專利名稱：一種高分辨率的高速偏振差異成像方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光學(xué)技術(shù)，特別涉及一種高分辨率的高速偏振差異成像方法。
背景技術(shù)：
偏振差異成像在光學(xué)顯微成像等領(lǐng)域中有重要的研究意義。例如，共焦顯微鏡系統(tǒng)是物象共軛的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)成像，聚焦的激光束在樣品表面掃描，同時(shí)光電檢測(cè)器件接收樣品反射光(或透射光)，樣品結(jié)構(gòu)的變化使反射光(或透射光)強(qiáng)度改變，因而使光電檢測(cè)器的輸出電流改變，經(jīng)過信號(hào)處理，同步顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上。由于照射的線偏振光通過高數(shù)值孔徑的透鏡聚焦，產(chǎn)生的是面積很小的橢圓光斑，因此沒有來自鄰近區(qū)域的散射光的影響，從而可以提高信噪比，增強(qiáng)了對(duì)比度。同時(shí)由于是直接接收反射光，因此檢測(cè)靈敏度高， 且檢測(cè)系統(tǒng)比較簡(jiǎn)單。如果沿橢圓光斑短軸方向?qū)悠窉呙瑁鶕?jù)瑞利判據(jù)，共焦顯微鏡掃描步長(zhǎng)為兩倍橢圓短軸距離時(shí)，光電探測(cè)器即可響應(yīng)反射光強(qiáng)度的改變，即分辨出兩點(diǎn)的差異，系統(tǒng)分辨率很高。如果沿橢圓光斑長(zhǎng)軸方向?qū)悠窉呙?，且掃描步長(zhǎng)小于兩倍橢圓長(zhǎng)軸距離時(shí)，根據(jù)瑞利判據(jù)，光電探測(cè)器將不能響應(yīng)反射光強(qiáng)度的改變，無法分辨出兩點(diǎn)的差異。因此系統(tǒng)的分辨率決定于聚焦光斑長(zhǎng)軸大小。在先技術(shù)中，參見“K.A.%rrels， Ε. Ramsay, R. J. Warburton and D. Τ. Reid, Nanoscale optical microscopy in the vectorial focusing regime，nature photonics，vol. 2, May2008，311-314，，，為了提高分辨率，在掃描長(zhǎng)軸方向時(shí)機(jī)械的插入二分之一波片改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，但是這會(huì)降低系統(tǒng)改變掃描方向時(shí)的掃描速率及系統(tǒng)分辨精度，而且由于其中一束入射光多經(jīng)過了一次二分之一波片，因此這兩束正交偏振光的入射功率不同，從而使聚焦光束功率發(fā)生變化，會(huì)增加系統(tǒng)誤差，系統(tǒng)穩(wěn)定性不高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)在偏振差異成像技術(shù)存在的問題，提出了一種高分辨率的高速偏振差異成像方法，高速改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，在同一掃描位置多次聚焦成像，同時(shí)提高兩個(gè)相互垂直方向的系統(tǒng)分辨率。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種高分辨率的高速偏振差異成像方法，包括如下具體步驟
1)構(gòu)建高分辨率的高速偏振差異成像光學(xué)平臺(tái)，光學(xué)平包括光源、起偏器、主二分之一波片、聲光偏轉(zhuǎn)器、中性密度濾波片、第一反射鏡、第二反射鏡、輔助二分之一波片、側(cè)向位移偏振分光棱鏡、半透半反鏡、高數(shù)值孔徑的物鏡、掃描樣品、透鏡、針孔、光電探測(cè)器；光源)發(fā)出的光束在主光路上依次通過起偏器、主二分之一波片、聲光偏轉(zhuǎn)器、中性密度濾波片、側(cè)向位移偏振分光棱鏡、半透半反鏡，通過聲光偏轉(zhuǎn)器后分時(shí)分出的分支光路上，另一束光依次通過第一反射鏡、第二反射鏡、輔助二分之一波片、側(cè)向位移偏振分光棱鏡，通過側(cè)向位移偏振分光棱鏡之后分支光路整合到主光路中，通過半透半反鏡的反射光路上依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡、掃描樣品，掃描樣品的反射光依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡、半透半反鏡，之后的透射光依次通過透鏡、針孔、光電探測(cè)器；
