專利名稱：掃描電子顯微鏡樣品臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種實驗設(shè)備，更具體地，涉及一種掃描電子顯微鏡(scanning electronic microscope, SEM)樣品臺。
背景技術(shù)：
掃描電子顯微鏡樣品臺(SEM樣品臺)，一般由導(dǎo)電性良好的金屬材料加工而成， 通過導(dǎo)電膠將樣品固定在該SEM樣品臺上，從而實現(xiàn)在掃描電子顯微鏡樣品室內(nèi)對生物、 材料等樣品的觀察?，F(xiàn)有的SEM樣品臺有多種類型。其中，凹槽釘型樣品臺與圓柱形樣品臺將樣品固定在一個圓形平面上進行觀察；斜面樣品臺與斜截面凹槽釘型樣品臺的樣品臺本體被加工成30°、45°、90°等的斜截面，以實現(xiàn)對樣品在一定傾斜度下的觀察。上述幾種樣品臺只能觀察同一樣品的一個側(cè)面，不能對樣品進行多角度、全方位的觀測?，F(xiàn)有技術(shù)中還有一種多角度傾斜樣品臺，能夠以一定角度旋轉(zhuǎn)該樣品臺，從而在一定程度上增加了觀測樣品的視野范圍。這種多角度傾斜樣品臺通過轉(zhuǎn)軸使樣品臺旋轉(zhuǎn)來多角度觀測樣品，但由于轉(zhuǎn)軸的存在降低了這種樣品臺的導(dǎo)電性，而影響圖像的觀測質(zhì)量， 并且這種多角度傾斜樣品臺是將樣品的一側(cè)完全固定在SEM樣品臺本體上，從而固定到 SEM樣品臺上的一側(cè)無法被觀測到。目前，SEM樣品臺的設(shè)計尚不能完全滿足既能對樣品進行準確地全方位觀測有導(dǎo)電性良好的要求。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本實用新型提供了一種掃描電子顯微鏡樣品臺，以用于在不影響導(dǎo)電性能的情況下，準確地對樣品進行全方位觀測。本實用新型提供了一種掃描電子顯微鏡樣品臺，該掃描電子顯微鏡樣品臺具有本體，所述本體具有相互平行的頂面、底面、和連接在所述頂面和底面之間的多個側(cè)面，所述側(cè)面至少具有一個平面，其中，所述本體上具有缺口。優(yōu)選地，所述側(cè)面中可以有兩個側(cè)面為相對的曲面。優(yōu)選地，所述本體可以為具有缺口的長方體或正方體。優(yōu)選地，所述缺口可以為長方體。優(yōu)選地，所述缺口可以形成在一個側(cè)面上，并貫穿所述頂面和底面。優(yōu)選地，所述缺口的長、寬、高的比可以為2 1 2。優(yōu)選地，所述缺口可以為半圓柱形或半球形。利用本實用新型提供的SEM樣品臺，可以將生物、材料等樣品的兩端分別固定在本體上的缺口邊緣上，從而將樣品良好地固定在樣品臺上，并通過翻轉(zhuǎn)該樣品臺來實現(xiàn)對樣品臺上的樣品的全方位觀測，同時，由于該樣品臺不具有轉(zhuǎn)軸，從而避免了導(dǎo)電性差的問題。該SEM樣品臺操作簡便，解決了多角度傾斜樣品臺導(dǎo)電性差的問題，并且通過翻轉(zhuǎn)本實用新型提供的SEM樣品臺最大可實現(xiàn)對樣品的360°觀測，從而能夠更全面的獲取樣品的形貌信息。

圖1為根據(jù)本實用新型的SEM樣品臺的一個實施方式的立體圖；圖加-圖2c為根據(jù)本實用新型的SEM樣品臺的翻轉(zhuǎn)操作示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖來詳細描述本實用新型的實施方式。圖1為根據(jù)本實用新型的SEM樣品臺的一個實施方式的立體圖。參考圖1，本實用新型提供了一種掃描電子顯微鏡樣品臺，該掃描電子顯微鏡樣品臺具有本體，所述本體具有相互平行的頂面、底面、和連接在所述頂面和底面之間的多個側(cè)面，所述側(cè)面至少具有一個平面，其中，所述本體上具有缺口。該SEM樣品臺可以將生物、材料等樣品的一端或兩端固定在缺口的邊緣上。該SEM 樣品臺不具有轉(zhuǎn)軸，在使用時，通過人工或借助其他機械裝置來翻轉(zhuǎn)該樣品臺，從而可以實現(xiàn)對SEM樣品臺上的樣品的全方位觀測。由于該SEM樣品臺不具有轉(zhuǎn)軸，從而避免了樣品臺導(dǎo)電性差的問題。并且由于只有樣品的一端或者兩端固定到SEM樣品臺上而不是將樣品的一側(cè)完全固定在SEM樣品臺本體上，從而可以實現(xiàn)對樣品的360度觀測。根據(jù)圖1中示出的優(yōu)選實施方式，該SEM樣品臺本體的所述側(cè)面中有兩個側(cè)面為相對的曲面。這種SEM樣品臺可以通過平行于圓柱形樣品臺的軸向?qū)A柱形樣品臺進行兩次切割，切割后的切面可以形成所述SEM樣品臺的本體的兩個相互平行的側(cè)面，剩下的圓柱形樣品臺的圓弧形側(cè)壁形成SEM樣品臺本體的相對稱的兩個曲面?zhèn)缺?