至應(yīng)用于半導(dǎo)體及印刷電路板濕式制程中的反應(yīng) 槽70，使得以依照所設(shè)定的模式，自動監(jiān)測反應(yīng)槽63內(nèi)部的濕式制程溶液濃度，有助于掌 控濕式制程的加工質(zhì)量。再者，本實(shí)用新型中的訊號處理器40基本上內(nèi)建有一運(yùn)算單元41用以接收來自 第一光電組件31及第二光電組件32的啟動訊號；內(nèi)建有一運(yùn)算單元42用以計算出其接收 到第二啟動訊號及第一啟動訊號的時間差，并與內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對；內(nèi)建有一變頻單元 43供依照受測對象的不同而調(diào)變該光束產(chǎn)生器20的電壓/電流強(qiáng)度，以供控制該光束產(chǎn)生 器20所產(chǎn)生的激光束波長(500 900)。以及，該訊號處理器40可以進(jìn)一步設(shè)有一顯示單元44，用以供操作者選擇、設(shè)定 相關(guān)的操作模式，并顯示相關(guān)的運(yùn)作狀態(tài)及顯示用以表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值。甚至 于，該訊號處理器40可進(jìn)一步整合有一訊號輸出單元45，使得以透過該訊號輸出單元45將 所測得以的數(shù)值回授至受測液體來源的供給系統(tǒng)，使以供實(shí)時調(diào)整受測液體的濃度。
權(quán)利要求1.一種液體濃度檢測裝置，其特征在于，包括有一透光容器，用以盛裝受檢測的液體；一光束產(chǎn)生器，用以產(chǎn)生足以通過第受測液體的激光束；一第一光電組件，設(shè)于透光容器其中一側(cè)的壁面處，并具備光穿透性，用以接收該光束 產(chǎn)生器所產(chǎn)生的光束觸發(fā)進(jìn)而產(chǎn)生一第一啟動訊號；一第二光電組件，設(shè)于該透光容器相對設(shè)有第一光電組件的另一側(cè)壁面處，用以接收 該光束產(chǎn)生器所產(chǎn)生的光束觸發(fā)進(jìn)而產(chǎn)生一第二啟動訊號；一訊號處理器，供依照不同液體特性輸入相關(guān)的比對數(shù)據(jù)，并與該光束產(chǎn)生器、該第一 光電組件、該第二光電組件電性連接，用以控制光束產(chǎn)生器的動作，并接收第一光電組件及 第二光電組件受光束觸發(fā)而所產(chǎn)生的訊號之后，進(jìn)一步計算出光束通過受測液體內(nèi)部液體 的時間，并經(jīng)與其內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對之后，顯示用以表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值。
2.如權(quán)利要求1所述的液體濃度檢測裝置，其特征在于，該透光容器透過一第一電磁 閥與連接至受測液體源頭的輸入管路相銜接，該透光容器底部透過一第二電磁閥與一排放 管路相銜接。
3.如權(quán)利要求1所述的液體濃度檢測裝置，其特征在于，該訊號處理器內(nèi)建有一運(yùn)算 單元用以接收來自第一光電組件及第二光電組件的啟動訊號；內(nèi)建有一運(yùn)算單元用以計算 出其接收到第二啟動訊號及第一啟動訊號的時間差，并與內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對；內(nèi)建有一 變頻單元供依照受測對象的不同而調(diào)變該光束產(chǎn)生器的電壓/電流強(qiáng)度。
4.如權(quán)利要求1或3所述的液體濃度檢測裝置，其特征在于，該訊號處理器進(jìn)一步設(shè)有 一顯示單元，用以供操作者選擇、設(shè)定相關(guān)的操作模式，并顯示相關(guān)的運(yùn)作狀態(tài)及顯示用以 表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值。
5.如權(quán)利要求1或3所述的液體濃度檢測裝置，其特征在于，該訊號處理器進(jìn)一步整合 有一訊號輸出單元，使得以透過該訊號輸出單元將所測得以的數(shù)值回授至受測液體來源的 供給系統(tǒng)。
6.如權(quán)利要求1或3所述的液體濃度檢測裝置，其特征在于，該訊號處理器進(jìn)一步設(shè)有 一顯示單元，用以供操作者選擇、設(shè)定相關(guān)的操作模式，并顯示相關(guān)的運(yùn)作狀態(tài)及顯示用以 表示受測液體濃度狀態(tài)的數(shù)值；該訊號處理器進(jìn)一步整合有一訊號輸出單元，使得以透過 該訊號輸出單元將所測得以的數(shù)值回授至受測液體來源的供給系統(tǒng)。
專利摘要本實(shí)用新型的液體濃度檢測裝置,主要提供一種可快速偵測液體所含微?；蚪饘匐x子濃度的液體濃度檢測裝置。所述的液體濃度檢測裝置利用光束通過液體之前，先行觸發(fā)一第一光電組件使其產(chǎn)生一第一啟動訊號，并在光束通過液體之后觸發(fā)一第二光電組件使其產(chǎn)生一第二啟動訊號；再由一訊號處理器依照其接收到第二啟動訊號及第一啟動訊號的時間差，計算出光束通過受測液體的時間，并與內(nèi)建的數(shù)據(jù)換算比對，即可快速取得用以表示液體濃度狀態(tài)的數(shù)值。
文檔編號G01N21/17GK201844971SQ20102061147
公開日2011年5月25日 申請日期2010年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月18日
發(fā)明者池桓壯, 許吉昌, 鄭文鋒 申請人:先豐通訊股份有限公司