2)光源發(fā)出的光束在主光路上經(jīng)過起偏器和主二分之一波片形成特定方向的線偏振
光；
3)通過聲光偏轉(zhuǎn)器，利用計(jì)算機(jī)調(diào)節(jié)聲光偏轉(zhuǎn)器驅(qū)動(dòng)器的超聲信號(hào)頻率，使線偏振光的傳播方向在兩個(gè)方向切換，分時(shí)產(chǎn)生兩束線偏振光，其中一束仍然沿主光路傳播，另一束為分支光路；
4)分支光路的線偏振光依次通過第一反射鏡、第二反射鏡和輔助二分之一波片改變偏振方向，調(diào)節(jié)輔助二分之一波片，使兩束線偏振光的偏振方向相互垂直；主光路的線偏振光通過中性密度濾波片校準(zhǔn)功率，使兩束線偏振光經(jīng)過側(cè)向位移偏振分光棱鏡之后的光功率相同；之后分支光路的線偏振光通過側(cè)向位移偏振分光棱鏡整合到主光路中，形成一束偏振方向分時(shí)正交變化的線偏振光，偏振方向可以控制；通過半透半反鏡，進(jìn)入高數(shù)值孔徑的物鏡，在掃描位置聚焦形成長(zhǎng)軸方向分時(shí)正交變化的兩個(gè)橢圓光斑，橢圓的長(zhǎng)軸方向即為線偏振光的偏振方向；
5)樣品反射光依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡、半透半反鏡、透鏡、針孔、光電探測(cè)器；對(duì)樣品逐行逐點(diǎn)掃描，調(diào)節(jié)主二分之一波片，使系統(tǒng)橫向掃描樣品的方向?yàn)槠渲幸粋€(gè)聚焦橢圓光斑短軸的方向，樣品結(jié)構(gòu)的變化使反射光強(qiáng)度改變，從而改變光電檢測(cè)器的輸出電流， 經(jīng)過數(shù)據(jù)處理，得到聚焦位置的樣品信息；
6)利用計(jì)算機(jī)同步系統(tǒng)掃描速率和入射線偏振光偏振方向的改變速率，首先橫向掃描樣品的第一行，根據(jù)瑞利判據(jù)，系統(tǒng)掃描距離為兩倍的聚焦橢圓短軸長(zhǎng)度時(shí)，光電探測(cè)器可響應(yīng)反射光強(qiáng)的變化，分辨樣品兩點(diǎn)，首先在第一行選取一定數(shù)量的可分辨點(diǎn)的數(shù)據(jù)；之后改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，再次掃描樣品的第一行中這些點(diǎn)，得到另一組數(shù)據(jù)；之后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，將兩次掃描得到的信號(hào)數(shù)據(jù)整合在一起，形成一組新的第一行的一定數(shù)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)，使系統(tǒng)橫向和縱向可以分辨樣品兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度；之后掃描點(diǎn)縱向移動(dòng)到樣品的第二行，移動(dòng)的距離為光電探測(cè)器可響應(yīng)光強(qiáng)變化時(shí)的距離，改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，掃描樣品的第二行；以此類推，對(duì)樣品逐行掃描，每一行掃描兩次，兩次分別使用偏振方向正交的線偏振光聚焦，第一次提取一定數(shù)量的可分辨點(diǎn)的數(shù)據(jù)，第二次再次提取這些點(diǎn)的數(shù)據(jù)，之后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，將兩次掃描得到的信號(hào)數(shù)據(jù)整合在一起，形成一組新的每一行的一定數(shù)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)，使系統(tǒng)橫向和縱向可以分辨樣品兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度；這時(shí)系統(tǒng)可分辨點(diǎn)為一個(gè)陣列，橫縱方向相鄰兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度，即系統(tǒng)分辨率取決于聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)了高分辨率的高速偏振差異成像。