，然后再在本體上切割出缺口，就可以容易地從圓柱形樣品臺改造成本實用新型的SEM樣品臺。根據(jù)圖1中示出的優(yōu)選實施方式，該樣品臺本體的長可以為11mm，寬可以為4mm， 高可以為4mm?？商鎿Q地，該SEM樣品臺本體也可以為具有缺口的長方體或正方體。優(yōu)選地，所述缺口可以為長方體。該長方體缺口可以形成在一個側(cè)面上，并貫穿所述頂面和底面。其中，取缺口平行于SEM樣品臺的徑向的長度為缺口的長，平行于頂面且垂直于徑向的寬度為缺口的寬，垂直于頂面方向的高度為缺口的高，則缺口的長、寬、高的比可以為2 1 2，優(yōu)選地，該缺口的長可以為4mm，寬可以為2mm，高可以為4mm。所述缺口不局限于長方體，其也可以為半圓柱形或半球形等其他形狀。優(yōu)選地，所述樣品臺可以由鋁材料加工而成，由于金屬鋁導(dǎo)電性好，成本較低而且加工簡單，所以是加工SEM樣品臺的理想材料。下面結(jié)合圖2a_2c詳細描述本實用新型的SEM樣品臺的操作過程。圖2a_2c為根據(jù)本實用新型的SEM樣品臺的翻轉(zhuǎn)操作示意圖。當需要觀測樣品時，先將樣品的一端或兩端通過導(dǎo)電膠固定在SEM樣品臺本體上的缺口邊緣上，如圖2b中所示，再將該SEM樣品臺固定在SEM樣品室的樣品臺支架上，此時可實現(xiàn)對樣品俯視面的觀察。然后可將樣品臺向左或向右翻轉(zhuǎn)并重新固定在樣品臺支架上，如圖加和圖2c所示，此時可實現(xiàn)對樣品的兩個側(cè)面的觀測。通過對樣品的三個方向的觀測，最大可實現(xiàn)對樣品的360°觀測，從而能夠更全面地獲取樣品各個角度的形貌信息。 利用本實用新型提供的SEM樣品臺，可以將生物、材料等樣品的兩端分別固定在本體上的缺口邊緣上，從而將樣品良好地固定在樣品臺上，并通過翻轉(zhuǎn)該樣品臺來實現(xiàn)對樣品臺上的樣品的全方位觀測，同時，由于該樣品臺不具有轉(zhuǎn)軸，從而避免了導(dǎo)電性差的問題。該SEM樣品臺操作簡便，解決了多角度傾斜樣品臺導(dǎo)電性差的問題，并且通過翻轉(zhuǎn)本實用新型提供的SEM樣品臺最大可實現(xiàn)對樣品的360°觀測，從而能夠更全面的獲取樣品的形貌信息。
權(quán)利要求1.一種掃描電子顯微鏡樣品臺，該掃描電子顯微鏡樣品臺具有本體，所述本體具有相互平行的頂面、底面、和連接在所述頂面和底面之間的多個側(cè)面，所述側(cè)面至少具有一個平面，其特征在于，所述本體上具有缺口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡樣品臺，其特征在于，所述側(cè)面中有兩個側(cè)面為相對的曲面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡樣品臺，其特征在于，所述本體為具有缺口的長方體或正方體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡樣品臺，其特征在于，所述缺口為長方體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掃描電子顯微鏡樣品臺，其特征在于，所述缺口形成在一個側(cè)面上，并貫穿所述頂面和底面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掃描電子顯微鏡樣品臺，其特征在于，所述缺口的長、寬、高的比為2:1:2。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡樣品臺，其特征在于，所述缺口為半圓柱形或半球形。
專利摘要本實用新型提供了一種掃描電子顯微鏡樣品臺，該掃描電子顯微鏡樣品臺具有本體，所述本體具有相互平行的頂面、底面、和連接在所述頂面和底面之間的多個側(cè)面，所述側(cè)面至少具有一個平面，其特征在于，所述本體上具有缺口。該樣品臺操作簡便，解決了多角度傾斜樣品臺導(dǎo)電性差的問題，并且通過翻轉(zhuǎn)本實用新型提供的SEM樣品臺最大可實現(xiàn)對樣品的360°觀測，從而能夠更全面的獲取樣品的形貌信息。
文檔編號G01N23/22GK202033304SQ20102067644
公開日2011年11月9日 申請日期2010年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月22日
發(fā)明者馮建濤, 謝家儀, 韓東 申請人:國家納米科學(xué)中心