本發(fā)明的有益效果在于本發(fā)明高分辨率的高速偏振差異成像方法，提高了兩個(gè)垂直方向的系統(tǒng)分辨率，克服了先技術(shù)中只能提高一個(gè)方向的系統(tǒng)分辨率的缺點(diǎn)；提高了系統(tǒng)的掃描效率；系統(tǒng)誤差降低，分辨精度提高；系統(tǒng)穩(wěn)定性更好，高分辨成像速度快。


圖1為本發(fā)明高分辨率的高速偏振差異成像的結(jié)構(gòu)示意圖2為本發(fā)明高分辨率的高速偏振差異成像方法中掃描樣品時(shí)提高分辨率的示意圖。
具體實(shí)施例方式通常，利用偏振差異成像，由于聚焦產(chǎn)生橢圓光斑，根據(jù)瑞利判據(jù)，只能增加橢圓短軸方向的系統(tǒng)分辨率，共焦顯微鏡掃描長(zhǎng)軸方向時(shí)掃描步長(zhǎng)反而需要更長(zhǎng)，系統(tǒng)才可以分辨兩點(diǎn)的差異，所以系統(tǒng)分辨率反而降低，整個(gè)系統(tǒng)的分辨率決定于長(zhǎng)軸大小。如果在掃描長(zhǎng)軸方向時(shí)機(jī)械的插入二分之一波片，改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，雖然可以提高該方向的系統(tǒng)分辨率，但是會(huì)降低系統(tǒng)改變掃描方向時(shí)的掃描速率，并且會(huì)增加系統(tǒng)誤差，降低系統(tǒng)分辨率精度，穩(wěn)定性不高。本發(fā)明利用聲光偏轉(zhuǎn)器的高速時(shí)分偏轉(zhuǎn)光路特性與側(cè)向位移偏振分光棱鏡對(duì)正交線偏振光的整合特性，產(chǎn)生可以控制的偏振方向高速正交變化的線偏振光，提高兩個(gè)方向的系統(tǒng)分辨率，形成高速偏振差異成像方法，具體步驟如下
(1)構(gòu)建高分辨率的高速偏振差異成像光學(xué)平臺(tái)。如圖1所示成像結(jié)構(gòu)示意圖，光學(xué)平臺(tái)由光源1、起偏器2、主二分之一波片3、聲光偏轉(zhuǎn)器4、中性密度濾波片5、第一反射鏡 6、第二反射鏡7、輔助二分之一波片8、側(cè)向位移偏振分光棱鏡9、半透半反鏡10、高數(shù)值孔徑的物鏡U、掃描樣品12、透鏡13、針孔14、光電探測(cè)器15構(gòu)成；光源1發(fā)出的光束在主光路上依次通過起偏器2、主二分之一波片3、聲光偏轉(zhuǎn)器4、中性密度濾波片5、側(cè)向位移偏振分光棱鏡9、半透半反鏡10，通過聲光偏轉(zhuǎn)器4后分時(shí)分出的分支光路上，另一束光依次通過第一反射鏡6、第二反射鏡7、輔助二分之一波片8、側(cè)向位移偏振分光棱鏡9，通過側(cè)向位移偏振分光棱鏡9之后分支光路整合到主光路中(即兩束光束經(jīng)過側(cè)向位移偏振分光棱鏡9之后沿主光路方向傳播)，通過半透半反鏡10的反射光路上依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡11、掃描樣品12，掃描樣品12的反射光依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡11、半透半反鏡10， 之后的透射光依次通過透鏡13、針孔14、光電探測(cè)器15 ；
(2)光源1發(fā)出的光束在主光路上經(jīng)過起偏器2和主二分之一波片3形成特定方向的線偏振光；
(3)通過聲光偏轉(zhuǎn)器4，利用計(jì)算機(jī)調(diào)節(jié)聲光偏轉(zhuǎn)器驅(qū)動(dòng)器的超聲信號(hào)頻率，使線偏振光的傳播方向在兩個(gè)方向切換，分時(shí)產(chǎn)生兩束線偏振光，其中一束仍然沿主光路傳播，另一束為分支光路；
(4)分支光路的線偏振光依次通過第一反射鏡6、第二反射鏡7和輔助二分之一波片8 改變偏振方向，調(diào)節(jié)輔助二分之一波片8，使兩束線偏振光的偏振方向相互垂直；主光路的線偏振光通過中性密度濾波片5校準(zhǔn)功率，使兩束線偏振光經(jīng)過側(cè)向位移偏振分光棱鏡9 之后的光功率相同；之后分支光路的線偏振光通過側(cè)向位移偏振分光棱鏡9整合到主光路中，形成一束偏振方向分時(shí)正交變化的線偏振光，偏振方向可以控制；通過半透半反鏡10， 進(jìn)入高數(shù)值孔徑的物鏡11，在掃描位置聚焦形成長(zhǎng)軸方向分時(shí)正交變化的兩個(gè)橢圓光斑， 橢圓的長(zhǎng)軸方向即為線偏振光的偏振方向；
(5)樣品反射光依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡11、半透半反鏡10、透鏡13、針孔14、光電探測(cè)器15 ；對(duì)樣品逐行逐點(diǎn)掃描，調(diào)節(jié)主二分之一波片3，使系統(tǒng)橫向掃描樣品的方向?yàn)槠渲幸粋€(gè)聚焦橢圓光斑短軸的方向，樣品結(jié)構(gòu)的變化使反射光強(qiáng)度改變，從而改變光電檢測(cè)器的輸出電流，經(jīng)過數(shù)據(jù)處理，得到聚焦位置的樣品信息。(6)利用計(jì)算機(jī)同步系統(tǒng)掃描速率和入射線偏振光偏振方向的改變速率，首先橫向掃描樣品的第一行，根據(jù)瑞利判據(jù)，系統(tǒng)掃描距離為兩倍的聚焦橢圓短軸長(zhǎng)度時(shí)，光電探測(cè)器可響應(yīng)反射光強(qiáng)的變化，分辨樣品兩點(diǎn)。本實(shí)施例中，如圖2所示，第一行選取前一百個(gè)可分辨點(diǎn)的數(shù)據(jù)；之后改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，再次掃描樣品的第一行中這一百個(gè)點(diǎn)，得到這一百個(gè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)；之后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，將兩次掃描得到的信號(hào)數(shù)據(jù)整合在一起，形成一組新的第一行的前一百個(gè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)，使系統(tǒng)橫向和縱向可以分辨樣品兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度；之后掃描點(diǎn)縱向移動(dòng)到樣品的第二行，移動(dòng)的距離為光電探測(cè)器可響應(yīng)光強(qiáng)變化時(shí)的距離，改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，掃描樣品的第二行；以此類推，在本實(shí)施例中，如圖2所示，共掃描樣品的前100行，對(duì)樣品每一行掃描兩次，兩次分別使用偏振方向正交的線偏振光聚焦，第一次提取前一百個(gè)可分辨點(diǎn)的數(shù)據(jù)，第二次再次提取這一百個(gè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)，之后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，將兩次掃描得到的信號(hào)數(shù)據(jù)整合在一起，形成一組新的每一行的前一百個(gè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)，使系統(tǒng)橫向和縱向可以分辨樣品兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度；這時(shí)系統(tǒng)可分辨點(diǎn)為一百乘以一百的陣列，橫縱方向相鄰兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度，即系統(tǒng)分辨率取決于聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)了高分辨率的高速偏振差異成像。 本實(shí)施例完成了高分辨率的高速偏振差異成像方法的設(shè)計(jì)，與在先技術(shù)相比，該方法可以由計(jì)算機(jī)同步控制變化聚焦線偏振光的偏振方向，對(duì)樣品掃描兩次，利用數(shù)據(jù)處理將兩組探測(cè)數(shù)據(jù)整合成一組數(shù)據(jù)，光電探測(cè)器在兩個(gè)垂直方向都可以更好的響應(yīng)反射光強(qiáng)的變化，即可以同時(shí)減少兩個(gè)方向下系統(tǒng)可分辨的兩點(diǎn)距離，同時(shí)提高了兩個(gè)垂直方向的系統(tǒng)分辨率，克服了先技術(shù)中只能提高一個(gè)方向的系統(tǒng)分辨率的缺點(diǎn)；利用聲光偏轉(zhuǎn)器和側(cè)向位移偏振分光棱鏡產(chǎn)生了偏振方向可控高速正交變化的線偏振光，可以很好的結(jié)合系統(tǒng)的掃描速度，提高了系統(tǒng)的掃描效率；利用中性密度濾波片校準(zhǔn)了兩束正交偏振入射光的功率，系統(tǒng)誤差降低，分辨率精度高；并且整體系統(tǒng)采用計(jì)算機(jī)同步控制，無機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置，系統(tǒng)穩(wěn)定性更好。
權(quán)利要求
1. 一種高分辨率的高速偏振差異成像方法，其特征在于，包括如下具體步驟1)構(gòu)建高分辨率的高速偏振差異成像光學(xué)平臺(tái)，光學(xué)平臺(tái)包括光源(1)、起偏器(2)、 主二分之一波片(3)、聲光偏轉(zhuǎn)器(4)、中性密度濾波片(5)、第一反射鏡(6)、第二反射鏡 (7)、輔助二分之一波片(8)、側(cè)向位移偏振分光棱鏡(9)、半透半反鏡(10)、高數(shù)值孔徑的物鏡(11)、掃描樣品(12)、透鏡(13)、針孔(14)、光電探測(cè)器(15)；光源(1)發(fā)出的光束在主光路上依次通過起偏器(2)、主二分之一波片(3)、聲光偏轉(zhuǎn)器(4)、中性密度濾波片(5)、 側(cè)向位移偏振分光棱鏡(9)、半透半反鏡(10)，通過聲光偏轉(zhuǎn)器(4)后分時(shí)分出的分支光路上，另一束光依次通過第一反射鏡(6)、第二反射鏡(7)、輔助二分之一波片(8)、側(cè)向位移偏振分光棱鏡(9)，通過側(cè)向位移偏振分光棱鏡(9)之后分支光路整合到主光路中，通過半透半反鏡(10)的反射光路上依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡(11 )、掃描樣品(12)，掃描樣品 (12)的反射光依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡(11)、半透半反鏡(10)，之后的透射光依次通過透鏡(13)、針孔(14)、光電探測(cè)器(15)；2)光源(1)發(fā)出的光束在主光路上經(jīng)過起偏器(2)和主二分之一波片(3)形成特定方向的線偏振光；3)通過聲光偏轉(zhuǎn)器(4)，利用計(jì)算機(jī)調(diào)節(jié)聲光偏轉(zhuǎn)器驅(qū)動(dòng)器的超聲信號(hào)頻率，使線偏振光的傳播方向在兩個(gè)方向切換，分時(shí)產(chǎn)生兩束線偏振光，其中一束仍然沿主光路傳播，另一束為分支光路；4)分支光路的線偏振光依次通過第一反射鏡(6)、第二反射鏡(7)和輔助二分之一波片(8)改變偏振方向，調(diào)節(jié)輔助二分之一波片(8)，使兩束線偏振光的偏振方向相互垂直; 主光路的線偏振光通過中性密度濾波片(5)校準(zhǔn)功率，使兩束線偏振光經(jīng)過側(cè)向位移偏振分光棱鏡(9)之后的光功率相同；之后分支光路的線偏振光通過側(cè)向位移偏振分光棱鏡 (9)整合到主光路中，形成一束偏振方向分時(shí)正交變化的線偏振光，偏振方向可以控制；通過半透半反鏡(10)，進(jìn)入高數(shù)值孔徑的物鏡(11)，在掃描位置聚焦形成長(zhǎng)軸方向分時(shí)正交變化的兩個(gè)橢圓光斑，橢圓的長(zhǎng)軸方向即為線偏振光的偏振方向；5)樣品反射光依次通過高數(shù)值孔徑的物鏡(11)、半透半反鏡(10)、透鏡(13)、針孔 (14)、光電探測(cè)器(15);對(duì)樣品逐行逐點(diǎn)掃描，調(diào)節(jié)主二分之一波片(3)，使系統(tǒng)橫向掃描樣品的方向?yàn)槠渲幸粋€(gè)聚焦橢圓光斑短軸的方向，樣品結(jié)構(gòu)的變化使反射光強(qiáng)度改變，從而改變光電檢測(cè)器的輸出電流，經(jīng)過數(shù)據(jù)處理，得到聚焦位置的樣品信息；6)利用計(jì)算機(jī)同步系統(tǒng)掃描速率和入射線偏振光偏振方向的改變速率，首先橫向掃描樣品的第一行，根據(jù)瑞利判據(jù)，系統(tǒng)掃描距離為兩倍的聚焦橢圓短軸長(zhǎng)度時(shí)，光電探測(cè)器可響應(yīng)反射光強(qiáng)的變化，分辨樣品兩點(diǎn)，首先在第一行選取一定數(shù)量的可分辨點(diǎn)的數(shù)據(jù)；之后改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，再次掃描樣品的第一行中這些點(diǎn)，得到另一組數(shù)據(jù)；之后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，將兩次掃描得到的信號(hào)數(shù)據(jù)整合在一起，形成一組新的第一行的一定數(shù)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)，使系統(tǒng)橫向和縱向可以分辨樣品兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度；之后掃描點(diǎn)縱向移動(dòng)到樣品的第二行，移動(dòng)的距離為光電探測(cè)器可響應(yīng)光強(qiáng)變化時(shí)的距離，改變?nèi)肷渚€偏振光的偏振方向，掃描樣品的第二行；以此類推，對(duì)樣品逐行掃描，每一行掃描兩次，兩次分別使用偏振方向正交的線偏振光聚焦，第一次提取一定數(shù)量的可分辨點(diǎn)的數(shù)據(jù)，第二次再次提取這些點(diǎn)的數(shù)據(jù)，之后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，將兩次掃描得到的信號(hào)數(shù)據(jù)整合在一起，形成一組新的每一行的一定數(shù)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)，使系統(tǒng)橫向和縱向可以分辨樣品兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度；這時(shí)系統(tǒng)可分辨點(diǎn)為一個(gè)陣列，橫縱方向相鄰兩點(diǎn)的距離都為兩倍的聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度，即系統(tǒng)分辨率取決于聚焦橢圓光斑的短軸長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)了高分辨率的高速偏振差異成像。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種高分辨率的高速偏振差異成像方法，利用聲光偏轉(zhuǎn)器的高速時(shí)分偏轉(zhuǎn)光路特性與側(cè)向位移偏振分光棱鏡對(duì)正交線偏振光的整合特性，產(chǎn)生可以控制的偏振方向高速正交變化的線偏振光，提高兩個(gè)方向的系統(tǒng)分辨率，形成高速偏振差異成像方法，此方法克服了先技術(shù)中只能提高一個(gè)方向的系統(tǒng)分辨率的缺點(diǎn)；提高了系統(tǒng)的掃描效率；系統(tǒng)誤差降低，分辨精度提高；系統(tǒng)穩(wěn)定性更好，高分辨成像速度快。
文檔編號(hào)G01N21/17GK102230883SQ201110104270
公開日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月26日
發(fā)明者姜曼, 莊松林, 田毅強(qiáng), 翁曉羽, 蔣庭佳, 郭漢明, 黃猛 申請(qǐng)人:上海理工大學(xué)